JP2741376B2 - Multi-component analysis method in spectroscopic analysis - Google Patents

Multi-component analysis method in spectroscopic analysis

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JP2741376B2
JP2741376B2 JP12574092A JP12574092A JP2741376B2 JP 2741376 B2 JP2741376 B2 JP 2741376B2 JP 12574092 A JP12574092 A JP 12574092A JP 12574092 A JP12574092 A JP 12574092A JP 2741376 B2 JP2741376 B2 JP 2741376B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、試料に対して光源から
光を照射し、そのとき得られる吸収スペクトルに基づい
て試料中に含まれる多成分の濃度を分析する方法に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of irradiating a sample with light from a light source and analyzing the concentration of multiple components contained in the sample based on an absorption spectrum obtained at that time.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えばFTIR(フーリエ変換赤外分光
計)を用いて得られる吸収スペクトルに基づいて行列演
算を行うことにより試料中に含まれる多成分の濃度を分
析する方法には、現在のところ、数種類のものが知られ
ているが、従来においては、どれか一種類の方法を採用
するのが一般的である。
2. Description of the Related Art At present, a method for analyzing the concentration of multiple components contained in a sample by performing a matrix operation on the basis of an absorption spectrum obtained using, for example, FTIR (Fourier transform infrared spectrometer) is known. Although several types are known, conventionally, any one of the methods is generally employed.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、自動車の排
ガス(以下、自排ガスと云う)中には、CO、CO2
NO、H2 O、HC(炭化水素)などが主要成分として
含まれている。このうち、CO、CO2 、NO、H2
は、分子構造が簡単であることから、図8〜図11の吸収
スペクトルからも明らかなように、シャープで特徴的な
吸収を持つ。そして、これらの成分は、自排ガス中の濃
度も比較的高いところから、吸収も強い。また、1800〜
2400cm-1の波数範囲に注目すれば、これらの成分に対
する干渉成分は殆どない。
By the way, in the exhaust gas of an automobile (hereinafter referred to as own exhaust gas), CO, CO 2 ,
NO, H 2 O, HC (hydrocarbon) and the like are contained as main components. Of these, CO, CO 2 , NO, H 2 O
Has a sharp and characteristic absorption, as is clear from the absorption spectra of FIGS. 8 to 11 because the molecular structure is simple. These components have a relatively high concentration in their own exhaust gas and therefore have a strong absorption. Also, 1800 ~
Focusing on the wave number range of 2400 cm −1 , there is almost no interference component for these components.

【0004】一方、HCには、CH4 (メタン)、C2
6 (エタン)、C3 8 (プロパン)など非常に多く
の化合物が含まれる。図16〜図19はそれぞれ、C
2 6 、C3 8 、n−C4 10(ノルマルブタン)、
iso −C4 10(イソブタン)の吸収スペクトルを示し
ているが、これらの図から明らかなように、これらの結
合数の多い炭化水素に共通していることは、ほぼ同じ領
域に吸収をもち、しかも、吸収自体がブロードで互いに
似通っていることである(但し、比較的分子構造の簡単
なCH4 、C2 2 (アセチレン)は鋭いピークを持
つ)。
On the other hand, HC includes CH 4 (methane), C 2
It contains a very large number of compounds such as H 6 (ethane) and C 3 H 8 (propane). 16 to 19 respectively show C
2 H 6, C 3 H 8 , n-C 4 H 10 ( butane),
are shown the absorption spectrum of the iso -C 4 H 10 (isobutane), as is clear from these figures, is that they are common to these coupling a large number of hydrocarbons, it has an absorption at approximately the same area In addition, the absorption itself is broad and similar to each other (however, CH 4 and C 2 H 2 (acetylene) having relatively simple molecular structures have sharp peaks).

【0005】このように、自排ガス中に含まれる主要な
成分においては、CO、CO2 、NO、H2 OとHCと
では、吸収特性が異なり、また、HCにおいても、結合
数が多いC2 6 、C3 8 、n−C4 10、iso −C
4 10などと分子構造の単純なCH4 、C2 2 とで
は、吸収特性が異なる。従って、従来のように、一種類
の方法を採用した場合、自排ガス中に含まれる数多くの
成分を精度よく定量することは難しい。
[0005] As described above, the main components contained in the self-exhaust gas have different absorption characteristics between CO, CO 2 , NO, H 2 O, and HC. 2 H 6, C 3 H 8 , n-C 4 H 10, iso -C
4 In such H 10 and the simple CH 4, C 2 H 2 molecular structure, different absorption characteristics. Therefore, when one type of method is employed as in the related art, it is difficult to accurately quantify many components contained in the own exhaust gas.

【0006】本発明は、上述の事柄に留意してなされた
もので、その目的とするところは、多成分を同時に精度
よく、しかも、効率的に定量分析することができる分光
分析における多成分分析方法を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in consideration of the above-mentioned problems, and has as its object to provide a multi-component analysis in a spectroscopic analysis capable of simultaneously and accurately and efficiently quantitatively analyzing multi-components. It is to provide a method.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明においては、試料に対して光源から光を照射
し、そのとき得られる吸収スペクトルに基づいて演算処
理を行うことにより試料中に含まれる多成分の濃度を同
時に定量分析する方法において、前記多成分を吸収のピ
ークの形状およぴ定量に使用する波数範囲に基づいて複
数の成分群にグループ分けし、各成分群について前記定
量に使用する波数範囲にわたり吸収ピークに応じた最も
適切な定量演算手法を用いて各成分の濃度を求めるよう
にしている。
In order to achieve the above object, in the present invention, a sample is irradiated with light from a light source, and arithmetic processing is performed on the basis of an absorption spectrum obtained at that time. a method of simultaneously quantitatively analyzing the concentration of multi-component contained, the multi-component based on the wave number range used shape your Yopi quantification of the peak of the absorption grouped into a plurality of component groups, the information on each component group Set
The concentration of each component is determined using the most appropriate quantitative calculation method according to the absorption peak over the wave number range used for the amount .

【0008】[0008]

【作用】例えば自排ガスの成分をそれぞれ定量分析する
場合、CO、CO、NO、HOのような成分につい
ては、吸収ピークがシャープところから、本願出願人
か平成2年10月13日付けにて特許出願〔特願平2−
274204号(特開平4−148830号)〕してい
るところの相対吸光度の考え方に基づく定量分析方法を
好適に適用することができ、この方法を用いることによ
り、計算機におけるメモリの使用量並びに計算に要する
時間を可及的に少なくすることができると共に、前記各
成分を精度よく定量できる。
[Action] For example, when each quantitative analysis of components of the self exhaust gas, CO, CO 2, NO, for components such as H 2 O, from where the absorption peak is sharp, the present applicant or October 1990 13 Patent application dated [Japanese Patent Application 2-
274204 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-148830)] , a quantitative analysis method based on the concept of relative absorbance can be suitably applied. By using this method, the amount of memory used in a computer and the calculation can be reduced. The time required can be reduced as much as possible, and the components can be quantitatively determined with high accuracy.

【0009】そして、HCのなかでもCH4 、C
2 2 、を除くHCについては、吸収自体がブロードで
あるところから、従来から一般に用いられているPLS
(PartialLeast Square;部分最小二乗)法と呼ばれる
手法を用いる。これによれば、前記相対吸光度法に比べ
れば、メモリの使用量や計算に要する時間は多くなる
が、前記各成分を精度よく定量できる。
[0009] Among the HCs, CH 4 , C
Regarding HC except for 2 H 2 , since absorption itself is broad, PLS which has been generally used in the past has been used.
(Partial Least Square; Partial Least Square) method is used. According to this, compared to the relative absorbance method, the amount of memory used and the time required for calculation are increased, but each component can be quantified with high accuracy.

【0010】このように、定量対象とする成分毎に適切
な定量方法を採用することで、分析計全体の精度を高め
ることができ、多成分を同時に精度よく定量できる。そ
して、計算機上のメモリ使用量や計算速度を最小限に抑
えることができる。
As described above, by adopting an appropriate quantification method for each component to be quantified, the accuracy of the entire analyzer can be improved, and multiple components can be simultaneously quantified with high accuracy. Then, it is possible to minimize the memory usage and the calculation speed on the computer.

【0011】[0011]

【実施例】以下、本発明の実施例を、図面を参照しなが
ら説明する。図1は、本発明に係る分光分析における多
成分分析方法を実施するための装置の一例であるFTI
R1の概略的な構成を示したものである。このFTIR
1は、分析部2と、この分析部2の出力であるインター
フェログラムを処理すると共に、後述する可動ミラー7
の駆動機構に対して制御指令を発するコンピュータ3と
からなる。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows an example of an apparatus for implementing a multi-component analysis method in spectroscopic analysis according to the present invention.
3 shows a schematic configuration of R1. This FTIR
Reference numeral 1 denotes an analyzer 2 which processes an interferogram which is an output of the analyzer 2 and a movable mirror 7 which will be described later.
And a computer 3 for issuing a control command to the drive mechanism.

【0012】分析部2は、平行な赤外光を発するように
構成された光源4と、ビームスプリッタ5、固定ミラー
6、図外の駆動機構によってX,Y方向に移動する可動
ミラー7からなる干渉機構8と、測定試料などを収容
し、干渉機構8を介して光源4からの赤外光が照射され
るセル9と、半導体検出器などよりなる検出器10とで構
成されている。
The analyzing section 2 includes a light source 4 configured to emit parallel infrared light, a beam splitter 5, a fixed mirror 6, and a movable mirror 7 that moves in the X and Y directions by a driving mechanism (not shown). It comprises an interference mechanism 8, a cell 9 for accommodating a measurement sample and the like, and irradiated with infrared light from the light source 4 via the interference mechanism 8, and a detector 10 such as a semiconductor detector.

【0013】コンピュータ3内には、検出器10から出力
されるインターフェログラムを加算平均する加算平均処
理部11、この加算平均処理部11からの出力データに高速
でフーリエ変換を施す高速フーリエ変換処理部12、この
高速フーリエ変換処理部12からの出力データに基づいて
スペクトル演算および定量演算を行う演算部13などが設
けられると共に、制御部(図外)が設けられている。
In the computer 3, an averaging processing unit 11 for averaging the interferogram output from the detector 10, and a high-speed Fourier transform processing for performing a high-speed Fourier transform on the output data from the averaging processing unit 11 A unit 12, a calculation unit 13 for performing a spectrum calculation and a quantitative calculation based on output data from the fast Fourier transform processing unit 12, and the like, and a control unit (not shown) are provided.

【0014】このように構成されたFTIR1では、セ
ル9に比較試料または測定試料を収容して、比較試料お
よび測定試料のインターフェログラムがそれぞれ測定さ
れる。これらのインターフェログラムをそれぞれフーリ
エ変換してパワースペクトル、つまり、セル9を透過し
てきた光のスペクトルが得られる。次に、比較試料のパ
ワースペクトルに対する測定試料のパワースペクトルの
比が求められ、この値を吸光度スケールに変換すること
によって吸収スペクトルが得られる。
In the FTIR 1 configured as described above, the comparison sample or the measurement sample is stored in the cell 9 and the interferograms of the comparison sample and the measurement sample are measured. Each of these interferograms is Fourier transformed to obtain a power spectrum, that is, a spectrum of light transmitted through the cell 9. Next, the ratio of the power spectrum of the measurement sample to the power spectrum of the comparison sample is determined, and this value is converted to an absorbance scale to obtain an absorption spectrum.

【0015】次に、本発明の多成分分析方法の詳細につ
いて説明する。今、例として、分解能0.25cm−1
のFTIR1を用いてLPG(液化石油ガス)車から排
出される自排ガス中の多成分を定量する場合を考える。
前記自排ガス中には、CO、CO、NO、HO、炭
素数4以下のHCなどが主要成分として含まれている。
そして、測定対象成分として、CO、CO、NO、H
O、NH、CH、C(エチレン)、C
、C(プロピレン)、C、n−C
10、iso−C10の12成分を考えると、既に
説明しているように、これらの成分は、吸収ピークの形
状および吸収領域に基づいて、例えば下記表1に示すよ
うに4つの成分群にグループ分けできる。
Next, the details of the multi-component analysis method of the present invention will be described. Now, as an example, the resolution is 0.25 cm -1.
Consider the case of using FTIR1 to quantify multicomponents in own exhaust gas discharged from an LPG (liquefied petroleum gas) vehicle.
The main exhaust gas contains, as main components, CO, CO 2 , NO, H 2 O, and HC having 4 or less carbon atoms.
Then, CO, CO 2 , NO, H
2 O, NH 3 , CH 4 , C 2 H 4 (ethylene), C 2 H
6, C 3 H 6 (propylene), C 3 H 8, n -C 4 H
10, given the 12 components of the iso-C 4 H 10, as already described, these components are based on the shape and the absorption region of the absorption peak, for example, four components as shown in the following Table 1 Can be grouped into groups.

【0016】[0016]

【表1】 [Table 1]

【0017】上記表1中の第1成分群は、図8〜図11に
示すように、1800〜2400cm-1の波数範囲に吸収を持つ
成分群である。この成分群に属する成分は、分子構造が
簡単なことから、特徴的で鋭い吸収ピークを持ち、自排
ガスの濃度も比較的高いところから吸収も強い。そし
て、第2成分群は、図12, 13に示すように、 800〜1400
cm-1の波数範囲にやはり鋭い吸収ピークを持つ成分群
である。また、第3成分群は、図14, 15に示すように、
第2成分群と重なる 800〜1100cm-1の波数範囲に第2
成分群に比べてブロードな吸収を持つ成分群である。こ
れら第2および第3成分群の波数範囲には、これらの成
分の他にCO2 、H2 Oも吸収を持つ。第4成分群は、
図16〜図19に示すように、2800〜3100cm-1のほぼ同じ
波数範囲に、ブロードで、互いによく似た吸収を持つ成
分群である。この第4成分群の波数範囲には、H2 O、
CH4 、C2 4 、C3 6 も吸収を持つ。
The first component group in Table 1 is a component group having absorption in the wave number range of 1800 to 2400 cm -1 as shown in FIGS. 8 to 11. The components belonging to this component group have a characteristic and sharp absorption peak due to their simple molecular structure, and have a strong absorption due to the relatively high concentration of their own exhaust gas. Then, the second component group is, as shown in FIGS.
A component group also having a sharp absorption peak in the wave number range of cm -1 . Further, the third component group includes, as shown in FIGS.
The second in the wave number range of 800 to 1100 cm -1 which overlaps with the second component group
The component group has a broader absorption than the component group. In the wave number ranges of the second and third component groups, CO 2 and H 2 O in addition to these components also have absorption. The fourth component group is
As shown in FIGS. 16 to 19, the components are broad and have substantially similar absorption in the same wave number range of 2800 to 3100 cm −1 . In the wave number range of the fourth component group, H 2 O,
CH 4 , C 2 H 4 and C 3 H 6 also have absorption.

【0018】前記第1および第2成分群については、吸
収がシャープであるので、前記特願平2−274204
(特開平4−148830号)に係る相対吸光度法を
適用する。
Since the first and second component groups have sharp absorption, the above-mentioned Japanese Patent Application No. 2-274204 is disclosed.
No. (JP-A-4-148830) .

【0019】先ず、最初に、この手法において導入され
る相対吸光度の和という概念について簡単に説明する。
分光測定装置から出力されるスペクトルは、一般的に、
様々な原因によるノイズを含んでおり、従って、前記
(1) 式は、 A(νi ) =Cα (νi ) +εi ……(2) と表すことができる。ここで、εi はスペクトルに含ま
れるノイズである。
First, the concept of the sum of relative absorbances introduced in this method will be briefly described.
The spectrum output from the spectrometer is generally
Noise from various sources,
The expression (1) can be expressed as follows: A (v i ) = Cα (v i ) + ε i (2) Here, ε i is noise included in the spectrum.

【0020】そして、前記スペクトル中の任意の2点の
差に注目すると、前記(2)式は、 A(νp )−A(νb )=C〔α(νp )−α(νb )〕+εp −εb ……(3) と表され、このような2点間の相対的な吸光度もまたラ
ンバートベールの法則に従うことが示される。ここで、
p,qはそれぞれスペクトルのピーク、ベースに対応す
る波数点を示す添字である。
Then, focusing on the difference between any two points in the spectrum, the equation (2) can be expressed as follows: A (ν p ) −A (ν b ) = C [α (ν p ) −α (ν b )] + Ε p −ε b (3), indicating that the relative absorbance between such two points also obeys Lambert-Beer's law. here,
p and q are suffixes indicating a wave number point corresponding to a spectrum peak and a base, respectively.

【0021】通常、物質のスペクトル、特に気体のスペ
クトルは、多数のピークを含み、ある物質に特有なピー
クの波数点νp とベースの波数点νb の対を多数選ぶこ
とができる。
In general, the spectrum of a substance, particularly the spectrum of a gas, contains a large number of peaks, and a large number of pairs of the wave point ν p and the base wave point ν b of a peak specific to a substance can be selected.

【0022】図2には、模式的なガスの吸収スペクトル
と、それに対応する相対吸光度L1,L2 , L3 の例を
示している。それぞれの相対吸光度L1 ,L2 ,L
3 は、前記(3)式の値に対応している。
FIG. 2 shows an example of a typical gas absorption spectrum and the corresponding relative absorbances L 1 , L 2 , and L 3 . Each relative absorbance L 1, L 2, L
3 corresponds to the value of the above equation (3).

【0023】このような値の和をとると、 Σk 〔A(νp )−A(νb )〕k =CΣk 〔α(νp )−α(νb )〕+Σk (εp −εb k ……(4) となり、この(4)式もランバートベールの法則を維持
している。そして、この(4)式から、その右辺第2項
がスペクトル中に潜在しているランダムなノイズを平均
化していること、およびベースラインのドリフトのよう
な外乱をキャンセルしていることが判る。
By taking the sum of such values, Σ k [A (ν p ) −A (ν b )] k = CΣ k [α (ν p ) −α (ν b )] + Σ kp −ε b ) k (4) This equation (4) also maintains Lambert-Beer's law. From equation (4), it can be seen that the second term on the right-hand side averages out the random noise lurking in the spectrum and cancels disturbances such as drift of the baseline.

【0024】ここで、前記(4)式で計算される値を、
MAS(Multiple Absorption Sum)値と定義する。す
なわち、 MAS≡Σk 〔A(νp )−A(νb )〕k ……(5) と表す。そして、特に単一成分で既知濃度の参照スペク
トルに対して求められたMAS値を、成分iに対するM
ASi とする。
Here, the value calculated by the above equation (4) is
Defined as MAS (Multiple Absorption Sum) value. That is, MAS≡Σ k [A (ν p ) −A (ν b )] k (5) In particular, the MAS value obtained for a reference spectrum of a single component and a known concentration is calculated using the M
AS i .

【0025】図3は、一般化した成分群に含まれる3つ
のガス種に対する波数点の指定例を示す。同図におい
て、曲線I,II,III は、それぞれガスX,Y,Zの参
照スペクトルを示している。そして、ガスXに対する波
数点の集合ΦX :(Xp ,Xbk 、ガスYに対する波
数点の集合ΦY :(Yp ,Yb k 、ガスZに対する波
数点の集合ΦZ :(Zp ,Zb k がそれぞれ指定され
ている。これらのピーク・ベース対を指定するに際して
は、なるべく大きな相対吸光度が得られるように、か
つ、互いの吸収の影響を受けないようにするのが好まし
い。
FIG. 3 shows an example of specifying wavenumber points for three gas types included in the generalized component group. In the figure, curves I, II, and III represent reference spectra of gases X, Y, and Z, respectively. Then, a set of wave number points for gas X Φ X: (X p, X b) k, the set of wave number points for gas Y Φ Y: (Y p, Y b) k, the set of wave number points for gas Z [Phi Z: (Z p , Z b ) k are designated respectively. In specifying these peak-base pairs, it is preferable to obtain as large a relative absorbance as possible and not to be affected by mutual absorption.

【0026】ここで、話を一般化して、m個の成分に対
する上述した波数点指定値の集合をΦi (i=1〜m)
とし、1つの吸収スペクトルに対して成分iのピーク・
ベース対の集合を前記(4)式のように計算する演算
を、次式のように定義する。 Σk 〔A(νp )−A(νb )〕≡A◎Φi ……(6) ここで、◎は新しい演算子で、(6)式はMAS値を与
える。
Here, the story is generalized, and the above-mentioned set of wave point designation values for m components is represented by Φ i (i = 1 to m).
And the peak of component i for one absorption spectrum
The operation of calculating the set of base pairs as in the above equation (4) is defined as the following equation. Σ k [A (ν p ) −A (ν b )] ≡A ◎ Φ i (6) where ◎ is a new operator, and equation (6) gives the MAS value.

【0027】従って、 MASi =A◎Φi ……(7) となり、m個のΦi に対してm個のMASi が計算され
る。そして、m個の数字の組であるMASi をΨとする
と、これは一方で、m個の要素を持ったスペクトルと考
えることができる。 Ψ=(MASi :i=1〜m) ……(8)
Therefore, MAS i = A ◎ Φ i (7), and m MAS i are calculated for m Φ i . If MAS i , which is a set of m numbers, is denoted by Ψ, on the other hand, this can be considered as a spectrum having m elements. Ψ = (MAS i : i = 1 to m) (8)

【0028】この新しいスペクトル領域(成分スペクト
ル領域)は、横軸をガス種i、縦軸を相対吸光度の和M
ASi としてグラフ表示することができる。したがっ
て、前記(7)式は、スペクトルAを集合Φを用いて成
分スペクトルΨに変換したものと考えることができる。
このことを、先に一般化して示した成分群に当てはめて
説明すると、以下のようになる。
The new spectrum region (component spectrum region) has a horizontal axis representing gas type i and a vertical axis representing the sum M of relative absorbances.
AS i can be graphically displayed. Therefore, it can be considered that the equation (7) is obtained by converting the spectrum A into the component spectrum Ψ using the set Φ.
This will be described below by applying the above generalized component group.

【0029】図4は、図3に示す3種のガスX,Y,Z
がそれぞれ任意の濃度で混合されたものの吸収スペクト
ル、つまり、前記の一般化した成分群全体としての吸収
スペクトルを表している。図3において指定した3種の
ガスのそれぞれのピーク・ベース対の波数点指定値を図
4の吸収スペクトルに適用して、図4に示すようにX,
Y,Zで表されたそれぞれの相対吸光度の和を求める。
そして、これらの相対吸光度の和を、図5に示すよう
に、横軸がガス種、縦軸が相対吸光度の和を表す領域に
プロットする。
FIG. 4 shows the three types of gases X, Y and Z shown in FIG.
Represents the absorption spectrum of those mixed at arbitrary concentrations, that is, the absorption spectrum of the generalized component group as a whole. By applying the wave point specification values of the peak-base pairs of the three gases specified in FIG. 3 to the absorption spectrum of FIG. 4, X,
The sum of the relative absorbances represented by Y and Z is determined.
Then, as shown in FIG. 5, the sum of these relative absorbances is plotted in a region where the horizontal axis represents the gas type and the vertical axis represents the sum of the relative absorbances.

【0030】このようにして求められた成分スペクトル
は、上述したようにノイズの影響が大きく削除されると
共に、ガス種間でのスペクトル同士の干渉影響が抑えら
れている。前記図4および図5に示すように、成分同士
の干渉のない変換ができれば、成分スペクトル領域にお
いてそれぞれの相対吸光度の和がそれぞれの成分濃度に
比例しているので、各成分についての濃度を直接得るこ
とができる。
As described above, the influence of noise is largely eliminated from the component spectrum obtained in this way, and the influence of interference between spectra between gas species is suppressed. As shown in FIGS. 4 and 5, if conversion without interference between components can be performed, the sum of the relative absorbances in the component spectrum region is proportional to the respective component concentrations. Obtainable.

【0031】但し、実際のガス吸収スペクトルでは、図
4および図5のように干渉のない波数点指定が行えるこ
とは稀で、変換された後の成分スペクトル領域において
も多少の干渉が残っているのが普通である。
However, in the actual gas absorption spectrum, it is rare that the wave point point designation without interference can be rarely performed as shown in FIGS. 4 and 5, and some interference remains even in the converted component spectrum region. Is common.

【0032】そこで、前記成分スペクトル領域を用いて
の定量分析では、上述した若干残る干渉分を補正する必
要があり、以下の処理は干渉補正に用いる行列(校正行
列)を作成する校正段階、すなわち干渉補正のためのデ
ータを用意する段階と、それを用いて未知濃度を算出す
る推定段階とに分かれる。
Therefore, in the quantitative analysis using the component spectrum region, it is necessary to correct the above-mentioned slightly remaining interference, and the following processing is performed in a calibration step of creating a matrix (calibration matrix) used for interference correction, that is, It is divided into a step of preparing data for interference correction and an estimation step of calculating unknown density using the data.

【0033】校正段階においては、校正行列を次のよう
にして得る。今、m個の成分について単位濃度の参照ス
ペクトルαi (i=1〜m)がある場合に一般化する
と、これらの参照スペクトルに上述した波数点指定値の
集合Φi を適用し、前記(7)式で示される変換を施す
ことによって、αi に対応した成分スペクトルΨi (i
=1〜m)を得ることができる。より具体的には、複数
のガスをそれぞれ単独で試料としたときにおける相対吸
光度の和を求めることによって得ることができる。
In the calibration stage, a calibration matrix is obtained as follows. Now, when generalizing to the case where there are reference spectra α i (i = 1 to m) of unit concentration for m components, the above-mentioned set of wave number point designation values Φ i is applied to these reference spectra, and by applying a transformation represented by 7), the component spectrum corresponding to α i Ψ i (i
= 1 to m). More specifically, it can be obtained by calculating the sum of relative absorbances when a plurality of gases are each used as a sample alone.

【0034】図6(A),(B),(C)は、先に一般
化した成分群に含まれる3つのガス種X,Y,Zについ
ての参照成分スペクトルを示しており、この場合の校正
行列は、
FIGS. 6A, 6B, and 6C show reference component spectra of three gas types X, Y, and Z included in the generalized component group. In this case, FIG. The calibration matrix is

【0035】[0035]

【数1】 (Equation 1)

【0036】となる。## EQU1 ##

【0037】一方、被測定試料を前記成分群に割り当て
た波数範囲で分光分析して得られる吸収スペクトルか
ら、その成分群の成分スペクトルを図7のように求める
ことができる。この場合の成分スペクトルΨu は、
On the other hand, the component spectrum of the component group can be obtained as shown in FIG. 7 from the absorption spectrum obtained by spectrally analyzing the sample to be measured in the wave number range assigned to the component group. The component spectrum Ψ u in this case is

【0038】[0038]

【数2】 (Equation 2)

【0039】となる。一般的にm個のガス成分(i=1
〜m)の混合ガスにおいて、それぞれのガス成分の未知
濃度をC(i=1〜m)とすると、ΨはΨの線型
結合で表される。つまり、 Ψ=Ψ・C+Ψ・C+……+Ψ・C ……(9) が常に成り立ち、これを行列を用いて書き換えると、 ΨΩC ……(10) と表すことができる。ここで、Cは未知の濃度からなる
ベクトル、ΩはΨを行とする行列で、これを成分スペ
クトル領域における校正行列と呼ぶものとする。
## EQU1 ## In general, m gas components (i = 1
Assuming that the unknown concentration of each gas component is C 1 (i = 1 to m) in the mixed gas of でu ), u u is represented by a linear combination of 1 1 . That is, u u = Ψ 1 · C 1 + Ψ 2 · C 2 +... + Ψ m · C m (9) always holds, and when this is rewritten using a matrix, Ψ u = ΩC (10) It can be expressed as. Here, C is a vector of unknown concentration, Omega in matrix with rows [psi 1, which is referred to as a calibration matrix in the component spectral region.

【0040】従って、上述した成分群の3つのガス種
X,Y,Zの未知濃度をCX ,CY ,CZ とすると、
Therefore, assuming that the unknown concentrations of the three gas species X, Y, and Z of the above-described component group are C X , C Y , and C Z ,

【0041】[0041]

【数3】 (Equation 3)

【0042】となる。前記校正段階では、前記Ωを精度
よく定める必要がある。また、すでに述べたように、Ψ
i は線型独立性の高い、つまり干渉の少ないベクトルで
あるから、Ωは安定した逆行列を求め得る行列である。
Is as follows. In the calibration step, the Ω needs to be determined accurately. Also, as already mentioned,
Since i is a vector with high linear independence, that is, a vector with little interference, Ω is a matrix from which a stable inverse matrix can be obtained.

【0043】次に、推定段階では、前記(10)式をC
について解くことにより、すなわち、C=Ω −1 Ψ
ように、未知濃度を推定することができる。
Next, in the estimation stage, the above equation (10) is expressed as C
By solving for, i.e., as C = Ω -1 Ψ u, it is possible to estimate the unknown concentration.

【0044】そして、前記(11)式についても、Then, also in the above equation (11),

【0045】[0045]

【数4】 (Equation 4)

【0046】とすることにより、CX ,CY ,CZ をそ
れぞれ求めることができる。
Thus, C X , C Y , and C Z can be obtained.

【0047】ここで計算した逆行列は、Ωの線型独立性
が高いため、安定な解を得ることができ、従って、推定
される濃度の数値計算による誤差は極めて小さい。
Since the calculated inverse matrix has a high linear independence of Ω, a stable solution can be obtained. Therefore, the error in the numerical calculation of the estimated concentration is extremely small.

【0048】以上説明したように、相対吸光度法は、他
成分の吸収の影響を少なくして大きな相対吸光度が得ら
れる成分、つまり、鋭く特徴的な吸収ピークを持つ成分
の定量に特に適している。また、定量演算処理が比較的
単純で、計算速度が速くメモリ使用量も少ない。このよ
うな特質を持つ相対吸光度法を前記第1および第2成分
群に適用するのであるが、この場合、定量に使用する波
数範囲は、赤外の全領域である必要はなく、例えば第1
成分群については、1800〜2400cm−1、第2
成分群については、800〜1400cm−1の限定さ
れた範囲でよい。
As described above, the relative absorbance method is particularly suitable for the quantification of a component capable of obtaining a large relative absorbance by reducing the influence of absorption of other components, that is, a component having a sharp characteristic absorption peak. . Further, the quantitative calculation processing is relatively simple, the calculation speed is high, and the memory usage is small. While the relative absorbance method having such characteristics is to apply to the first and second group of components, in this case, the wave number range to be used for quantitation need not be the whole area of the infrared, for example, the first
Regarding the component group, 1800 to 2400 cm −1 , the second
The component group may have a limited range of 800 to 1400 cm -1 .

【0049】さらに、第1成分群については、他に干渉
成分がないので、前記4成分(CO、CO2 、NO、H
2 O)のみを考慮して、前記波数範囲で定量演算を行え
ばよい。また、第2成分群については、他の干渉となる
成分(H2 O、CO2 、C24 、C3 6 )も考慮し
た上で、前記波数範囲で定量演算を行う。このように、
同じ相対吸光度法で定量する成分も、第1成分群、第2
成分群に分けることによって、計算機上のメモリ使用量
をより少なくし、より高速で定量演算することができ
る。しかし、第1成分群、第2成分群の定量演算方法は
同一であるので、一つの成分群にまとめて定量してもよ
いことは勿論である。
Further, as for the first component group, since there are no other interference components, the four components (CO, CO 2 , NO, H
In consideration of only 2 O), a quantitative calculation may be performed in the wave number range. In addition, for the second component group, a quantitative calculation is performed in the wave number range in consideration of other components (H 2 O, CO 2 , C 2 H 4 , and C 3 H 6 ) that cause interference. in this way,
The components quantified by the same relative absorbance method are also the first component group and the second component group.
By dividing into component groups, the amount of memory used on the computer can be reduced, and quantitative calculation can be performed at higher speed. However, since the quantitative calculation method for the first component group and the second component group is the same, it is a matter of course that the quantitative determination may be performed for one component group.

【0050】次に、第3および第4成分群については、
吸収がブロードであり、しかも、吸収のある波数範囲お
よびその形状が互いに似通っているので、前記相対吸光
度法を適用した場合、精度的に不十分となりやすい。そ
こで、これらの成分群には、従来から一般に用いられて
いるPLS法と呼ばれる手法を用いる。この手法におい
ては、定量したい化合物の濃度既知の吸収スペクトルを
参照スペクトルとして予め濃度演算用の行列を作成して
おくものである。なお、このPLS法は、例えば、Prac
tical Fourier Transform Infrared Spectroscopy, Aca
demic Press 、Lindberg, W., et al., Anal.Chem., 19
83, 55, 643 、Haaland, D.M., Thomas,E.V., Anal.Che
m., 1988, 60, 1193 、Geladi, P., Kowalsky, B. R.,
Anal.Chem. Acta.,1986, 185 、Wold, S., et al., Mat
rix Pencil, Springer Verlagなどに詳しく説明されて
いる。
Next, regarding the third and fourth component groups,
Since the absorption is broad and the wave number range and the shape of the absorption are similar to each other, the accuracy tends to be insufficient when the relative absorbance method is applied. Therefore, a technique called PLS method, which has been generally used, is used for these component groups. In this method, a matrix for concentration calculation is created in advance using an absorption spectrum having a known concentration of a compound to be quantified as a reference spectrum. Note that this PLS method is, for example, Prac
tical Fourier Transform Infrared Spectroscopy, Aca
demic Press, Lindberg, W., et al., Anal.Chem., 19
83, 55, 643, Haaland, DM, Thomas, EV, Anal.Che
m., 1988, 60, 1193; Geladi, P., Kowalsky, BR,
Anal.Chem. Acta., 1986, 185, Wold, S., et al., Mat.
It is described in detail in rix Pencil, Springer Verlag, etc.

【0051】前記PLS法は、相対吸光度法に比べる
と、メモリの使用量が多く、計算速度も遅いが、ブロー
ドな吸収をも比較的精度よく定量できる。そして、この
PLS法を用いる場合においても、定量に使用する波数
範囲は赤外の全領域である必要はなく、例えば第3成分
群については、 800〜1100cm-1、第4成分群について
は、2800〜3100cm-1の限定された範囲でよい。また、
第3成分群については、他に干渉成分として、CO2
2 O、NH3 も考慮して、前記波数範囲で定量演算を
行う。同様に、第4成分群については、H2 O、C
4 、C2 4 、C36 も考慮した上で、前記波数範
囲で定量演算を行う。このように、同じPLS法で定量
する成分も第3成分群、第4成分群に分けることによっ
て、計算機上のメモリ使用量を減らし、定量演算速度を
速めることができる。しかし、第3成分群、第4成分群
の定量演算方法は同一であるので、一つの成分群にまと
めて定量してもよいことは勿論である。
The PLS method requires a larger amount of memory and a lower calculation speed than the relative absorbance method, but can quantitatively determine a broad absorption with relatively high accuracy. And even when using this PLS method, the wave number range used for quantification does not need to be the whole infrared region. For example, for the third component group, 800 to 1100 cm −1 , and for the fourth component group, A limited range of 2800-3100 cm -1 may be used. Also,
As for the third component group, CO 2 ,
In consideration of H 2 O and NH 3 , a quantitative calculation is performed in the wave number range. Similarly, for the fourth component group, H 2 O, C
In consideration of H 4 , C 2 H 4 , and C 3 H 6 , a quantitative calculation is performed in the wave number range. In this manner, the components quantified by the same PLS method are also divided into the third component group and the fourth component group, so that the memory usage on the computer can be reduced and the quantitative calculation speed can be increased. However, since the third component group and the fourth component group have the same quantitative calculation method, it goes without saying that the quantification may be performed collectively in one component group.

【0052】上述の説明から理解されるように、多成分
を同時に定量する場合、測定対象成分を複数のグループ
に分け、定量し易いグループ(例えば吸収ピークがシャ
ープまたは特徴的であったり、吸収のある領域が他成分
と重複しなかったり、吸収強度が強いなどと云った成分
からなるグループ)については、十分な精度が得られる
定量法のうちから、演算処理の簡単な方法や計算機上の
メモリが少ない方法を適用する。逆に、定量が困難であ
るグループ(吸収がブロードで特徴が少なく、他成分と
吸収領域が重なるなどと云った成分からなるグループ)
については、多少の条件(演算速度やメモリ使用量な
ど)を犠牲にしても、精度の点で最適な手法を適用する
のである。
As will be understood from the above description, when simultaneously quantifying multiple components, the components to be measured are divided into a plurality of groups, and groups which are easy to quantify (for example, the absorption peak is sharp or characteristic, For a group consisting of components where a certain region does not overlap with other components or the absorption intensity is strong, of the quantitative methods that provide sufficient accuracy, simple methods of arithmetic processing and memory Apply less method. Conversely, groups that are difficult to quantify (groups composed of components such as broad absorption with few features and overlapping of other components with the absorption region)
For, the most appropriate method is applied in terms of accuracy, even if some conditions (such as calculation speed and memory usage) are sacrificed.

【0053】なお、これらの場合、計算に用いる波数
は、上述の例のように、重複してもよい。また、定量方
法の種類と数にはこだわらなくてもよく、例えば従来か
ら一般に用いられているCLS(Classical Least Squa
re)法なども用いてもよい。さらに、本発明は、ガス分
析計に限られるものではなく、また、FTIRを用いた
分析に限られるものではない。
In these cases, the wave numbers used in the calculation may overlap as in the above-described example. In addition, the type and number of the quantification method need not be limited. For example, CLS (Classical Least Squa
The re) method may be used. Furthermore, the present invention is not limited to gas analyzers, nor is it limited to analysis using FTIR.

【0054】[0054]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
定量対象とする成分毎に適切な定量方法を採用すること
で、分析計全体の精度を高めることができ、多成分を同
時に精度よく定量できる。そして、計算機上のメモリや
計算速度を最小限に抑えることができる。
As described above, according to the present invention,
By employing an appropriate quantification method for each component to be quantified, the accuracy of the entire analyzer can be improved, and multiple components can be simultaneously quantified with high accuracy. Then, the memory and the calculation speed on the computer can be minimized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明方法を実施するための装置の一例を概略
的に示す図である。
FIG. 1 is a diagram schematically showing an example of an apparatus for carrying out the method of the present invention.

【図2】本発明方法の一実施例に用いられる演算手法を
説明するために示した模式的なガスの吸収スペクトルと
それに対する相対吸光度の図である。
FIG. 2 is a diagram of a schematic absorption spectrum of a gas and a relative absorbance thereof for explaining a calculation method used in an embodiment of the method of the present invention.

【図3】同実施例における成分群を一般化して、ガス種
に対する波数点の指定例を示した図である。
FIG. 3 is a diagram showing an example of specifying a wave number point for a gas type by generalizing the component group in the embodiment.

【図4】同実施例における一般化した成分群の吸収スペ
クトルを示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing an absorption spectrum of a generalized component group in the example.

【図5】同実施例における一般化した成分群の吸収スペ
クトルから算出される成分スペクトルの一例を示す図で
ある。
FIG. 5 is a diagram showing an example of a component spectrum calculated from an absorption spectrum of a generalized component group in the embodiment.

【図6】同実施例における一般化した成分群に対応する
参照成分スペクトルを示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing a reference component spectrum corresponding to a generalized component group in the embodiment.

【図7】同実施例における測定試料の吸収スペクトルか
ら算出される成分スペクトルを示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing a component spectrum calculated from an absorption spectrum of a measurement sample in the example.

【図8】COの吸収スペクトルを示す図である。FIG. 8 is a diagram showing an absorption spectrum of CO.

【図9】CO2 の吸収スペクトルを示す図である。FIG. 9 is a diagram showing an absorption spectrum of CO 2 .

【図10】NOの吸収スペクトルを示す図である。FIG. 10 is a diagram showing an absorption spectrum of NO.

【図11】H2 Oの吸収スペクトルを示す図である。FIG. 11 shows an absorption spectrum of H 2 O.

【図12】NH3 の吸収スペクトルを示す図である。FIG. 12 shows an absorption spectrum of NH 3 .

【図13】CH4 の吸収スペクトルを示す図である。FIG. 13 shows an absorption spectrum of CH 4 .

【図14】C2 4 の吸収スペクトルを示す図である。FIG. 14 shows an absorption spectrum of C 2 H 4 .

【図15】C3 6 の吸収スペクトルを示す図である。FIG. 15 shows an absorption spectrum of C 3 H 6 .

【図16】C2 6 の吸収スペクトルを示す図である。FIG. 16 shows an absorption spectrum of C 2 H 6 .

【図17】C3 8 の吸収スペクトルを示す図である。FIG. 17 shows an absorption spectrum of C 3 H 8 .

【図18】n−C4 10の吸収スペクトルを示す図であ
る。
FIG. 18 is a diagram showing an absorption spectrum of nC 4 H 10 .

【図19】iso −C4 10の吸収スペクトルを示す図であ
る。
FIG. 19 shows an absorption spectrum of iso-C 4 H 10 .

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…FTIR、2…分析部、4…光源。 1 FTIR, 2 analysis part, 4 light source.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭54−84781(JP,A) 特開 平4−60442(JP,A) 特開 昭64−73239(JP,A) 特開 平3−114441(JP,A) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-54-84781 (JP, A) JP-A-4-60442 (JP, A) JP-A-64-73239 (JP, A) JP-A-3- 114441 (JP, A)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 試料に対して光源から光を照射し、その
とき得られる吸収スペクトルに基づいて演算処理を行う
ことにより試料中に含まれる多成分の濃度を同時に定量
分析する方法において、前記多成分を吸収のピークの形
状および定量に使用する波数範囲に基づいて複数の成分
群にグループ分けし、各成分群について前記定量に使用
する波数範囲にわたり吸収ピークに応じた最も適切な定
量演算手法を用いて各成分の濃度を求めるようにしたこ
とを特徴とする分光分析における多成分分析方法。
1. A method for irradiating a sample with light from a light source and performing an arithmetic process based on an absorption spectrum obtained at that time to simultaneously quantitatively analyze the concentrations of multiple components contained in the sample. based on the wave number range to use components in the shape and quantification of the peak of the absorption grouped into a plurality of component groups, used in the quantification for each component group
A multi-component analysis method in spectral analysis, wherein the concentration of each component is determined using the most appropriate quantitative calculation method according to the absorption peak over a range of wave numbers .
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