JP2715345B2 - ２つの領域の動的分離方法および装置 - Google Patents

２つの領域の動的分離方法および装置

Info

Publication number
JP2715345B2
JP2715345B2 JP3073688A JP7368891A JP2715345B2 JP 2715345 B2 JP2715345 B2 JP 2715345B2 JP 3073688 A JP3073688 A JP 3073688A JP 7368891 A JP7368891 A JP 7368891A JP 2715345 B2 JP2715345 B2 JP 2715345B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
regions
flow
relatively slow
region
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP3073688A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH04222639A (ja
Inventor
フランスワ・メリネ
ロベル・グエトロン
Original Assignee
エス・ジェ・エヌ・ソシエテ・ジェネラル・プール・レ・テクニク・ヌヴェレ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by エス・ジェ・エヌ・ソシエテ・ジェネラル・プール・レ・テクニク・ヌヴェレ filed Critical エス・ジェ・エヌ・ソシエテ・ジェネラル・プール・レ・テクニク・ヌヴェレ
Publication of JPH04222639A publication Critical patent/JPH04222639A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2715345B2 publication Critical patent/JP2715345B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F9/00—Use of air currents for screening, e.g. air curtains
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
    • F24F3/163—Clean air work stations, i.e. selected areas within a space which filtered air is passed
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F9/00—Use of air currents for screening, e.g. air curtains
    • F24F2009/007—Use of air currents for screening, e.g. air curtains using more than one jet or band in the air curtain

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
  • Automatic Assembly (AREA)
  • Ventilation (AREA)
  • Networks Using Active Elements (AREA)
  • Cyclones (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、その一方が外部雰囲気
に対するその閉じ込めが保持されねばならない制御され
た雰囲気下にある２つの領域の動的分離の保証を確実に
する２つの領域の動的分離方法に関する。本発明は、ま
た、この方法を実施するための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】核産業、医学、生物学およびアグロアリ
メンタリ産業のごとき種々の産業分野において、しばし
ば、有害または危険な閉じ込め雰囲気から領域外部の人
間を保護するためにまたは周囲雰囲気により閉じ込め雰
囲気が汚染されるのを阻止するためにまたは同時にこれ
らの機能を実行するために、幾つかの領域を外部雰囲気
から隔離する必要がある。
【０００３】多くの場合に、これらの制限は所望の閉じ
込めを保証する緊密な壁により制御された雰囲気下で領
域の限定に至る。しかしながら、産業分野に関係なく、
オペレータは閉じ込めバリヤを通して、制御された雰囲
気内で作業すべきかも知れず、一方一定の運動の自由を
有する。このため、幾つかの場合には、制御された雰囲
気下の領域を画成する固い壁を当該領域の閉じ込めを保
持する動的バリヤにより少なくとも部分的に置換する必
要がある一方動的バリヤを介しての容易な介入を許容す
る。
【０００４】特に、ヨーロツパ特許第９９８１８号によ
り例示されるように、開口内に保護されるべき外部雰囲
気側に配置された比較的速い流れおよび最初に述べられ
た流れに隣接しかつ危険な製品を収容する領域の側に配
置される比較的遅い流れを有するガスカーテンを作るこ
とにより、開口に接近可能でかつ外部フランスを汚染す
るかも知れない危険な製品を収容する閉じ込め領域から
外部雰囲気を保護することが提案されている。
【０００５】前記書類において、２つの領域の動的分離
が有効であるために、比較的遅い流れの舌状流域、すな
わち、注入されたガスが周囲雰囲気と混ざらずかつすべ
ての点において等しいベクトル速度を有する前記流れの
領域が開口の長さに少なくとも等しい長さを有し、その
結果本質的に前記舌状流域は２つの領域を完全に分離す
る。さらに、比較的遅い流れのガスの注入量は比較的速
い流れの面により誘起される流量に実質上等しく、その
結果比較的速い流れはその通路が一方側または他方側か
ら屈曲されることなしに完全に発生することができる。
【０００６】このようにして形成されたガスカーテンに
おいて、比較的遅い流れがその舌状流域の結果として２
つの領域間の効果的な分離を保証しかつ比較的速い流れ
がそのための「ダイナミツク・テユータ（動的抑制）」
を構成することにより比較的遅い流れを安定化する。
【０００７】これらの特徴は、この方向への空気または
ガスの変位が次いで比較的速い流れを支持する比較的遅
い流れの舌状流域に遭遇するため、閉じ込め領域から外
部雰囲気への汚染された雰囲気のどのような通過も回避
することが可能である。しかしながら、この動的閉じ込
めはさらにガスバリヤのあらゆる点での多数の介入を許
容する。
【０００８】しかしながら、このようにして作られた動
的バリヤは他の方向において有効でない。したがつて、
外部雰囲気からかつ閉じ込め領域に向けられた空気また
はガスの流れは閉じ込め領域に向かって比較的遅い流れ
の舌状流域を内方に屈曲するかも知れず、閉じ込めを破
壊する。
【０００９】さらにかつ公知の方法において可動ガス流
れがその通路の両側で、ガスの速度により上昇する真空
を作る。この真空は周囲ガスを吸い込みかつその前進の
間中流れの漸進的な広がりを生じる。この広がりは適切
な量のガスが比較的速い流れの両側に存在することを明
らかに前もつて予想する。反対の場合に、流れはガス供
給が不適切である側から屈曲する傾向がある。
【００１０】ヨーロツパ特許第９９８１８号に記載され
たガスカーテンの場合において、比較的速い流れが１側
で比較的遅い流れによりかつ他側で外部雰囲気により供
給される。
【００１１】
【発明が解決すべき課題】しかしながら、装置が反対方
向（すなわち閉じ込め領域の側で比較的速い流れによ
り）使用されるならば、外部雰囲気から閉じ込め領域に
収容された雰囲気を保護するために、前記閉じ込め領域
の側から比較的速い流れにガスを供給するための手段を
設けることが必要である。
【００１２】それゆえ、後者の場合において、制御され
た雰囲気下で領域に比較的高い流量によりガスを注入す
ることが必要である。前記ガスが不活性ガスであると
き、これは装置の運転コストに不利となる高い消費を生
じる。
【００１３】さらに、しばしば、例えば外部を閉じ込め
領域内の汚染から保護する一方外部に対して閉じ込め領
域の閉じ込めを維持するために、２つの領域間に両方向
に有効な動的バリヤを有することが望ましい。
【００１４】本発明の目的は、とくに、２つの領域内の
ガス消費を極めて顕著に減少しかつ両方向において有効
な動的分離を保証するような方法で設計される２つの領
域の動的分離方法および装置を提供することにある。
【００１５】
【問題を解決するための手段】それゆえ、本発明は、２
つの領域を動的に分離する２つの領域の動的分離方法に
おいて、前記２つの領域の他方に対して一方を保護する
ために、前記２つの領域の間には第１領域の側に配置さ
れた比較的速い流れをかつ他方の領域の側で比較的速い
流れに隣接する比較的遅い流れを有するガスカーテンが
形成され、前記比較的遅い流れが２つの領域を完全に分
離する舌状流域を有し、また前記ガスカーテンが第１領
域側で比較的速い流れに隣接する第２の比較的遅い流れ
を有し、前記第２の比較的遅い流れが前記２つの領域を
完全に分離する舌状流域を有することを特徴とする２つ
の領域の動的分離方法を提供する。
【００１６】また、本発明は、２つの領域を完全に分離
するガスカーテンを放出することができる複数のノズ
ル、および前記複数のノズルに面して位置決めされかつ
これらのノズルに対して平行に方向付けされた吸い込み
グリツドまたは格子である前記ガスカーテン用吸い込み
手段を有し、前記複数のノズルが前記他方の領域から保
護されるような前記領域の一方の側で比較的速いガス流
れを放出することができる第１ノズルをかつ前記他方の
領域側で前記第１ノズルに隣接しかつ比較的遅い流れを
放出することができる第２ノズルを有し、該第２ノズル
の幅が前記ガスカーテンの長さの少なくとも１／６に等
しく、かつ第１領域側で前記第１ノズルに隣接しかつ比
較的遅い流れを放出することができる第３ノズルからな
り、該第３ノズルの幅が前記ガスカーテンの長さの少な
くとも１／６に等しいことを特徴とする２つの領域の動
的分離装置を提供する。
【００１７】前記領域の一方がエンクロージヤによつて
画成され、該エンクロージヤ内に比較的遅い流量でガス
流を拡散するための手段が設けられ、前記比較的遅い流
量は前記エンクロージヤによつて画成される領域に隣接
する比較的遅い流れの面によつて誘起される流量に等し
い。
【００１８】本発明を以下に非限定的な実施例および添
付図面を参照してより詳細に説明する。
【００１９】
【実施例】本発明によればかつ図１および図２に極めて
概略的に示されるように、２つの領域１０および１２の
前記動的分離は主としてガスカーテン１６を２つの領域
１０および１２の間に形成することを可能にする複数の
ノズル、ならびに前記ガスカーテン用の吸い込み手段１
８からなる装置によつて引き起こされる。
【００２０】図示実施例において、領域１０は、外部に
向けて開放されるその前面を除いて、壁２０によりすべ
ての面に画成された長方形の平行六面体のように形成さ
れる閉じ込め領域である。とくに、図２は前記壁２０の
底部２０ａ、頂部２０ｂおよび垂直端２０ｃを示す。領
域１０の前面はその上方端がその長さ全体にわたつて頂
部２０ｂに固定される複数のノズル１４を支持しかつそ
の下方端がその長さ全体にわたつて底部２０ａに固定さ
れる吸い込み手段１８を支持する入口開口を画成するよ
うに開放される。
【００２１】本発明による装置が、これが１またはそれ
以上の異なる形状の開口を有するエンクロージヤによつ
て画成される領域の動的閉じ込めを保証するためか、ま
たは室内に、他の材料壁によることなく閉じ込められる
領域を画成するためであるかに関係なく、他の多くの場
合に使用されることができることは容易に明らかであ
る。この後者の場合はとくに当該領域にかぶさりかつす
べてのノズルを支持する円形、矩形または同様な傾斜か
ら作業テーブルまたはベツドの保護に適用される。
【００２２】温度、湿度、ガス濃度等のごとき、閉じ込
め領域１０内の物理的かつ化学的特性は公知の手段によ
つて任意に制御されることができる。
【００２３】図１に示されるように、複数のノズル１４
は、本発明によれば、それぞれ２２，２４および２６で
示される３つの並置されたノズルからなる。実際に、こ
れらのノズルの各々は、例えば矩形断面を有しかつ壁２
０に形成された、すなわち、例えばグリツドまたは格子
の形において吸い込み手段１８に面している開口側で開
放されるケースによつて構成される。
【００２４】中央ノズル２４の開口は比較的小さな幅
（例えば約６ｍｍ）を有し、その結果前記ノズル１４を
出ているガス流れまたは噴流２８の速度は、低い流量
（例えば約１００ｍ 3 /ｈ）に関して、比較的高い（例
えば約４ｍ／ｓ）である。しかしながら、領域１０の側
にかつ領域１２の側にそれぞれ配置されかつ好ましくは
同一の特性を有するノズル２２および２６は比較的大き
な幅（約２００ｍｍ）の開口を有し、その結果ノズル内
の平均ガス注入流量（例えば約４４０ｍ 3／ｈ）に関し
て、ノズルを出ているガス流れ３０，３２は比較的低い
速度（例えばおよそ０．４ｍ／ｓ）を有する。
【００２５】本発明の第１の必須な特徴によれば、ガス
流れ３０，３２の舌状流域、すなわち注入されたガスが
周囲雰囲気と混ざらずかつすべての点において等しいベ
クトル速度を有する前記ガス流れの領域は本発明による
装置が領域１０および１２の間の動的分離を保証する開
口の高さに少なくとも等しい長さを有する。言い換えれ
ば、２つの舌状流域３０ａ，３２ａは領域１０と１２と
の間の完全な動的分離を保証する。開口の高さが吸い込
み手段１８から複数のノズル１４を分離する間隔により
画成される図１１に示された場合において、これら舌状
流域３０ａ，３２ａの各々の長さは前記間隔に少なくと
も等しい。
【００２６】実際に、ガス流れの舌状流域の長さが前記
ガス流れを放出するノズルに形成されたスロツトの幅の
約６倍に等しいという事実に鑑みて、ノズル２２および
２６に形成されたスロツトの幅は、吸い込み手段１８か
ら複数のノズル１４を分離する間隔の少なくとも約１／
６に等しい。ノズル２２，２６のスロツトの幅がほぼ２
００ｍｍである当該例において、保護される開口の高さ
は結果としてほとんど約１２００ｍｍに等しい。したが
つて、本発明による装置において、比較的遅い流れ３
０，３２の舌状流域３０ａ，３２ａの各々によつて保証
される領域１０と１２との間の２重の動的分離がある。
【００２７】ガス流れ３０，３２の比較的低い速度を考
慮して、各流れは、比較的速いガス流れ２８が不存在な
らば、例えば領域１０および１２内の空気流の作用によ
り、屈曲されるかも知れない。しかしながら、ノズル２
４によつて放出されたガス流れ２８の速度は前記流れが
各流れ３０，３２用の支持体として役立つことができる
ように充分に高い。それゆえ、後者は安定化されかつ考
え得る空気流によりそれらの変形を結果として生じる閉
じ込めの破壊の危険が除去される。
【００２８】公知の方法において、ノズルから出ている
ガス流は、その幅がノズルから離れて移動するとき漸進
的に減少する上述した舌状流域に加えて、その幅がノズ
ルから離れて移動するとき漸進的に増加しかつノズルに
よつて注入されるガスが周囲ガスと吸い込みにより混ざ
る流れまたは噴流の全発生領域を有する。この全噴流発
生領域において、ノズルによつて放出されたガスは周囲
ガスによつて「送給」される。容易に明らかなように、
発生しているガス流に供給されねばならない周囲ガス量
は前記流れ内でガスの速度により増加する。かくして、
流れにより形成された真空はその場合により高くかつそ
れを充填するのに必要なガス量はしたがつてより大き
い。
【００２９】この観察が本発明による装置に適用される
ならば、ノズル２４からの比較的速いガス流２８が、該
ガス流２８が前記流れ３０，３２間に直接配置されるた
め、ノズル２２，２６からの比較的遅いガス流３０，３
２によつて送給されねばならない。したがつて、比較的
速いガス流２８は比較的遅いガス流３０，３２によつて
完全に送給される。比較的遅いガス流がこの機能を完全
に実行することができるために、前記ノズル２２および
２６からのガス流量はその完全な発生に必要なガス量で
比較的速いガス流２８を供給するように調整されねばな
らない。言い換えれば、ノズル２２および２６によつて
注入されるガス流量は比較的遅いガス流３０，３２とそ
れぞれ接触して比較的速いガス流２８の面の各々によつ
て誘起される流量に実質上等しくなければならない。
【００３０】ガス流３０，３２が比較的遅いということ
に鑑みて、それぞれ領域１０に向けられる流れ３０の面
上でかつ領域１２に向けられる流れ３２の面上でそれら
の完全な発生に必要なガスの付加は比較的低い。したが
つて、領域１０および１２の容量が充分に大きいなら
ば、ガス流３０および３２に送給するのに使用されるガ
ス量を補正するためにこれらの領域へのガス付加を実施
するのは無意味であると思われる。
【００３１】領域１０のごとき、領域の一方が比較的小
さな容量を有する図１および図２に示される場合に、そ
れにガス３０に取られるガスの部分を補正するのに使用
されるガス流を規則的に導入するのが有用である。しか
しながら、前記ガス流の低い速度により、追加のガス流
は、比較的速いガス流が室内に閉じ込められた雰囲気と
直接接触するとき、従来技術において、比較的速いガス
流を送給するのに必要であつた流量に比して非常に低
い。
【００３２】吸い込み手段１８は、その長さ全体にわた
つてかつ流れ３０および３２の発生を考慮する幅にわた
つて、複数のノズル１４に対して平行にかつ該ノズルの
前方に延在するグリツドまたは格子３４によつて好都合
に構成される。このグリツド３４は吸い込み室３５（図
２）の上方壁を構成する。
【００３３】吸い込み室３５と複数のノズル１４との間
には図示してないガス回路が配置され、該ガス回路は一
般に閉止されかつグリツド３４をとおって回収されたガ
スのの再循環およびとくに前述された条件を考慮するよ
うに、そのガスの制御された流量での複数のノズル１４
を介しての再注入を可能にする。ヨーロツパ特許第９９
８１８号に記載された回路に匹敵し得る方法において設
計されることができるこの回路はグリツド３４を介して
流れ２８，３０によつて形成されたガスカーテンの吸い
込みを可能にする手段、前記ガスを純化する手段および
所望の流量で複数のノズル１４の各ノズルにガスを再注
入するための手段からなる。種々の条件を考慮する任意
の方法において設計されることができるこの回路は本発
明の部分を形成しない。
【００３４】前述した説明は本発明による装置が３つの
並置されたガス流から形成されかつ一方で領域１２から
の領域１０の保護をかつ他方で領域１０から領域１２の
保護を保証する対称的なガスカーテンの形成を可能にす
ることを明らかにする。第１の保護は比較的遅いガス流
３０の舌状流域３０ａにより形成される手段および該ガ
ス流３０を安定化する比較的速いガス流２８により領域
１０に収容される雰囲気を領域１２に通す傾向のあるガ
ス流に関連して保証される。領域１２に収容される雰囲
気を領域１０に通す傾向があるガス流に対する保護は比
較的速いガス流２８によつて安定化される比較的遅いガ
ス流３２の舌状流域３２ａによつて保証される。これ
は、とくに領域１０が領域１２に収容される外部雰囲気
の汚染から保護されねばならない雰囲気を収容するとき
かつ領域１０に収容される雰囲気が領域１２の外部雰囲
気に達すると危険である種々の工業的用途に有用である
クロスプロテクシヨン（相互保護）を導く。
【００３５】障害物が複数のノズル１４によつて放出さ
れる３つのガス流を横切らないとき、これらのガス流に
よつて形成されるガスカーテンはしたがつて外部領域１
２からの制御された領域１０の完全な隔離かつ逆に制御
された領域１０からの外部領域１２の隔離を保証する。
【００３６】ゆっくり移動する障害物（領域１２から領
域１０に作用するマニピユレータアームのごとき）の存
在において、前記２つの領域間の隔離が維持される。
【００３７】図２に示されるように、制御された領域１
０を画成する壁２０の後面２０ｃは、記載された実施例
において、穿孔３８によつて領域１０と連通するガス流
入室３６を内部に画成する２重壁からなる。室３６は、
領域１０のガス状雰囲気が穿孔３８の寸法の関数として
最適化される制御された流量で更新されるような方法に
おいて、図示してないガス源に接続され、その結果それ
は複数のノズル１４を出ているガス流の方向を変更しな
い。
【００３８】前述されたように、比較的速い中間の流れ
２８および比較的遅い横方向の流れ３０および３２を有
する３つの並置されたガス流を放出する複数のノズル１
４の使用は比較的速い流れが制御された領域に収容され
た雰囲気と直接接触した従来技術の装置に比して領域１
０内に導入されるガス量を極めて顕著に減少することを
可能にする。したがつて、数ｍ 3 /ｈの流量が図２の場
合に適切である一方、従来技術の装置によれば約４７０
ｍ 3／ｈの流量が必要であった。
【００３９】図２はまた例示された方法において制御さ
れた領域１０内で本発明による動的分離装置によつて提
供される本発明の多数の可能性の１つを示す。この場合
に、マスタースレーブテレマニピユレータ４０がマスタ
アーム４２が外部領域１２にかつスレーブアーム４４が
閉じ込め領域１０に配置されるような方法において、複
数のノズル１４によつて形成されたガスカーテンを横切
る。前記テレマニピユレータ４０の中央ブロツク４６は
頂部２０ｂに固定されたレール５２上を走行することが
できるキヤリツジ５０に接続されかつ壁２０の前面に形
成された開口に、すなわち複数のノズル１４および吸い
込み手段１８に対して平行な方向にに延在する支持体４
８に取り付けられる。
【００４０】この配置の結果として、単一のテレマニピ
ユレータによつて、その長さに関係なく、領域１０のい
ずかの点に介在することができる。ガス流２８，３０，
３２を横切る中央ブロツク４６は舌状流域３０ａ，３２
ａを交差または切断する作用を有する。しかしながら、
流れ３０，３２の遅さにより、交差ブロツク４６により
形成される障害物に対して２つのガス流内に流れるガス
の分離はない。さらに、中間のガス流２８は、その速度
の結果として、遅い噴流に拡散したかも知れない大きな
比率の汚染物質をすぐに放出することができる。したが
つて、領域１０と１２との間の動的分離は維持される。
【００４１】エンクロージヤ内の補完的なガス流の存在
は領域１２からの汚染物質によるエンクロージヤ雰囲気
の非汚染の補完的な保証を導く。
【００４２】明らかなように、本発明による動的分離装
置により得られたガスカーテンは領域１０の任意の点で
外部からオペレータが介入することを可能にする他の工
具または部材により横断されることができる。事実上、
それは外部からオペレータにより操作される軽量の把持
工具、または同様にオペレータのアームであつても良
い。
【００４３】本発明は前記の例示された実施例に限定さ
れずかつそのすべての変形例を保護する。とくに、３つ
の並置されたガス流により得られる動的分離はより大き
な室内の付与された領域が材料バリヤによつて画成され
ることなしにこのより大きな室内の付与された領域を隔
離するのに使用されることができる。さらに、複数のノ
ズルおよび吸い込み手段の配置は異なる方法において実
施されることができ、これらのノズルを開口の水平縁部
またはリムに配置する必要はない。
【００４４】以上説明したように、本発明は、２つの領
域を動的に分離する２つの領域の動的分離方法におい
て、前記２つの領域の他方に対して一方を保護するため
に、前記２つの領域の間には第１領域の側に配置された
比較的速い流れをかつ他方の領域の側で比較的速い流れ
に隣接する比較的遅い流れを有するガスカーテンが形成
され、前記比較的遅い流れが２つの領域を完全に分離し
かつ前記比較的遅い流れと接触して比較的速い流れの面
により誘起される流量に等しい流量で注入される舌状流
域を有し、このようにして形成されたガスカーテンがま
た第１領域側で比較的速い流れに隣接する第２の比較的
遅い流れを有し、前記第２の比較的遅い流れが前記２つ
の領域を完全に分離する舌状流域を有しかつ前記第２の
比較的遅い流れと接触して前記比較的速い流れの面によ
り誘起された流量に等しい流量で注入される構成とし、
１、２の領域を完全に分離するガスカーテンを放出する
ことができる複数のノズル、および前記ガスカーテン用
吸い込み手段を有し、前記複数のノズルが前記他方の領
域から保護されるような前記領域の一方の側で比較的速
いガス流れを放出することができる第１ノズルをかつ前
記他方の領域側で前記第１ノズルに隣接しかつ比較的遅
い流れを放出することができる第２ノズルを有し、該第
２ノズルの幅が前記ガスカーテンの長さの少なくとも１
／６に等しく、前記複数のノズルは、第１領域側で、前
記第１ノズルに隣接しかつ比較的遅い流れを放出するこ
とができる第３ノズルからなり、該第３ノズルの幅が前
記ガスカーテンの長さの少なくとも１／６に等しい構成
としたので、領域内でのガス消費を非常に減少しかつ両
方向における効果的な動的分離を確実にする２つの領域
の動的分離方法および装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】その１つがエンクロージヤ内に画成される２つ
の領域の動的分離を保証する本発明による装置を略示す
る概略断面図である。
【図２】図１のかつ非常に変化された操作が実施可能で
なければならない作業領域の閉じ込めに適用される動的
分離装置を示す部分断面斜視図である。
【符号の説明】
１０ 領域 １２ 領域 １４ 複数のノズル １６ ガスカーテン １８ 吸い込み手段 ２２ ノズル ２４ ノズル ２６ ノズル ２８ 比較的速いガス流 ３０ 比較的遅いガス流３０ａ 舌状流域 ３２ 比較的遅いガス流 ３２ａ 舌状流域
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ロベル・グエトロン フランス国 92160 アントニー、リ ュ・ドゥ・シャテナ 49 (56)参考文献 特開 昭63−156963（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−85555（ＪＰ，Ａ)

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ２つの領域１０，１２を動的に分離する
    ２つの領域の動的分離方法において、前記２つの領域の
    他方に対して一方を保護するために、前記２つの領域１
    ０，１２の間には第１領域１０の側に配置された比較的
    速い流れ２８をかつ他方の領域の側で比較的速い流れに
    隣接する比較的遅い流れ３２を有するガスカーテン１６
    が形成され、前記比較的遅い流れ３２が２つの領域１
    ０，１２を完全に分離する舌状流域３２ａを有し、また
    前記ガスカーテン１６が第１領域１０側で比較的速い流
    れ２８に隣接する第２の比較的遅い流れ３０を有し、前
    記第２の比較的遅い流れが前記２つの領域１０，１２を
    完全に分離する舌状流域３０ａを有することを特徴とす
    る２つの領域の動的分離方法。
  2. 【請求項２】 ２つの領域１０，１２を完全に分離する
    ガスカーテン１６を放出することができる複数のノズル
    ２２，２４，２６、および前記複数のノズルに面して位
    置決めされかつこれらのノズルに対して平行に方向付け
    された吸い込みグリツドまたは格子である前記ガスカー
    テン用吸い込み手段１８を有し、前記複数のノズルが前
    記他方の領域１２から保護されるような前記領域の一方
    の側で比較的速いガス流れ２８を放出することができる
    第１ノズル２４をかつ前記他方の領域側で前記第１ノズ
    ルに隣接しかつ比較的遅い流れ３２を放出することがで
    きる第２ノズル２６を有し、該第２ノズルの幅が前記ガ
    スカーテン１６の長さの少なくとも１／６に等しく、か
    つ第１領域１０側で前記第１ノズルに隣接しかつ比較的
    遅い流れ３０を放出することができる第３ノズル２２か
    らなり、該第３ノズルの幅が前記ガスカーテン１６の長
    さの少なくとも１／６に等しいことを特徴とする２つの
    領域の動的分離装置。
  3. 【請求項３】 前記領域の一方がエンクロージヤによつ
    て画成され、該エンクロージヤ内に比較的遅い流量でガ
    ス流を拡散するための手段が設けられ、前記比較的遅い
    流量は前記エンクロージヤによつて画成される領域に隣
    接する比較的遅い流れの面によつて誘起される流量に等
    しいことを特徴とする請求項２に記載の２つの領域の動
    的分離装置。
JP3073688A 1990-03-14 1991-03-14 ２つの領域の動的分離方法および装置 Expired - Fee Related JP2715345B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9003255 1990-03-14
FR9003255A FR2659782B1 (fr) 1990-03-14 1990-03-14 Procede et dispositif de separation dynamique de deux zones.

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04222639A JPH04222639A (ja) 1992-08-12
JP2715345B2 true JP2715345B2 (ja) 1998-02-18

Family

ID=9394725

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3073688A Expired - Fee Related JP2715345B2 (ja) 1990-03-14 1991-03-14 ２つの領域の動的分離方法および装置

Country Status (8)

Country Link
US (1) US5145459A (ja)
EP (1) EP0447314B1 (ja)
JP (1) JP2715345B2 (ja)
AT (1) ATE91339T1 (ja)
DE (1) DE69100151T2 (ja)
DK (1) DK0447314T3 (ja)
ES (1) ES2043442T3 (ja)
FR (1) FR2659782B1 (ja)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2652520B1 (fr) * 1989-10-02 1992-02-07 Sgn Soc Gen Tech Nouvelle Procede et dispositif pour maintenir une atmosphere propre a temperature regulee sur un poste de travail.
US5207830A (en) * 1990-03-21 1993-05-04 Venture Innovations, Inc. Lightweight particulate cementitious materials and process for producing same
US5316794A (en) * 1992-12-11 1994-05-31 Applied Materials, Inc. Method for servicing vacuum chamber using non-reactive gas-filled maintenance enclosure
NL9301661A (nl) * 1993-09-27 1995-04-18 Biddle F H Bv Meervoudig gasgordijn.
FR2730297B1 (fr) * 1995-02-02 1997-05-09 Soc Generale Pour Les Techniques Nouvelles Sgn Procede et dispositif de confinement, notamment d'une atmosphere particuliere dans un espace de traitement en continu de produits traversants
FR2740205B1 (fr) * 1995-10-23 1998-01-09 Unir Ultra Propre Nutrition In Dispositif de protection contre l'aerocontamination
TW353137B (en) * 1996-03-28 1999-02-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd Manufacturing apparatus with cleaning mechanism and cleaning method
FR2756910B1 (fr) 1996-12-10 1999-01-08 Commissariat Energie Atomique Procede de separation dynamique de deux zones par un rideau d'air propre
FR2757933B1 (fr) 1996-12-27 1999-01-22 Commissariat Energie Atomique Dispositif de separation dynamique de deux zones par au moins une zone tampon et deux rideaux d'air propre
FR2760199B1 (fr) 1997-03-03 1999-05-21 Unir Ultra Propre Nutrition In Dispositif de separation de deux zones a ambiances differentes
US8796589B2 (en) * 2001-07-15 2014-08-05 Applied Materials, Inc. Processing system with the dual end-effector handling
ITBO20030375A1 (it) * 2003-06-19 2004-12-20 Ima Spa Struttura per la copertura e l'isolamento dall'ambiente
NL2002108C2 (nl) * 2007-10-16 2009-04-20 Handelsmij Willy Deweerdt Bvba Inrichting voor het genereren van een luchtwand.
DE102009026949A1 (de) * 2009-06-16 2010-12-23 Lks Israel Gmbh Klimatechnisches Engineering Luftschottanlage zur Verhinderung von Ausgleichsströmungen
FR2968384B1 (fr) * 2010-12-01 2013-12-27 Robert Guetron Dispositif de separation fluidique de 2 regions
WO2013128083A1 (fr) 2012-02-28 2013-09-06 Robert Guetron Dispositif de séparation fluidique de deux régions
FR2990143B1 (fr) * 2012-05-07 2015-01-30 Paul Brunon Buse de soufflage a jets multiples
US11015824B2 (en) 2016-09-02 2021-05-25 Inertechip Llc Air curtain containment system and assembly for data centers
FR3093454B1 (fr) * 2019-03-07 2022-01-28 Hydro Fill Element de manipulation comprenant un gant

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2593702A (en) * 1948-04-13 1952-04-22 Claude B Schneible Gaseous curtain for ventilating exhaust
US3211078A (en) * 1963-06-06 1965-10-12 Gunnar C F Asker Air curtain
GB1237694A (en) * 1968-08-19 1971-06-30 Progress Jets Ltd Improvements relating to air curtains
JPS5385555A (en) * 1977-01-07 1978-07-28 Sharp Corp Show case
FR2530163B1 (fr) * 1982-07-15 1986-08-29 Commissariat Energie Atomique Procede de confinement de la pollution d'un local a l'aide d'une veine gazeuse
JPS63156963A (ja) * 1986-12-22 1988-06-30 Ebara Corp エア・カ−テン・システム

Also Published As

Publication number Publication date
JPH04222639A (ja) 1992-08-12
US5145459A (en) 1992-09-08
ES2043442T3 (es) 1993-12-16
DE69100151D1 (de) 1993-08-12
DK0447314T3 (da) 1993-08-16
FR2659782A1 (fr) 1991-09-20
EP0447314A1 (fr) 1991-09-18
DE69100151T2 (de) 1994-01-27
FR2659782B1 (fr) 1992-06-12
EP0447314B1 (fr) 1993-07-07
ATE91339T1 (de) 1993-07-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2715345B2 (ja) ２つの領域の動的分離方法および装置
US6507000B2 (en) Laser drilling machine and method for collecting dust
US6113486A (en) Fabric sheath for ventilation and laminar flow hood
US6251006B1 (en) Device for dynamic separation of two zones
JP2004525337A (ja) 周囲環境に対する保護空気流を吹出すための方法および装置
US4249463A (en) Workstation
EP1146841B1 (en) Method and device for ventilating a so called clean room
JP2001510548A (ja) クリーンエアカーテンによる領域の動的分離方法
JPH0519119B2 (ja)
JPH0663934A (ja) 石材加工装置用エアカーテン方式による粉塵抑止装置
KR0169180B1 (ko) 위험한 공정 도구를 위한 소형 포위체
US6619901B1 (en) Method and apparatus for air guidance in a processing chamber
EP0710803B1 (en) Clean air system
JPH026887A (ja) 空気層流による有害物質の除去方法及びその装置
JP3851355B2 (ja) 異質環境の二領域を分離するための装置
JPH06221639A (ja) クリーンブース
JPH0821529B2 (ja) 外部汚染から囲繞体を隔離する方法
SU1749082A1 (ru) Устройство дл снижени запыленности кабины транспортного средства
CN1046662C (zh) 用于热塑性塑料的可关闭的出料口
KR100208703B1 (ko) 반도체 크린룸 시스템
KR100472268B1 (ko) 환기용섬유외피및층류후드
EP0148810B1 (en) An apparatus defining a confined working area which is ventilated by a flow of cleansed ventilation air
JP2000161735A (ja) クリーン化装置
JPH11197429A (ja) フィルタユニットおよび清浄領域形成方法
GB2106240A (en) Air-conditioned workstation

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees