JP2670568B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
に主要表面の周辺から内側に入った内部表面領域に複数
のパッド(接続端子をいう)を設けた半導体素子上に絶
縁層を介してリードフレームを搭載する半導体装置に関
する。
て、所定のワイヤリングを行い、しかる後に樹脂封止を
行った半導体装置については、機械的、電気的、熱的特
性の点において優れたLOC(Lead On Chi
p)型の半導体装置が採用されている。このLOC型の
半導体装置は、上表面の内側に複数のパッドを有する半
導体素子上に、前記パッドの領域部分を露出させる露出
部を備え、しかもその内側端部が前記パッドに導電性ワ
イヤを介して接続される複数のインナーリードを備えた
リードフレームを、所定広さの絶縁樹脂層を介して接着
搭載して構成されている。
に係る製造方法を用いた前記LOC型の半導体装置にお
いては、比較的不良製品が多く発生するということが判
明した。そこで、本発明者は鋭意研究の結果、前記LO
C型の半導体装置に使用されているリードフレームは、
比較的安価に製造可能なプレス加工によって行われてい
るので、以下のような原因によって不良製品が発生する
ことを解明した。即ち、前記LOC型の半導体装置にお
いては、薄い絶縁樹脂層を介して半導体素子上にリード
フレームを載せているので、リードフレームにプレス加
工によって生じた返り等の突起によって、前記絶縁樹脂
層が破れて絶縁不良となる場合がある。また、プレス加
工方向を反対にして前記突起が仮に絶縁層を破らないよ
うにした場合であっても、今度は封止樹脂中に前記突起
が突き刺さっていることになって、その部分に応力集中
が起こり、破損しやすい。そこで、全部をフォトエッチ
ングによって加工することも考えられるが、処理工程が
複雑となり、コスト高になる。本発明はかかる事情に鑑
みてなされたもので、前記LOC型の半導体装置におい
て、不良製品の少ない長期の寿命を有する半導体装置を
提供することを目的とする。
記載の半導体装置は、主要表面の内側に複数のパッドを
有する半導体素子上に、前記パッドの領域部分を露出さ
せるパッド露出部を備え、しかもその内側端部が前記パ
ッドに導電性ワイヤを介して接続される複数のインナー
リードを備えたリードフレームを、絶縁層を介して接着
搭載し、更に、前記半導体素子と、前記導電性ワイヤ
と、前記リードフレームの内側端部とを樹脂封止してな
る半導体装置において、前記リードフレームの前記半導
体素子の表面領域に相当する部分がフォトエッチングで
形成され、他の部分はプレス加工で形成されて構成され
ている。また、請求項2記載の半導体装置においては、
請求項1記載の半導体装置において、前記絶縁層が、薄
い金属板の両表面に接着剤層が形成された接着シートか
らなって構成されている。
記リードフレームの前記半導体素子の表面領域の少なく
とも前記インナーリードの主要部がフォトエッチングで
形成されている。従って、フォトエッチングによって加
工された少なくともインナーリードの部分はプレス加工
によって発生する残留応力、これに伴う変形が生じない
ことは当然として、プレス加工によって発生する返り、
突起等は無く、下部の絶縁層が破れることがない。ま
た、この部分は、周囲の封止樹脂とは円滑に接触するの
で、返りあるいは突起によって封止樹脂に部分的な応力
集中が生じることがなく、更には、使用によって半導体
素子から発生する熱によって封止樹脂に亀裂等が入るこ
とが極めて少なく、不良製品の発生を減少できる。特
に、請求項2記載の半導体装置においては、絶縁層が、
薄い金属板の両表面に接着剤層が形成された接着シート
からなっているので、半導体素子の使用中に発生する熱
を分散することができ、これによって半導体素子の使用
による熱破損を減少することができる。
を具体化した実施例につき説明し、本発明の理解に供す
る。ここに、図1は本発明の一実施例に係る半導体装置
の概略斜視図、図2は同側断面図である。
例に係る半導体装置10は、上部のリードフレーム11
と、下部の半導体素子12と、該半導体素子12とリー
ドフレーム11を接合する絶縁層13とを有してなる。
以下、これらについて詳しく説明する。
導体装置に用いるリードフレームであって、Cu−Fe
系またはNi−Fe系等の金属材からなる条材に、アウ
ターリード14、インナーリード15、ダムバー(タイ
バーともいう)16、対向するバスリード17及びパッ
ド露出部18を備えている。前記リードフレーム11を
製造する場合には、プレス加工によって所定のパイロッ
ト孔18aが形成された前記条材にダムバー16より外
側に位置するアウターリード14等をプレス加工によっ
て形成する。そして、前記インナーリード15は、左右
のインナーリード15が連通した状態でフォトエッチン
グによって形成し、下部の絶縁層13を固着した後、前
記バスリード17及びパッド露出部18をプレス加工に
よって形成している。
記ダムバー16より外側のアウターリード14等をプレ
ス加工によって形成した後、マスキングを施し、前記ダ
ムバー16より内側の部分の内パターンを露光し、該内
パターンを現像定着してエッチングを行う。これによっ
て、左右のインナーリード15及びバスリード17が繋
がった内パターンが形成される。
ングを外し所定のめっきを施し、下部に前記絶縁層13
を接合するが、前記絶縁層13は、中央のアルミ、銅ま
たは銅合金等からなる薄い金属板19と、その両面に塗
布されるエポキシ等の熱硬化性接着剤層20、21とか
らなって、これらが一体となって接着シートが形成され
ている。前記のように、絶縁層13の中間に金属板19
を配置することによって、使用時に発生する半導体素子
12からの熱を円滑に逃がすようになっている。ここ
で、前記絶縁層13を貼着した状態で、再度プレス加工
を行って、左右のインナーリード15の主要部をバスリ
ード17から分離すると共に、前記バスリード17によ
って挟まれるパッド露出部18を形成するが、プレス切
断する部分に予め裏面からVノッチを付けた後プレス加
工を行い、プレス加工によって発生する返り等が板面か
ら突出しないようにする。以上の処理工程においては、
前記絶縁層13をリードフレーム11の裏面から貼着し
た状態で、プレス加工を行っているので、切断されたイ
ンナーリード15の浮き沈みや寄りを防止することがで
きる。
するので、該リードフレーム11の下部に半導体素子1
2を絶縁層13を介して接合するが、該半導体素子12
は、上部表面中央に接合端子であるパッド21aが直線
状に並べて多数配設され、図2に示すように、インナー
リード15と、アルミあるいは銅からなる導電性ワイヤ
22によって連結され、しかる後樹脂封止されている。
5の両端に連結された対となるバスリード17が設けら
れ、共通アースあるいは共通電源として使用し、インピ
ーダンスを減少し、内部の半導体素子12の動作の向上
を図ることができるようになっているが、バスリード1
7が形成されていないリードフレームであっても本発明
は適用される。
インナーリード15の主要部はエッチング加工され、バ
スリード17及びパッド露出部18は裏面に予めVノッ
チを設けてプレス加工されているので、表裏面から突出
する返り等が無い。従って、下部の絶縁層13に傷を付
けて絶縁不良を生じる恐れもなく、更には返りあるいは
突起によって封止樹脂23に応力集中を生じさせること
がない。
として熱硬化性接着剤を使用したが、使用目的によって
は熱可塑性接着剤を使用することも可能である。また、
前記実施例においては、絶縁層13の中間に金属板19
を配置したが、そのまま絶縁状態で配置したのでは電荷
が溜まるので、適当にアースすることも可能であり、こ
れによってシールド効果を発揮させることができる。そ
して、前記金属板の代わりに通常の布、樹脂または紙テ
ープを使用することも可能であり、場合によっては前記
絶縁層に両面テープを使用することも可能であり、接着
剤層のみとすることも可能である。
は、リードフレームの少なくともインナーリードの主要
部分がフォトエッチングで形成されているので、インナ
ーリードの細かい部分を精密に形状加工することができ
るのは当然として、該インナーリードの主要部分にプレ
ス加工によって発生する返りや突起を生じさせない。従
って、下部の絶縁層を破壊したり、あるいは封止樹脂に
樹脂破壊の原因となるクラックを生じさせることがな
く、少しの曲げ応力あるいは熱応力によって半導体装置
が破損することがない。また、全体をフォトエッチング
加工によってリードフレームを成形する場合に比較し
て、廉価に製造できる。特に、請求項2記載の半導体装
置においては、絶縁層が金属板の両表面に熱硬化性接着
剤を塗布した接着シートであるので、これによって半導
体素子からの熱放散が促進される。
図である。
レーム 12 半導体素子 13 絶縁層 14 アウターリード 15 インナー
リード 16 ダムバー 17 バスリー
ド 18 パッド露出部 18a パイロ
ット孔 19 金属板 20 熱硬化性
接着剤層 21 熱硬化性接着剤層 21a パッド 22 導電性ワイヤ 23 封止樹脂
Claims (2)
- 【請求項1】 主要表面の内側に複数のパッドを有する
半導体素子上に、前記パッドの領域部分を露出させるパ
ッド露出部を備え、しかもその内側端部が前記パッドに
導電性ワイヤを介して接続される複数のインナーリード
を備えたリードフレームを、絶縁層を介して接着搭載
し、更に、前記半導体素子と、前記導電性ワイヤと、前
記リードフレームの内側端部とを樹脂封止してなる半導
体装置において、 前記リードフレームの前記半導体素子の表面領域に相当
する部分がフォトエッチングで形成され、他の部分はプ
レス加工で形成されたことを特徴とする半導体装置。 - 【請求項2】 前記絶縁層が、薄い金属板の両表面に接
着剤層が形成された接着シートからなる請求項1記載の
半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4207293A JP2670568B2 (ja) | 1992-07-10 | 1992-07-10 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4207293A JP2670568B2 (ja) | 1992-07-10 | 1992-07-10 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0629437A JPH0629437A (ja) | 1994-02-04 |
JP2670568B2 true JP2670568B2 (ja) | 1997-10-29 |
Family
ID=16537394
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4207293A Expired - Fee Related JP2670568B2 (ja) | 1992-07-10 | 1992-07-10 | 半導体装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2670568B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2801319B2 (ja) * | 1989-12-28 | 1998-09-21 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置 |
JP2852112B2 (ja) * | 1990-09-04 | 1999-01-27 | 株式会社日立製作所 | 半導体集積回路装置 |
-
1992
- 1992-07-10 JP JP4207293A patent/JP2670568B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JPH0629437A (ja) | 1994-02-04 |
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