JP2634332B2 - サーマルヘッド保護膜の製造方法 - Google Patents
サーマルヘッド保護膜の製造方法Info
- Publication number
- JP2634332B2 JP2634332B2 JP3164492A JP16449291A JP2634332B2 JP 2634332 B2 JP2634332 B2 JP 2634332B2 JP 3164492 A JP3164492 A JP 3164492A JP 16449291 A JP16449291 A JP 16449291A JP 2634332 B2 JP2634332 B2 JP 2634332B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- protective film
- thermal head
- layer protective
- manufacturing
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 title claims description 62
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 8
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 6
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 6
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 6
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 2
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、サーマルヘッドの表
面に形成され、発熱体や電極などのサーマルヘッド本体
を電解腐食や酸化から保護するサーマルヘッド保護膜の
製造方法に関するものである。
面に形成され、発熱体や電極などのサーマルヘッド本体
を電解腐食や酸化から保護するサーマルヘッド保護膜の
製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図５は例えば特開昭６１−５４９５１号
公報及び特開昭６１−５４９５２号公報に示されたもの
と同様の従来のサーマルヘッドの断面図である。図にお
いて、１はセラミック基板、２はセラミック基板１上に
形成されている表面円弧状のグレーズ、３はグレーズ２
及びセラミック基板１上に形成されている発熱抵抗体、
４は発熱抵抗体３上に幅７０μｍ程度に形成されている
電極であり、この電極４は、サーマルヘッドの長手方向
（図面に垂直な方向）に沿って１０μｍ程度の間隔をお
いて多数対形成されている。５はセラミック基板１，グ
レーズ２，発熱抵抗体３及び電極４からなるサーマルヘ
ッド本体、６はサーマルヘッド本体５上に形成されてい
るガラス質材料製のサーマルヘッド保護膜であり、数μ
ｍ程度の厚さを有している。
公報及び特開昭６１−５４９５２号公報に示されたもの
と同様の従来のサーマルヘッドの断面図である。図にお
いて、１はセラミック基板、２はセラミック基板１上に
形成されている表面円弧状のグレーズ、３はグレーズ２
及びセラミック基板１上に形成されている発熱抵抗体、
４は発熱抵抗体３上に幅７０μｍ程度に形成されている
電極であり、この電極４は、サーマルヘッドの長手方向
（図面に垂直な方向）に沿って１０μｍ程度の間隔をお
いて多数対形成されている。５はセラミック基板１，グ
レーズ２，発熱抵抗体３及び電極４からなるサーマルヘ
ッド本体、６はサーマルヘッド本体５上に形成されてい
るガラス質材料製のサーマルヘッド保護膜であり、数μ
ｍ程度の厚さを有している。
【０００３】上記のようなサーマルヘッド保護膜６は、
通常、マグネトロンスパッタにより形成され、発熱抵抗
体３及び電極４などの電解腐食や酸化を防止する。ま
た、サーマルヘッド本体５の形成は、クリーンルーム内
で行われるが、異物７の付着を完全に防止することは困
難である。
通常、マグネトロンスパッタにより形成され、発熱抵抗
体３及び電極４などの電解腐食や酸化を防止する。ま
た、サーマルヘッド本体５の形成は、クリーンルーム内
で行われるが、異物７の付着を完全に防止することは困
難である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のように構成され
た従来のサーマルヘッドにおいては、サーマルヘッド本
体５上の異物７が使用時に離脱することなどにより、図
６に示すように、サーマルヘッド保護膜６にピンホール
８やクラック（図示せず）が発生し、これにより電極４
の一部が露出したり、この露出した部分にナトリウム，
カリウム又は塩素などのイオン９が付着したりして、電
極４に酸化・電解腐食部４ａが発生し、サーマルヘッド
全体の信頼性が低下するという問題点があった。また、
このようなサーマルヘッドでは、電極４の一部に欠陥が
生じただけで、ヘッド全体が不良となり、ヘッド全体の
歩留まりが低下してしまい、コストが高くなるなどの問
題点もあった。
た従来のサーマルヘッドにおいては、サーマルヘッド本
体５上の異物７が使用時に離脱することなどにより、図
６に示すように、サーマルヘッド保護膜６にピンホール
８やクラック（図示せず）が発生し、これにより電極４
の一部が露出したり、この露出した部分にナトリウム，
カリウム又は塩素などのイオン９が付着したりして、電
極４に酸化・電解腐食部４ａが発生し、サーマルヘッド
全体の信頼性が低下するという問題点があった。また、
このようなサーマルヘッドでは、電極４の一部に欠陥が
生じただけで、ヘッド全体が不良となり、ヘッド全体の
歩留まりが低下してしまい、コストが高くなるなどの問
題点もあった。
【０００５】この発明は、上記のような問題点を解決す
ることを課題としてなされたものであり、サーマルヘッ
ド本体の発熱抵抗体及び電極の電解腐食や酸化を防止す
ることができ、これによりサーマルヘッド全体の信頼性
を向上させることができるとともに、サーマルヘッド全
体の歩留まりを向上させ、コストを低減させることがで
きるサーマルヘッド保護膜の製造方法を得ることを目的
とする。
ることを課題としてなされたものであり、サーマルヘッ
ド本体の発熱抵抗体及び電極の電解腐食や酸化を防止す
ることができ、これによりサーマルヘッド全体の信頼性
を向上させることができるとともに、サーマルヘッド全
体の歩留まりを向上させ、コストを低減させることがで
きるサーマルヘッド保護膜の製造方法を得ることを目的
とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明に係るサーマル
ヘッド保護膜の製造方法は、サーマルヘッド本体上に第
１層保護膜を形成し、次に第１層保護膜を貫通した異物
を第１層保護膜中から除去し、この後第１層保護膜上に
第２層保護膜を形成するものである。
ヘッド保護膜の製造方法は、サーマルヘッド本体上に第
１層保護膜を形成し、次に第１層保護膜を貫通した異物
を第１層保護膜中から除去し、この後第１層保護膜上に
第２層保護膜を形成するものである。
【０００７】
【作用】この発明においては、第１層保護膜を形成した
後に第１層保護膜中から異物を除去し、この後第２層保
護膜を形成することにより、サーマルヘッド保護膜全体
を貫通するピンホールが発生するのを防止する。
後に第１層保護膜中から異物を除去し、この後第２層保
護膜を形成することにより、サーマルヘッド保護膜全体
を貫通するピンホールが発生するのを防止する。
【０００８】
【実施例】以下、この発明の実施例を図について説明す
る。図１はこの発明の一実施例によるサーマルヘッドの
断面図であり、図５及び図６と同一又は相当部分には同
一符号を付し、その説明を省略する。図において、11は
サーマルヘッド本体５上に形成されている第１層保護
膜、12は第１層保護膜11上に形成されている第２層保護
膜、13は第１層及び第２層保護膜11，12からなるガラス
質材料製のサーマルヘッド保護膜であり、このサーマル
ヘッド保護膜13の厚さは従来とほぼ同様である。また、
第１層保護膜11の膜厚は、例えばサーマルヘッド保護膜
13全体の膜厚の１／３程度である。
る。図１はこの発明の一実施例によるサーマルヘッドの
断面図であり、図５及び図６と同一又は相当部分には同
一符号を付し、その説明を省略する。図において、11は
サーマルヘッド本体５上に形成されている第１層保護
膜、12は第１層保護膜11上に形成されている第２層保護
膜、13は第１層及び第２層保護膜11，12からなるガラス
質材料製のサーマルヘッド保護膜であり、このサーマル
ヘッド保護膜13の厚さは従来とほぼ同様である。また、
第１層保護膜11の膜厚は、例えばサーマルヘッド保護膜
13全体の膜厚の１／３程度である。
【０００９】次に、上記のサーマルヘッド保護膜13の製
造方法について説明する。まず、図２に示すように、サ
ーマルヘッド本体５上にマグネトロンスパッタ等により
第１層保護膜11を形成する。次に、第１層保護膜11の表
面を研磨（ラッピング）する。これにより、サーマルヘ
ッド本体５上に付着し第１層保護膜11を貫通した異物７
は、図３に示すように、第１層保護膜11中から完全に除
去、又は第１層保護膜11中から除去されてその表面上に
移動される。従って、第１層保護膜11には、ピンホール
８が発生する。この後、図４に示すように、第１層保護
膜11上に第１層保護膜11と同様にして第２層保護膜12を
形成する。
造方法について説明する。まず、図２に示すように、サ
ーマルヘッド本体５上にマグネトロンスパッタ等により
第１層保護膜11を形成する。次に、第１層保護膜11の表
面を研磨（ラッピング）する。これにより、サーマルヘ
ッド本体５上に付着し第１層保護膜11を貫通した異物７
は、図３に示すように、第１層保護膜11中から完全に除
去、又は第１層保護膜11中から除去されてその表面上に
移動される。従って、第１層保護膜11には、ピンホール
８が発生する。この後、図４に示すように、第１層保護
膜11上に第１層保護膜11と同様にして第２層保護膜12を
形成する。
【００１０】このようなサーマルヘッド保護膜13の製造
方法では、第１層保護膜11のピンホール８は第２層保護
膜11により埋められる。また、異物７は平面的には微小
なものであり、第１層及び第２層保護膜11，12のピンホ
ール11が互いに重なることは殆どないので、第２層保護
膜12のピンホール８の下には第１層保護膜11が存在す
る。従って、第１層及び第２層保護膜11，12の形成時に
異物７が付着する確率は従来と同様であるが、サーマル
ヘッド保護膜13全体を貫通するピンホール８が発生する
確率は極めて低くなり、ほぼ完全に防止される。
方法では、第１層保護膜11のピンホール８は第２層保護
膜11により埋められる。また、異物７は平面的には微小
なものであり、第１層及び第２層保護膜11，12のピンホ
ール11が互いに重なることは殆どないので、第２層保護
膜12のピンホール８の下には第１層保護膜11が存在す
る。従って、第１層及び第２層保護膜11，12の形成時に
異物７が付着する確率は従来と同様であるが、サーマル
ヘッド保護膜13全体を貫通するピンホール８が発生する
確率は極めて低くなり、ほぼ完全に防止される。
【００１１】このため、従来と同一の製造設備を使用す
るにも拘わらず、サーマルヘッド本体５の電解腐食や酸
化がより確実に防止され、サーマルヘッド全体の信頼性
が向上する。また、サーマルヘッドの不良が減少するた
め、サーマルヘッド全体としての歩留まりが向上し、コ
ストが低減される。
るにも拘わらず、サーマルヘッド本体５の電解腐食や酸
化がより確実に防止され、サーマルヘッド全体の信頼性
が向上する。また、サーマルヘッドの不良が減少するた
め、サーマルヘッド全体としての歩留まりが向上し、コ
ストが低減される。
【００１２】なお、上記実施例ではラッピングにより第
１層保護膜11中から異物７を除去したが、例えば洗浄な
ど、他の方法で除去してもよい。また、上記実施例では
第１層及び第２層保護膜11，12を同材質で同じ方法によ
り形成したが、異なる材質，方法で形成してもよい。さ
らに、サーマルヘッド保護膜13全体の膜厚なども特に限
定されるものではない。
１層保護膜11中から異物７を除去したが、例えば洗浄な
ど、他の方法で除去してもよい。また、上記実施例では
第１層及び第２層保護膜11，12を同材質で同じ方法によ
り形成したが、異なる材質，方法で形成してもよい。さ
らに、サーマルヘッド保護膜13全体の膜厚なども特に限
定されるものではない。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように、この発明のサーマ
ルヘッド保護膜の製造方法は、サーマルヘッド本体上に
第１層保護膜を形成した後、第１層保護膜中から異物を
除去し、この後第２層保護膜を形成するようにしたの
で、サーマルヘッド保護膜全体を貫通するピンホールや
クラックの発生が防止され、これによりピンホールやク
ラックに対する気密性が向上し、発熱抵抗体及び電極の
電解腐食や酸化を防止することができ、この結果サーマ
ルヘッド全体の信頼性を向上させることができ、またサ
ーマルヘッド全体の歩留まりを向上させ、コストを低減
させることができるなどの効果を奏する。
ルヘッド保護膜の製造方法は、サーマルヘッド本体上に
第１層保護膜を形成した後、第１層保護膜中から異物を
除去し、この後第２層保護膜を形成するようにしたの
で、サーマルヘッド保護膜全体を貫通するピンホールや
クラックの発生が防止され、これによりピンホールやク
ラックに対する気密性が向上し、発熱抵抗体及び電極の
電解腐食や酸化を防止することができ、この結果サーマ
ルヘッド全体の信頼性を向上させることができ、またサ
ーマルヘッド全体の歩留まりを向上させ、コストを低減
させることができるなどの効果を奏する。
【図１】この発明の一実施例によるサーマルヘッドの断
面図である。
面図である。
【図２】図１のサーマルヘッド保護膜の第１層保護膜を
形成した状態を示す断面図である。
形成した状態を示す断面図である。
【図３】図１のサーマルヘッド保護膜の第１層保護膜を
ラッピングした状態を示す断面図である。
ラッピングした状態を示す断面図である。
【図４】図１のサーマルヘッド保護膜の第１層保護膜を
形成した状態を示す断面図である。
形成した状態を示す断面図である。
【図５】従来のサーマルヘッドの一例の断面図である。
【図６】図５のサーマルヘッド保護膜にピンホールが生
じた状態を示す断面図である。
じた状態を示す断面図である。
【符号の説明】 ３ 発熱抵抗体 ４ 電極 ５ サーマルヘッド本体 ７ 異物 11 第１層保護膜 12 第２層保護膜 13 サーマルヘッド保護膜
Claims (1)
- 【請求項１】 発熱抵抗体及び電極を有するサーマルヘ
ッド本体上に第１層保護膜を形成し、次に前記第１層保
護膜を貫通した異物を前記第１層保護膜中から除去し、
この後前記第１層保護膜上に第２層保護膜を形成するこ
とを特徴とするサーマルヘッド保護膜の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3164492A JP2634332B2 (ja) | 1991-07-04 | 1991-07-04 | サーマルヘッド保護膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3164492A JP2634332B2 (ja) | 1991-07-04 | 1991-07-04 | サーマルヘッド保護膜の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH058418A JPH058418A (ja) | 1993-01-19 |
| JP2634332B2 true JP2634332B2 (ja) | 1997-07-23 |
Family
ID=15794190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3164492A Expired - Lifetime JP2634332B2 (ja) | 1991-07-04 | 1991-07-04 | サーマルヘッド保護膜の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2634332B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6081287A (en) * | 1997-04-22 | 2000-06-27 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Thermal head method of manufacturing the same |
| DE69824242T2 (de) * | 1997-07-17 | 2005-07-07 | Fuji Photo Film Co. Ltd., Minamiashigara | Thermischer Druckkopf |
| EP2461464B1 (en) * | 2009-07-30 | 2018-12-12 | Mitsuba Corporation | Motor with speed reduction mechanism |
| CN108883641B (zh) | 2016-03-29 | 2020-08-28 | 京瓷株式会社 | 热敏头及热敏打印机 |
-
1991
- 1991-07-04 JP JP3164492A patent/JP2634332B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH058418A (ja) | 1993-01-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2634332B2 (ja) | サーマルヘッド保護膜の製造方法 | |
| JP2844051B2 (ja) | サーマルヘッド | |
| JPH03158451A (ja) | 溶射用マスキングテープ | |
| JP2003021826A (ja) | Ｉｔｏ被膜付き基板及びその製造方法 | |
| JPS6235361A (ja) | フオトマスク材料 | |
| JP2001518683A (ja) | 行電極陽極化 | |
| JPH0238062A (ja) | サーマルヘッド | |
| JPH0515417Y2 (ja) | ||
| JP2533088B2 (ja) | サ−マルヘツドの製造方法 | |
| JP2603877B2 (ja) | サーマルヘッドの製造方法 | |
| JPH0846284A (ja) | 半導体レーザペレット | |
| JPS61142688A (ja) | 薄膜ｅｌ素子の製造方法 | |
| JPH11176606A (ja) | チップ部品 | |
| JPS6240812A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPS63241846A (ja) | 耐熱性黒色電極およびその製造方法 | |
| JPH05221000A (ja) | サーマルヘッドとその製造方法 | |
| JPH035164A (ja) | サーマルヘッド | |
| JPH05238011A (ja) | サーマルインクジェットヘッド | |
| JPS643669B2 (ja) | ||
| JPH04142037A (ja) | 導体欠損部の修正方法 | |
| JPH03286882A (ja) | サーマルヘツド | |
| JPH0315560A (ja) | サーマルヘッド | |
| JP2000127472A (ja) | サーマルヘッドとその基板の分割方法 | |
| JPS63309467A (ja) | サ−マルヘツド | |
| JPH0483654A (ja) | シリアル型サーマルヘッド |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |