JP2632924B2 - レーザ加工装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【発明の目的】

（産業上の利用分野） この発明は、フィルムコンデンサに用いられるフィル
ムの表面に形成された薄膜を除去加工するための装置と
して利用するのに好適なレーザ加工装置に関するもので
ある。 （従来の技術） 従来、この種のレーザ加工装置としては、例えば第６
図に示すレーザ加工（処理）装置（特開昭59−35893号
公報記載の装置）101が知られている。 このレーザ加工装置101は、レーザ光100を連続発振す
るレーザ発振器102と、レーザ発振器102で発振されたレ
ーザ光100の拡がり角を狭めるとともにレーザ光100のビ
ーム径を拡げて平行な光線とする光学的アップコリメー
タ103と、レーザ光100の方向を調節する平面鏡104a,104
bと、レーザ光100を走査する回転多面鏡（ポリゴンミラ
ー）105と、レーザ光100の照射面におけるスポットサイ
ズを調節するフラットフィールドレンズ106と、楕円形
スポットを得るシリンドリカルレンズ107と、を具備し
てなる構成を有しているものである。 このようなレーザ加工装置101によって被加工材料108
に対してレーザ加工を行うに際しては、レーザ発振器10
2で発振されたレーザ光100をまず光学的アップコリメー
タ103に通過させてレーザ光100の拡がり角を狭めるとと
もにレーザ光100のビーム径を拡げて平行なビームに
し、次いで平面鏡104a,104bによってレーザ光100の方向
を調節して回転多面鏡105のうちの一つの反射面105aに
入射する。このとき、回転多面鏡105の回転とともに前
記反射面105aに入射するレーザ光100の入射角が変化す
るので、それにつれて反射角も変化し、レーザ光100を
被加工材料108の送り方向（矢印Ａ方向）に対し横切る
方向に走査して、フラットフィールドレンズ106および
シリンドリカルレンズ107を透過させ、被加工材料108に
向けてレーザ光100を順次照射することによって横方向
のレーザ加工を行う。 （発明が解決しようとする課題） このような従来のレーザ加工装置101においては、レ
ーザ光100の走査方向が一方向のみであり、被加工材料1
08の送り方向に対しこれを横切る方向および送り方向の
二方向に同時に加工することができないという課題を有
していた。また、被加工材料108として、フィルム面上
に金属製材料の薄膜を形成したものを用いた場合に、こ
の薄膜のみを例えばサブミリ幅の線状に加工することが
難しいという課題もあった。 （発明の目的） この発明は、このような従来の課題に着目してなされ
たもので、金属製材料の薄膜を形成したフィルムの薄膜
のみを少なくともサブミリ幅の線状に除去加工すること
ができるとともにこの加工に際してフィルムの送り方向
に対しこれを横切る方向の横方向および送り方向の二方
向を同時に加工することができるレーザ加工装置を提供
することによって、従来の課題を解決することを目的と
している。

【発明の構成】

（課題を解決するための手段） この発明に係るレーザ加工装置は、フィルムを一定の
速度で送りながら該フィルムを加工するレーザ加工装置
において、フィルムの送り方向に対して横切る方向にレ
ーザ加工を行う横方向Ｑスイッチレーザ加工部として、
横方向Ｑスイッチレーザ発振器と、該レーザ発振器から
パルス発振されたレーザ光のビーム径をｙ方向に縮小ま
たは拡大するビーム形状ｙ方向変換機構と、ビーム形状
ｙ方向変換機構を通過したレーザ光のビーム径を前記ｙ
方向に対して直角なｘ方向に縮小または拡大可能にし且
つ光軸回りに回動可能なビーム形状ｘ方向変換機構と、
ビーム形状ｘ方向変換機構を通過したレーザ光を回転と
ともにフィルムの送り方向に対して横切る方向に走査す
るポリゴンミラーと、ポリゴンミラーにより走査された
レーザ光をフィルム上に走査させるｆ・θレンズと、ｆ
・θレンズを通過したレーザ光をその長径／短径比をさ
らに大きくした長円形のレーザ光に変換するシリンドリ
カルレンズを備えると共に、フィルムの送り方向にレー
ザ加工を行う送り方向Ｑスイッチレーザ加工部として、
送り方向用Ｑスイッチレーザ発振器と、該レーザ発振器
からパルス発振されたレーザ光を分割するレーザ分光器
と、該レーザ分光器で分割された各レーザ光を通す複数
本のファイバーケーブルと、各光ファイバーケーブルに
通したレーザ光をフィルム上に照射する複数のレーザ光
照射ヘッドを備え、横方向Ｑスイッチレーザ加工部およ
び送り方向Ｑスイッチレーザ加工部によりフィルムを加
工することを特徴としており、このようなレーザ加工装
置の構成を従来の課題を解決するための手段としたこと
を特徴としている。 （作用） この発明に係るレーザ加工装置において、横方向Ｑス
イッチレーザ加工部は、横方向用Ｑスイッチレーザ発振
器と，ビーム形状ｙ方向変換機構と，ビーム形状ｘ方向
変換機構と，ポリゴンミラーと,f・θレンズと，シリン
ドリカルレンズと，を備えたものであり、前記横方向Ｑ
スイッチレーザ発振器において一定の周期で発振された
レーザ光は、ビーム形状ｙ方向変換機構およびビーム形
状ｘ方向変換機構を通過することによって長円形のレー
ザ光に変換され、このレーザ光が、より望ましくはレー
ザ発振周期とポリゴンミラーの回転速度とが同期した状
態で、ポリゴンミラーのうちの一つの反射面によって反
射され、続いて次の反射面によって反射されてくりかえ
し走査され、このくりかえし走査されたレーザ光がｆ・
θレンズを通過することによってフィルム面に対し垂直
でかつ等速度で走査するようにし、これとともに前記く
りかえし走査されたレーザ光が前記ポリゴンミラーと共
役関係をもたせたシリンドリカルレンズを通過すること
によって結像位置の許容誤差を緩和するとともにレーザ
光を長径／短径比のさらに大きい長円形に変換し、フィ
ルムの送り方向に対しこれを横切る方向の横方向にレー
ザ光を走査してフィルムに照射することにより、横方向
のレーザ加工を行うようになっており、フィルムに形成
した薄膜を少なくともサブミリ幅で線状に加工し得るこ
ととなる。 一方、送り方向Ｑスイッチレーザ加工部は、送り方向
用Ｑスイッチレーザ発振器と，レーザ分光器と、複数本
の光ファイバーケーブルと，複数個のレーザ光照射ヘッ
ドと，を備えたものであり、送り方向Ｑスイッチレーザ
発振器において一定の周期で発振されたレーザ光は、レ
ーザ分光器によって適宜数に分割され、それぞれに分割
されたレーザ光は各光ファイバーケーブルを通過して各
々レーザ光照射ヘッドに導かれ、より望ましくはフィル
ムの送り速度に対応したパルス発振出力で照射するよう
になっており、前記各レーザ光照射ヘッドからフィルム
にレーザ光を照射することにより、送り方向のフィルム
の複数箇所が同時にレーザ加工される。 かくして、前記横方向Ｑスイッチレーザ加工部と前記
送り方向Ｑスイッチレーザ加工部とを具備してなるレー
ザ加工装置によって、フィルムはその送り方向に対し横
切る方向の横方向と送り方向とに同時にレーザ加工が行
われ、フィルムに形成した薄膜を格子状に除去し得るこ
ととなる。 （実施例） この発明に係るレーザ加工装置の実施例を第１図ない
し第５図により説明する。 第１図および第２図に示すように、このレーザ加工装
置１は、横方向Ｑスイッチレーザ加工部２および送り方
向Ｑスイッチレーザ加工部３を共通の台座４に設置した
構造を有するものである。 これらのうち、横方向Ｑスイッチレーザ加工部２は、
横方向用Ｑスイッチレーザ発振器（この実施例ではＱス
イッチYAGレーザ発振器）５と、この横方向用Ｑスイッ
チレーザ発振器５において連続パルス発振されたレーザ
光６を所望の向きに反射させる反射鏡７と、前記反射鏡
７により反射されたレーザ光６を通過させてそのビーム
径方向をｙ方向において縮小または拡大させるビーム形
状ｙ方向変換機構８と、前記ビーム形状ｙ方向変換機構
８を通過したのちのレーザ光６を通過させてそのビーム
径を前記ｙ方向に直交するｘ方向において縮小または拡
大させるビーム形状ｘ方向変換機構９と、矢印Ｂ方向に
回転可能であると共に前記ビーム形状ｘ方向変換機溝９
を通過したのちレーザ光６を入射するポリゴンミラー10
とを備えており、前記ポリゴンミラー10は駆動手段11に
よって回転することにより、レーザ光６を後記するフィ
ルムの送り方向に対して横切る方向に走査する。ビーム
形状ｘ方向変換機構９は、レーザ光６の光軸まわりに適
量回動する構造になっており、ビーム形状ｘ方向変換機
構９を通過したのちに長円形となったレーザ光６の長径
方向の傾き角を調整できるようにしてある。また、駆動
手段11によって回転するポリゴンミラー10の回転位置と
横方向用Ｑスイッチレーザ発振器５のＱスイッチ周波数
を同期させておくようにすることも必要に応じて望まし
い。 さらに、この横方向Ｑスイッチレーザ加工部２は、前
記ビーム形状ｙ方向変換機構８およびビーム形状ｘ方向
変換機構９を通過して変換されたのちポリゴンミラー10
で反射してくりかえし走査されるレーザ光６を通過させ
るｆ・θレンズ12と、このｆ・θレンズ12を通過したの
ちのレーザ光６を通過させるワーク近傍レンズ13と、こ
のワーク近傍レンズ13を通過したのちのレーザ光６を通
過させるシリンドリカルレンズ14と、このシリンドリカ
ルレンズ14を通過したのちのレーザ光６の走査幅を定め
るスリット15と、を備えている。この場合、前記シリン
ドリカルレンズ14と、前記ｆ・θレンズ12とともにｆ・
θレンズ系を構成するワーク近傍レンズ13とは、レール
16に沿って前記ｆ・θレンズ系の光軸方向に移動可能と
してあり、その間は蛇腹17により覆う構造にしてある。
また、スリット15は、第３図に示すように、矢印方向に
移動可能としてあり、レーザ光６の走査幅、すなわちレ
ーザ光６による加工幅を調節できるようにしてある。 一方、前記送り方向Ｑスイッチレーザ加工部３は、送
り方向用Ｑスイッチレーザ発振器（この実施例ではＱス
イッチYAGレーザ発振器）21と、送り方向用Ｑスイッチ
レーザ発振器21において連続パルス発振されたレーザ光
22を所望の向きに反射させる反射鏡23と、前記反射鏡23
により反射されたレーザ光23をレーザ光入射部24aより
入射するレーザ分光器24とを備えており、このレーザ分
光器24において前記レーザ光22が所望数に分光されて複
数のレーザ光出射部24bよりそれぞれ送り出すことがで
きるようになっている。 さらに、前記レーザ分光器24の複数のレーザ光出射部
24bのそれぞれには、複数本の光ファイバーケーブル25
のレーザ光入射端部25aが各々接続してあり、各光ファ
イバーケーブル25のレーザ光出射端部25bは、同じく送
り方向Ｑスイッチレーザ加工部３を構成する複数個のレ
ーザ光照射ヘッド26に接続してある。 これらの複数個のレーザ光照射ヘッド26および関連の
構造を第４図および第５図により説明する。 第４図および第５図に示すフレーム31は、第１図およ
び第２図に示した台座４に固定してある。このフレーム
31には支持ピン33が設けられてあり、この支持ピン32を
回転中心として回転自在となるようにアーム33の一端が
嵌入してある。このアーム33の他端には長孔33aが設け
てあり、この長孔33aには、位置決め部材34に設けた支
持ピン35が長孔方向に摺動自在に嵌入してあり、ナット
36によって外れ止めとしてある。この位置決め部材34に
は、ハンドル38を取り付けた送りねじ39とかみ合うめね
じ34aが設けてあり、フレーム31の表面で摺動自在とし
てある。この場合、位置決め部材34が摺動するフレーム
31の部分には長溝31aが設けてあり、この長溝31aに挿入
されかつ前記位置決め部材35のめねじ34bにねじ込んだ
固定ねじ40で固定可能としてある。また、前記フレーム
31にはスケール41が刻印してあり、前記位置決め部材34
の位置決めを容易なものにし、これによって前記アーム
33の傾き角θの設定を容易なものにできるようになって
いる。 前記アーム33には、第４図に示すように、２個のレー
ザ光照射ヘッド26（26a,26b）を保持する照射ヘッドホ
ルダー42がこのアーム33を跨いだ状態でかつその長手方
向に移動可能に設けてあると共に、１個のレーザ光照射
ヘッド26（26c）を保持する照射ヘッドホルダー43がこ
のアーム33に沿った状態でかつその長手方向に移動可能
に設けてある。この場合、前記照射ヘッドホルダー42,4
3の頂面には、それぞれ円柱状摺動ピン44,45が前記支持
ピン32,35の軸心を結ぶ線上に位置するように設けてあ
る。そして、各摺動ピン44,45は、前記フレーム31に設
けたガイドシャフト46にそれぞれおねじ47,48により固
定したホルダーガイド51,52の送り方向ガイド溝51a,52a
に摺動自在に嵌入してある。この場合、前記照射ヘッド
ホルダー42,43にはそれぞれホルダー側摺動部材42a（ホ
ルダー43側は図示略）が設けてあり、アーム33に設けた
アーム側摺動部材33bとの間でボール53を介して摺動自
在に配設してある。また、前記照射ヘッドホルダー42に
保持されたレーザ光照射ヘッド26は角度調整ノブ54a,54
bによってその光軸の微調整が可能としてあり、図示例
のようにレーザ光照射ヘッド26a,26bの光軸が一致する
ようにするほか、光軸をずらすようにすることによっ
て、送り方向のレーザ加工の際の加工幅や加工間隔を調
整することができるようにしてある。さらに、前記照射
ヘッドホルダー42には、センサー支持アーム55を介し
て、各レーザ光照射ヘッド26（26a,26b）からのレーザ
光22の照射位置を検出する位置検出センサ56が取り付け
てある。 そして、前記レーザ光照射ヘッド26（26a,26b,26c）
は、これら各レーザ光照射ヘッド26（26a,26b,26c）か
ら出射されたレーザ光22の光軸が、円柱状摺動ピン44,4
5の軸心を結ぶ線上（支持ピン32,35の軸心を結ぶ線上）
に位置するように、前記照射ヘッドホルダー42,43にそ
れぞれ取り付けてある。さらに、各レーザ光照射ヘッド
26（26a,26b,26c）には、第２図において示したよう
に、前記レーザ分光器24に入射端部25aを接続した光フ
ァイバーケーブル25の出射端部25bが接続してある。 さらにまた、台座４には、薄膜付フィルム60の送りロ
ーラー61が複数個設けてあり、第１図および第２図の矢
印Ｃ方向に送り込まれた薄膜付フィルム60が、前記シリ
ンドリカルレンズ14の近傍を鉛直方向に通過し、次いで
前記各レーザ光照射ヘッド26（26a,26b,26c）の近傍を
水平方向に通過したのち、矢印Ｄ方向に送られる。 この実例において、薄膜付フィルム60は、フィルムベ
ースとしてポリエステルを用い、薄膜としてAl蒸着膜を
用いて、前記フィルムベースに前記薄膜を蒸着により形
成したものである。そして、この薄膜付フィルム60の送
給に際しては、前記シリンドリカルレンズ14側にフィル
ムベースを向け、薄膜は前記シリンドリカルレンズ14と
は反対側に向けるようにし、このシリンドリカルレンズ
14と対応する位置に、図示しない集塵装置に接続された
集塵ダクト62を設置してあり、これによって、前記レー
ザ光６で薄膜をレーザ加工した際に、飛散成分がシリン
ドリカルレンズ14側に付着するのを防止できるようにす
るとともに集塵効率が高いものとなるようにしてある。 また、前記各レーザ光照射ヘッド26（26a,26b,26c）
の近傍を通過する薄膜付フィルム60は、前記各レーザ光
照射ヘッド26側に前記フィルムベースが向き、薄膜は前
記各レーザ光照射ヘッド26と反対側に向くようになって
おり、前記各レーザ光照射ヘッド26と対応する位置に、
図示しない集塵装置に接続された集塵ダクト63を設置し
てある。この集塵ダクト63は、図４に示すように、フレ
ーム31に設けた支持ピン32を回動中心として回動自在と
なるようにその一端を支持ピン32側に連結してあるとと
もに、集塵ダクト63の他端には摺動ピン64が儲けてあ
り、この摺動ピン64を前記位置決め部材34に設けたＵ字
溝34cに嵌入してあって、この集塵ダクト63は前記アー
ム33とともに移動するようにしてある。 そのほか、薄膜付フィルム60の送給に際しては、前記
シリンドリカルレンズ14側に薄膜付フィルム60の薄膜を
向けるようにすることも可能であり、この場合には、前
記集塵ノズル62がレーザ光６の照射光路を妨げない位置
において前記シリンドリカルレンズ14側に設置され、前
記レーザ光照射ヘッド26の近傍においては、各レーザ光
照射ヘッド26側に前記薄膜付フィルム60の薄膜が向くこ
ととなるので、この場合には、前記集塵ノズル63がレー
ザ光22の照射光路を妨げない位置において前記各レーザ
光照射ヘッド26側に設置される。 次に、このような構造をもつレーザ加工装置１によっ
て、薄膜付フィルム60の薄膜をレーザ加工する手順につ
いて説明する。 薄膜付フィルム60は、第１図および第２図に矢印Ｃで
示す方向に各送りローラ61によって送給され、このと
き、薄膜付フィルム60は第２図においてその上面側に薄
膜が向くようにしてレーザ加工装置１に送り込まれ、横
方向Ｑスイッチレーザ加工部２のシリンドリカルレンズ
14の近傍を通過する。 このとき、横方向用Ｑスイッチレーザ発振器５におい
て一定の周期で発振されたレーザ光６は反射鏡７によっ
て反射され、次いでビーム形状ｙ方向変換機構８でビー
ム径がｙ方向に縮小されたのち、ビーム形状ｘ方向変更
機構９によってｙ方向に対して直角なｘ方向にビーム径
が拡大された長円形のレーザ光に変換され、ポリゴンミ
ラー10によって反射されることによりくりかえし走査す
るものとなり、ｆ・θレンズ12によって薄膜付フィルム
60の表面で等速度化されるものとなり、次いで、ワーク
近傍レンズ13を通過したのちシリンドリカルレンズ14を
通過することによって長径／短径比のさらに大きい長円
形のレーザ光に変換され、スリット15によって走査幅が
調節され、この走査幅が調節されたレーザ光６が、この
スリット15（シリンドリカルレンズ14）の近傍を通過す
る薄膜付フィルム60にそのフィルムベース側から照射さ
れる。したがって、このレーザ光６により薄膜付フィル
ム60の送り方向に対して横方向にレーザ加工が行われ、
同フィルム60の薄膜が横方向の線状に飛散除去される。
そして、必要に応じてＱスイッチレーザ発振器５のオン
・オフや図示しないメカニカルシャッターなどによって
適宜レーザ加工が間引き加工として制御されるように
し、また、必要に応じてビーム形状ｘ方向変換機構９を
その軸まわりに回動させることによって、長円形に変換
したレーザ光６に長径方向が横送り加工方向（レーザ光
６の走査速度すなわちポリゴンミラー10の回転速度と薄
膜付フィルム60の送り速度とによって決まる加工角度）
と一致するようにして、レーザ加工による境界面の凹凸
が少なくなるようにするとともに、加工速度の上昇をは
かるようにすることもでき、このレーザ加工の際の飛散
成分は集塵ダクト62によって外部に排出され、薄膜付フ
ィルム60はさらに進んで送り方向Ｑスイッチレーザ加工
部３の各レーザ光照射ヘッド26の近傍を通過する。 このとき、送り方向用Ｑスイッチレーザ発振器21にお
いて一定の周期で発振されたレーザ光22は、反射鏡23に
よって反射され、次いでレーザ分光器24によって分光さ
れて複数のレーザ光22となり、分光されたレーザ光22は
複数の光ファイバーケーブル25を通過して各レーザ光照
射ヘッド26（26a,26b,26c）に導びかれ、各レーザ光照
射ヘッド26により出射されたレーザ光22が薄膜付フィル
ム60にそのフィルムベース側から照射される。したがっ
て、各レーザ光22により薄膜付フィルム60の薄膜部分が
飛散除去されることにより送り方向のレーザ加工が行わ
れ、Ｑスイッチレーザ発振器21のオン・オフによって
（あるいは他の実施例として図示しないシャッターの開
閉によって）適宜レーザ加工が間引き制御され、このレ
ーザ加工の際の飛散成分は集塵ダクト63によって外部に
排出され、薄膜付フィルム60は矢印Ｄ方向に送り出され
る。 この送り方向におけるレーザ加工に際しては、第４図
に示すように固定ねじ40をゆるめた状態にしてハンドル
38を操作することによって、レーザ光22による照射位置
の傾き角θが調節される。このとき、各照射ヘッドホル
ダー42,43の円柱状摺動ピン43はアーム33に対して摺動
自在であり、各照射ヘッドホルダー42,43,45がホルダー
ガイド51,52の送り方向ガイド溝51a,52aに沿って摺動自
在であるため、ハンドル38を操作してアーム33を回動さ
せたときでも、各レーザ光照射ヘッド26から出射される
ビーム22は円弧状の軌跡を描くことなく、送り方向に直
線状の軌跡をとることとなる。 このようにして、当該レーザ加工装置１は、横方向お
よび送り方向のＱスイッチレーザ加工部2,3により、薄
膜付フィルム60の薄膜を格子状に除去する。 さらに、このようなレーザ加工においては、ポリゴン
ミラー10の回転速度,Qスイッチレーザ発振器５および21
の発振周期，レーザ出力などのファクターによって、薄
膜付フィルム60の送り速度をフィードバック制御するよ
うになすことも必要に応じて望ましい。

【発明の効果】

以上説明してきたように、この発明に係るレーザ加工
装置によれば、フィルムの送り方向に対して横切る方向
の横方向および送り方向に同時にレーザ加工を行うこと
ができ、これにより、フィルムに形成した薄膜を格子状
に除去する加工を行うことができ、またＱスイッチレー
ザ発振器を用いているため発振時間が極めて短い連続パ
ルス発振されたレーザ光が得られるので、フィルムの薄
膜部分のみを連続的にサブミリ幅で加工することができ
ると共に、長円形に変換したレーザ光の長径方向を同レ
ーザ光の走査方向に一致させて良好なレーザ加工を行う
ことができ、さらには様々なビーム径をもつ長円形のレ
ーザ光を得ることができるので、加工幅の変更などにき
わめて容易に対応することができるといった著しく優れ
た効果がもたらされる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図はこの発明に係るレーザ加工装置の
各々部分破砕平面図および部分破砕正面図、第３図は第
１図および第２図に示した横方向Ｑスイッチレーザ加工
部のスリット部分を示す説明図、第４図は第１図および
第２図に示した送り方向Ｑスイッチレーザ加工部のレー
ザ光照射ヘッドの位置調整機構を説明する平面図、第５
図は同じく送り方向Ｑスイッチレーザ加工部のレーザ光
照射ヘッドおよびその周辺部分の機構を説明する部分破
砕正面図、第６図は従来例のレーザ加工装置を示す説明
図である。 １……レーザ加工装置、２……横方向Ｑスイッチレーザ
加工部、３……送り方向Ｑスイッチレーザ加工部、５…
…横方向用Ｑスイッチレーザ発振器、６……レーザ光、
８……ビーム形状ｙ方向変換機構、９……ビーム形状ｘ
方向変換機構、10……ポリゴンミラー、12……ｆ・θレ
ンズ、14……シリンドリカルレンズ、21……送り方向用
Ｑスイッチレーザ発振器、22……レーザ光、24……レー
ザ分光器、25……光ファイバーケーブル、26（26a,26b,
26c）……レーザ光照射ヘッド、60……薄膜付フィル
ム。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 片岡 淳 神奈川県平塚市中原上宿144 株式会社 日平トヤマ研究所内 (72)発明者 片町 省三 神奈川県平塚市中原上宿144 株式会社 日平トヤマ研究所内 (56)参考文献 特開 昭59−35893（ＪＰ，Ａ)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】フィルムを一定の速度で送りながら該フィ
   ルムを加工するレーザ加工装置において、フィルムの送
   り方向に対して横切る方向にレーザ加工を行う横方向Ｑ
   スイッチレーザ加工部として、横方向用Ｑスイッチレー
   ザ発振器と、該レーザ発振器からパルス発振されたレー
   ザ光のビーム径をｙ方向に縮小または拡大するビーム形
   状ｙ方向変換機構と、ビーム形状ｙ方向変換機構を通過
   したレーザ光のビーム径を前記ｙ方向に対して直角なｘ
   方向に縮小または拡大可能にし且つ光軸回りに回動可能
   なビーム形状ｘ方向変換機構と、ビーム形状ｘ方向変換
   機構を通過したレーザ光を回転とともにフィルムの送り
   方向に対して横切る方向に走査するポリゴンミラーと、
   ポリゴンミラーにより走査されたレーザ光をフィルム上
   に走査させるｆ・θレンズと、ｆ・θレンズを通過した
   レーザ光をその長径／短径比をさらに大きくした長円形
   のレーザ光に変換するシリンドリカルレンズを備えると
   共に、フィルムの送り方向にレーザ加工を行う送り方向
   Ｑスイッチレーザ加工部として、送り方向用Ｑスイッチ
   レーザ発振器と、該レーザ発振器からパルス発振された
   レーザ光を分割するレーザ分光器と、該レーザ分光器で
   分割された各レーザ光を通す複数本のファイバーケーブ
   ルと、各光ファイバーケーブルに通したレーザ光をフィ
   ルム上に照射する複数のレーザ光照射ヘッドを備え、横
   方向Ｑスイッチレーザ加工部および送り方向Ｑスイッチ
   レーザ加工部によりフィルムを加工することを特徴とす
   るレーザ加工装置。