JP2603185Y2 - キャリア検出装置 - Google Patents
キャリア検出装置Info
- Publication number
- JP2603185Y2 JP2603185Y2 JP1993044160U JP4416093U JP2603185Y2 JP 2603185 Y2 JP2603185 Y2 JP 2603185Y2 JP 1993044160 U JP1993044160 U JP 1993044160U JP 4416093 U JP4416093 U JP 4416093U JP 2603185 Y2 JP2603185 Y2 JP 2603185Y2
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- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- processing tank
- pressure
- pressure receiving
- gas
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は、半導体ウエハをウエハ
キャリアに収納して洗浄するバッチ式のウエハ洗浄機等
に使用されて、処理槽内のウエハキャリアの有無を自動
検出するキャリア検出装置に関する。
キャリアに収納して洗浄するバッチ式のウエハ洗浄機等
に使用されて、処理槽内のウエハキャリアの有無を自動
検出するキャリア検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】製造された半導体ウエハは、酸液等によ
る高度の洗浄処理を受ける。この洗浄処理では、多数枚
のウエハがウエハキャリアに収納されて複数の処理槽に
順番に搬送される所謂バッチ式処理が通常採用される。
る高度の洗浄処理を受ける。この洗浄処理では、多数枚
のウエハがウエハキャリアに収納されて複数の処理槽に
順番に搬送される所謂バッチ式処理が通常採用される。
【0003】バッチ式のウエハ洗浄機では、各処理槽で
ウエハを処理する前に、処理槽内にウエハが収容されて
いるか否かを確認する必要がある。この確認作業では、
ウエハを検出する代わりにキャリアを検出することが多
い。
ウエハを処理する前に、処理槽内にウエハが収容されて
いるか否かを確認する必要がある。この確認作業では、
ウエハを検出する代わりにキャリアを検出することが多
い。
【0004】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、バッチ
式のウエハ洗浄機では、処理槽内に加熱された酸液等が
収容されているために、キャリアセンサに極めて高度の
耐薬品性および耐熱性が要求され、一般的なセンサでは
対応できない。そのため、キャリア検出装置のコストが
極めて高くなる。また、高価なセンサを用いても耐久性
に不安が残る。
式のウエハ洗浄機では、処理槽内に加熱された酸液等が
収容されているために、キャリアセンサに極めて高度の
耐薬品性および耐熱性が要求され、一般的なセンサでは
対応できない。そのため、キャリア検出装置のコストが
極めて高くなる。また、高価なセンサを用いても耐久性
に不安が残る。
【0005】本考案の目的は、バッチ式ウエハ洗浄機に
おける処理槽のような厳しい環境下で優れた耐久性を示
し、しかも経済性の良いキャリア検出装置を提供するこ
とにある。
おける処理槽のような厳しい環境下で優れた耐久性を示
し、しかも経済性の良いキャリア検出装置を提供するこ
とにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本考案のキャリア検出装
置は、ウエハキャリアを収容する処理槽の槽底部に設け
られ、処理槽に収容されたウエハキャリアの荷重を受け
て変形または変位する受圧部と、該受圧部の変形または
変位によってパージ抵抗が変化するように、受圧部を介
して処理槽内にガスをパージするガス供給系と、ガス供
給系に設けられ、前記パージ抵抗の変化に伴うガス圧の
変化を検出する圧力センサとを具備する。
置は、ウエハキャリアを収容する処理槽の槽底部に設け
られ、処理槽に収容されたウエハキャリアの荷重を受け
て変形または変位する受圧部と、該受圧部の変形または
変位によってパージ抵抗が変化するように、受圧部を介
して処理槽内にガスをパージするガス供給系と、ガス供
給系に設けられ、前記パージ抵抗の変化に伴うガス圧の
変化を検出する圧力センサとを具備する。
【0007】
【作用】受圧部にキャリアの荷重がかかると、受圧部が
変形または変位し、その変形または変位に伴ってパージ
抵抗が変化することにより、ガス圧が変化し、このガス
圧の変化が圧力センサによって検出される。従って、圧
力センサの検出データから処理槽内のキャリアの有無が
検出される。
変形または変位し、その変形または変位に伴ってパージ
抵抗が変化することにより、ガス圧が変化し、このガス
圧の変化が圧力センサによって検出される。従って、圧
力センサの検出データから処理槽内のキャリアの有無が
検出される。
【0008】
【実施例】以上に本考案の実施例を図面に基づいて説明
する。図1は本考案のキャリア検出装置の一例について
その全体構成を示す系統図、図2は受圧部の構成を示す
断面図である。
する。図1は本考案のキャリア検出装置の一例について
その全体構成を示す系統図、図2は受圧部の構成を示す
断面図である。
【0009】図1において、10はバッチ式のウエハ洗
浄機に装備された処理槽である。処理槽10には、加熱
された酸液11と、被洗浄物であるウエハWを収納した
キャリアCとが収容される。処理槽10の槽底部には、
キャリアCを載置する受台12が設けられている。
浄機に装備された処理槽である。処理槽10には、加熱
された酸液11と、被洗浄物であるウエハWを収納した
キャリアCとが収容される。処理槽10の槽底部には、
キャリアCを載置する受台12が設けられている。
【0010】キャリア検出装置は、処理槽10の槽底部
に設けた受圧部20と、受圧部20を介して処理槽10
内にガスを供給するガス供給系30とを具備している。
に設けた受圧部20と、受圧部20を介して処理槽10
内にガスを供給するガス供給系30とを具備している。
【0011】受圧部20は、図2に示すように、テフロ
ンシートからなる。テフロンシートはテフロンロック2
1の水平な上面上に若干の隙間をあけて張設されてい
る。テフロンブロック21は、前記受台12にキャリア
Cが載置されたときに、キャリアCの脚が受圧部20の
中央部に載り、その中央部がキャリアCの荷重の一部を
受けて下方へ挟むように、受台12に組み込まれてい
る。テフロンブロック21には、その側面から流入した
ガスが上面の中央から排出されるようにガス流通孔22
が設けられている。
ンシートからなる。テフロンシートはテフロンロック2
1の水平な上面上に若干の隙間をあけて張設されてい
る。テフロンブロック21は、前記受台12にキャリア
Cが載置されたときに、キャリアCの脚が受圧部20の
中央部に載り、その中央部がキャリアCの荷重の一部を
受けて下方へ挟むように、受台12に組み込まれてい
る。テフロンブロック21には、その側面から流入した
ガスが上面の中央から排出されるようにガス流通孔22
が設けられている。
【0012】ガス供給系30は、N2 ガスまたは空気等
の気体をレギュレータ31、ニードル弁32を介して所
定の元圧で定量供給する本管33と、その本管22から
延出した支管34とを有する。支管34はテフロンチュ
ーブからなり、その先端は前記テフロンブロック21の
側面に開口したガス流入口23に接続されている。本管
33と支管34の接続部には圧力センサ35が取り付け
られている。
の気体をレギュレータ31、ニードル弁32を介して所
定の元圧で定量供給する本管33と、その本管22から
延出した支管34とを有する。支管34はテフロンチュ
ーブからなり、その先端は前記テフロンブロック21の
側面に開口したガス流入口23に接続されている。本管
33と支管34の接続部には圧力センサ35が取り付け
られている。
【0013】ガス供給系30により所定の元圧で定量供
給されるガスは、テフロンブロック21に設けたガス流
通孔22を通り、そのブロックの上面に開口した吹き出
し口24からブロックと受圧部20の間を通って処理槽
10内の酸洗11中にパージされる。
給されるガスは、テフロンブロック21に設けたガス流
通孔22を通り、そのブロックの上面に開口した吹き出
し口24からブロックと受圧部20の間を通って処理槽
10内の酸洗11中にパージされる。
【0014】処理槽10内の受圧部20上にキャリアC
が載置されていない場合は、受圧部20とテフロンブロ
ック21の間に所定の隙間が確保され、圧力センサ35
は一定の圧力値を出力する。
が載置されていない場合は、受圧部20とテフロンブロ
ック21の間に所定の隙間が確保され、圧力センサ35
は一定の圧力値を出力する。
【0015】処理槽10内の受台12上にキャリアCが
載置されると、その荷重が受圧部20に加わり、受圧部
20の中央部が下方に変形し、テフロンブロック21の
吹き出し口24が塞がる。また吹き出し口24が塞がら
ないまでも、受圧部20とテフロンブロック21の間の
隙間が小さくなる。いずれにしても、吹き出し口24か
ら処理槽10内の酸液11中にパージされるガスのパー
ジ抵抗が大きくなり、圧力センサ35が出力する圧力値
が大きくなる。従って、圧力センサ35の出力データを
監視することにより、処理槽10内におけるキャリアC
の有無が検出される。
載置されると、その荷重が受圧部20に加わり、受圧部
20の中央部が下方に変形し、テフロンブロック21の
吹き出し口24が塞がる。また吹き出し口24が塞がら
ないまでも、受圧部20とテフロンブロック21の間の
隙間が小さくなる。いずれにしても、吹き出し口24か
ら処理槽10内の酸液11中にパージされるガスのパー
ジ抵抗が大きくなり、圧力センサ35が出力する圧力値
が大きくなる。従って、圧力センサ35の出力データを
監視することにより、処理槽10内におけるキャリアC
の有無が検出される。
【0016】ここで、キャリア検出装置は、受圧部2
0、テフロンブロック21および支管34を処理槽10
内の酸液11に浸漬させているが、受圧部20はテフロ
ンシートからなり、支管34もテフロンチューブからな
る。つまり、キャリア検出装置の酸液11に浸漬される
部分は全てテフロンからなり、機械部品および電気部品
は酸液11に浸漬されない。従って、酸液11中のキャ
リアCを検出するにもかかわらず、キャリア検出装置が
酸液11によって侵食されるおそれがない。
0、テフロンブロック21および支管34を処理槽10
内の酸液11に浸漬させているが、受圧部20はテフロ
ンシートからなり、支管34もテフロンチューブからな
る。つまり、キャリア検出装置の酸液11に浸漬される
部分は全てテフロンからなり、機械部品および電気部品
は酸液11に浸漬されない。従って、酸液11中のキャ
リアCを検出するにもかかわらず、キャリア検出装置が
酸液11によって侵食されるおそれがない。
【0017】なお、上記実施例では、キャリアCの荷重
を受けて変形または変位する受圧部20をテフロンシー
トにより構成したが、図3(A)に示すように、テフロ
ンブロック21上に上下可動に保持されたテフロンブロ
ックでもよく。また、図3(B)に示すように、テフロ
ンチューブの先端部を曲げて構成したものや、図3
(C)に示すように、圧壊変形の容易なテフロンフィル
ムからなる薄肉チューブでもよい。いずれの受圧部20
もキャリアCの荷重を受けて変形または変位することに
より、ガスパージ抵抗を増大させ、圧力センサの出力値
を大きくする。
を受けて変形または変位する受圧部20をテフロンシー
トにより構成したが、図3(A)に示すように、テフロ
ンブロック21上に上下可動に保持されたテフロンブロ
ックでもよく。また、図3(B)に示すように、テフロ
ンチューブの先端部を曲げて構成したものや、図3
(C)に示すように、圧壊変形の容易なテフロンフィル
ムからなる薄肉チューブでもよい。いずれの受圧部20
もキャリアCの荷重を受けて変形または変位することに
より、ガスパージ抵抗を増大させ、圧力センサの出力値
を大きくする。
【0018】処理槽10内の酸液11に浸漬される部分
の材質は上記実施例ではテフロンとしたが、耐薬品性、
耐熱性に優れたものであればその種類を問わない。
の材質は上記実施例ではテフロンとしたが、耐薬品性、
耐熱性に優れたものであればその種類を問わない。
【0019】また、本考案のキャリア検出装置はウエハ
洗浄機における処理槽に限らず、キャリアそのものを洗
浄するキャリア洗浄機の処理槽等にも適用できる。
洗浄機における処理槽に限らず、キャリアそのものを洗
浄するキャリア洗浄機の処理槽等にも適用できる。
【0020】
【考案の効果】以上に説明した通り、本考案のキャリア
検出装置は、ガスパージにおける圧力変化からキャリア
を検出するので、処理槽内から機械部品および電気部品
を排除できる。従って、キャリア洗浄機における処理槽
のような厳しい環境下でも優れた耐久性を示す。しか
も、処理槽内における構成が極めて簡略であるので、経
済性に優れる。
検出装置は、ガスパージにおける圧力変化からキャリア
を検出するので、処理槽内から機械部品および電気部品
を排除できる。従って、キャリア洗浄機における処理槽
のような厳しい環境下でも優れた耐久性を示す。しか
も、処理槽内における構成が極めて簡略であるので、経
済性に優れる。
【図1】本考案のキャリア検出装置の一例についてその
全体構成を示す系統図である。
全体構成を示す系統図である。
【図2】受圧部の構成を示す断面図である。
【図3】受圧部の他の構成を示す図である。
10 処理槽 11 酸液 20 受圧部 30 ガス供給系 35 圧力センサ C キャリア W ウエハ
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 21/304 H01L 21/68
Claims (1)
- 【請求項1】 ウエハキャリアを収容する処理槽の槽底
部に設けられ、処理槽に収容されたウエハキャリアの荷
重を受けて変形または変位する受圧部と、 該受圧部の変形または変位によってパージ抵抗が変化す
るように、受圧部を介して処理槽内にガスをパージする
ガス供給系と、 ガス供給系に設けられ、前記パージ抵抗の変化に伴うガ
ス圧の変化を検出する圧力センサとを具備することを特
徴とするキャリア検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1993044160U JP2603185Y2 (ja) | 1993-07-19 | 1993-07-19 | キャリア検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1993044160U JP2603185Y2 (ja) | 1993-07-19 | 1993-07-19 | キャリア検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0710936U JPH0710936U (ja) | 1995-02-14 |
JP2603185Y2 true JP2603185Y2 (ja) | 2000-02-28 |
Family
ID=12683860
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1993044160U Expired - Fee Related JP2603185Y2 (ja) | 1993-07-19 | 1993-07-19 | キャリア検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2603185Y2 (ja) |
-
1993
- 1993-07-19 JP JP1993044160U patent/JP2603185Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0710936U (ja) | 1995-02-14 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |