JP2603185Y2 - キャリア検出装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、半導体ウエハをウエハ
キャリアに収納して洗浄するバッチ式のウエハ洗浄機等
に使用されて、処理槽内のウエハキャリアの有無を自動
検出するキャリア検出装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】製造された半導体ウエハは、酸液等によ
る高度の洗浄処理を受ける。この洗浄処理では、多数枚
のウエハがウエハキャリアに収納されて複数の処理槽に
順番に搬送される所謂バッチ式処理が通常採用される。

【０００３】バッチ式のウエハ洗浄機では、各処理槽で
ウエハを処理する前に、処理槽内にウエハが収容されて
いるか否かを確認する必要がある。この確認作業では、
ウエハを検出する代わりにキャリアを検出することが多
い。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】しかしながら、バッチ
式のウエハ洗浄機では、処理槽内に加熱された酸液等が
収容されているために、キャリアセンサに極めて高度の
耐薬品性および耐熱性が要求され、一般的なセンサでは
対応できない。そのため、キャリア検出装置のコストが
極めて高くなる。また、高価なセンサを用いても耐久性
に不安が残る。

【０００５】本考案の目的は、バッチ式ウエハ洗浄機に
おける処理槽のような厳しい環境下で優れた耐久性を示
し、しかも経済性の良いキャリア検出装置を提供するこ
とにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本考案のキャリア検出装
置は、ウエハキャリアを収容する処理槽の槽底部に設け
られ、処理槽に収容されたウエハキャリアの荷重を受け
て変形または変位する受圧部と、該受圧部の変形または
変位によってパージ抵抗が変化するように、受圧部を介
して処理槽内にガスをパージするガス供給系と、ガス供
給系に設けられ、前記パージ抵抗の変化に伴うガス圧の
変化を検出する圧力センサとを具備する。

【０００７】

【作用】受圧部にキャリアの荷重がかかると、受圧部が
変形または変位し、その変形または変位に伴ってパージ
抵抗が変化することにより、ガス圧が変化し、このガス
圧の変化が圧力センサによって検出される。従って、圧
力センサの検出データから処理槽内のキャリアの有無が
検出される。

【０００８】

【実施例】以上に本考案の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は本考案のキャリア検出装置の一例について
その全体構成を示す系統図、図２は受圧部の構成を示す
断面図である。

【０００９】図１において、１０はバッチ式のウエハ洗
浄機に装備された処理槽である。処理槽１０には、加熱
された酸液１１と、被洗浄物であるウエハＷを収納した
キャリアＣとが収容される。処理槽１０の槽底部には、
キャリアＣを載置する受台１２が設けられている。

【００１０】キャリア検出装置は、処理槽１０の槽底部
に設けた受圧部２０と、受圧部２０を介して処理槽１０
内にガスを供給するガス供給系３０とを具備している。

【００１１】受圧部２０は、図２に示すように、テフロ
ンシートからなる。テフロンシートはテフロンロック２
１の水平な上面上に若干の隙間をあけて張設されてい
る。テフロンブロック２１は、前記受台１２にキャリア
Ｃが載置されたときに、キャリアＣの脚が受圧部２０の
中央部に載り、その中央部がキャリアＣの荷重の一部を
受けて下方へ挟むように、受台１２に組み込まれてい
る。テフロンブロック２１には、その側面から流入した
ガスが上面の中央から排出されるようにガス流通孔２２
が設けられている。

【００１２】ガス供給系３０は、Ｎ₂ ガスまたは空気等
の気体をレギュレータ３１、ニードル弁３２を介して所
定の元圧で定量供給する本管３３と、その本管２２から
延出した支管３４とを有する。支管３４はテフロンチュ
ーブからなり、その先端は前記テフロンブロック２１の
側面に開口したガス流入口２３に接続されている。本管
３３と支管３４の接続部には圧力センサ３５が取り付け
られている。

【００１３】ガス供給系３０により所定の元圧で定量供
給されるガスは、テフロンブロック２１に設けたガス流
通孔２２を通り、そのブロックの上面に開口した吹き出
し口２４からブロックと受圧部２０の間を通って処理槽
１０内の酸洗１１中にパージされる。

【００１４】処理槽１０内の受圧部２０上にキャリアＣ
が載置されていない場合は、受圧部２０とテフロンブロ
ック２１の間に所定の隙間が確保され、圧力センサ３５
は一定の圧力値を出力する。

【００１５】処理槽１０内の受台１２上にキャリアＣが
載置されると、その荷重が受圧部２０に加わり、受圧部
２０の中央部が下方に変形し、テフロンブロック２１の
吹き出し口２４が塞がる。また吹き出し口２４が塞がら
ないまでも、受圧部２０とテフロンブロック２１の間の
隙間が小さくなる。いずれにしても、吹き出し口２４か
ら処理槽１０内の酸液１１中にパージされるガスのパー
ジ抵抗が大きくなり、圧力センサ３５が出力する圧力値
が大きくなる。従って、圧力センサ３５の出力データを
監視することにより、処理槽１０内におけるキャリアＣ
の有無が検出される。

【００１６】ここで、キャリア検出装置は、受圧部２
０、テフロンブロック２１および支管３４を処理槽１０
内の酸液１１に浸漬させているが、受圧部２０はテフロ
ンシートからなり、支管３４もテフロンチューブからな
る。つまり、キャリア検出装置の酸液１１に浸漬される
部分は全てテフロンからなり、機械部品および電気部品
は酸液１１に浸漬されない。従って、酸液１１中のキャ
リアＣを検出するにもかかわらず、キャリア検出装置が
酸液１１によって侵食されるおそれがない。

【００１７】なお、上記実施例では、キャリアＣの荷重
を受けて変形または変位する受圧部２０をテフロンシー
トにより構成したが、図３（Ａ）に示すように、テフロ
ンブロック２１上に上下可動に保持されたテフロンブロ
ックでもよく。また、図３（Ｂ）に示すように、テフロ
ンチューブの先端部を曲げて構成したものや、図３
（Ｃ）に示すように、圧壊変形の容易なテフロンフィル
ムからなる薄肉チューブでもよい。いずれの受圧部２０
もキャリアＣの荷重を受けて変形または変位することに
より、ガスパージ抵抗を増大させ、圧力センサの出力値
を大きくする。

【００１８】処理槽１０内の酸液１１に浸漬される部分
の材質は上記実施例ではテフロンとしたが、耐薬品性、
耐熱性に優れたものであればその種類を問わない。

【００１９】また、本考案のキャリア検出装置はウエハ
洗浄機における処理槽に限らず、キャリアそのものを洗
浄するキャリア洗浄機の処理槽等にも適用できる。

【００２０】

【考案の効果】以上に説明した通り、本考案のキャリア
検出装置は、ガスパージにおける圧力変化からキャリア
を検出するので、処理槽内から機械部品および電気部品
を排除できる。従って、キャリア洗浄機における処理槽
のような厳しい環境下でも優れた耐久性を示す。しか
も、処理槽内における構成が極めて簡略であるので、経
済性に優れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案のキャリア検出装置の一例についてその
全体構成を示す系統図である。

【図２】受圧部の構成を示す断面図である。

【図３】受圧部の他の構成を示す図である。

【符号の説明】

１０ 処理槽 １１ 酸液 ２０ 受圧部 ３０ ガス供給系 ３５ 圧力センサ Ｃ キャリア Ｗ ウエハ

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/304 H01L 21/68

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウエハキャリアを収容する処理槽の槽底
   部に設けられ、処理槽に収容されたウエハキャリアの荷
   重を受けて変形または変位する受圧部と、 該受圧部の変形または変位によってパージ抵抗が変化す
   るように、受圧部を介して処理槽内にガスをパージする
   ガス供給系と、 ガス供給系に設けられ、前記パージ抵抗の変化に伴うガ
   ス圧の変化を検出する圧力センサとを具備することを特
   徴とするキャリア検出装置。