JP2576042Y2 - A substrate having a carbon hard coating - Google Patents

A substrate having a carbon hard coating

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Description

【考案の詳細な説明】 Description of the invention]

【0001】 [0001]

【産業上の利用分野】本願考案はカーボン硬質被膜を被覆した基材に関するものである。 The present invention relates to a relates to substrates coated with carbon hard coating. 更に詳しくはカーボン硬質被膜を被覆した基材の密着性及び耐蝕性を向上させるために介在させる中間層に関する。 More particularly it relates to an intermediate layer to be interposed in order to improve the adhesion and corrosion resistance of the substrate coated with carbon hard coating.

【0002】 [0002]

【従来の技術】従来、カーボン硬質被膜は、高硬度、高絶縁性、高熱伝導性、及び化学的安定性などのダイヤモンドに似た優れた性質を有していることから、近年注目を集めている。 Conventionally, the carbon hard coating, high hardness, high insulation, high thermal conductivity, and since it has excellent properties similar to diamond, such as chemical stability, attracting attention in recent years there. このカーボン硬質被膜の形成には、イオンビーム法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の物理蒸着法(以下PVDと略す)や、ECR(El The formation of the carbon hard coating, ion beam method, (hereinafter abbreviated as PVD) sputtering, physical vapor deposition or ion plating method or, ECR (El
ectron Cyclotron Reso- nance)、RF(Radio Ereque ectron Cyclotron Reso- nance), RF (Radio Ereque
ncy)プラズマ化学蒸着法(以下P−CVDと略す)がすで実用に供されている。 NCY) plasma enhanced chemical vapor deposition (hereinafter abbreviated as P-CVD) have been put to practical use in gas.

【0003】 [0003]

【考案が解決しようとする課題】前記の方法で形成されるカーボン硬質被膜は、10 10 dyne/cm 2台の高い圧縮応力が残留している。 An invention is to provide a carbon hard coating to be formed by the above method, 10 10 dyne / cm 2 units higher compressive stress is remained. このため、カーボン硬質被膜と基材、特に金属性基材との密着性が悪く、剥離、クラック、寿命が短い、あるいは膜形成が不可能などの問題点を有していた。 Therefore, the carbon hard coating and the substrate, especially poor adhesion between the metal substrate, peeling, cracking, short life, or film formation has been a problem such as impossible. すなわち、シリコン基材、超硬基材上にカーボン硬質被膜は形成可能であるが、ステンレス材をはじめとする各種金属基材などへの形成は不可能であるなどカーボン硬質被膜を形成できる基材は非常に限定されていた。 That is, silicon substrate, although the carbon hard coating on carbide substrates can be formed, a substrate capable of forming a carbon hard film and formation of the various metal substrates, including stainless steel is not possible It had been very limited. 上記問題点を解決し、カーボン硬質被膜の幅広い応用を可能とするために、本考案者らは先に、 To solve the above problems, in order to enable a wide range of applications of the carbon hard coating, the present invention have previously
乾式メッキ法でクロムを主体とする下層とシリコンを主体とする上層とからなる中間層を基材とカーボン硬質被膜間に介在させる構成(特願昭60−256426号) Structure interposing the intermediate layer consisting of an upper layer mainly containing lower layer and silicon mainly composed of chromium dry plating between the substrate and the carbon hard coating (Japanese Patent Application No. Sho 60-256426)
をさらに改良し、下層中間層を上層中間層との界面における相互拡散による固溶体層を形成させることを提案した。 It was further improved, and proposes to form a solid solution layer of lower intermediate layer due to mutual diffusion at the interface between the upper intermediate layer. (特願昭63−301829号) (Japanese Patent Application No. Sho 63-301829)

【0004】しかしながら未だ応用できる基材は限られている。 [0004] However, the base material, which still can be applied is limited. 例えば黄銅においては、前記中間層を形成した場合、チャンバー内の温度上昇、あるいはカーボン硬質被膜形成時のチャンバー内の温度上昇により、真空雰囲気での脱亜鉛現象が発生し、黄銅材料の表面がユズ肌を呈し、表面の耐蝕性、及び密着性が落ち、その結果、カーボン硬質被膜の優れた特性を生かすことが出来なかった。 For example, in the brass, the case of forming the intermediate layer, the temperature rise in the chamber, or by the temperature rise in the chamber during carbon hard coating formation, dezincification in a vacuum atmosphere is generated, the surface of the brass material citron exhibit skin, corrosion resistance of the surface, and adhesion drops, as a result, it was not possible to make use of the excellent properties of the carbon hard coating.

【0005】また、SK材等の炭素工具鋼、マルテンサイト系ステンレス、及びフェライト系ステンレス鋼等の鉄系でSUS304等のオーステナイト系ステンレス鋼よりも耐蝕性の劣る鉄系の基材に対しては、前洗浄後に発錆による腐蝕等が発生し、密着性及び耐蝕性等の問題を有していた。 Further, carbon tool steel SK material or the like, martensitic stainless steel, and an iron-based, such as ferritic stainless steel against iron-based material having poor corrosion resistance than austenitic stainless steel such as SUS304 is , before corrosion due rust after washing has occurred, there is a problem such as adhesion and corrosion resistance.

【0006】この考案の目的は、黄銅、SK材、マルテンサイト系ステンレス、及びフェライト系ステンレス鋼等、耐蝕性の劣る基材に対して、高密着性、高信頼性等を有するカーボン硬質被膜が形成された基材を提供することにある。 An object of this invention is brass, SK material, martensitic stainless steel, and ferritic stainless steel or the like, with respect to corrosion resistance of poor substrate, high adhesion, carbon hard coating having a high reliability, etc. It is to provide the formed substrate.

【0007】 [0007]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため本願考案は、SK材、黄銅等の基材上に湿式メッキにより形成された下地金属被膜と、該下地金属被膜上に乾式メッキにより形成したチタン被膜と、該チタン被膜上に乾式メッキにより形成したシリコン被膜と、該シリコン被膜上に乾式メッキにより形成したカーボン硬質被膜とにより構成したものである。 Application for achieving the above object devise SUMMARY OF THE INVENTION The formation, SK material, an underlying metal coating formed by wet plating on a substrate such as brass, by a dry plating on the lower ground metal coating titanium coating that is obtained by construction and silicon film formed by dry plating on the titanium film, the carbon hard coating formed by dry plating on the silicon film. また、基材上に形成する下地金属被膜として、ニッケル合金被膜、ニッケル被膜、 Further, as a base metal film formed on a substrate, a nickel alloy coating, a nickel coating,
クロム被膜、パラジウム被膜、ニッケル合金被膜とクロム被膜、ニッケル合金被膜とパラジウム被膜の中の1つからなるものがある。 Chrome coating, a palladium coating, a nickel alloy coating and a chromium coating, is made from one of the nickel alloy coating and a palladium coating. また、ニッケル合金被膜の中のニッケル−リン被膜については、時効処理によって被膜硬度をあげることもできる。 Further, the nickel in the nickel alloy coating - for phosphorus coating can also be mentioned a coating hardness by aging treatment.

【0008】 [0008]

【作用】本願考案に係るカーボン硬質被膜を形成した基材は、まず基材上に湿式メッキにより下地金属被膜として、ニッケル合金被膜(ニッケル−リン被膜、ニッケル−パラジウム被膜、ニッケル−ボロン被膜、ニッケル− [Action] The substrate forming the carbon hard coating according to the present invention, as the first underlying metal film by wet plating on the base material, a nickel alloy coating (nickel - phosphorus coating, nickel - palladium coating, a nickel - boron coating, nickel -
スズ被膜等)、ニッケル被膜、クロム被膜、パラジウム被膜、ニッケル合金被膜とクロム被膜、ニッケル合金被膜とパラジウム被膜の中の1つからなる被膜が形成される。 Tin coating, etc.), nickel coating, chrome coating, a palladium coating, a nickel alloy coating and a chromium coating, the coating film made from one of the nickel alloy coating and a palladium coating is formed. この被膜を直接基材に施すことにより、黄銅、SK By applying the coating directly to the substrate, brass, SK
材等の耐蝕性の劣る基材の耐蝕性を向上させ、さらに時効処理を施すことにより硬度を向上させ、カーボン硬質被膜の特性をさらに生かすことが可能となる。 To improve the corrosion resistance of the base material having poor corrosion resistance of the wood or the like, to improve the hardness by performing aging treatment, it is possible to further utilize the properties of the carbon hard coating. 次に、乾式メッキ法によりチタン被膜を形成し、さらに乾式メッキ法によりシリコン被膜を形成し、順次積層構造にすることによりカーボン硬質被膜のコーティングを可能にし、耐蝕性の劣る基材に対して、高耐蝕性、高密着性のあるカーボン硬質被膜が形成される。 Next, with respect to forming a titanium film, further forming a silicon film by a dry plating method enables a coating of carbon hard coating by sequentially stacking structure, corrosion resistant less substrate by dry plating method, high corrosion resistance, high adhesiveness is carbon hard coating is formed.

【0009】 [0009]

【実施例】以下に本願考案の実施例を図面に用いて詳細に説明する。 EXAMPLES Using an embodiment of the present invention in the drawings will be described below in detail. 図1は、本願考案の第1実施例である膜構造の要部断面図である。 Figure 1 is a fragmentary cross-sectional view of the film structure is a first embodiment of the present invention. 黄銅、SK材等の炭素工具鋼、 Brass, carbon tool steel SK material or the like,
マルテンサイト系ステンレス鋼、フェライト系ステンレス鋼等の耐蝕性の劣る基材の中のSK材を使用して行なった。 Martensitic stainless steel, was performed using the SK material in the corrosion resistance of poor substrates such as ferritic stainless steel. SK基材1上に湿式メッキにより、下地金属被膜のニッケル合金メッキ、例えば無電解ニッケル−リンメッキでニッケル−リン被膜2を2〜5μm形成した。 The wet plating on SK substrate 1, an underlying metal film of nickel alloy plating, for example, electroless nickel - and the phosphorus coating 2 to 2~5μm form - nickel phosphorus plating. ≪ニッケル−リン合金メッキ≫ <メッキ液組成> 硫酸ニッケル 20g/1 次亜リン酸ナトリウム 25g/1 乳酸 25g/1 プロピオン酸 3g/1 <メッキ条件> pH 4〜5 温度 90℃ 処理後、時効処理を行なっても良い。 After - «nickel-phosphorus alloy plating» <Plating Solution Composition> Nickel sulfate 20 g / 1 sodium hypophosphite 25 g / 1 of lactic acid 25 g / 1 propionic acid 3 g / 1 <Plating conditions> pH 4 to 5 temperature 90 ° C. treatment, aging treatment it may be performed. 時効処理の条件は、400℃〜500℃で30分〜60分間行なう。 Conditions of the aging treatment is carried out 30 to 60 minutes at 400 ° C. to 500 ° C.. また、無電解ニッケル−ボロンメッキでニッケル−ボロン被膜を形成させる場合は、下記メッキ液組成で行なう。 Also, electroless nickel - at Boronmekki nickel - case of forming a boron coating is carried out by the following plating solution composition. ≪ニッケル−ボロン合金メッキ≫ <メッキ液組成> 塩化ニッケル 30g/1 水酸化ナトリウム 40g/1 エチレンジアミン 60g/1 ふっ化ナトリウム 3g/1 ほう水素化ナトリウム 0.5g/1 <メッキ条件> 温度 90℃ 尚、上記以外のニッケル合金被膜として、ニッケル−パラジウム被膜、ニッケル−スズ被膜等があり、この被膜を形成させても良いことは言うまでもない。 «Nickel - boron alloy plating» <plating solution composition> Nickel 30 g / 1 sodium hydroxide 40 g / 1 of ethylenediamine 60 g / 1 sodium fluoride 3 g / 1 Sodium borohydride 0.5 g / 1 <Plating conditions> chloride Temperature 90 ° C. still as the nickel alloy coating other than the above, nickel - palladium coating, a nickel - there are tin coating or the like, it may of course be allowed to form the coating. また、ニッケル−パラジウム被膜やニッケル−スズ被膜の形成は、 Also, nickel - palladium coating or nickel - forming of tin coating,
一般に電解メッキによって行なわれる。 Generally performed by electrolytic plating.

【0010】次に乾式メッキ法は、例えばスパッタリング法によりチタン被膜3をニッケル合金被膜であるニッケル−リン被膜2上に、0.1μm形成し、同様に該チタン被膜3上にシリコン被膜4を0.3μm形成した。 [0010] Then dry plating method, a titanium coating 3 of nickel is a nickel alloy coating for example by sputtering - on phosphorus coating 2, and 0.1μm is formed, similarly to the silicon film 4 on the titanium coating 3 0 It was .3μm formation.

【0011】その後、乾式メッキ法、例えばRFP−C [0011] Then, a dry plating method, for example RFP-C
VD法を用いて以下の条件により該シリコン被膜4上にカーボン硬質被膜5を2μm形成した。 And the carbon hard coating 5 on the silicon film 4 is 2μm formed under the following conditions using the VD method. ≪カーボン硬質被膜≫ <形成条件> ガス種 :メタンガス 成膜圧力 :0.1トール 高周波電力 :300ワット 成膜速度 :毎分0.12μm ビッカース硬度 :3000〜5000(Hv) この様にして、基材1上に密着性が良好でしかも信頼性の高いカーボン硬質被膜5が得られた。 «Carbon hard film» <forming conditions> Gas species: methane formation pressure: 0.1 Torr RF Power: 300 watts deposition rate: min 0.12μm Vickers hardness: 3000 to 5000 (Hv) In this way, group high carbon hard coating 5 adhesion of good, yet reliable on the wood 1 is obtained.

【0012】次に第2図は、本願考案の第2実施例である膜構造の要部断面図である。 [0012] Next, the second drawing is a fragmentary cross-sectional view of the film structure is a second embodiment of the present invention. 黄銅、SK材等の炭素工具鋼、マルテンサイト系ステンレス鋼、フェライト系ステンレス鋼等の耐蝕性の劣る基材の中の黄銅を使用して行なった。 Brass, were performed using carbon tool steel SK material or the like, martensitic stainless steel, brass in the corrosion resistance of poor substrates such as ferritic stainless steel. 黄銅の基材6上に湿式メッキにより下地金属被膜であるニッケル合金メッキ、例えば無電解ニッケル−リンメッキでニッケル−リン被膜7を前記と同様な方法で2〜5μm形成した。 Nickel alloy plating by wet plating on the base material 6 of brass as a base metal coating, for example, electroless nickel - were 2~5μm form phosphorus coating 7 in the same manner - nickel phosphorus plating.

【0013】次に湿式メッキにより、クロム被膜8を該ニッケル−リン被膜7上に2〜5μm形成した。 [0013] The following wet plating, a chrome coating 8 the nickel - were 2~5μm formed on phosphorus coating 7. ≪クロムメッキ≫ <メッキ液組成> 無水クロム酸 200〜300g/l 硫酸 2〜3 g/l 3価クロム 1〜5 g/l <メッキ条件> 浴温 40〜55℃ 電流密度 10〜60A/dm 2尚、クロム被膜を形成させるためのクロムメッキには、 «Chrome plating» <plating solution composition> chromic anhydride 200-30Og / l sulfuric acid 2 to 3 g / l 3 chromium 1 to 5 g / l <Plating conditions> Bath temperature 40 to 55 ° C. Current density 10~60A / dm 2 Note that the chromium plating for forming the chromium film,
装飾クロムメッキ、工業用クロムメッキがあるが、どちらのメッキでクロム被膜を形成させても良いことは言うまでもない。 Decorative chromium plating, there are industrial chrome plating, may of course also by forming a chromium film in either plating.

【0014】次に乾式メッキ法により第1実施例と同様な方法で、クロム被膜8上にチタン被膜9を0.1μm [0014] Next, in the first embodiment and the same method by a dry plating method, 0.1 [mu] m titanium coating 9 on the chromium layer 8
形成し、同様に該チタン被膜9上にシリコン被膜10を0.3μm形成し、その後、第1実施例と同様な方法でシリコン被膜10上にカーボン硬質被膜11を2μm形成した。 Formed, similarly to the silicon film 10 was 0.3μm formed on the titanium coating 9, after which the carbon hard coating 11 on the silicon film 10 in the first embodiment and the same method to 2μm form. この様にして、基材6上に密着性が良好でしかも信頼性の高いカーボン硬質被膜11が得られた。 In this way, a high carbon hard coating 11 adhesion on the substrate 6 is of good moreover reliability is obtained.

【0015】尚、基材が黄銅、または温度により軟化等発生する基材の場合、ニッケル−リンメッキ後、時効処理は行なわず、本願考案のクロム被膜を前記ニッケル− [0015] In the case of the substrate the substrate is generated softening or the like by brass or temperature, nickel - phosphorus plating after the aging treatment is not performed, the chromium film of the present invention nickel -
リン被膜上に形成することにより、前記ニッケル−リン被膜の時効処理を行なったものと、同等な硬度が得られた。 By forming on the phosphorus coating, the nickel - to that performed aging treatment phosphorus coating, equivalent hardness was obtained. また下地金属被膜の中の例えばパラジウム被膜は、 Also for example, palladium coating in the underlying metal coating,
銅合金材等の耐蝕性の劣る基材に使用し、クロム被膜は耐摩耗性を必要とする基材に使用する。 Use corrosion resistant inferior base of the copper alloy material such as chromium coatings used on a substrate that requires wear resistance. しかしながら、 However,
排水処理等の問題により、クロムメッキが使用できない場合に、ニッケルメッキでニッケル被膜を形成しても良い。 The problem of waste water treatment, etc., if the chromium plating can not be used, may be formed of nickel coated with nickel plating. さらに基材が耐蝕性を必要とする用途に使用される場合は、ニッケル合金被膜上にパラジウム被膜を形成することにより耐蝕性を更に向上させることも、可能であり、硬度及び耐摩耗性が必要な場合は、ニッケル合金被膜上にクロム被膜を形成することにより比較的安価に製造することできると共に、硬度及び耐摩耗性も向上する。 Further if the substrate is used in applications requiring corrosion resistance, to further improve the corrosion resistance by forming a palladium coating on the nickel alloy coating is also possible, necessary hardness and abrasion resistance case, together can be relatively inexpensively produced by forming a chromium coating on the nickel alloy coating is also improved hardness and wear resistance.

【0016】以下にSK材、黄銅基材上に上記方法によりカーボン硬質被膜5・11を形成した結果を記す。 [0016] Hereinafter SK material, mark the result of forming the carbon hard coating 5 - 11 by the above method on a brass substrate. 従来SK材基材上にカーボン硬質被膜5・11を形成する場合、前洗浄工程後に腐蝕が発生し、カーボン硬質被膜5・11形成後に、微小な剥離が金属顕微鏡等で観察すると発見されたが、本願考案の手法で形成した場合、微小な剥離は全く観察されなくなった。 When forming the carbon hard coating 5 - 11 on the conventional SK Zaimoto material, and corrosion occurs after the pre-cleaning process, after the carbon hard coating 5, 11 formed, but a small peeling was found as observed with a metallurgical microscope or the like , when formed by the present invention method, micro separation was no longer observed.

【0017】また、黄銅基材上にカーボン硬質被膜5・ [0017] In addition, the carbon hard coating on the brass base material 5,
11を形成する場合、脱亜鉛現象により充分な密着性が得られず結果的に耐蝕性が落ちることとなった。 When forming a 11, sufficient adhesiveness becomes to fall is not resulting in corrosion resistance obtained by dezincification. 本願考案の手法で形成した場合には、上記の現象が抑えられ黄銅材に対して高密着性、高耐蝕性の膜が得られた。 In the case of forming by the method of the present invention, a high adhesion to brass above phenomenon is suppressed, the high corrosion resistance of the film was obtained. さらに上記サンプルをCASS試験(24時間)と人工汗浸漬試験(24時間)を行なった。 Further subjected CASS test (24 hours) and artificial sweat immersion test (24 hours) the samples. (1)CASS試験 24時間 試料 結 果 従来品(下地金属被膜なし) 腐蝕有 本考案品 腐蝕無 (2)人工汗浸漬試験 24時間 試料 結 果 従来品(下地金属被膜なし) 腐蝕有 本考案品 腐蝕無 (1) CASS Test 24 hours sample result conventional (no underlying metal film) Mu corrosion chromatic present invention product corrosion (2) Artificial Sweat Immersion Test 24 hours sample result conventional (no underlying metal film) Corrosion chromatic present invention product corrosion Mu

【0018】また、乾式メッキにより形成したニッケル−リン被膜2・7に時効処理を行なったものについてはニッケル−リン被膜2・7自体の硬度もHv800〜1 Further, the nickel was formed by dry plating - for the phosphorus coating 2, 7 which were carried out aging treatment Nickel - also the hardness of the phosphorus coating 2 · 7 itself Hv800~1
000程度になり、耐摩耗性も向上することが判った。 Becomes about 000, abrasion resistance was improved.
上記サンプルと時効処理を行なっていないものについて摩耗試験を行なった。 It was performed abrasion test for those not subjected to the sample and aging treatment. (II) 耐摩耗試験 スガ摩耗試験機使用 荷重:3Kgf、研磨紙:sic#600、 摩耗回数:1600サイクル 試料 結 果 時効処理 無 一部基材から剥離 時効処理 有 外観上変化なし、磨耗量≒0 上記の結果から明らかなように、本願考案の試料は優れた特性を示し、高耐 蝕性、 高密着性の改善が得られた。 (II) the abrasion test Suga abrasion tester working load: 3 kgf, abrasive paper: sic # 600, abrasion number: 1600 cycles sample result aging without peeling aging treatment chromatic appearance changes from no part substrate, the wear amount ≒ 0 as is apparent from the above results, the samples of the present invention showed superior properties, high resistance-corrosion, the improvement of the high adhesion was obtained.

【0019】 [0019]

【考案の効果】上記のごとく、本願考案によれば、基材上に湿式メッキにより形成された下地金属被膜により、 As described above [invented effects of], according to the present invention, the underlying metal coating formed by wet plating on the substrate,
黄銅、SK材、マルテンサイト系、フェライト系ステンレス鋼等の耐蝕性の劣る鉄系の基材に対しても、高耐蝕性、密着性の高いカーボン硬質被膜を形成することができる。 Brass, SK material, martensitic, even for a substrate of an iron-based poor corrosion resistance, such as ferritic stainless steels, it is possible to form a high corrosion resistance, high adhesion carbon hard coating. さらに下地金属被膜であるニッケル合金被膜のうちニッケル−リン被膜に時効処理を行なったものについては耐摩耗性が更に向上することが期待でき、また黄銅等、時効処理が有効でない基材に対してもクロム被膜を施すことにより、時効処理を行なったものと同等な耐摩耗性が得られることも期待できる。 Further nickel of the nickel alloy coating is a base metal film - for those subjected to aging treatment in the phosphorus coating can expect abrasion resistance is further improved, also brass, the base material aging treatment is not effective also by subjecting the chrome coating, it can be expected to those subjected to aging treatment and comparable wear resistance. 本願考案により、さらに基材の種類が増し、カーボン硬質被膜の応用範囲が広がり大きな効果を有する。 The present invention increases the further the type of substrate, it has a large effect wider application range of the carbon hard coating.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本願考案の第1実施例の膜構造を示す要部断面図である。 1 is a fragmentary cross-sectional view showing the film structure of the first embodiment of the present invention.

【図2】本願考案の第2実施例の膜構造を示す要部断面図である。 Figure 2 is a fragmentary cross-sectional view showing the film structure of the second embodiment of the present invention.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1 基材 2 ニッケル−リン被膜 3 チタン被膜 4 シリコン被膜 5 カーボン硬質被膜 6 基材 7 ニッケル−リン被膜 8 クロム被膜 9 チタン被膜 10 シリコン被膜 11 カーボン硬質被膜 1 substrate 2 nickel - phosphorus coating 3 of titanium coating 4 silicon film 5 carbon hard coating 6 substrate 7 nickel - phosphorus coating 8 chrome coating 9 titanium film 10 silicon film 11 carbon hard coating

Claims (3)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】 (57) [range of utility model registration request]
  1. 【請求項1】 表面にカーボン硬質被膜を有する基材において、 鋼より成る基材と、基材上に湿式メッキにより形成された下地金属被膜と、 該下地金属被膜上に乾式メッキにより形成したチタン被膜と、 該チタン被膜上に乾式メッキにより形成したシリコン被膜と、 該シリコン被膜上に乾式メッキにより形成したカーボン硬質被膜とを備え、 前記下地金属被膜は、ニッケル合金被膜、ニッケル被 1. A substrate having a carbon hard coating on the surface, the titanium forming a substrate made of steel, and the underlying metal coating formed by wet plating on the substrate by dry plating on the lower ground metal coating It includes a coating, and a silicon film formed by dry plating on the titanium film, and a carbon hard film formed by dry plating on the silicon film, the underlying metal coating, a nickel alloy coating, a nickel-be
    膜、クロム被膜、パラジウム被膜、ニッケル合金被膜と Film, a chromium film, a palladium film, a nickel alloy coating
    クロム被膜、ニッケル合金被膜とパラジウム被膜の中か Or chrome coating, in the nickel alloy coating and a palladium coating
    ら選ばれる1つであることを特徴とするカーボン硬質被膜を有する基材。 A substrate having a carbon hard coating, characterized in that the one selected et.
  2. 【請求項2】 表面にカーボン硬質被膜を有する基材に To 2. A surface to a substrate having a carbon hard coating
    おいて、 黄銅より成る基材と、 基材上に湿式メッキにより形成された下地金属被膜と、 該下地金属被膜上に乾式メッキにより形成したチタン被 Oite, a substrate made of brass, and the base metal coating formed by wet plating on the base material, the titanium was formed by dry plating on the lower ground metal coating
    膜と、 該チタン被膜上に乾式メッキにより形成したシリコン被 And film, the silicon to be formed by dry plating on the titanium coating
    膜と、 該シリコン被膜上に乾式メッキにより形成したカーボン A membrane, the carbon formed by dry plating on the silicon film
    硬質被膜とを備え、 前記下地金属被膜は、ニッケル合金被膜、ニッケル被膜、クロム被膜、パラジウム被膜、ニッケル合金被膜とクロム被膜、ニッケル合金被膜とパラジウム被膜の中から選ばれる1つであることを特徴とするカーボン硬質被膜を有する基材。 And a hard coating, the underlying metal coating, characterized nickel alloy coating, nickel coating, chrome coating, a palladium coating, a nickel alloy coating and a chromium coating, that is one selected from among nickel alloy coating and a palladium coating a substrate having a Luke Bon hard coating to the.
  3. 【請求項3】 基材上に形成したニッケル合金被膜のうち、ニッケル−リン被膜に時効処理を施したことを特徴とする請求項1、2のいずれかに記載のカーボン硬質被膜を有する基材。 3. Of the nickel alloy film formed on a substrate, a nickel - a substrate having a carbon hard coating according to claim 1, characterized in that subjected to aging treatment phosphorus coating .
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