JP2569532B2 - Piezoelectric motor - Google Patents

Piezoelectric motor

Info

Publication number
JP2569532B2
JP2569532B2 JP62041928A JP4192887A JP2569532B2 JP 2569532 B2 JP2569532 B2 JP 2569532B2 JP 62041928 A JP62041928 A JP 62041928A JP 4192887 A JP4192887 A JP 4192887A JP 2569532 B2 JP2569532 B2 JP 2569532B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric element
backup
rotating body
output
rolling
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP62041928A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS63209483A (en
Inventor
英文 斎藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP62041928A priority Critical patent/JP2569532B2/en
Publication of JPS63209483A publication Critical patent/JPS63209483A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2569532B2 publication Critical patent/JP2569532B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、圧電素子の振動を利用して出力を取出し得
るようにした圧電素子モータに関するものである。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric element motor capable of extracting output using vibration of a piezoelectric element.

[従来の技術] 圧電素子は、電気的エネルギと力学的エネルギとを高
い効率の下に変換し得る特性があるため、その振動を利
用したモータ(いわゆる超音波モータ)の研究に注目が
集められている。
[Prior Art] Since a piezoelectric element has a characteristic of being able to convert electric energy and mechanical energy with high efficiency, attention has been paid to research on a motor using the vibration (a so-called ultrasonic motor). ing.

現在、この種モータとしては、先端にシューを取付け
た振動子を回転体の外周面に転接させて周方向にたたく
ようにした振動子型や、振動子を円板状やリング状に配
列して進行波をつくり、その上に回転体を載置して回転
させるようにした進行波型など、多くの種類が開発され
つつある。
At present, as this type of motor, a vibrator type in which a vibrator with a shoe attached to the tip is rolled in contact with the outer peripheral surface of the rotating body to strike in the circumferential direction, and vibrators are arranged in a disk shape or ring shape Many types are being developed, such as a traveling wave type in which a traveling wave is created by rotating a rotating body placed on the traveling wave.

[発明が解決しようとする問題点] しかし、従来のものはいずれも、その駆動力を振動子
と回転体との間に発生するフリクションに依存している
ため、フリクションが負荷トルクに対して不適当に小さ
いと、すべりを生じて駆動効率が低下してしまう不都合
がある。また、すべりが生ずると回転速度に影響が出る
ため、これをコントロールするための複雑なフィードバ
ック機構も必要となってくる。
[Problems to be Solved by the Invention] However, the driving force of any of the conventional devices depends on friction generated between the vibrator and the rotating body. If it is appropriately small, there is an inconvenience that slippage occurs and driving efficiency is reduced. In addition, since the occurrence of slip affects the rotation speed, a complicated feedback mechanism for controlling the slip is required.

本発明は、駆動手段を再考することによりすべり問題
を解消し、圧電素子本来のメリットを生かした効率の良
い安定したモータを実現することを目的としている。
An object of the present invention is to solve the slipping problem by reconsidering the driving means, and to realize an efficient and stable motor utilizing the inherent merits of the piezoelectric element.

[問題点を解決するための手段] 本発明は、上記目的を達成するために、次のような手
段を採用したものである。
[Means for Solving the Problems] The present invention employs the following means to achieve the above object.

すなわち、バックアップ面を有したバックアップ部材
と、前記バックアップ面に添設された複数の圧電素子
と、これら圧電素子の表面に被覆されて転動面なす弾性
体と、前記転動面に圧接された回転体と、この回転体の
転接位置を検出する位置検出手段と、この位置検出手段
より検出される転接位置の近傍の圧電素子を駆動してそ
の回転体に前記弾性体を押付ける駆動手段と、前記バッ
クアップ部材と前記回転体との相対回転を出力として取
出すようにした出力部材とを具備してなることを特徴と
している。
That is, a backup member having a backup surface, a plurality of piezoelectric elements attached to the backup surface, an elastic body covering the surfaces of these piezoelectric elements to form a rolling surface, and being pressed against the rolling surface. A rotating body, position detecting means for detecting a rolling contact position of the rotating body, and driving for driving the piezoelectric element near the rolling contact position detected by the position detecting means to press the elastic body against the rotating body Means, and an output member for taking out the relative rotation between the backup member and the rotating body as an output.

なお、バックアップ面を円環状あるいは平面状をなす
面に設定したり、また、位置検出手段として圧電素子に
生ずる分極電位差を検出したりすれば、特に好適であ
る。
It is particularly preferable to set the backup surface to an annular or planar surface, or to detect a polarization potential difference generated in the piezoelectric element as position detection means.

[作用] このような手段であれば、位置検出手段を通じて回転
体の転接位置のモニタが可能である。そして、弾性体が
回転体に常にその近傍から進行方向へ向かって押付けら
れるので、その押付け力は摩擦力によって駆動される場
合に比べ力の作用点とその方向とが適切であり、しかも
回転体は転動面に圧接されているので、該回転体はすべ
りを生ずることなく好適に駆動され得るものとなる。
[Operation] With such means, it is possible to monitor the rolling contact position of the rotating body through the position detecting means. Since the elastic body is constantly pressed against the rotating body from the vicinity thereof in the traveling direction, the pressing force is more appropriate in the point of application of the force and its direction than in the case where the elastic body is driven by frictional force. Is pressed against the rolling surface, so that the rotating body can be suitably driven without causing slip.

[実施例] 以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

この実施例の圧電素子モータは、第1図に示すよう
に、バックアップ部材として中空円筒状のハウジング1
を設け、このハウジング1を外部に固設することにより
その内周面1aをバックアップ面として設定している。
As shown in FIG. 1, the piezoelectric element motor of this embodiment has a hollow cylindrical housing 1 as a backup member.
The housing 1 is fixed to the outside to set the inner peripheral surface 1a as a backup surface.

前記内周面1aには、多数の圧電素子2が全域にわたっ
て添設されている。この圧電素子2は、第2図に示すよ
うに、円筒軸方向に伸びる長寸な薄板状の圧電材2aを厚
み方向へ多数積層し、その両端面に薄板電極(図示省
略)を対設して構成したものである。そして、電極間に
駆動電圧が印加されると、各圧電素子2に電歪効果が生
じ、前記内周面1aを足場にハウジング1中心に向かって
伸縮し得るものである。この際、その伸縮動作が円滑に
行なわれるよう、各圧電素子2間には適当な隙間2bが設
けられている。さらに、圧電素子2上に弾性材である薄
肉円管の弾性リング3を被覆し、この弾性リング3の表
面を転動面3aとなしている。
A large number of piezoelectric elements 2 are provided along the entire inner peripheral surface 1a. As shown in FIG. 2, the piezoelectric element 2 is formed by laminating a large number of long thin piezoelectric members 2a extending in a cylindrical axis direction in a thickness direction, and a thin plate electrode (not shown) is provided on both end surfaces thereof. It is configured. When a driving voltage is applied between the electrodes, an electrostrictive effect is generated in each of the piezoelectric elements 2, and the piezoelectric elements 2 can expand and contract toward the center of the housing 1 using the inner peripheral surface 1 a as a scaffold. At this time, an appropriate gap 2b is provided between the piezoelectric elements 2 so that the expansion and contraction operation can be performed smoothly. Further, a thin circular elastic ring 3 made of an elastic material is coated on the piezoelectric element 2, and the surface of the elastic ring 3 is used as a rolling surface 3a.

一方、前記弾性リング3内には、第1図に示すような
四個の同一なローラ4、5、5、5を遊星運動を行ない
得るように挿通しており、そのうちの回転体である三個
のプラネタリローラ5、5、5が、前記転動面3aに一定
の力で圧接されるように構成している。具体的には、前
記ハウジング1に固定支持させたシャフト6を中心位置
に配し、このシャフト6に回転可能にサンローラ4を軸
着するとともに、プラネタリローラ5、5、5を対称配
置した状態でそれらのシャフト5aをリテーナ5bに連結固
定させたもので、各プラネタリローラが前記サンローラ
4と前記転動面3aとに交互に転接しながら該サンローラ
4の周りを公転するようにしたものである。なお、各プ
ラネタリローラ5が前記転動面3aに圧接されるように、
各ローラ4、5、5、5の直径は、前記弾性リング3の
内径の1/3より若干大きく設定してある。
On the other hand, in the elastic ring 3, four identical rollers 4, 5, 5, 5 as shown in FIG. The planetary rollers 5, 5, 5 are configured to be pressed against the rolling surface 3a with a constant force. Specifically, a shaft 6 fixedly supported by the housing 1 is disposed at a center position, a sun roller 4 is rotatably mounted on the shaft 6, and the planetary rollers 5, 5, 5 are symmetrically arranged. The shafts 5a are connected and fixed to a retainer 5b, and each planetary roller revolves around the sun roller 4 while alternately rolling and contacting the sun roller 4 and the rolling surface 3a. In addition, so that each planetary roller 5 is pressed against the rolling surface 3a,
The diameter of each of the rollers 4, 5, 5 and 5 is set slightly larger than 1 / of the inner diameter of the elastic ring 3.

一方、前記各プラネタリローラ5の転接位置を検出す
るために、前記圧電素子2の電極に判断回路7aの入力端
を接続させてなる位置検出手段7を設けている。すなわ
ち、圧電素子2がいずれかのプラネタリローラ5に圧縮
されて歪んだ場合、ピエゾ効果により電極間に現われる
過渡的な分極電位差を、判断回路7が位置信号として検
出し得るものである。
On the other hand, in order to detect the rolling contact position of each of the planetary rollers 5, there is provided a position detecting means 7 in which an input terminal of a judgment circuit 7a is connected to an electrode of the piezoelectric element 2. That is, when the piezoelectric element 2 is compressed and distorted by any one of the planetary rollers 5, the determination circuit 7 can detect a transient polarization potential difference appearing between the electrodes due to the piezo effect as a position signal.

そして、前記位置検出手段7によってローラ転接位置
が検出された場合に、その近傍の圧電素子2を駆動して
前記プラネタリローラ5に弾性リング3を弾性変形させ
て押付けるために、駆動手段8を設けている。この駆動
手段8は、遅延回路8aと増幅器8bとを有しており、その
増幅器8bの入力端を遅延回路8aを介して前記判断回路7a
の出力端に接続させている。すなわち、判断回路7aから
位置信号を受けとった遅延回路8aでは、外部から適宜指
令される回転速度命令に応じた遅延時間をおいて、前記
増幅器8bへ駆動信号を出力するようにしている。そし
て、この増幅器8bの出力端は、位置信号を発した前記圧
電素子2に対し、プラネタリローラ5の矢示運動方向を
基準にして後方の圧電素子2の両電極へ接続されてお
り、駆動信号を受取ると、電歪効果を奏させるに十分な
駆動電圧を該圧電素子2に印加できるようになってい
る。
When the position detecting unit 7 detects the roller rolling contact position, the driving unit 8 drives the piezoelectric element 2 in the vicinity thereof to elastically deform and press the elastic ring 3 against the planetary roller 5. Is provided. The driving means 8 has a delay circuit 8a and an amplifier 8b. The input terminal of the amplifier 8b is connected to the judgment circuit 7a via the delay circuit 8a.
Output terminal. That is, the delay circuit 8a that receives the position signal from the determination circuit 7a outputs a drive signal to the amplifier 8b after a delay time corresponding to a rotation speed command appropriately issued from the outside. The output end of the amplifier 8b is connected to both electrodes of the piezoelectric element 2 located rearward with respect to the piezoelectric element 2 that has issued the position signal, based on the direction of arrow movement of the planetary roller 5, and the drive signal Is received, a drive voltage sufficient to produce an electrostrictive effect can be applied to the piezoelectric element 2.

なお、以上の位置検出手段7と駆動手段8とは、添設
された圧電素子2の全てに対してそれぞれ設けられてお
り、電圧印加の際は、隣接する圧電素子2の位置検出用
線路を利用して行なわれている。また、前記プラネタリ
ローラ5の回転に応じて回転するサンローラ4を、この
モータの出力部材として図外に機能させている。
The above-described position detecting means 7 and driving means 8 are provided for all of the attached piezoelectric elements 2, and when applying a voltage, the position detecting lines of the adjacent piezoelectric elements 2 are connected. It is performed using. The sun roller 4 that rotates in accordance with the rotation of the planetary roller 5 functions as an output member of the motor out of the drawing.

次に、本実施例の作動を説明する。 Next, the operation of the present embodiment will be described.

モータ駆動中、任意の場所でのプラネタリローラ5の
転接状態は、微小時間に第2図中(a)→(b)→
(c)と変化する。すなわち、ローラ5が同図(a)に
示す中央の圧電素子2に転接すると、該圧電素子2は圧
接されてひずみ、電極間に電位差を生ずる。この電位差
は、同時に第1図の判断回路7a入力端に現われるため、
その出力端からは次段の遅延回路8aへ駆動信号が移送さ
れる。遅延回路8aでは、回転速度命令によって設定され
た時間を遅らせた後、受取った駆動信号を増幅器8bへ入
力することになる。これにより増幅器8bは、即座に、位
置信号を受取った圧電素子2の後方の圧電素子2に駆動
電圧を印加する。この時点で、前記プラネタリローラ5
は第2図(b)に示す如く慣性走行によって遅延時間に
対応する微少距離ほど移動しており、ここにおいてこの
プラネタリローラ5と電圧印加中の前記圧電素子2(図
中左側)とは、押付け力が適切に働くための位置関係が
得られている。そして、圧電素子2は、電歪効果によっ
て引続き同図(c)に示すように上方へ隆起し、この際
のひずみ応力が、弾性リング3を通じて前記プラネタリ
ローラ5を転接位置の後方から進行方向に向かって付勢
し得るものとなる。
During the driving of the motor, the rolling contact state of the planetary roller 5 at an arbitrary location changes in a very short time from (a) to (b) in FIG.
(C). That is, when the roller 5 comes into contact with the central piezoelectric element 2 shown in FIG. 2A, the piezoelectric element 2 is pressed and distorted, causing a potential difference between the electrodes. Since this potential difference appears at the input terminal of the judgment circuit 7a in FIG.
A drive signal is transferred from the output terminal to the delay circuit 8a at the next stage. In the delay circuit 8a, after the time set by the rotation speed command is delayed, the received drive signal is input to the amplifier 8b. As a result, the amplifier 8b immediately applies a drive voltage to the piezoelectric element 2 behind the piezoelectric element 2 that has received the position signal. At this point, the planetary roller 5
Is moved by a minute distance corresponding to the delay time due to inertial running as shown in FIG. 2 (b). Here, the planetary roller 5 and the piezoelectric element 2 (left side in FIG. The positional relationship for the force to work properly has been obtained. Then, the piezoelectric element 2 continues to protrude upward due to the electrostriction effect as shown in FIG. 4C, and the strain stress at this time causes the planetary roller 5 to move from the rear of the rolling contact position through the elastic ring 3 in the traveling direction. Can be urged toward.

そして、このような駆動は断続的に繰返され、転接面
3a上3箇所において経時的にひずみ進行波を形成し、各
プラネタリローラ5はそれぞれその進行波の前方を追わ
れるようにして公転駆動することになり、サンローラ4
から回転出力を取出すことが可能となるものである。
And such driving is repeated intermittently,
3a, a progressive traveling wave is formed with time at three points, and each planetary roller 5 is driven to revolve so as to follow the front of the traveling wave.
It is possible to extract the rotation output from.

以上のような構成であれば、付勢力がプラネタリロー
ラ5に適切な位置および方向から作用するので、該プラ
ネタリローラ5はすべりを生ずることなく好適に駆動さ
れることとなる。そして、圧電素子2が圧接された際に
生ずる分極電位差を利用して位置検出手段7を構成した
ので、簡易かつ確実なセンシングが可能なものである。
また、このようなものにおいて、遅延回路7aの時定数設
定値を変更すれば、前記サンローラ4からは任意の回転
速度を得ることができるものである。
With the above configuration, since the urging force acts on the planetary roller 5 from an appropriate position and direction, the planetary roller 5 can be suitably driven without causing slip. Since the position detecting means 7 is configured by utilizing the polarization potential difference generated when the piezoelectric element 2 is pressed, simple and reliable sensing is possible.
In such a case, by changing the time constant set value of the delay circuit 7a, an arbitrary rotation speed can be obtained from the sun roller 4.

なお、前記実施例において、プラネタリローラ5を連
結保持するリテーナ5bから出力を取出してもよい。これ
によれば、前記実施例とは速度およびトルクの異なった
回転出力を取出せるものである。また、回転駆動中に出
力部材を随意に切替えるように構成することもできる。
また、サンローラ4を固定しておき、プラネタリローラ
5とハウジング1とを相対回転させて、一方の回転を出
力として取出すことも可能である。さらに、位置検出手
段としては上記のもの以外に、転接面に圧電素子以外の
ものを組込んだものや遠隔位置から光学的にセンシング
するようにしたものも考えられる。
In the above embodiment, the output may be taken out from the retainer 5b that connects and holds the planetary roller 5. According to this, a rotational output having a different speed and torque can be obtained from the embodiment. Further, the output member can be arbitrarily switched during the rotation driving.
Further, it is also possible to fix the sun roller 4 and relatively rotate the planetary roller 5 and the housing 1 to take out one of the rotations as an output. Further, as the position detecting means, in addition to the above-mentioned ones, a means in which something other than a piezoelectric element is incorporated in the rolling contact surface, or a means which optically senses from a remote position can be considered.

また、第3図に示すように、バックアップ面11aがバ
ックアップ部材11の外周に設定されたものや、第4図に
示すように、バックアップ面21aがリニアな平面を有す
るバックアップ部材21上に設定されたものであっても好
適な効果が得られるものである。すなわち、第3図で
は、中央に固設された円柱状のバックアップ部材11の外
周面11aに圧電素子12を配設し、中空円筒状の外側ロー
ラ14と4個の中間ローラ15とを可動に構成したもので、
いずれか一方のローラの回転が出力部材に連設されてい
るものである。また、第4図では、リニアな平面21aを
有するバックアップ部材21上に圧電素子22を縦列配置し
ており、回転体25に支持された出力部材24等から直線的
な出力を得ることができるものである。
In addition, as shown in FIG. 3, the backup surface 11a is set on the outer periphery of the backup member 11, and as shown in FIG. 4, the backup surface 21a is set on the backup member 21 having a linear plane. However, a suitable effect can be obtained. That is, in FIG. 3, the piezoelectric element 12 is arranged on the outer peripheral surface 11a of the cylindrical backup member 11 fixed at the center, and the hollow cylindrical outer roller 14 and the four intermediate rollers 15 are movable. Configured
The rotation of one of the rollers is connected to the output member. In FIG. 4, the piezoelectric elements 22 are arranged in tandem on a backup member 21 having a linear flat surface 21a, and a linear output can be obtained from an output member 24 and the like supported by a rotating body 25. It is.

さらに第5図は、テーパローラとの効果的な組合わせ
による変型実施例で、圧電素子26の作動でテーパローラ
27を介しサンローラに相当する出力回転体29を回転さ
せ、出力をシャフト30より取出すようにしたものであ
る。この例では、転動面に押付けるテーパローラ27をシ
ム28の厚さで調整できる。
FIG. 5 shows a modified embodiment in which an effective combination with a taper roller is used.
An output rotator 29 corresponding to a sun roller is rotated via 27, and an output is taken out from a shaft 30. In this example, the thickness of the shim 28 can be adjusted for the taper roller 27 pressed against the rolling surface.

その他、圧電素子を千鳥状に配置して素子密度の増大
を図ったもの等、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々
変形が可能である。
In addition, various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention, such as an arrangement in which the piezoelectric elements are arranged in a staggered manner to increase the element density.

[発明の効果] 本発明は、以上のような構成により、付勢力を最適位
置に発現させることができるので、すべりによって駆動
力が半減されたり駆動速度にむらがでたりする不具合を
招くことがなく、高い効率のもとに安定した回転出力を
得ることの可能な圧電素子モータを提供できるものであ
る。
[Effects of the Invention] In the present invention, since the biasing force can be expressed at the optimum position by the above-described configuration, a problem that the driving force is reduced by half or the driving speed becomes uneven due to slippage is caused. Thus, it is possible to provide a piezoelectric element motor capable of obtaining a stable rotation output with high efficiency.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明の一実施例を示す概略的な全体図、第2
図は回転体の転接状態を示す部分拡大図である。また、
第3図〜第5図は、それぞれ他の実施例を示す概略的な
全体図である。 1……ハウジング(バップアップ部材) 1a……内周面(バックアップ面) 2……圧電素子 3……弾性リング(弾性体) 4……サンローラ(出力部材) 5……プラネタリローラ(回転体) 6……シャフト、7……位置検出手段 8……駆動手段 11、21……バックアップ部材 11a、21a……バックアップ面 12、22、26……圧電素子
FIG. 1 is a schematic overall view showing one embodiment of the present invention, and FIG.
The figure is a partially enlarged view showing the rolling contact state of the rotating body. Also,
FIGS. 3 to 5 are schematic general views showing other embodiments. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Housing (up-up member) 1a ... Inner peripheral surface (backup surface) 2 ... Piezoelectric element 3 ... Elastic ring (elastic body) 4 ... Sun roller (output member) 5 ... Planetary roller (rotary body) Reference numeral 6: shaft, 7: position detecting means 8: driving means 11, 21, backup member 11a, 21a backup surface 12, 22, 26 piezoelectric element

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】バックアップ面を有したバックアップ部材
と、前記バックアップ面に添設された複数の圧電素子
と、これら圧電素子の表面に被覆されて転動面をなす弾
性体と、前記転動面に圧接された回転体と、この回転体
の転接位置を検出する位置検出手段と、この位置検出手
段により検出される転接位置の近傍の圧電素子を駆動し
てその回転体に前記弾性体を押付ける駆動手段と、前記
バックアップ部材と前記回転体との相対回転を出力とし
て取出すようにした出力部材とを具備してなることを特
徴とする圧電素子モータ。
1. A backup member having a backup surface, a plurality of piezoelectric elements attached to the backup surface, an elastic body covering the surfaces of the piezoelectric elements to form a rolling surface, and the rolling surface A rotating body pressed against the rotating body, position detecting means for detecting a rolling contact position of the rotating body, and a piezoelectric element near the rolling contact position detected by the position detecting means for driving the elastic body to the rotating body. A piezoelectric element motor comprising: a driving unit that presses the rotation member; and an output member configured to extract a relative rotation between the backup member and the rotating body as an output.
【請求項2】バックアップ面を中空円筒状のバックアッ
プ部材の内周に設定したことを特徴とする特許請求の範
囲第1項記載の圧電素子モータ。
2. The piezoelectric element motor according to claim 1, wherein the backup surface is set on the inner periphery of a hollow cylindrical backup member.
【請求項3】バックアップ面を円柱状のバックアップ部
材の外周に設定したことを特徴とする特許請求の範囲第
1項記載の圧電素子モータ。
3. The piezoelectric element motor according to claim 1, wherein the backup surface is set on the outer periphery of the cylindrical backup member.
【請求項4】バックアップ面をリニアな平面を有するバ
ックアップ部材に設けたことを特徴とする特許請求の範
囲第1項記載の圧電素子モータ。
4. The piezoelectric element motor according to claim 1, wherein the backup surface is provided on a backup member having a linear flat surface.
【請求項5】位置検出手段として、圧電素子に発生する
分極電位差を検出する判断回路を具備してなることを特
徴とする特許請求の範囲第1項、第2項、第3項、第4
項、または第5項記載の圧電素子モータ。
5. The apparatus according to claim 1, wherein said position detecting means comprises a judgment circuit for detecting a polarization potential difference generated in said piezoelectric element.
Item 6. The piezoelectric element motor according to item 5 or 5.
JP62041928A 1987-02-25 1987-02-25 Piezoelectric motor Expired - Fee Related JP2569532B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62041928A JP2569532B2 (en) 1987-02-25 1987-02-25 Piezoelectric motor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62041928A JP2569532B2 (en) 1987-02-25 1987-02-25 Piezoelectric motor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63209483A JPS63209483A (en) 1988-08-31
JP2569532B2 true JP2569532B2 (en) 1997-01-08

Family

ID=12621898

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62041928A Expired - Fee Related JP2569532B2 (en) 1987-02-25 1987-02-25 Piezoelectric motor

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2569532B2 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5087852A (en) * 1990-03-13 1992-02-11 Rockwell International Corporation Direct current traveling wave motor
US6313566B1 (en) * 1997-07-08 2001-11-06 John Cunningham Piezoelectric motor

Also Published As

Publication number Publication date
JPS63209483A (en) 1988-08-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2996483B2 (en) Vibration type motor
EP0401762A2 (en) Vibration driven motor
JP3205026B2 (en) Vibration wave driving device and device having vibration wave driving device
JP2569532B2 (en) Piezoelectric motor
JPH11220894A (en) Double-sided driving ultrasonic motor
JPH1066362A (en) Oscillatory-wave motor equipped with piezoelectric pressing member
JP3016577B2 (en) Vibration wave device
JPS6389074A (en) Surface-wave motor
JPH05276768A (en) Rotary table
JP3492106B2 (en) Vibration wave motor
JP2625691B2 (en) Ultrasonic motor
JP2585574B2 (en) Ultrasonic drive using a ring-shaped piezoelectric vibrator
JP2996494B2 (en) Vibration type motor device
JP3008294B2 (en) Output structure of ultrasonic motor
JP3160018B2 (en) Vibration wave drive with built-in differential mechanism
JP2778979B2 (en) Motor bearing structure and lens barrel
JP2639551B2 (en) Ultrasonic drive
JP3164857B2 (en) Vibration wave drive device and device equipped with vibration wave drive device
JP2601659B2 (en) Ultrasonic drive
SU661661A1 (en) Piezoelectric reversible motor
JPH0780793A (en) Multi-degree-of-freedom actuator
JP3089324B2 (en) Ultrasonic motor
JPH0474951B2 (en)
JPH0530760A (en) Rotary actuator
JPS63181677A (en) Centroid rotary type ultrasonic motor

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees