JP2555741B2 - Color filter manufacturing method - Google Patents
Color filter manufacturing methodInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は固体撮像素子や液晶ディスプレイ等をカラー
化するために用いられるカラーフィルタの製造方法に関
するもので、さらに詳しく言えば感度や安定性の点で天
然物に勝る合成の感光性樹脂を用い、なおかつ中間層を
必要としないカラーフィルタの製造方法に関するもので
ある。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for producing a color filter used for colorizing a solid-state image sensor, a liquid crystal display, or the like, and more specifically, it relates to sensitivity and stability. The present invention relates to a method for producing a color filter that uses a synthetic photosensitive resin superior to natural products in that respect and does not require an intermediate layer.
カラーフィルタは、一般的にレリーフ染色法と呼ばれ
る、染色可能な樹脂で形成した微細なレリーフパターン
を染色して着色する工程を必要な色数だけ繰り返す方法
によって製造される。The color filter is manufactured by a method generally called a relief dyeing method, in which a step of dyeing and coloring a fine relief pattern formed of a dyeable resin is repeated by a required number of colors.
この方法は染色可能な樹脂自体に感光性を持たせるこ
とによって容易に微細パターンを形成でき、また着色は
染料を用いるので着色パターンは透明でシャープな分光
透過率曲線を示し、しかも染料は非常に多くの種類から
選択することができるので設計上の自由度も大きいとい
う、きわめて実用的な方法である。This method makes it possible to easily form a fine pattern by making the dyeable resin itself photosensitive, and since coloring uses a dye, the colored pattern shows a transparent and sharp spectral transmittance curve, and the dye is very This is a very practical method in that there is a large degree of freedom in design because it is possible to select from many types.
レリーフ染色法に用いれる染色可能な感光性樹脂とし
ては、従来から、ゼラチン、カゼイン、フィシュグルー
等の天然タンパクの水溶液を重クロム酸塩で感光化した
ものが用いられている。しかし、これらの感光性樹脂は
感度が低いために生産性が上がらず、また、感光性樹脂
としての安定性にも問題がある。As the dyeable photosensitive resin used in the relief dyeing method, conventionally used is an aqueous solution of a natural protein such as gelatin, casein or fish glue sensitized with dichromate. However, since these photosensitive resins have low sensitivity, the productivity cannot be improved, and there is a problem in stability as the photosensitive resin.
これらの点を解決すべく、樹脂中にカチオン性の基を
染着座として導入した合成の染色基材が多数提案されて
いる。特に、カチオン基として三級アミンまたは四級ア
ンモニウム塩を導入したものは良好は染色性を示し、安
定性の面でも十分満足の行く性質が得られる。In order to solve these problems, many synthetic dye base materials have been proposed in which a cationic group is introduced into a resin as a dyeing site. In particular, those having a tertiary amine or quaternary ammonium salt introduced as a cation group show good dyeability, and sufficiently satisfactory properties can be obtained in terms of stability.
ところで、このような三級アミンまたは四級アンモニ
ウム塩を導入したカチオン性性ポリマーを感光化するた
めに、いくつかの方法が提案されている。By the way, several methods have been proposed for sensitizing a cationic polymer having such a tertiary amine or quaternary ammonium salt introduced therein.
まず第一は、ポリマー中に光架橋を起こすカルコンの
ような感光基を導入すること（例えば特開昭59−48758
号公報）、第二はポリマーにアジド化合物やジアゾ化合
物等の光架橋剤を添加すること（例えば特開昭58−1993
42号公報、特開昭59−155412号公報、特開昭62−127735
号公報など） 第３は重合性モノマーと光重合開始剤を添加すること
（例えば特開昭60−221755号公報）、 第４は側鎖に光重合性の不飽和係合を導入し、光重合
開始剤によって架橋させる（例えば特開昭63−144346号
公報）などである。First, the introduction of a photosensitive group such as chalcone which causes photocrosslinking into a polymer (see, for example, JP-A-59-48758).
Second, the addition of a photocrosslinking agent such as an azide compound or a diazo compound to the polymer (for example, JP-A-58-1993).
42, JP-A-59-155412, JP-A-62-127735
The third is the addition of a polymerizable monomer and a photopolymerization initiator (for example, JP-A-60-221755), and the fourth is the introduction of a photopolymerizable unsaturated engagement into the side chain, For example, it is crosslinked with a polymerization initiator (for example, JP-A-63-144346).
以上述べたような合成の感光性樹脂に共通する問題と
して、着色パターンの形成された基材上に次の着色パタ
ーンを形成する際に、先の着色パターンを保護するため
の中間層が必要であるという点がある。As a problem common to the above-mentioned synthetic photosensitive resins, an intermediate layer for protecting the previous coloring pattern is required when forming the next coloring pattern on the substrate on which the coloring pattern is formed. There is a point.
すなわち、中間層が存在しないと、 （１） 次色の感光性樹脂を塗布する際に感光性樹脂の
溶液中に前色の染料が溶出する。That is, when the intermediate layer is not present, (1) the dye of the previous color is eluted in the solution of the photosensitive resin when the photosensitive resin of the next color is applied.
（２） 次色のレリーフパターンを染色する際に、前色
のパターンが混色を起こす。(2) When dyeing the relief pattern of the next color, the pattern of the previous color causes color mixing.
と言ったトラブルを生じる。It causes the trouble.
したがって合成の感光性樹脂を使用する場合は中間層
は不可欠であるが、このことはカラーフィルタの製造工
程数が増えるころによって製造コストの上昇と歩留りの
低下をもたらす。Therefore, when the synthetic photosensitive resin is used, the intermediate layer is indispensable, but this causes an increase in manufacturing cost and a decrease in yield due to an increase in the number of manufacturing steps of the color filter.
レリーフパターンを形成するための感光性樹脂として
ゼラチン、カゼイン等の天然物を用いた場合には染色パ
ターンの防染処理方法が確立されており、中間層なしで
の製造が可能だった。すなわち、一般的には染色後のレ
リーフパターンをタンニン酸水溶液にディップし、次い
で酒石酸アンチモニルカリウムの水溶液にディップする
ことによって中間層なしでも染料の溶出や混色を防止す
ることができた。When a natural product such as gelatin or casein is used as a photosensitive resin for forming a relief pattern, a dyeing pattern resisting method has been established, and production without an intermediate layer was possible. That is, generally, the relief pattern after dyeing was dipped in an aqueous solution of tannic acid, and then dipped in an aqueous solution of potassium antimonyl tartrate, whereby the elution and color mixing of the dye could be prevented even without the intermediate layer.
しかし、合成の感光性樹脂を用いた場合には上記タン
ニン酸・酒石酸アンチモニルカリウム処理の効果は認め
られるものの、中間層を省略するには不十分であり、他
に有効な防染処理方法も見出されていないのが現状であ
った。However, when a synthetic photosensitive resin is used, the effect of the above-mentioned tannic acid / antimony potassium tartrate treatment is recognized, but it is not sufficient to omit the intermediate layer, and other effective dye-resisting treatment methods are also available. It was the current situation that it was not found.
本発明においては、レリーフパターンを形成するため
の三級アミンまたは四級アンモニウム塩の構造を有する
樹脂の共重合成分として、Ｎ−アルコキシメチル基を有
する単量体を用い、アニオン基を有する染料で染色後、
タンニン酸の溶液で処理し、次いで加熱処理を行なうこ
とによって上記課題を解決した。In the present invention, a monomer having an N-alkoxymethyl group is used as a copolymerization component of a resin having a structure of a tertiary amine or a quaternary ammonium salt for forming a relief pattern, and a dye having an anion group is used. After dyeing
The above problems were solved by treating with a solution of tannic acid and then performing heat treatment.
前述のように、合成の染色基材を用いた場合にはタン
ニン酸・酒石酸アンチモニルカリウム処理による染料の
固着効果はほとんど期待できないが、本発明者等はレリ
ーフパターンを形成する樹脂が共重合成分として一般式
（Ａ）で表わされるＮ−アルコキシメチル（メタ）アク
リルアミド （式中、ＲはＨまたはCH3、ｎは１〜４の整数を表わ
す。） を有する場合には、染色後タンニン酸の溶液で処理し、
次いで加熱処理を行なえば十分な染料固着効果が得られ
ることを見出した。As described above, when the synthetic dyeing base material is used, the effect of fixing the dye by the tannic acid / antimony potassium tartrate treatment can hardly be expected, but the present inventors have found that the resin forming the relief pattern is a copolymerization component. N-alkoxymethyl (meth) acrylamide represented by the general formula (A) as (Wherein R represents H or CH 3 , and n represents an integer of 1 to 4), the dyed product is treated with a solution of tannic acid after dyeing,
Then, it was found that a sufficient dye fixing effect can be obtained by heat treatment.
ゼラチン、カゼイン等の天然物の場合にはタンニン酸
処理後の酒石酸アンチモニルカリウム処理は重要だが、
本発明の場合はタンニン酸の溶液で処理した後、酒石酸
アンチモニルカリウム処理は必ずしも必要ではない。し
かし、タンニン酸の溶液で処理しただけでは染料の固着
効果は全く認められず、加熱処理を行なうことによって
始めて十分な固着効果が発現する。For natural products such as gelatin and casein, treatment with antimony potassium tartrate after tannic acid treatment is important,
In the case of the present invention, the treatment with a solution of tannic acid and then the treatment with potassium antimonyl tartrate are not always necessary. However, the fixing effect of the dye is not recognized at all by only treating with the solution of tannic acid, and the sufficient fixing effect is exhibited only after the heat treatment.
本発明の染料固着機構については十分に解明されてい
ないが、以上のような状況から判断すると、染色された
パターンの中に浸入したタンニン酸が、加熱処理により
樹脂のＮ−アルコキシメチル基と反応し、パターンの架
橋密度が上がることによって固着が達成すると思われ
る。Although the dye fixing mechanism of the present invention has not been sufficiently clarified, judging from the above situation, the tannic acid penetrating into the dyed pattern reacts with the N-alkoxymethyl group of the resin by the heat treatment. However, it is believed that sticking is achieved by increasing the crosslink density of the pattern.
本発明に用いられる染色基材は三級アミン又は四級ア
ンモニウム塩の構造を有する単量体と、前記一般式
（Ａ）で表わされる単量体とその他の単量体を通常の方
法で共重合することによって得られる。The dyeing substrate used in the present invention comprises a monomer having a structure of a tertiary amine or a quaternary ammonium salt, a monomer represented by the general formula (A) and another monomer, which are commonly used. Obtained by polymerizing.
三級アミンの構造を有する単量体としては、例えばジ
メチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ジエチルア
ミノエチル（メタ）アクリレート、ジメチルアミノプロ
ピル（メタ）アクリルアミド、ジエチルアミノプロピル
（メタ）アクリルアミド等を用いることが出来る。As the monomer having a tertiary amine structure, for example, dimethylaminoethyl (meth) acrylate, diethylaminoethyl (meth) acrylate, dimethylaminopropyl (meth) acrylamide, diethylaminopropyl (meth) acrylamide, etc. can be used.
また四級アンモニウム塩の構造を有する単量体として
は、２−ヒドロキシ−３−メタクロイルオキシプロピル
トリメチルアンモニウムクロライドや、前記三級アミン
の構造を有する単量体のメチルクロライド、ジメチル硫
酸、Ｐ−トルエンスルホン酸メチル等による四級化物を
用いることができる。Examples of the monomer having a quaternary ammonium salt structure include 2-hydroxy-3-methacryloyloxypropyltrimethylammonium chloride, methyl chloride of the monomer having a tertiary amine structure, dimethylsulfate, and P- A quaternary compound such as methyl toluenesulfonate can be used.
三級アミンまたは四級アンモニウム塩の構造を有する
単量体は、十分な染色性を持たせるためには共重合体に
10〜50重量％導入することが必要である。Monomers with a tertiary amine or quaternary ammonium salt structure should be used in the copolymer in order to have sufficient dyeability.
It is necessary to introduce 10 to 50% by weight.
前記一般式（Ａ）で表わされる単量体は、十分な固着
効果を達成するためには、共重合体に10〜50重量％導入
することが必要である。また式中のｎは１〜４までの範
囲が適当であって、例えばｎ＝０のＮ−メチロール（メ
タ）アクリルアミドでは同様の固着効果が期待できるも
のの、反応性が高すぎて重合やパターニングが不安定に
なり、またｎ＝５以上だと他の単量体との相溶性の点で
問題がある。The monomer represented by the general formula (A) must be incorporated in the copolymer in an amount of 10 to 50% by weight in order to achieve a sufficient fixing effect. Further, n in the formula is suitably in the range of 1 to 4, and for example, N-methylol (meth) acrylamide with n = 0 can be expected to have the same fixing effect, but the reactivity is too high to cause polymerization or patterning. It becomes unstable, and when n = 5 or more, there is a problem in compatibility with other monomers.
本発明の共重合体に用いられるその他の単量体は、主
として共重合体の感光化という観点で選択される。共重
合体の感光化する方法は〔従来の技術〕で述べたように
いろいろ考えられ、感光化の方法によって４−メタクロ
イロキシカルコン、Ｎ−ビニルピロリドン、ヒドロキシ
エチルメタクリレート、グリシジルメタクリレート、シ
トラコン酸モノ（メタクリロイルエチル）エステル等が
用いられる。また、本発明者等は、テトラヒドロフルフ
リル（メタ）アクリレートの導入も共重合体の感光化の
ために有用であることを見出した。テトラヒドロフルフ
リル（メタ）アクリレートを導入した共重合体はビスア
ジド化合物を添加することによって高感度の感光性樹脂
となる。The other monomer used in the copolymer of the present invention is selected mainly from the viewpoint of sensitizing the copolymer. There are various methods for sensitizing the copolymer as described in [Prior Art], and 4-methacryloyloxychalcone, N-vinylpyrrolidone, hydroxyethylmethacrylate, glycidylmethacrylate, monocitraconic acid can be used depending on the sensitization method. (Methacryloylethyl) ester or the like is used. The present inventors have also found that the introduction of tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate is also useful for sensitizing the copolymer. The copolymer having tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate introduced therein becomes a highly sensitive photosensitive resin by adding a bisazide compound.
本発明の方法によってカラーフィルタを形成するには
このような感光性樹脂を用いて形成したレリーフパター
ンのスルホン酸基、カルボン酸基等のアニオン基を有す
る染料で染色し、次いでタンニン酸の溶液で該染色パタ
ーンを処理する。しかるのち150〜200℃程度で加熱処理
を行なう。以上の工程を繰り返すことにより中間層なし
でカラーフィルタを形成することができる。To form a color filter by the method of the present invention, a relief pattern formed using such a photosensitive resin is dyed with a dye having an anion group such as a carboxylic acid group and a sulfonic acid group, and then a solution of tannic acid is used. The dyeing pattern is processed. After that, heat treatment is performed at about 150 to 200 ° C. By repeating the above steps, the color filter can be formed without the intermediate layer.
当然ながら、最後に形成されるフィルタ層に関して
は、このようなタンニン酸・加熱処理は行なわなくても
かまわない。As a matter of course, such tannic acid / heat treatment may not be performed on the finally formed filter layer.
また、平滑化等の目的で一部のフィルタ層の間に中間
層を形成してもかまわない。Further, an intermediate layer may be formed between some filter layers for the purpose of smoothing or the like.
〔実施例１〕 本発明の方法に基づき、固体撮像素子上に、シアン、
マゼンタ、イエローの３色からなるカラーフィルタを形
成する方法について説明する。Example 1 Based on the method of the present invention, cyan,
A method of forming a color filter composed of three colors of magenta and yellow will be described.
（Ａ）感光性樹脂の合成 テトラヒドロフルフリルメタクリレート40g、ジメチ
ルアミノプロピルメタクリルアミドのｐ−トルエンスル
ホン酸メチル塩30g、Ｎ−メトキシメチルアクリルアミ
ド30gをメチルセロソルブ400gを溶媒とし、アゾビスイ
ソブチロニトリル0.5gを開始剤として窒素気流下、70℃
で４時間撹拌して共重合体溶液を得た。(A) Synthesis of Photosensitive Resin 40 g of tetrahydrofurfuryl methacrylate, 30 g of p-toluenesulfonic acid methyl salt of dimethylaminopropylmethacrylamide, 30 g of N-methoxymethylacrylamide are used as a solvent of 400 g of methyl cellosolve, and 0.5 g of azobisisobutyronitrile is used. 70g under a nitrogen stream with g as an initiator
And stirred for 4 hours to obtain a copolymer solution.
次にこの共重合体溶液樹脂分が10重量％となるように
メチルセロソルブで希釈し、さらに樹脂分に対して８重
量％の2,2′ビス（Ｎ−ヒドロキシプロピルスルファモ
イル）4,4′−ジアジドスチルベンを添加して感光液と
した。Next, this copolymer solution was diluted with methyl cellosolve to a resin content of 10% by weight, and further 8% by weight of the resin content of 2,2 'bis (N-hydroxypropylsulfamoyl) 4,4 ′ -Diazidostilbene was added to prepare a photosensitive solution.
（Ｂ）固体撮像素子の下地処理 固体撮像素子の形成されたシリコンウエハにFVR（富
士薬品（株）製 アクリル系感光性樹脂）をスピンコー
トし、100℃、５分のプリベーク（ホットプレート使
用、以下のベーク処理も全てホットプレートを使用し
た。）ののち、100mJ/cm2のパターン露光を行ない、MEK
90部、IPA10部の混合液で現像し、MIBKでリンスするこ
とによってボンディングパッド部とスクライブ部を露出
させた。次いで180℃、５分間のポストベークを行なっ
た。(B) Substrate processing of solid-state image sensor FVR (Fuji Chemical Co., Ltd. acrylic photosensitive resin) was spin-coated on a silicon wafer on which the solid-state image sensor was formed, and prebaked at 100 ° C. for 5 minutes (using a hot plate, A hot plate was also used for all of the baking treatments below.) After that, pattern exposure of 100 mJ / cm 2 was performed, and MEK was performed.
It was developed with a mixed solution of 90 parts and IPA 10 parts, and rinsed with MIBK to expose the bonding pad part and the scribe part. Then, post-baking was performed at 180 ° C. for 5 minutes.
（Ｃ）シアンフィルタの形成 下地処理されたシリコンウエハに（Ａ）に感光液をス
ピンコートし、100℃、５分のプリベークののち、20mJ/
cm2のパターン露光を行ない、エタノール80部、IPA20部
の混合液で現像し、MIBKでリンスすることによって微細
なレリーフパターンを形成した。次いで180℃、５分間
のポストベークを行なった。(C) Cyan filter formation A (A) was spin-coated with a photosensitive solution on a silicon wafer that had been pretreated, and after prebaking at 100 ° C. for 5 minutes, 20 mJ /
A pattern exposure of cm 2 was performed, developed with a mixed solution of 80 parts of ethanol and 20 parts of IPA, and rinsed with MIBK to form a fine relief pattern. Then, post-baking was performed at 180 ° C. for 5 minutes.
次にラナゾールブルー8G（チバガイギー（株）製）の
0.5％水溶液からなるシアン染色液に該レリーフパター
ンの成形されたシリコンウエハの60℃で５分間浸漬し、
水洗した。Next, lanazol blue 8G (manufactured by Ciba Geigy)
Immerse the silicon wafer on which the relief pattern is formed in a cyan dyeing solution composed of a 0.5% aqueous solution at 60 ° C. for 5 minutes,
Washed with water.
次いでタンニン酸１％水溶液に60℃で２分間浸漬し、
水洗した。Then immerse in a 1% aqueous tannic acid solution at 60 ° C for 2 minutes,
Washed with water.
さらに200℃で５分間のベーク処理を行なった。 Further, baking treatment was performed at 200 ° C. for 5 minutes.
（Ｄ）マゼンダフィルタの形成 シアンフィルタの形成されたシリコンウエハに（Ａ）
の感光液をスピンコートした。この際、シアン染料の溶
出は認められなかった。ついで（Ｃ）と同様にプリベー
ク、露光、ポストベークを行なった。(D) Formation of magenta filter On a silicon wafer on which a cyan filter is formed (A)
Was spin-coated. At this time, elution of the cyan dye was not observed. Then, prebaking, exposure and postbaking were performed in the same manner as in (C).
次にカヤノールミーリングレッド3BW（日本化薬
（株）製）の0.5％水溶液からなるマゼンダ染色液で60
℃、５分間の染色を行ない、水洗後タンニン酸１％水溶
液に60℃で２分間浸漬、水洗した。さらに200℃で５分
間のベーク処理を行なった。このマゼンタ染色工程にお
いて、シアンフィルタへのマゼンダの混色は認められな
かった。Next, a 60% magenta dye solution consisting of 0.5% Kayanol Milling Red 3BW (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) was used.
Dyeing was carried out at 5 ° C. for 5 minutes, and after washing with water, it was immersed in a 1% tannic acid aqueous solution at 60 ° C. for 2 minutes and washed with water. Further, baking treatment was performed at 200 ° C. for 5 minutes. In this magenta dyeing step, no magenta color mixture on the cyan filter was observed.
（Ｅ）イエローフィルタの形成 シアン、マゼンタフィルタの形成されたシリコンウエ
ハに（Ａ）の感光液をスピンコートした。この際、シア
ン、マゼンダ染料とも溶出は認められなかった。次いで
（Ｃ）と同様にプリベーク、露光、現像、ポストベーク
を行なった。(E) Formation of Yellow Filter The photosensitive liquid of (A) was spin-coated on a silicon wafer on which cyan and magenta filters were formed. At this time, neither cyanide nor magenta dye was observed to be eluted. Then, similarly to (C), prebaking, exposure, development and postbaking were performed.
次にスプラノールファーストイエロー4G（バイエル
（株）製）の0.5％水溶液からなるイエロー染色液で60
℃,5分間の染色を行ない水洗し、さらに180℃で５分間
ベークした。Next, use 60% yellow dye solution consisting of 0.5% aqueous solution of Supranol Fast Yellow 4G (Bayer Co., Ltd.).
Dyeing was performed at 5 ° C for 5 minutes, washing with water, and baking at 180 ° C for 5 minutes.
このイエロー染色工程において、シアンフィルタ、マ
ゼンダフィルタへのイエローの混色は認められなかっ
た。In this yellow dyeing process, no color mixing of yellow with the cyan filter and magenta filter was observed.
（Ｆ）オーバーコート層の形成 シアン、マゼンダ、イエローの各フィルタの形成され
たシリコンウエハにFVRをスピンコートし、以下（Ｂ）
と同様にプリベーク、露光、現像、ポストベークを行な
い、ボンディングパッド部とスクライブ部を露出させ
た。(F) Formation of overcoat layer FVR is spin-coated on a silicon wafer on which cyan, magenta, and yellow filters have been formed.
Pre-baking, exposure, development, and post-baking were performed in the same manner as in 1. to expose the bonding pad section and the scribe section.
以上述べた方法により、各フィルタ間に中間層を形成
することなしにカラーフィルタを形成することができ
た。By the method described above, a color filter could be formed without forming an intermediate layer between each filter.
〔実施例２〕 単量体の仕込み量をＮ−ビニルピロリドン40g、２−
ヒドロキシ−３−メタクロイルオキシプロピルトリメチ
ルアンモニウムクロライド25g、Ｎ−エトキシエチルア
クリルアミド25g、メタクリル酸メチル10gとし、該感光
性樹脂の露光量を30mJ/cm2、現像液をメチルセロソルブ
に変更した他は実施例１と同様の条件で染料の溶出・混
色のないカラーフィルタを中間層なしで形成することが
できた。[Example 2] N-vinylpyrrolidone 40 g, 2-
Hydroxy-3-methacryloyloxypropyltrimethylammonium chloride 25 g, N-ethoxyethyl acrylamide 25 g, and methyl methacrylate 10 g were used, the exposure amount of the photosensitive resin was changed to 30 mJ / cm 2 , and the developing solution was changed to methyl cellosolve. Under the same conditions as in Example 1, it was possible to form a color filter without elution and color mixing of dyes without an intermediate layer.
〔実施例３〕 単量体の仕込み量をヒドロキシエチルメタクリレート
30g、ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド25g、Ｎ
−ブトキシメチルアクリルアミド25g、N,N′−ジメチル
アクリルアミド20gとし、該感光性樹脂の現像液をメチ
ルセロソルブに変更した他は実施例１と同様な条件で染
料の溶出・混色のないカラーフィルタを中間層なしで形
成することができた。[Example 3] The charged amount of the monomer was hydroxyethyl methacrylate.
30g, dimethylaminopropyl methacrylamide 25g, N
-Butoxymethyl acrylamide 25 g, N, N'-dimethyl acrylamide 20 g, and except that the developing solution of the photosensitive resin was changed to methyl cellosolve, a color filter free from dye elution and color mixing was prepared under the same conditions as in Example 1. It could be formed without layers.
本発明の方法により、感度や安定性の点で天然物より
優れる合成の感光性樹脂を用いながら、なおかつ中間層
なしでカラーフィルタの形成が可能となったため、カラ
ーフィルタの製造工程数が減って製造コストが低下し、
歩留りは向上した。By the method of the present invention, since it is possible to form a color filter without using an intermediate layer while using a synthetic photosensitive resin that is superior to natural products in terms of sensitivity and stability, the number of color filter manufacturing steps is reduced. Manufacturing costs are reduced,
Yield improved.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−217304（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−221584（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−12504（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−142605（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−139342（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−125934（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−128064（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−516（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−137834（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−186956（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−291619（ＪＰ，Ａ) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) Reference JP 63-217304 (JP, A) JP 1-2221584 (JP, A) JP 60-12504 (JP, A) JP 1- 142605 (JP, A) JP 63-139342 (JP, A) JP 63-125934 (JP, A) JP 1-128064 (JP, A) JP 62-516 (JP, A) JP-A-58-137834 (JP, A) JP-A-61-186956 (JP, A) JP-A-61-291619 (JP, A)
Claims (1)
パターンを染色して着色する工程を必要な色数だけ繰り
返すカラーフィルタの製造方法において、 （イ）基材上に三級アミンまたは四級アンモニウム塩の
構造を有する単量体と、 一般式（Ａ）で表わされる単量体 （式中、ＲはＨまたはCH3、ｎは１〜４の整数を表わ
す。） を共重合成分として有する樹脂を用いてレリーフパター
ンを形成する工程と、 （ロ）該レリーフパターンをアニオン基を有する染料で
染色して着色する工程と、 （ハ）該着色されたレリーフパターンをタンニン酸の溶
液で処理する工程と、 （ニ）タンニン酸の溶液で処理された着色パターンの形
成された基材を加熱処理する工程 上記の（イ）〜（ニ）の工程を具備することを特徴とす
るカラーフィルタの製造方法。1. A method for producing a color filter, wherein a step of dyeing and coloring a fine relief pattern formed of a dyeable resin is repeated for a required number of colors, wherein (a) a tertiary amine or a quaternary amine is provided on a substrate. A monomer having an ammonium salt structure and a monomer represented by the general formula (A) (In the formula, R represents H or CH 3 , and n represents an integer of 1 to 4.) A step of forming a relief pattern using a resin having a copolymerization component, and (b) the relief pattern containing an anion group. A step of dyeing and coloring with a dye that has, (c) a step of treating the colored relief pattern with a solution of tannic acid, and (d) a substrate on which a colored pattern is treated with a solution of tannic acid A step of heat-treating the color filter is provided with the steps (a) to (d) above.
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