JP2553371B2 - Method for producing composite of silicon nitride and carbon - Google Patents

Method for producing composite of silicon nitride and carbon

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JP2553371B2
JP2553371B2 JP63002683A JP268388A JP2553371B2 JP 2553371 B2 JP2553371 B2 JP 2553371B2 JP 63002683 A JP63002683 A JP 63002683A JP 268388 A JP268388 A JP 268388A JP 2553371 B2 JP2553371 B2 JP 2553371B2
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silicon carbide
silicon nitride
silicon
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【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、窒化珪素および炭素の複合物の製造方法に
関し、特に炭化珪素粉末,炭化珪素ウィスカもしくは炭
化珪素繊維中の炭化珪素を分解して窒化珪素および炭素
を生成せしめてなる窒化珪素および炭素の複合物の製造
方法に関するものである。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for producing a composite of silicon nitride and carbon, in particular, by decomposing silicon carbide in silicon carbide powder, silicon carbide whiskers or silicon carbide fibers. The present invention relates to a method for producing a composite of silicon nitride and carbon by producing silicon nitride and carbon.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来この種の窒化珪素および炭素の複合物の製造方法
としては、窒化珪素繊維の表面に対し化学蒸着により炭
素をコーティングして複合化するもの以外、全く提案さ
れたものがなかった。
Conventionally, there has been no proposal at all as a method for producing a composite of silicon nitride and carbon of this type, other than a method of coating the surface of silicon nitride fiber with carbon by chemical vapor deposition to form a composite.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be Solved by the Invention]

しかしながらこれでは、炭素のコーティングの厚さを
調節することが困難で大量生産に適しない欠点があり、
また窒化珪素および炭素の粉末状複合物あるいはウィス
カ複合物を全く製造できない欠点があり、ひいては窒化
珪素粉末,窒化珪素ウィスカあるいは炭化珪素繊維を複
合化することによってその素材強化能力などの特性を改
善できない欠点があった。
However, this has the drawback that it is difficult to control the thickness of the carbon coating and is not suitable for mass production.
In addition, there is a drawback that powdery composites of silicon nitride and carbon or whisker composites cannot be produced at all, and by combining silicon nitride powders, silicon nitride whiskers or silicon carbide fibers, properties such as material strengthening ability cannot be improved. There was a flaw.

そこで本発明は、これらの欠点を解決するために、窒
化珪素および炭素の複合物の製造方法を提供せんとする
ものである。
Therefore, the present invention provides a method for producing a composite of silicon nitride and carbon in order to solve these drawbacks.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

前記課題を解決するため、本発明の窒化珪素および炭
素の複合物の製造方法は、純度が50重量%以上である炭
化珪素粉末,炭化珪素ウィスカもしくは炭化珪素繊維中
の炭化珪素を分解して窒化珪素および炭素を生成する分
解工程を包有してなることを特徴とする。
In order to solve the above problems, a method for producing a composite of silicon nitride and carbon according to the present invention is to decompose silicon nitride in a silicon carbide powder, a silicon carbide whisker or a silicon carbide fiber having a purity of 50% by weight or more to nitride the silicon carbide. It is characterized by including a decomposition step for producing silicon and carbon.

前記分解工程は、100気圧以上の窒素分圧を有する雰
囲気中で1200℃以上の温度に加熱して熱間静水圧プレス
処理を行なうことにより達成されてなることが好まし
い。
The decomposition step is preferably accomplished by heating to a temperature of 1200 ° C. or higher in an atmosphere having a nitrogen partial pressure of 100 atm or higher and performing a hot isostatic pressing process.

〔作 用〕[Work]

本発明にかかる窒化珪素および炭素の複合物の製造方
法は、純度が50重量%以上である炭化珪素粉末,炭化珪
素ウィスカもしくは炭化珪素繊維中の炭化珪素を分解工
程で分解することにより窒化珪素および炭素を生成して
なるので、窒化珪素粉末,窒化珪素ウィスカもしくは窒
化珪素繊維をそれぞれ炭素によって直接に複合化する作
用をなし、ひいては窒化珪素粉末,窒化珪素ウィスカも
しくは窒素珪素繊維を大量かつ廉価に製造することを可
能とする作用をなし、併せて炭化珪素粉末,炭化珪素ウ
ィスカもしくは炭化珪素繊維のサイズを予め選択するこ
とによって窒化珪素および炭素の複合物のサイズを適宜
に調節する作用をなす。
The method for producing a composite of silicon nitride and carbon according to the present invention comprises a silicon carbide powder having a purity of 50% by weight or more, a silicon carbide whisker or silicon carbide in a silicon carbide fiber, which is decomposed in a decomposition step to obtain silicon nitride and Since carbon is produced, it has the function of directly compounding silicon nitride powder, silicon nitride whiskers or silicon nitride fibers with carbon, and in turn produces silicon nitride powder, silicon nitride whiskers or silicon nitride fibers in large quantities and at low cost. In addition, the size of the silicon carbide powder, the silicon carbide whiskers or the silicon carbide fibers is preselected so that the size of the composite of silicon nitride and carbon can be adjusted appropriately.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明にかかる窒化珪素および炭素の複合物の
製造方法の一実施例について、その詳細を説明する。
Hereinafter, an example of a method for producing a composite of silicon nitride and carbon according to the present invention will be described in detail.

純度が50重量%以上である炭化珪素粉末,炭化珪素ウ
ィスカもしくは炭化珪素繊維を、それぞれ出発原料とし
て準備する。炭化珪素粉末,炭化珪素ウィスカもしくは
炭化珪素繊維のサイズは、窒化珪素および炭素の複合物
のサイズに応じて所望により適宜選択すればよい。
Silicon carbide powder, silicon carbide whiskers or silicon carbide fibers having a purity of 50% by weight or more are prepared as starting materials. The size of the silicon carbide powder, the silicon carbide whiskers or the silicon carbide fibers may be appropriately selected as desired depending on the size of the composite of silicon nitride and carbon.

出発原料としての炭化珪素粉末,炭化珪素ウィスカも
しくは炭化珪素繊維中の炭化珪素SiCを、分解工程によ
って全て分解することにより窒化珪素Si3N4および炭素
Cを生成せしめる。すなわち100気圧以上の窒素分圧を
有する雰囲気中で1200℃の温度以上に加熱して熱間静水
圧プレス処理を行なうことにより、次式の如く 3SiC+2N2→Si3N4+3C 炭化珪素粉末,炭化珪素ウィスカもしくは炭化珪素繊維
中の炭化珪素SiCを全て分解し、窒化珪素Si3N4および炭
素Cを生成して窒化珪素および炭素の複合物を作成す
る。
Silicon carbide Si 3 N 4 and carbon C are produced by completely decomposing silicon carbide SiC in the silicon carbide powder, silicon carbide whiskers or silicon carbide fibers as a starting material in the decomposition step. That is, by heating to a temperature of 1200 ° C or higher in an atmosphere having a nitrogen partial pressure of 100 atm or more and performing hot isostatic pressing, 3SiC + 2N 2 → Si 3 N 4 + 3C silicon carbide powder, carbonization All of the silicon carbide SiC in the silicon whiskers or silicon carbide fibers is decomposed to form silicon nitride Si 3 N 4 and carbon C to form a composite of silicon nitride and carbon.

換言すれば、上述の分解工程を所定の時間だけ持続せ
しめることにより、出発原料すなわち炭化珪素粉末,炭
化珪素ウィスカもしくは炭化珪素繊維中の炭化珪素SiC
を、全て窒化珪素Si3N4および炭素Cに分解することが
でき、ひいては窒化珪素粉末,窒化珪素ウィスカもしく
は窒化珪素繊維を炭素Cによってそれぞれ複合化した窒
化珪素および炭素の複合物を生成できる。
In other words, by continuing the above-mentioned decomposition process for a predetermined time, the starting raw material, that is, silicon carbide powder, silicon carbide whiskers or silicon carbide SiC in the silicon carbide fibers.
Can all be decomposed into silicon nitride Si 3 N 4 and carbon C, and thus silicon nitride powder, silicon nitride whiskers or silicon nitride fibers can be formed into a composite of silicon nitride and carbon, respectively.

加えて本発明にかかる窒化珪素および炭素の複合物の
製造方法の一実施例を、一層よく理解するために、具体
的な数値を挙げ詳細に説明する。
In addition, one embodiment of the method for producing a composite of silicon nitride and carbon according to the present invention will be described in detail with specific numerical values for better understanding.

実施例1 純度が95重量%以上でかつ平均粒径が0.9μである炭
化珪素粉末中の炭化珪素SiCを、100気圧以上の窒素分圧
を有する雰囲気中で、1700℃の温度に加熱して熱間静水
圧プレス処理を2時間にわたり実行した。
Example 1 Silicon carbide SiC in a silicon carbide powder having a purity of 95% by weight or more and an average particle size of 0.9 μ is heated to a temperature of 1700 ° C. in an atmosphere having a nitrogen partial pressure of 100 atm or more. The hot isostatic pressing process was carried out for 2 hours.

これにより炭化珪素粉末中の炭化珪素SiCは、第1表
に示した如く、全て窒化珪素Si3N4および炭素Cに分解
され、ひいては窒化珪素および炭素の粉末状複合物が生
成された。
As a result, as shown in Table 1, all of the silicon carbide SiC in the silicon carbide powder was decomposed into silicon nitride Si 3 N 4 and carbon C, and a powdery composite of silicon nitride and carbon was formed.

窒化珪素および炭素の粉末状複合物は、表面が黒色を
呈していたが、大気中で0.5時間にわたり800℃の温度に
加熱することによって酸化したところ、白色ないし白緑
色を呈するようになった。
The powdery composite of silicon nitride and carbon had a black surface, but when it was oxidized by heating to a temperature of 800 ° C. for 0.5 hour in the atmosphere, it became white or white-green.

そののち窒化珪素および炭素の粉末状複合物の組成を
分析したところ、大半の炭素Cが酸化され二酸化炭素CO
2として除去されており、炭素Cが0.5重量%に減少して
いた。この時大気中の酸素O2は、窒化珪素および炭素の
粉末状複合物の内部に対して侵入しないことが知られて
いるので、その表面の色彩の変化から炭素Cの酸化はそ
の表面で生じており、ひいては炭素Cがその表面近傍に
存在していたものと判断できた。
After that, when the composition of the powdery composite of silicon nitride and carbon was analyzed, most of carbon C was oxidized and carbon dioxide CO
It was removed as 2 , and carbon C was reduced to 0.5% by weight. At this time, it is known that oxygen O 2 in the atmosphere does not penetrate into the inside of the powdery composite of silicon nitride and carbon. Therefore, due to the change in the color of the surface, the oxidation of carbon C occurs on the surface. Therefore, it can be determined that carbon C was present near the surface.

実施例2 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分
圧が1000気圧とされ、その時の温度が1450℃とされたこ
とを除き、実施例1が反復された。
Example 2 Example 1 was repeated except that the nitrogen partial pressure in the atmosphere in which the hot isostatic pressing was performed was 1000 atm and the temperature at that time was 1450 ° C.

この時の結果は、第1表に示されており、実施例1と
同様に、炭化珪素粉末中の炭化珪素SiCが、全て窒化珪
素Si3N4および炭素Cに分解され、ひいては窒化珪素お
よび炭素の粉末状複合物が生成された。
The results at this time are shown in Table 1, and as in Example 1, all of the silicon carbide SiC in the silicon carbide powder was decomposed into silicon nitride Si 3 N 4 and carbon C. A powdered composite of carbon was produced.

比較例1 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分
圧が9気圧とされ、その時の温度が1770℃とされ、かつ
時間が10時間とされたことを除き、実施例1が反復され
た。
Comparative Example 1 Example 1 was repeated except that the nitrogen partial pressure in the atmosphere in which the hot isostatic pressing was performed was 9 atm, the temperature at that time was 1770 ° C., and the time was 10 hours. Was repeated.

この時の結果は、第1表に示されているが、炭化珪素
粉末中の炭化珪素SiCは、実施例1とは異なり、窒化珪
素Si3N4および炭素Cに全く分解されなかった。
The results at this time are shown in Table 1, but unlike Example 1, silicon carbide SiC in the silicon carbide powder was not decomposed into silicon nitride Si 3 N 4 and carbon C at all.

比較例2および3 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の温度が
1250℃および1450℃とされ、かつ時間が4時間および2
時間とされたことを除き、それぞれ実施例1が反復され
た。
Comparative Examples 2 and 3 The temperature in the atmosphere in which the hot isostatic pressing was performed was
1250 ° C and 1450 ° C, and time is 4 hours and 2
Example 1 was repeated, except at the times indicated.

この時の結果は、第1表に示されているが、炭化珪素
粉末中の炭化珪素SiCは、実施例1とは異なり、殆ど窒
化珪素Si3N4および炭素Cに全く分解されなかった。
The results at this time are shown in Table 1, but unlike in Example 1, silicon carbide SiC in the silicon carbide powder was hardly decomposed into silicon nitride Si 3 N 4 and carbon C at all.

比較例4および5 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の温度が
1200℃および1350℃とされ、かつ時間が4時間および2
時間とされたことを除き、それぞれ実施例2が反復され
た。
Comparative Examples 4 and 5 The temperature in the atmosphere in which the hot isostatic pressing was performed was
1200 ° C and 1350 ° C, and time is 4 hours and 2
Example 2 was repeated in each case, except at the times indicated.

この時の結果は、第1表に示されているが、炭化珪素
粉末中の炭化珪素SiCは、実施例2とは異なり、殆ど窒
化珪素Si3N4および炭素Cに分解されなかった。
The results at this time are shown in Table 1, but unlike Example 2, the silicon carbide SiC in the silicon carbide powder was hardly decomposed into silicon nitride Si 3 N 4 and carbon C.

実施例3 純度が95重量%以上でかつ平均外径および平均長さが
それぞれ0.5μおよび20μである炭化珪素ウィスカ中の
炭化珪素SiCを、100気圧以上の窒素分圧を有する雰囲気
中で、1700℃の温度に加熱して熱間静水圧プレス処理を
2時間にわたり実行した。
Example 3 Silicon carbide SiC in a silicon carbide whisker having a purity of 95% by weight or more and an average outer diameter and an average length of 0.5 μ and 20 μ, respectively, was subjected to 1700 in an atmosphere having a nitrogen partial pressure of 100 atm or more. Hot isostatic pressing was carried out for 2 hours with heating to a temperature of ° C.

これにより炭化珪素ウィスカ中の炭化珪素SiCは、第
2表に示した如く、全て窒化珪素Si3N4および炭素Cに
分解され、窒化珪素および炭素のウィスカ複合物が生成
された。
As a result, all of the silicon carbide SiC in the silicon carbide whiskers was decomposed into silicon nitride Si 3 N 4 and carbon C, as shown in Table 2, and a whisker composite of silicon nitride and carbon was produced.

窒化珪素および炭素のウィスカ複合物は、表面が黒色
を呈していたが、大気中で0.5時間にわたり800℃の温度
に加熱することによって酸化したところ、白色ないし白
緑色を呈するようになった。
The silicon nitride and carbon whisker composite had a black surface, but when it was oxidized by heating to a temperature of 800 ° C. for 0.5 hours in the atmosphere, it became white or white-green.

そののち窒化珪素および炭素のウィスカ複合物の組成
を分析したところ、大半の炭素Cが酸化され二酸化炭素
CO2として除去されており、炭素Cが0.5重量%に減少し
ていた。この時大気中の酸素O2は、窒化珪素および炭素
のウィスカ複合物の内部に対して侵入しないことが知ら
れているので、その表面の色彩の変化から炭素Cの酸化
はその表面で生じており、ひいては炭素Cがその表面近
傍に存在していたものと判断できた。
After that, when the composition of the silicon nitride and carbon whisker composite was analyzed, most of the carbon C was oxidized and carbon dioxide was
It was removed as CO 2 and carbon C was reduced to 0.5% by weight. At this time, it is known that oxygen O 2 in the atmosphere does not penetrate into the inside of the whisker composite of silicon nitride and carbon. Therefore, due to the change in the color of the surface, oxidation of carbon C occurs on the surface. Therefore, it can be judged that carbon C was present near the surface.

実施例4 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分
圧が1000気圧とされ、その時の温度が1450℃とされたこ
とを除き、実施例3が反復された。
Example 4 Example 3 was repeated except that the nitrogen partial pressure in the atmosphere in which the hot isostatic pressing was performed was 1000 atm and the temperature at that time was 1450 ° C.

この時の結果は、第2表に示されており、実施例3と
同様に、炭化珪素ウィスカ中の炭化珪素SiCが、全て窒
化珪素Si3N4および炭素Cに分解され、ひいては窒化珪
素および炭素のウィスカ複合物が生成された。
The results at this time are shown in Table 2, and like Example 3, the silicon carbide SiC in the silicon carbide whiskers was all decomposed into silicon nitride Si 3 N 4 and carbon C, and thus silicon nitride and A carbon whisker composite was formed.

比較例6 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分
圧が9気圧とされ、その時の温度が1770℃とされ、かつ
時間が10時間とされたことを除き、実施例3が反復され
た。
Comparative Example 6 Example 3 was repeated except that the nitrogen partial pressure in the atmosphere in which the hot isostatic pressing was performed was 9 atm, the temperature at that time was 1770 ° C., and the time was 10 hours. Was repeated.

この時の結果は、第2表に示されているが、炭化珪素
ウィスカ中の炭化珪素SiCは、実施例3とは異なり、窒
化珪素Si3N4および炭素Cに全く分解されなかった。
The results at this time are shown in Table 2, and unlike Example 3, the silicon carbide SiC in the silicon carbide whiskers was not decomposed into silicon nitride Si 3 N 4 and carbon C at all.

比較例7および8 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の温度が
1250℃および1450℃とされ、かつ時間が4時間および2
時間とされたことを除き、それぞれ実施例3が反復され
た。
Comparative Examples 7 and 8 The temperature in the atmosphere in which the hot isostatic pressing treatment was performed was
1250 ° C and 1450 ° C, and time is 4 hours and 2
Example 3 was repeated, except at the times indicated.

この時の結果は、第2表に示されているが、炭化珪素
ウィスカ中の炭化珪素SiCは、実施例3とは異なり、殆
ど窒化珪素Si3N4および炭素Cに分解されなかった。
The results at this time are shown in Table 2, but unlike in Example 3, silicon carbide SiC in the silicon carbide whiskers was hardly decomposed into silicon nitride Si 3 N 4 and carbon C.

比較例9および10 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の温度が
1350℃および1450℃とされ、かつ時間が4時間および2
時間とされたことを除き、それぞれ実施例4が反復され
た。
Comparative Examples 9 and 10 The temperature in the atmosphere in which the hot isostatic pressing treatment was performed was
1350 ° C and 1450 ° C and time is 4 hours and 2
Example 4 was repeated, except at the times indicated.

この時の結果は、第2表に示されているが、炭化珪素
ウィスカ中の炭化珪素SiCは、実施例4とは異なり、殆
ど窒化珪素Si3N4および炭素Cに分解されなかった。
The results at this time are shown in Table 2, but unlike in Example 4, silicon carbide SiC in the silicon carbide whiskers was hardly decomposed into silicon nitride Si 3 N 4 and carbon C.

実施例5 純度が50重量%以上でかつ平均外径が15μであって切
断により平均長さが10cmとされた炭化珪素繊維(日本カ
ーボン(株)社製の炭化珪素繊維「ニカロン」)中の炭
化珪素SiCを、100気圧以上の窒素分圧を有する雰囲気中
で、1700℃の温度に加熱して熱間静水圧プレス処理を2
時間にわたり実行した。
Example 5 In a silicon carbide fiber having a purity of 50% by weight or more, an average outer diameter of 15 μ and an average length of 10 cm by cutting (silicon carbide fiber “Nicalon” manufactured by Nippon Carbon Co., Ltd.) The silicon carbide SiC is heated to a temperature of 1700 ° C. in an atmosphere having a partial pressure of nitrogen of 100 atm or more and subjected to hot isostatic pressing by 2
Ran over time.

これにより炭化珪素繊維中の炭化珪素SiCは、第3表
に示した如く、全て窒化珪素Si3N4および炭素Cに分解
され、窒化珪素および炭素の繊維状複合物が生成され
た。
As a result, all the silicon carbide SiC in the silicon carbide fiber was decomposed into silicon nitride Si 3 N 4 and carbon C, as shown in Table 3 , to produce a fibrous composite of silicon nitride and carbon.

窒化珪素および炭素の繊維状複合物は、表面が黒色を
呈していたが、大気中で0.5時間にわたり800℃の温度に
加熱することによって酸化したところ、白色ないし白緑
色を呈するようになった。
The silicon nitride and carbon fibrous composite had a black surface, but when it was oxidized by heating to a temperature of 800 ° C. for 0.5 hours in the atmosphere, it became white or white-green.

そののち窒化珪素および炭素の繊維状複合物の組成を
分析したところ、大半の炭素Cが酸化され二酸化炭素CO
2として除去されており、炭素Cが0.5重量%に減少して
いた。この時大気中の酸素O2は、窒化珪素および炭素の
繊維状複合物の内部に対して侵入しないことから知られ
ているので、その表面の色彩の変化から炭素Cの酸化は
その表面で生じており、ひいては炭素Cがその表面近傍
に存在していたものと判断できた。
After that, when the composition of the fibrous composite of silicon nitride and carbon was analyzed, most of carbon C was oxidized and carbon dioxide CO
It was removed as 2 , and carbon C was reduced to 0.5% by weight. At this time, it is known that oxygen O 2 in the atmosphere does not penetrate into the inside of the fibrous composite of silicon nitride and carbon, so the oxidation of carbon C occurs on the surface due to the change in the color of the surface. Therefore, it can be determined that carbon C was present near the surface.

実施例6 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分
圧が1000気圧とされ、その時の温度が1450℃とされたこ
とを除き、実施例5が反復された。
Example 6 Example 5 was repeated except that the nitrogen partial pressure in the atmosphere in which the hot isostatic pressing was performed was 1000 atm and the temperature at that time was 1450 ° C.

この時の結果は、第3表に示されており、実施例5と
同様に、炭化珪素繊維中の炭化珪素SiCが、全て窒化珪
素Si3N4および炭素Cに分解され、ひいては窒化珪素お
よび炭素の繊維状複合物が生成された。
The results at this time are shown in Table 3, and as in Example 5, the silicon carbide SiC in the silicon carbide fiber was entirely decomposed into silicon nitride Si 3 N 4 and carbon C, and thus silicon nitride and A fibrous composite of carbon was produced.

比較例11 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分
圧が9気圧とされ、その時の温度が1770℃とされ、かつ
時間が10時間とされたことを除き、それぞれ実施例5が
反復された。
Comparative Example 11 Example 5 was repeated except that the nitrogen partial pressure in the atmosphere in which the hot isostatic pressing was performed was 9 atm, the temperature at that time was 1770 ° C., and the time was 10 hours. Was repeated.

この時の結果は、第3表に示されているが、炭化珪素
繊維中の炭化珪素SiCは、実施例5とは異なり、窒化珪
素Si3N4および炭素Cに全く分解されなかった。
The results at this time are shown in Table 3, and unlike Example 5, silicon carbide SiC in the silicon carbide fiber was not decomposed into silicon nitride Si 3 N 4 and carbon C at all.

比較例12および13 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の温度が
1250℃および1450℃とされ、かつ時間が4時間および2
時間とされたことを除き、それぞれ実施例5が反復され
た。
Comparative Examples 12 and 13 The temperature in the atmosphere in which the hot isostatic pressing was performed was
1250 ° C and 1450 ° C, and time is 4 hours and 2
Example 5 was repeated, except at the times indicated.

この時の結果は、第3表に示されているが、炭化珪素
繊維中の炭化珪素SiCは、実施例5とは異なり、殆ど炭
化珪素Si3N4および炭素Cに分解されなかった。
The results at this time are shown in Table 3, and unlike Example 5, silicon carbide SiC in the silicon carbide fiber was hardly decomposed into silicon carbide Si 3 N 4 and carbon C.

比較例14および15 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の温度が
1200℃および1350℃とされ、かつ時間が4時間および2
時間とされたことを除き、それぞれ実施例6が反復され
た。
Comparative Examples 14 and 15 The temperature in the atmosphere in which the hot isostatic pressing was performed was
1200 ° C and 1350 ° C, and time is 4 hours and 2
Example 6 was repeated, except at the times indicated.

この時の結果は、第3表に示されているが、炭化珪素
繊維中の炭化珪素SiCは、実施例6とは異なり、殆ど窒
化珪素Si3N4および炭素Cに分解されなかった。
The results at this time are shown in Table 3, but unlike in Example 6, the silicon carbide SiC in the silicon carbide fiber was hardly decomposed into silicon nitride Si 3 N 4 and carbon C.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

上述より明らかなように本発明にかかる窒化珪素およ
び炭素の製造方法は、純度が50重量%以上である炭化珪
素粉末,炭化珪素ウィスカもしくは炭化珪素繊維中の炭
化珪素を分解して窒化珪素および炭素を生成する分解工
程を包有してなるので、(i)炭化珪素粉末,炭化珪素
ウィスカもしくは炭化珪素繊維から直接に窒化珪素およ
び炭素の複合物を生成できる効果を有し、ひいては(i
i)同時に大量の窒化珪素および炭素の複合物を廉価に
生成できる効果を有し、併せて(iii)炭化珪素粉末,
炭化珪素ウィスカもしくは炭化珪素繊維のサイズを予め
選択することにより、窒化珪素および炭素の複合物のサ
イズを適宜に調節できる効果を有する。
As is apparent from the above, the method for producing silicon nitride and carbon according to the present invention is to decompose silicon carbide in silicon carbide powder, silicon carbide whiskers or silicon carbide fibers having a purity of 50% by weight or more to decompose silicon nitride and carbon. Since it includes a decomposition step for producing (i), it has an effect of directly producing a composite of silicon nitride and carbon from silicon carbide powder, silicon carbide whiskers or silicon carbide fibers.
i) At the same time, it has the effect of inexpensively producing a large amount of a composite of silicon nitride and carbon, and at the same time, (iii) silicon carbide powder,
By selecting the size of the silicon carbide whisker or the silicon carbide fiber in advance, the size of the composite of silicon nitride and carbon can be adjusted appropriately.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 D01F 11/10 D01F 11/10 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Office reference number FI technical display location D01F 11/10 D01F 11/10

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】純度が50重量%以上である炭化珪素粉末,
炭化珪素ウィスカもしくは炭化珪素繊維中の炭化珪素を
分解して窒化珪素および炭素を生成する分解工程を包有
してなることを特徴とする窒化珪素および炭素の複合物
の製造方法。
1. A silicon carbide powder having a purity of 50% by weight or more,
A method for producing a composite of silicon nitride and carbon, comprising a decomposition step of decomposing silicon carbide in silicon carbide whiskers or silicon carbide fibers to produce silicon nitride and carbon.
【請求項2】分解工程が、100気圧以上の窒素分圧を有
する雰囲気中で1200℃以上の温度に加熱して熱間静水圧
プレス処理を行なうことにより達成されてなることを特
徴とする特許請求の範囲第1項記載の窒化珪素および炭
素の複合物の製造方法。
2. The decomposition step is accomplished by heating to a temperature of 1200 ° C. or higher in an atmosphere having a nitrogen partial pressure of 100 atm or higher and performing hot isostatic pressing. A method for producing a composite of silicon nitride and carbon according to claim 1.
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