JP2551606B2

JP2551606B2 - ファラデー効果型光位置センサの光スイッチング装置および該装置を備えた光位置センサ

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Publication number: JP2551606B2
Application number: JP62303813A
Authority: JP
Inventors: 潔外山
Original assignee: Teijin Seiki Co Ltd
Current assignee: Nabtesco Corp
Priority date: 1987-12-01
Filing date: 1987-12-01
Publication date: 1996-11-06
Anticipated expiration: 2011-11-06
Also published as: JPH01145521A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、エンコーダとして使用する光位置センサ、
特にファラデー効果素子を利用したものに関する。

〔従来の技術〕

従来、例えば、航空機等においては、パイロットの操
舵による信号によって方向舵、昇降舵等の翼舵面を動か
すことにより飛行制御を行っている。そのようなパイロ
ットの操舵信号は、機械式リンク機構により舵面に伝達
されていたが、近年それらの信号を電気信号に置きかえ
たフライバイワイヤと呼ばれる方式が用いられるように
なってきた。

第９図は、フライバイワイヤ方式を用いた舵面制御用
アクチュエータの作動原理を示すブロック線図である。
同図において、パイロットＡからの操舵信号は、FCC
（フライトコントロールコンピュータ）を経て、コネク
タ２により電気油圧サーボバルブ３を動かし、アクチュ
エータ４により舵面制御を行う。舵面の動きは、位置検
出機構５のピストンにより検出され、その量は差動トラ
ンス（LVDT）６によって電気信号に変換されて、コネク
タ２を経てFCCにフィードバックされる。

このような電気信号による制御系においては、電気的
な雑音により作動が不安定になる危険があるため、電気
的雑音の影響を受けない光信号を用いた制御系の置き代
えられる傾向にある。この場合、舵面制御用のアクチュ
エータの位置検出には光センサーが必要となる。

これに採用され得る光センサとしては、光ロータリー
エンコーダや光リニアエンコーダ等のエンコーダプレー
トと投・受光部を持ったものが考えられる。第10図は、
光リニアエンコーダを用いた舵面制御アクチュエータの
原理を示す図である。同図において、10は基準パルス信
号を発生する信号発生器で、送電線11の各々に順次時間
遅れパルス信号が送られる。この信号は電気信号・光変
換器（E/O変換器）101により、各信号線に対応する発光
ダイオード等の発光素子列12に与えられる。発光素子列
12を構成する発光素子の光はファイバー13により導かれ
て投光側ファイバーヘッドプレート14にて透光側デジタ
ル光信号列を構成する。15はグレーコードが形成された
エンコーダプレートで、投光側ファイバーヘッドプレー
ト14と受光側ファイバーヘッドプレート16との間を矢印
方向に移動するようになっている。受光側ファイバーヘ
ッドプレート16には、光ファイバー17が接続され、エン
コーダプレート15の動き量又は位置は、光結合器18を介
して光・電気信号変換器（O/E変換器）19を経て復調器2
0によりFCC（フライトコントロールコンピュータ）に信
号を与えられる。即ち、アクチュエータ４による舵面の
動きがエンコーダプレートを介してFCCにフイードバッ
クされるのである。したがって、パイロットＡからの操
舵信号と舵面位置信号とがFCCに与えられ常に正確な舵
面制御が行われる。

〔発明が解決しようとする課題〕

このように光センサーの信号を制御信号として伝達す
る場合には、光センサーの投光部と受光部の光伝達を良
好に行うことが必要になってくるが、例えば、航空機に
おいては、一般に地上から高空へ上昇するにつれ、その
機体の周囲温度及び気圧が急速に低下する。そのため搭
載機器には結露が発生しやすくなり、それら結露が前記
エンコーダプレートや投光部、受光部に付着すると光信
号の正常な伝達ができなくなり、信号の劣化や消失等の
悪影響が発生するおそれがある。また、塵埃の付着によ
っても同様な悪影響を生ずるという問題がある。

そこで本発明は、結露や塵埃が付着しても安定した複
数ビットの信号伝達ができる光スイッチング装置を提供
するとともに、急激な使用環境の変化、特に温度や気圧
の急変する条件下における使用にも十分耐えることがで
き、しかもコンパクトで堅牢な光位置センサを提供する
ことを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的達成のため、本発明は、第１図に光スイッチ
ング素子の概念図を、第２図に光位置センサの原理結線
図をそれぞれ示すように、構成されている。

これらの図において、12は発光素子アレイ、30は光位
置センサ用の基板、32は光結合器、45はエンコーダプレ
ートであり、基板30上に、偏光子40、ファラデー効果素
子44および検光子42よりなる光スイッチング素子35が複
数個並設され、一組の光スイッチング素子アレイ36が構
成されている。37、38は光導波路又は光ファイバであ
る。

すなわち、請求項１記載の発明に係るファラデー効果
型光位置センサの光スイッチング装置は、ファラデー効
果素子44を２枚の偏光板40、42の間に挟んで光位置セン
サ用基板30上に一体的に配設し、一方を偏光子40、他方
を検光子42とした複数個の光スイッチング素子35を有す
る光スイッチング素子アレイ36と、該光スイッチング素
子アレイ36の検光子42側に接続された光結合器32と、を
備え、該光スイッチング素子アレイ36の複数個の光スイ
ッチング素子35に入力した複数ビットの光信号を該光ス
イッチング素子アレイ36に対し相対変位する被検出体側
からの磁気情報に応じてスイッチングするとともに、該
結合器32を介して出力することを特徴とするものであ
り、請求項２記載の発明は、上記構成に加え、偏光子40側
が光分波器に接続されたことを特徴とするものである。

また、請求項３記載の発明に係るファラデー効果型光
位置センサは、請求項１又は２に記載された光スイッチ
ング装置と、該装置の光スイッチング素子アレイ36に対
向して平行に移動する磁気スケールを有するエンコーダ
プレート45と、を備え、該光スイッチング素子アレイ36
の複数個の光スイッチング素子35に入力した複数ビット
の光信号を、該光スイッチング素子アレイ36に対し相対
変位するエンコーダプレート45側からの磁気情報に応じ
てスイッチングするとともに、該結合器32を介して出力
することを特徴とするものである。

さらに、請求項４記載の発明に係るファラデー効果型
光位置センサの光スイッチング装置は、上記と同様の光
スイッチング素子アレイ36と、該光スイッチング素子ア
レイの偏光子側に接続された光分波器又は光分配器と、
を備え、該光分波器又は光分配器に入力した光を複数個
の光スイッチング素子35に入力する複数ビットの光信号
に分波又は分配するとともに、該複数ビットの光信号を
光スイッチング素子アレイ36に対し相対変位する被検出
体側からの磁気情報に応じてスイッチングすることを特
徴とするものであり、請求項５記載の発明に係るファラデー効果型光位置セ
ンサは、請求項４に記載された光スイッチング装置と、
該装置の光スイッチング素子アレイ36に対向して平行に
移動する磁気スケールを有するエンコーダプレート45
と、を備え、該光分波器又は光分配器に入力した光を複
数個の光スイッチング素子35に入力する複数ビットの光
信号に分波又は分配するとともに、該複数ビットの光信
号を光スイッチング素子アレイに対し相対変位するエン
コーダプレート45側からの磁気情報に応じてスイッチン
グすることを特徴とするものである。

なお、ファラデー効果素子を利用した光スイッチング
の原理を第11図によって説明すると、光ファイバ60を出
たランダムな偏光は、偏光子60により直線偏光ａとして
取り出され、この直線偏光ａは、ファラデー効果素子62
を通過する際に、所定方向に印加される磁界の有無に応
じてその偏光面が回転（旋光）し、この偏光面が回転し
た直線偏光ａ′は、検光子63を通って例えば再び直線偏
光として取り出され、出力される。また、前記偏光面と
回転角度はファラデー効果素子に印加する前記磁界の強
度に依存するから、前記磁界の有無によって光信号をON
−OFF信号とすることができる。したがって、図示しな
い磁気スケールがファラデー効果素子62を複数個設けた
光スイッチング素子アレイの上を左右に移動することに
より、磁気スケールの磁気のある場所に対応して複数の
ファラデー効果素子62内の光を非接触でON、OFFし、位
置検出信号を取り出すことができる。

〔作用〕

まず、第２図に示した光位置センサの原理結線図に即
して説明すると、第３図に示す信号波形図において、信
号発生器により、第３図（ａ）に示すような順次時間遅
れを有する信号がレーザダイオード等で構成される発光
素子アレイ12に与えられると、これらの光信号は、光導
波路37の各光導波路、……により、アレイ36を構
成する光スイッチング素子35の数だけのビット数を有す
る信号として、各光スイッチング素子35に与えられる。
そして、磁石Ｓを有する磁気スケール（エンコーダプレ
ート45）がこのスイッチング素子アレイ36に近づくと、
磁石Ｓと対向する位置にある光スイッチング素子35のみ
がファラデー効果を生じることで、複数ビットの光信号
が複数の光スイッチング素子35を選択的に通過し、第３
図（ｂ）に示すような光信号が取り出される。この信号
は光結合器32により合成され、第３図（ｃ）に示すよう
な光信号となってフォトダイオード等の光・電気信号変
換器（O/E変換器）19に与えられ、電気信号に変換され
て位置検出信号又は制御信号となる。

すなわち、本発明に係る光スイッチング装置では、フ
ァラデー効果素子を偏光子と検光子の間に挟んで光位置
センサ用基板上に一体的に配設した複数の光スイッチン
グ素子から光スイッチング素子アレイが構成され、該ア
レイに取り込まれる複数ビットの光信号を全てその外部
からの磁気情報により磁気光学効果を利用してスイッチ
ングすることから、結露や塵埃の影響を受けない位置検
出が可能になる。また、前記光スイッチング素子アレイ
の検光子側を光結合器に接続したり、偏光子側を光分波
器や光分配器に結合したりすると、入力側および出力側
の光の伝達経路のうち少なくとも一方側の伝送経路が一
体化されることになり、光スイッチング装置の取扱いが
容易になる。

また、本発明に係るファラデー効果型光位置センサで
は、エンコーダプレートが移動すると、その磁気スケー
ルからの磁界により光スイッチング素子アレイ内のファ
ラデー効果素子に、該プレート位置に対応して選択的に
ファラデー効果が生じることになり、そのプレート位置
に対応する光スイッチングが行なわれることで、エンコ
ーダプレートの位置情報が得られる。

〔実施例〕

以下実施例により、本発明を詳細に説明する。

第４〜６図は本発明の第１の実施例を示す図である。
なお、以下の説明において先に説明した構成と同一又は
それに相当する部材には同一符号を付して説明する。

まず、その構成を説明すると、第４図において、30は
光位置センサ用基板、31は光分波器、32は光結合器であ
る。なお、光導波路37に光フィルタを使用すれば、光分
波器31に代えて単なる光分配器を使用することもでき
る。33,34は光ファイバで、それぞれ光分波器31、光結
合器32に結合されている。36は光スイッチング素子アレ
イで、複数のファラデー効果素子44を有する光スイッチ
ング素子35からなる。光スイッチング素子アレイ36の各
々の光スイッチング素子35は、複数の光導波路37により
その偏光子40側を光分波器31に、複数の光導波路38によ
りその検光子42側を光結合器32に接続されている。ま
た、光スイッチング素子35は、レンズ39及び偏光子40か
らなる複合光学素子と、レンズ41,43及び検光子42から
なる複合光学素子と、これら複合光学素子に挟持された
ファラデー効果素子44とから構成されている。レンズ3
9,41,43等は、光の集光作用を行なうものである。光ス
イッチング素子35は、原理的にはファラデー効果素子44
を２枚の偏光板で挟み、一方を偏光子、他方を検光子と
したものであればよい。また、光分波器31と光結合器32
の間に位置する各光学素子は、光位置センサ用基板30上
に一体的に設けられることで、一個の光スイッチング装
置を形成している。

第５図は、上記構成を有する光スイッチング装置に対
向しこれに対して相対的に変位する被検出体としてのエ
ンコーダプレート45を示す図である。同図において、
S₁,S₂…S_nは、該プレート45に設けられた磁気スケール
で、光スイッチング素子アレイ36の光スイッチング素子
35のビット数に対応して配列されている。

第６図はその位置センサのシステム構成図である。な
お、このシステム中で第10図に示すものと同一機能を有
する構成部材については、同一符号を付し、その詳細な
説明は省略する。

同図において、12は複数の発光ダイオード又は各々波
長の異なる複数の半導体レーザ等で構成される発光素子
列であり、発光素子列12は電気信号・光変換器（E/O変
換器）101によって駆動されたとき、E/O変換器101の入
力信号に対応する複数の光を複数（例えば10個）の発光
素子から出力する。この複数の光、すなわち複数ビット
の光信号は光ファイバ13を介して光結合器102に送ら
れ、光結合器102により一本の光ファイバ33を通して光
位置センサ用基板30上の光分波器31に送られる。また、
光結合器32から一本の光ファイバ34を通して光分波器18
に送られた光は、複数の光ファイバ17を介して受光素子
列46に導かれ、受光素子列46の受光信号は光・電気信号
変換器（O/E変換器）19により合成される。この合成さ
れた信号は復調器20によりバイナリー位置検出信号に復
調されて外部のコンピュータ（例えば第９図に示すFC
C）に出力される。

一方、光分波器31、光結合器32、光スイッチング素子
アレイ36および光導波路37,38を一体的に配設した光位
置センサ用基板30の一面側には、エンコーダプレート45
の磁気スケールS₁〜S_nが対向しており、エンコーダプレ
ート45は図示しない位置検出対象物と一体となって第６
図中の左右方向（光スイッチング素子35内における光の
進行方向と平行）に移動するようになっている。

次に、作用を説明する。

信号発生器10から所定のパルス信号（例えば同図
（ａ）に示すような１ビット目から順次時間遅れを設定
した10ビットのパルス信号）が送られると、このパルス
信号は、E/O変換器101により発光素子列12に与えられ
る。発光素子列12の各発光素子から発光される光（光信
号）は、それぞれ光ファイバ13によって光結合器102に
送られ、この光結合器102から一本の光ファイバ33に送
られて、所定位置に配された光位置センサ用基板30上の
光分波器31に導かれる。

光分波器31はこの光を分波するとともに、光導波路37
を通して光スイッチング素子アレイ36（第４図参照）の
各光スイッチング素子35に配分する。

このとき、エンコーダプレート45の磁気スケールS₁〜
S_nから複数の光スイッチング素子35にエンコーダプレー
ト45の位置に対応して各ファラデー効果素子44に選択的
にファラデー効果を生じさせるように磁界が印加され、
ファラデー効果を生じたファラデー効果素子44内では偏
光子40を通って入光した直線偏光の偏光面の回転角が変
化する。したがって、光スイッチング素子アレイ36に導
かれた複数ビットの光のうち検光子42を通過するものと
通過しないものが生じ、光スイッチング素子アレイ36の
複数の光スイッチング素子35がエンコーダプレート45の
位置に対応するスイッチングを行なうことになる。

また、各光スイッチング素子35を選択的に通過した光
は、光導波路38を通して光結合器32に導かれ、光結合器
32から一本の光ファイバ34に送られた後、この一本の光
ファイバ34によって光分波器18に送られ、光分波器18か
ら複数の光ファイバ17を介して受光素子列46に導かれ
る。そして、受光素子列46の受光信号が、O/E変換器19
により時経列的に合成され、例えば第６図（Ｅ）に示す
ような間欠的時経列パルス信号として復調器20に送られ
る。そして、この信号は復調器20により復調され、バイ
ナリー位置検出信号として外部のコンピュータ（例えば
第９図に示すFCC）に出力される。

このように本実施例のスイッチング装置では、ファラ
デー効果素子44を偏光子40と検光子42の間に挟んで一体
化したした複数個の光スイッチング素子35を光位置セン
サ用基板30上に設けて光スイッチング素子アレイ36を構
成しているから、光スイッチング素子アレイ36に取り込
まれる複数ビットの光信号を全てその外部から磁気光学
効果を利用してスイッチングすることができる。したが
って、信号伝送経路の途中に空間を設ける必要がなく、
このスイッチング装置を用いる本実施例のファラデー効
果型光位置センサは、結露や塵埃の影響を全く受けない
から、きわめて信頼性の高いものとなる。また、光スイ
ッチング素子アレイ36の検光子42側を光導波路38を介し
光位置センサ用基板30上で光結合器32に接続するととも
に、光スイッチング素子アレイ36の偏光子40側を光導波
路37を介して光位置センサ用基板30上で光分波器31（あ
るいは光分配器）に接続しているので、入力側および出
力側の光の伝達経路をそれぞれ一体化することができ
る。その結果、位置検出対象物の近傍に設けられる光位
置センサ用基板30と他の検出回路とを接続する光ファイ
バ33,34が長くなる場合に、接続用ファイバをそれぞれ
一体化でき、取り扱いが容易で、しかも安価となる。

さらに、本実施例では、エンコーダプレート45の磁気
スケールS₁〜S_nからの磁界により光スイッチング素子ア
レイ36内のファラデー効果素子44に選択的にファラデー
効果を生じさせ、そのプレート位置に対応する光スイッ
チングが行なわれるので、位置検出信号が光信号として
取り出され、電気信号のようにクロストーク（漏話）等
のおそれがない。したがって、エンコーダプレート45を
取り付けた位置検出対象物（例えばアクチュエータ）の
位置情報が正確に得られる。しかも、本実施例では復調
器20からバイナリー位置検出信号を出力するから、コン
ピュータ制御に適しており、EMI（電磁干渉）やEMP（電
磁衝撃）があっても制御系の復帰が容易である。また、
光位置センサ用基板30上（位置検出ヘッド部）に電子部
品がないので、過熱の心配がない。

第７図は本発明の第２の実施例を示す図である。

同図において、光入力信号は、一本の光ファイバ33か
ら光分配器31に入る。光分波器31は光入力信号を、図示
しないフィルタを配した光導波路37を介して光スイッチ
ング素子アレイ36の複数の光スイッチング素子35に分配
する。そして、各光スイッチング素子35を通過した光は
導波路38を通り、光ファイバコネクタ38aおよび光ファ
イバ34を介して、図示しないCCDアレイ又はフォトダイ
オードに入力されるようになっている。なお、上述例と
同様に光導波路37中にフィルタを設けないで光分波器31
を用いることもできる。

本実施例では、光位置センサ用基板30上において光分
配器（又は光分波器）31と光スイッチング素子アレイ36
の偏光子40側とが光導波路37を介して接続されているの
で、例えば長くなる入力側の光ファイバ33のみ１本にす
ることができる。

第８図は本発明の第３の実施例を示す図である。

同図において、光入力信号は複数の光ファイバ33から
光ファイバコネクタ37aおよび光導波路37を介して光ス
イッチング素子アレイ36の複数の光スイッチング素子35
にそれぞれ独立に与えられる。そして、光スイッチング
素子アレイ36を通過した光は光導波路38によって光結合
器32に導かれ、光結合器32から一本の光ファイバ34を通
して外部に出力される。

本実施例では、光位置センサ用基板30上において、光
スイッチング素子アレイ36の検光子42側と光結合器32と
が光導波路38を介して接続されているので、例えば長く
なる出力側の光ファイバ34のみ１本にすることができ
る。

なお、上述の各実施例においては、光位置センサ用基
板30上に、光分波器又は光分配器、光結合器をそれぞれ
１個だけ設けたものであったが、光位置センサ用基板30
上の光分波器（又は光分配器）31、光結合器32、光ファ
イバコネクタ37a,38a等は、信号処理の相違（例えば光
波長多重と時分割多重）あるいは外部接続機器の相違
（例えば光ファイバコネクタの形式等）により任意の形
状又は個数で設けることができるし、一部省略すること
もできる。

〔効果〕

以上説明したように、請求項１記載の発明によれば、
ファラデー効果素子を偏光子と検光子の間に挟んで光位
置センサ用基板上に一体的に配設した複数の光スイッチ
ング素子によって光スイッチング素子アレイを構成する
とともに、該アレイの検光子側を光結合器に接続してい
るので、該アレイに取り込まれる複数ビットの光信号を
全て光学素子部品内に閉じ込めた状態で、その光路の外
部から磁気情報により磁気光学効果を利用して光をスイ
ッチングすることができ、結露や塵埃の影響を受けなく
することができる。また、光スイッチング素子アレイか
ら後の機器への接続経路を１本化することができ、取り
扱いを容易化し接続部の故障を少なくすることができ
る。その結果、きわめて信頼性の高いファラデー効果型
光位置センサの光スイッチング装置を提供することがで
きる。

さらに、請求項２記載の発明のように、前記光スイッ
チング素子アレイの偏光子側を光分波器に接続すれば、
入力側および出力側の光の伝達経路の光伝送経路を共に
一体化でき、より簡素で信頼性の高い取扱いの容易なス
イッチング装置を提供することができる。

請求項３記載の発明によれば、エンコーダプレートを
移動させ、その磁気スケールからの磁界により光スイッ
チング素子アレイ内のファラデー効果素子にそのプレー
ト位置に対応して選択的にファラデー効果を生じさせ
て、光をスイッチングするようにしているので、結露や
塵埃の影響を受けなることなくエンコーダプレートの位
置情報を光信号として取り出すことができ、電気信号に
比べて防暴性に優れ、クロストーク（漏話）のおそれが
ない正確な位置検出ができる光位置センサを提供するこ
とができる。なお、光位置センサは、ロボットやNC工作
機械、OA機器等における一般のロータリーエンコーダや
光リニアエンコーダの代りに使用することはもとより、
航空機のように耐環境性を要求される分野や、製鉄所、
化学プラント等、油や塵埃を嫌う場所において特に効果
を発揮する。

また、請求項４、５記載の発明によれば、ファラデー
効果素子を偏光子と検光子の間に配設した光スイッチン
グ素子アレイを構成するとともに、該アレイの偏光子側
を光分波器又は光分配器に接続しているので、該アレイ
に取り込まれる複数ビットの光信号を全て光学素子部品
内に閉じ込めた状態でその光路の外部から磁気光学効果
を利用して光をスイッチングすることができ、結露や塵
埃の影響を受けなくすることができるとともに、光スイ
ッチング素子アレイの入力側の接続経路を１本化するこ
とができ、取り扱いが容易で接続部の故障の少ないきわ
めて信頼性の高いファラデー効果型光位置センサとその
光スイッチング装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るファラデー効果型光位置センサの
光スイッチング装置の概念図、第２図はその光位置セン
サの原理結線図、第３図はその信号波形図、第４図は本
発明の第１実施例の光スイッチング装置を示す図、第５
図は第１実施例の光位置センサに使用するエンコーダプ
レートの磁気スケールパターンを示す図、第６図はその
システム構成図、第７図は本発明の第２実施例の光スイ
ッチング装置を示す図、第８図は本発明の第３実施例の
光スイッチング装置を示す図、第９図は航空機舵面制御
用アクチュエータを用いた作動原理図、第10図は従来の
光リニアエンコーダを用いた作動原理図、第11図はファ
ラデー効果素子を用いた光スイッチング素子の作動原理
図である。 12……発光素子列、 30……光位置センサ用基板、 31……光分波器（又は光分配器）、 32……光結合器、 33,34……光ファイバ、 35……光スイッチング素子、 36……光スイッチング素子アレイ、 37,38……光導波路、 40……偏光子、 42……検光子、 44……ファラデー効果素子、 45……エンコーダプレート（被検出体）、 46……受光素子列。

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】ファラデー効果素子を２枚の偏光板の間に
挟んで光位置センサ用基板上に一体的に配設し、上記２
枚の偏光板の一方を偏光子、他方を検光子とした複数個
の光スイッチング素子を有する光スイッチング素子アレ
イと、該光スイッチング素子アレイの検光子側に接続された光
結合器と、を備え、該光スイッチング素子アレイの複数個の光スイッチング
素子に入力した複数ビットの光信号を、該光スイッチン
グ素子アレイに対し相対変位する被検出体側からの磁気
情報に応じてスイッチングするとともに、該結合器を介
して出力することを特徴とするファラデー効果型光位置
センサの光スイッチング装置。
【請求項２】偏光子側が光分波器に接続されたことを特
徴とする請求項１記載の光スイッチング装置。
【請求項３】ファラデー効果素子を２枚の偏光板の間に
挟んで光位置センサ用基板上に一体的に配設し、上記２
枚の偏光板の一方を偏光子、他方を検光子とした複数個
の光スイッチング素子を有する光スイッチング素子アレ
イと、該光スイッチング素子アレイの検光子側に接続さ
れた光結合器と、を有する光スイッチング装置と、該装置の光スイッチング素子アレイに対向して平行に移
動する磁気スケールを有するエンコーダプレートと、を
備え、該光スイッチング素子アレイの複数個の光スイッチング
素子に入力した複数ビットの光信号を、該光スイッチン
グ素子アレイに対し相対変位するエンコーダプレート側
からの磁気情報に応じてスイッチングするとともに、該
結合器を介して出力することを特徴とするファラデー効
果型光位置センサ。
【請求項４】ファラデー効果素子を２枚の偏光板の間に
挟んで光位置センサ用基板上に一体的に配設し、上記２
枚の偏光板の一方を偏光子、他方を検光子とした複数個
の光スイッチング素子を有する光スイッチング素子アレ
イと、該光スイッチング素子アレイの偏光子側に接続された光
分波器又は光分配器と、を備え、該光分波器又は光分配器に入力した光を複数個の光スイ
ッチング素子に入力する複数ビットの光信号に分波又は
分配するとともに、該複数ビットの光信号を光スイッチ
ング素子アレイに対し相対変位する被検出体側からの磁
気情報に応じてスイッチングすることを特徴とするファ
ラデー効果型光位置センサの光スイッチング装置。
【請求項５】ファラデー効果素子を２枚の偏光板の間に
挟んで光位置センサ用基板上に一体的に配設し、上記２
枚の偏光板の一方を偏光子、他方を検光子とした複数個
の光スイッチング素子を有する光スイッチング素子アレ
イと、該光スイッチング素子アレイの偏光子側に接続さ
れた光分波器又は光分配器と、を有する光スイッチング
装置と、該装置の光スイッチング素子アレイに対向して平行に移
動する磁気スケールを有するエンコーダプレートと、を
備え、該光分波器又は光分配器に入力した光を複数個の光スイ
ッチング素子に入力する複数ビットの光信号に分波又は
分配するとともに、該複数ビットの光信号を光スイッチ
ング素子アレイに対し相対変位するエンコーダプレート
側からの磁気情報に応じてスイッチングすることを特徴
とするファラデー効果型光位置センサ。