JP2526986B2 - Lighting equipment - Google Patents
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70008—Production of exposure light, i.e. light sources
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は照明装置に係るものであり、例えばエキシマ
レーザを用いた集積回路製造用露光装置等に好適な照明
装置に関するものである。The present invention relates to an illuminating device, and relates to an illuminating device suitable for, for example, an exposure apparatus for manufacturing an integrated circuit using an excimer laser.
［従来の技術］ 近年、集積回路の製造に使用される露光装置の光源と
して、エキシマレーザが注目されている。[Prior Art] In recent years, an excimer laser has been attracting attention as a light source of an exposure apparatus used for manufacturing an integrated circuit.
このエキシマレーザは、現在最も有力な短波長光源で
あり、近年の集積回路の高集積化に伴ない要求される高
い線幅精度の達成に好適なものである。This excimer laser is the most powerful short-wavelength light source at present, and is suitable for achieving the high line width accuracy required in accordance with the recent high integration of integrated circuits.
この種の露光光源として、従来から実用に供されてい
るエキシマレーザ光源は、安定共振器型とインジェクシ
ョンロック型とに大別される。Excimer laser light sources that have been put to practical use as exposure light sources of this type are roughly classified into a stable resonator type and an injection lock type.
第２図に示されるものは、安定共振器型と称されるも
のである。図において、誘導放出を起させる放電管12a
の両端には、二個の共振器用ミラー11a,11bが配置さ
れ、共振器を構成している。この二個の共振器用ミラー
11a,11bの間を光が往復することにより、誘導放出され
た光の振幅が強められ、レーザビーム15が出射される。The one shown in FIG. 2 is called a stable resonator type. In the figure, the discharge tube 12a that causes stimulated emission
Two resonator mirrors 11a and 11b are disposed at both ends of the resonator to form a resonator. These two resonator mirrors
As the light reciprocates between 11a and 11b, the amplitude of the stimulated emission light is strengthened, and the laser beam 15 is emitted.
この安定共振器型レーザ光源の欠点は、出射されたレ
ーザビーム15の空間的及び時間的コヒーレンシーが低い
ことである。時間的コヒーレンシーが低いということ
は、換言すれば、スペクトルの半値幅が広い（Δλ0.
4nm）ということである。従って、投影レンズの色消し
（色収差補正）が必要となり、この波長領域で実用的な
レンズを作ることは困難である。The drawback of this stable cavity laser light source is that the emitted laser beam 15 has low spatial and temporal coherency. In other words, the low temporal coherency means that the half-width of the spectrum is wide (Δλ0.
4nm). Therefore, achromaticity of the projection lens (correction of chromatic aberration) is required, and it is difficult to make a practical lens in this wavelength range.
また、第３図に示されるものは、インジェクションロ
ック型と称されるものである。これは、発振器段（第３
図上、上段側）と増幅器段（第３図、下段側）とからな
る二段構成であり、発振器段においては、二個の共振器
用ミラー11a,11bが配置されている点は前述の安定共振
器型と同様である。但し、この型の発振器段には、所定
の領域の波長を選択するエタロン、回折格子等の分散素
子13が備えられている。更に発振器段の放電管12aの両
端には、レーザビームを絞るアパーチャー16が配置され
ている。これら分散素子13及びアパーチャー16を備えた
ことにより、発振されるレーザビームのスペクトルの半
値幅が狭く（Δλ0.001nm）なり、単色性が向上す
る。この発振器段から発振されたレーザビームは、ミラ
ー17で反射して増幅器段に入射する。Moreover, what is shown in FIG. 3 is called an injection lock type. This is the oscillator stage (3rd
In the figure, there is a two-stage configuration including an upper stage side and an amplifier stage (FIG. 3, lower stage side). In the oscillator stage, two resonator mirrors 11a and 11b are arranged, which is the above-mentioned stability. It is similar to the resonator type. However, this type of oscillator stage is provided with a dispersive element 13 such as an etalon or a diffraction grating for selecting a wavelength in a predetermined region. Further, apertures 16 for narrowing the laser beam are arranged at both ends of the discharge tube 12a in the oscillator stage. By providing the dispersive element 13 and the aperture 16, the half width of the spectrum of the oscillated laser beam becomes narrow (Δλ0.001 nm), and the monochromaticity is improved. The laser beam emitted from this oscillator stage is reflected by the mirror 17 and enters the amplifier stage.
一方、増幅器段の放電管12bの両端には、不安定共振
器用ミラー14a,14bが凸状面と凹状面を向い合せて配設
されており、入射したレーザビームは、これら不安定共
振器用ミラー14a,14bによって増幅され出射する。On the other hand, at both ends of the discharge tube 12b of the amplifier stage, mirrors 14a and 14b for unstable resonators are arranged so that their convex and concave surfaces face each other. The light is amplified by 14a and 14b and emitted.
このインジェクションロック型レーザ光源から出射す
るレーザビーム15の特徴は、単色性及び時間的コヒーレ
ンスが高いことである。従って、投影レンズには色消し
の必要がなく、単一の硝材（石英）のみでレンズを製造
することが可能であり、設計、製造とも容易であるとい
う利点を有している。しかしながら、このレーザビーム
は、不安定共振器によって増幅されているため空間的コ
ヒーレンスは極めて高い。そのため、露光領域に干渉に
よる斑点状の露光むら（以下、スペックルと称する）を
生じてしまう。The characteristics of the laser beam 15 emitted from this injection-lock type laser light source are high monochromaticity and high temporal coherence. Therefore, the projection lens does not need to be achromatic, and it is possible to manufacture the lens only with a single glass material (quartz), which is advantageous in that it is easy to design and manufacture. However, the spatial coherence of this laser beam is extremely high because it is amplified by the unstable resonator. Therefore, spot-like exposure unevenness (hereinafter referred to as speckle) is generated in the exposure area due to interference.
従来、このスペックルの除去方法としては、照明系の
光路中に振動ミラー等を配し、ビームを振動させること
により、空間的コヒーレンスを下げ、スペックルを低減
（平均化）することが提案されている（特開昭58−2263
17号）。Conventionally, as a method of removing the speckle, it has been proposed to arrange a vibrating mirror or the like in the optical path of the illumination system and vibrate the beam to reduce the spatial coherence and reduce (average) the speckle. (JP-A-58-2263)
No. 17).
しかしながら、本願の発明者の研究によれば、ビーム
を振動させることによりスペックルを効果的に消失させ
るためには、レーザの発振パルスに同期して、照明系の
フライアイレンズ等の強度分布均一化レンズ素子のレン
ズエレメントの配列に対応した回数だけビームを二次元
的に振る必要があることが明らかとなっている。従っ
て、上記の方法では、振動ミラー等により二次元的に相
当回数ビームを振る必要があるため、適正露光量を短時
間に得ることが困難となり、適正露光を確保するために
はスループットを大幅に低下させねばならないという問
題点がある。However, according to the research by the inventor of the present application, in order to effectively eliminate the speckle by vibrating the beam, the intensity distribution of the fly-eye lens of the illumination system is made uniform in synchronization with the oscillation pulse of the laser. It has become clear that the beam needs to be two-dimensionally swung a number of times corresponding to the arrangement of the lens elements of the opticalized lens element. Therefore, in the above method, since it is necessary to swing the beam two-dimensionally by a vibrating mirror or the like a considerable number of times, it is difficult to obtain an appropriate exposure amount in a short time, and the throughput is significantly increased in order to ensure proper exposure. There is a problem that it must be lowered.
この問題点を補うものとして、第４図に示すエキシマ
レーザ光源が開発されている。この型のレーザ光源は、
前述の安定共振器型レーザ光源の共振器中にエタロン、
プリズム、回折格子等の分散素子13を狭帯化手段として
配設したものであり、出射するレーザビームのスペクト
ル幅を狭く（Δλ0.003nm）している。その出射レー
ザビームの特徴は、分散素子13を設けたことにより時間
的コヒーレンスが向上しており、また、インジェクショ
ンロッキング型に比して空間的コヒーレンスが低いこと
である。To compensate for this problem, the excimer laser light source shown in FIG. 4 has been developed. This type of laser light source
The etalon in the resonator of the stable resonator type laser light source,
The dispersive element 13 such as a prism and a diffraction grating is arranged as a narrowing means, and the spectral width of the emitted laser beam is narrowed (Δλ0.003 nm). The characteristics of the emitted laser beam are that the provision of the dispersive element 13 improves the temporal coherence and the spatial coherence is lower than that of the injection locking type.
［発明が解決しようとする課題］ 上記のような分散素子を備えた安定共振器型レーザ光
源は、空間的コヒーレンスが低いことから、インジェク
ションロッキング型と異なりスペックルは発生しないと
予想されていた。しかしながら、実際には僅かながらス
ペックル（干渉縞）が発生しており、集積回路の微細パ
ターン形成の妨げになることが判明している。[Problems to be Solved by the Invention] A stable resonator laser light source including the above dispersive element has a low spatial coherence, and therefore, it was expected that speckle would not occur unlike the injection locking type. However, it has been found that speckles (interference fringes) are actually generated, although they are slight, which hinders the formation of a fine pattern of an integrated circuit.
この発明は、係る点に鑑みて成されたものであり、そ
の目的とするところは、スペックルを生じる恐れのない
照明装置を提供することである。The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide an illumination device that does not cause speckles.
［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、本発明の照明装置は、出
力するべきレーザビームのスペクトル幅を狭帯化する手
段を備え、縦横比が異なる断面形状のレーザビームを出
力する安定共振型レーザ光源と、 この光源から出力されたレーザビームをその進行方向
に対して平行に、且つ前記レーザビームの断面の短手方
向に沿ってほぼ等間隔に配列された複数のレーザビーム
に分割するとともに、この分割された各々のレーザビー
ムにレーザビームの可干渉距離よりも大きな光路差を与
える分割手段と、 この分割手段により分割された複数のレーザビームを
適宜径に集めて被照射対象を照明する照明手段とを備
え、 前記レーザ光源と前記照明手段との間の光路中に、入
射してきたレーザビームを偏光の異なる複数のビームに
分割する複屈折素子が配置されていることを特徴とする
ものである。[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the illuminating device of the present invention includes means for narrowing the spectral width of the laser beam to be output, and a laser beam having a cross-sectional shape with different aspect ratios. A stable-resonance-type laser light source, and a plurality of laser beams output from the light source, which are arranged parallel to the traveling direction of the laser beam and at substantially equal intervals along the lateral direction of the cross section of the laser beam. Dividing into laser beams, dividing means for giving each of the divided laser beams an optical path difference larger than the coherence length of the laser beam, and a plurality of laser beams divided by the dividing means are collected in an appropriate diameter. Illuminating means for illuminating an irradiation target, and a plurality of beams having different polarizations for the incident laser beam in the optical path between the laser light source and the illuminating means. It is characterized in that a birefringent element that divides the lens is arranged.
［作用］ 本発明に係る照明装置においては、レーザ光源として
スペクトル幅を狭帯化する手段を備えたものを採用して
いるため、単色性の優れたレーザビームが得られる。[Operation] In the illumination device according to the present invention, since the laser light source having the means for narrowing the spectral width is adopted, a laser beam having excellent monochromaticity can be obtained.
この光源から出射されたレーザビームは、分割手段に
よってビーム断面の短手方向に対して平行かつ等間隔に
配列された複数のレーザビームに分割されるが、これは
下記の理由に基く。The laser beam emitted from this light source is split by the splitting means into a plurality of laser beams arranged in parallel and at equal intervals in the lateral direction of the beam cross section, for the following reason.
レーザの空間的コヒーレンスは、レーザビームの断面
内の光の可干渉性であり、レーザのモード数が少ない程
高くなる。一般に、レーザのモード数は、 d2／λＬ （但し、d:レーザのビーム径（アパーチャ径） L:共振器長またはレーザ光のパルスの長さ） で表わされる。The spatial coherence of a laser is the coherence of light in the cross section of the laser beam, and becomes higher as the number of modes of the laser decreases. In general, the number of laser modes is represented by d 2 / λL (where, d: laser beam diameter (aperture diameter) L: resonator length or laser light pulse length).
レーザビーム断面形状の典型的な例として、20mm×7m
mのビーム断面形状の場合、 Ｌ＝4m,λ＝0.25μｍとすると、長手方向のモード数は
約400、短手方向のモード数は約50となり、長手方向と
短手方向とでは１桁近く異なる。A typical example of laser beam cross-sectional shape is 20 mm x 7 m
In the case of a beam cross section of m, assuming that L = 4m and λ = 0.25μm, the number of modes in the longitudinal direction is about 400 and the number of modes in the lateral direction is about 50, which is close to one digit in the longitudinal and lateral directions. different.
このことは、スペックルはビーム断面の短手方向に発
生しやすいことを示している。例えば、半導体ウエハ面
（レチクル面）上にマスクを投影する際には、ウエハ面
上にビーム断面の短手方向に並んだ格子状のスペックル
パターン（干渉パターン）を生じることになる。This indicates that speckles are likely to occur in the lateral direction of the beam cross section. For example, when the mask is projected onto the semiconductor wafer surface (reticle surface), a lattice-like speckle pattern (interference pattern) arranged in the lateral direction of the beam cross section is generated on the wafer surface.
従って、このスペックルを消すためには、短手方向の
モード数を等価的に増やしてれば良い。Therefore, in order to eliminate this speckle, the number of modes in the lateral direction should be increased equivalently.
その方法としては、レーザビームを分割し、その分割
された各ビームを互いにインコヒーレント（非可干渉
性）にして、短手方向に多数並べてやればよい。この並
べる個数は多ければ多い程良いが、現実的には長手方向
のモード数と等しくなる程度が適当である。例えば、前
述の例の場合では、400/50＝８個並べるのが適当であ
る。As a method, a laser beam may be divided, the divided beams may be incoherent (incoherent) with each other, and a large number of laser beams may be arranged in the lateral direction. The larger the number of these arranged, the better. However, in reality, it is appropriate that the number is equal to the number of modes in the longitudinal direction. For example, in the case of the above-mentioned example, it is appropriate to arrange 400/50 = 8 pieces.
この場合、分割された各レーザビームをインコヒーレ
ントにする手段としては、二通り考えられる。In this case, there are two conceivable means for making the divided laser beams incoherent.
その一つは時間的コヒーレンスを利用したものであ
り、分割された各レーザビームにレーザビームの可干渉
距離よりも大きな光路差を与える分割手段を採用するこ
とにより、各ビームを互いにインコヒーレントにするこ
とができる。One of them uses temporal coherence, and makes each beam incoherent with each other by adopting a dividing means that gives an optical path difference larger than the coherence length of the laser beam to each divided laser beam. be able to.
もう一つは、互いに直交した偏光は互いに干渉しない
ことを利用したものである。これは、分割手段として複
屈折結晶（例えば、方解石、水晶、MgF、KDP、ADP等）
を採用することにより、互いにインコヒーレントな二分
割ビームが得られる。但し、この方法では二分割しか適
用できないため、本発明においては、上記時間的コヒー
レンスを利用した手段を採用する。The other is that the orthogonally polarized lights do not interfere with each other. This is a birefringent crystal (eg, calcite, quartz, MgF, KDP, ADP, etc.) as a dividing means.
By adopting, it is possible to obtain two split beams that are incoherent to each other. However, since only two divisions can be applied in this method, in the present invention, the means utilizing the temporal coherence is adopted.
なお、ビーム断面の短手方向のモード数を増やすと、
長手方向よりも短手方向が長くなってしまうことが考え
られる。例えば、前述のレーザビームの断面形状の例に
おいて、長手方向と短手方向とのモード数を等しくした
場合は、長手方向20mmに対して、短手方向７×８＝56mm
となる。そこで本発明においては、整形光学手段によ
り、分割されたビームを適宜径に集めて被照射対象を照
明する。このことはビームの拡散性を等しくすることに
もなる。In addition, if the number of modes in the lateral direction of the beam cross section is increased,
It is conceivable that the lateral direction becomes longer than the longitudinal direction. For example, in the example of the cross-sectional shape of the laser beam described above, when the number of modes in the longitudinal direction is the same as that in the lateral direction, 20 mm in the longitudinal direction and 7 × 8 = 56 mm in the lateral direction.
Becomes Therefore, in the present invention, the object to be irradiated is illuminated by collecting the divided beams into appropriate diameters by the shaping optical means. This also equalizes the divergence of the beams.
例えば、エキシマレーザのビームの拡り角は、通常は
長手方向:3mrad程度、短手方向:1mrad程度であるが、こ
の場合、整形光学手段として短手方向を1/3縮める光学
系を採用すると、短手方向のビーム拡り角は、３倍の3m
radとなる。従って、両方向のビーム拡り角が同程度に
なる。For example, the divergence angle of the excimer laser beam is usually about 3 mrad in the longitudinal direction and about 1 mrad in the lateral direction.In this case, if an optical system that reduces the lateral direction by 1/3 is used as the shaping optical means, , The beam divergence angle in the lateral direction is 3m, which is three times as large
It becomes rad. Therefore, the beam divergence angles in both directions are approximately the same.
［実施例］ 以下、添付図面を参照して本発明の実施例について説
明する。Embodiments Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
なお、以下の説明ではレーザビームの一例として、ビ
ーム断面の短手方向幅が約7mm、拡り角が約3mrad×1mra
dのエキシマレーザを例にあげて説明する。In the following description, as an example of a laser beam, the width of the beam cross section in the lateral direction is about 7 mm, and the divergence angle is about 3 mrad × 1 mra.
The excimer laser of d will be described as an example.
第１図は本発明の一実施例を示す構成図である。 FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention.
図において、共振器内に分散素子をもつ安定共振器型
のエキシマレーザ発振装置（図示せず）から出射したレ
ーザビーム１は、ビーム分割器２に入射する。このビー
ム分割器２は、石英板の両面に反射膜を付けた平行板で
あり、その反射面a,b,c,d,eの反射率は、各々75％,66.5
％,50％,0％,100％である。すなわち、ビーム分割器２
に入射する前のレーザビーム１の強度のほぼ25％のビー
ムが４本出力される。このビーム分割器２を成す石英板
の厚さは、各々のビームの光路差が干渉距離λ2／Δλ
よりはるかに大きくなるように十分厚く設定されてい
る。In the figure, a laser beam 1 emitted from a stable resonator type excimer laser oscillator (not shown) having a dispersive element in a resonator enters a beam splitter 2. The beam splitter 2 is a parallel plate having reflecting films on both sides of a quartz plate, and the reflectances of its reflecting surfaces a, b, c, d, and e are 75% and 66.5, respectively.
%, 50%, 0%, 100%. That is, the beam splitter 2
Four beams of approximately 25% of the intensity of the laser beam 1 before being incident on are output. The thickness of the quartz plate forming the beam splitter 2 is such that the optical path difference of each beam is the interference distance λ 2 / Δλ.
It is thick enough to be much larger.
従って、これらのビームは互いにインコヒーレントで
ある。さらに、このビーム分割器２は各ビームの光軸が
互いに約14mmずれるように、傾きを調節してある。Therefore, these beams are incoherent to each other. Further, the beam splitter 2 is adjusted in inclination so that the optical axes of the respective beams deviate from each other by about 14 mm.
このビーム分割器２から出力された４本のビームは、
複屈折結晶（例えば、方解石、MgF,水晶、KDP、ADP等）
３によって各々偏光の異なる２本のビームに分けられ
る。従って、合計では８本のビームに分けられることに
なる。この場合、異なる偏向光は互いに干渉しない故、
８本のビームは互いに干渉しない。The four beams output from this beam splitter 2 are
Birefringent crystal (eg, calcite, MgF, quartz, KDP, ADP, etc.)
It is divided into two beams each having a different polarization by 3. Therefore, it is divided into eight beams in total. In this case, the different polarized lights do not interfere with each other,
The eight beams do not interfere with each other.
この複屈折結晶３は、結晶の種類に応じて方位厚さを
適当に加工してあり、２本のビームの中心の間隔は互い
に約7mm離れるようにしてある。The birefringent crystal 3 has an orientation thickness appropriately processed according to the type of crystal, and the centers of the two beams are separated from each other by about 7 mm.
従って、８本の各ビームのうち、隣り合うビームは互
いに中心が約7mm離れている。各ビームの短手方向幅は
各々約7mmであるから、全体では約20mm×56mmのほぼ一
様なビームとなる。Therefore, of the eight beams, adjacent beams are separated from each other by about 7 mm in center. The width of each beam in the lateral direction is about 7 mm, so that the total beam is about 20 mm × 56 mm, which is almost uniform.
一方、このビームの拡り角は約3mrad×1mradである
が、このビームをシリンドリカルレンズ4a,4bによるビ
ーム整形光学系で約20mm×20mmのビームに集束する。す
ると、拡り角は約3mrad×3mradとなる。On the other hand, the divergence angle of this beam is about 3 mrad × 1 mrad, but this beam is focused into a beam of about 20 mm × 20 mm by the beam shaping optical system by the cylindrical lenses 4a and 4b. Then, the spread angle becomes about 3 mrad x 3 mrad.
以上は、レーザビーム１の断面形状が長方形に近い場
合について述べてきたが、勿論、レーザビーム１の断面
形状が正方形に近い場合でも同様に適用でき、またビー
ム分割器２で分割したビーム同志が一部重ね合わされる
ようにしてもよい。The above has described the case where the cross-sectional shape of the laser beam 1 is close to a rectangle. However, of course, the same can be applied to the case where the cross-sectional shape of the laser beam 1 is close to a square, and the beams split by the beam splitter 2 can be used together. You may make it overlap one part.
［発明の効果］ 以上説明したように本発明に係る照明装置よれば、レ
ーザビームを分割するとともに、分割された各々のレー
ザビームにレーザビームの可干渉距離よりも大きな光路
差を与えているため、互いにインコヒーレントなビーム
が得られる。また、この分割された各ビームはビーム断
面の短手方向に対して配列されているため、短手方向の
モード数が増し、空間的コヒーレントの低いビームとな
る。[Advantages of the Invention] As described above, according to the illumination device of the present invention, the laser beam is split, and each split laser beam is given an optical path difference larger than the coherence length of the laser beam. , Beams that are incoherent to each other are obtained. Further, since each of the divided beams is arranged in the short-side direction of the beam cross section, the number of modes in the short-side direction increases, and the beam has low spatial coherence.
従って、この分割された各ビームを適宜径に集束して
なるビームは、結果的にスペックルを生じる恐れがな
い。Therefore, there is no possibility that speckles will eventually occur in the beam formed by focusing the divided beams into appropriate diameters.
なお、このビームは、レーザ光源としてスペクトル幅
を狭帯化する手段を備えたものを採用しているため、時
間的コヒーレンスが高く、単色性も優れていることは述
べるまでもない。It is needless to say that this beam has a high temporal coherence and an excellent monochromaticity because it employs a laser light source equipped with a means for narrowing the spectral width.
従って、本発明に係る照明装置を、例えば集積回路製
造用露光装置に用いれば、極めて均一な露光を得ること
が可能である。Therefore, when the illumination device according to the present invention is used in, for example, an exposure device for manufacturing an integrated circuit, it is possible to obtain extremely uniform exposure.
また、スペックル除去のためにビームを相当な回数振
動させる必要がないため、スループットを低下させるこ
となく適正露光量を確保できる。同様の理由により、振
動ミラー等を設ける必要がないため、装置構成も簡単で
ある。Further, since it is not necessary to vibrate the beam a considerable number of times to remove speckles, an appropriate exposure amount can be secured without lowering throughput. For the same reason, it is not necessary to provide a vibrating mirror or the like, and the device configuration is simple.
本発明に係る照明装置は、以上のように優れた効果を
有するものであり、集積回路製造用露光装置や光CVD装
置等に好適なものである。The illuminating device according to the present invention has excellent effects as described above, and is suitable for an exposure device for manufacturing an integrated circuit, an optical CVD device, and the like.
第１図は本発明の実施例に係る構成図、第２図〜第４図
は各々従来装置に係る模式図である。 ［主要部分の符号の説明］ １……レーザビーム、２……ビーム分割器 4a,4b……シリンドリカルレンズFIG. 1 is a configuration diagram according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 2 to 4 are schematic diagrams relating to conventional devices. [Explanation of symbols of main parts] 1 ... Laser beam, 2 ... Beam splitter 4a, 4b ... Cylindrical lens
Claims (1)
を狭帯化する手段を備え、縦横比が異なる断面形状のレ
ーザビームを出力する安定共振型レーザ光源と、 この光源から出力されたレーザビームをその進行方向に
対して平行に、且つ前記レーザビームの断面の短手方向
に沿ってほぼ等間隔に配列された複数のレーザビームに
分割するとともに、この分割された各々のレーザビーム
にレーザビームの可干渉距離よりも大きな光路差を与え
る分割手段と、 この分割手段により分割された複数のレーザビームを適
宜径に集めて被照射対象を照明する照明手段とを備え、 前記レーザ光源と前記照明手段との間の光路中に、入射
してきたレーザビームを偏光の異なる複数のビームに分
割する複屈折素子が配置されていることを特徴とする照
明装置。1. A stable resonance type laser light source that outputs a laser beam having a cross-sectional shape with different aspect ratios, and means for narrowing the spectral width of the laser beam to be output, and a laser beam output from this light source. The laser beam is divided into a plurality of laser beams arranged in parallel with the traveling direction thereof and at substantially equal intervals along the lateral direction of the cross section of the laser beam. The laser light source and the illuminating means are provided with a dividing means for giving an optical path difference larger than the coherence length, and an illuminating means for collecting a plurality of laser beams divided by the dividing means into appropriate diameters to illuminate an irradiation target. And a birefringent element for dividing an incident laser beam into a plurality of beams having different polarizations are arranged in an optical path between
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