JP2507472Y2 - 回転処理装置の余剰塗布液回収装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この考案は回転処理装置の余剰塗
布液回収装置に関し、さらに詳しくは半導体基板や液晶
用ガラス基板等の被処理基板(以下単に基板と称する)の
表面処理に用いられたフォトレジスト液や、現像液、洗
浄液等の余剰塗布液を回収するのに用いられる回転処理
装置の余剰塗布液回収装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種の余剰塗布液回収装置は、従来よ
り例えば図４で示すものが知られている。それは回転処
理装置１のスピンカップ５に連通するカップ排液管５１
と、そのカップ排液管５１より流下する余剰塗布液Ｑを
回収する余剰塗布液回収タンク５５と、開閉自在のタン
ク挿入口６１を有し余剰塗布液回収タンク５５を収容す
るタンク収納容器６０とから成り、カップ排液管５１の
下端部をタンク収納容器６０内に突入するとともに、余
剰塗布液回収タンク５５をタンク収納容器６０内へ進退
スライド自在に構成し、余剰塗布液回収タンク５５の回
収口５６をカップ排液管５１の突入下端部５２に対向さ
せて余剰塗布液Ｑを回収するとともに、タンク収納容器
６０に排気口６５を設けて余剰塗布液回収タンク５５内
より漏出する余剰塗布液蒸気Ｇを強制排気するように構
成されている。なお、図４中の符号２は基板Ｗを吸着保
持して回転するスピンチャック、３はスピンチャック２
を回転駆動する駆動モータ、４は処理液吐出ノズルであ
る。また、スピンカップ５には図示しない排気口が別に
設けられており、スピンカップ５内の余剰塗布液蒸気を
別途強制排気するように構成されている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】上記従来例では余剰塗
布液回収タンク５５の交換時に、カップ排液管５１内に
残留した余剰塗布液Ｑがカップ排液管５１の下端部５２
からしたたり、タンク収納容器６０内を汚したり、その
余剰塗布液が固まって余剰塗布液回収タンク５５の着脱
が困難になり、ときにはその固まりに余剰塗布液回収タ
ンク５５が乗り上げて傾き、当該回収タンク５５が満杯
であるかのように排液センサーが誤動作する等の不都合
があった。本考案はこのような事情を考慮してなされた
もので、余剰塗布液回収タンク５５を交換する際に、カ
ップ排液管５１の下端部５２からしたたる余剰塗布液Ｑ
でタンク収納容器６０内が汚れたり、上記不都合を生じ
ないようにすることを技術課題とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本考案は上記課題を解決
するものとして、以下のように構成される。即ち、回転
処理装置のスピンカップに連通するカップ排液管と、そ
のカップ排液管より流下する余剰塗布液を回収する余剰
塗布液回収タンクと、余剰塗布液回収タンクを出し入れ
自在に収容するタンク収納容器とから成り、カップ排液
管の下端部をタンク収納容器内に突入するとともに、余
剰塗布液回収タンクをタンク収納容器内へ進退スライド
自在に構成し、余剰塗布液回収タンクの回収口をカップ
排液管の突入下端部に対向させて余剰塗布液を回収する
ように構成した回転処理装置の余剰塗布液回収装置にお
いて、タンク収納容器内の奥寄隙間にスライダーを設
け、スライダーを余剰塗布液回収タンクの出し入れ動作
と連動させて前進位置と後退位置との間で進退移動可能
に構成するとともに、スライダー上に雫回収容器を着脱
自在に配置し、スライダーの前進位置では雫回収容器が
カップ排液管の突入下端部に対向し、スライダーの後退
位置では余剰塗布液回収タンクの回収口がカップ排液管
の突入下端部に対向するように構成し、かつスライダー
の前進及び後退に際し、カップ排液管の下端部が余剰塗
布液回収タンクの回収口もしくは雫回収容器の上側にオ
ーバーラップするように構成したことを特徴とするもの
である。

【０００５】

【作 用】本考案では、タンク収納容器内の奥寄隙間
にスライダーが設けられ、スライダーは余剰塗布液回収
タンクの出し入れ動作と連動して前進位置と後退位置と
の間で進退移動する。スライダー上には雫回収容器が着
脱自在に配置され、余剰塗布液回収タンクをタンク収納
容器内に収納した状態では、スライダーは余剰塗布液回
収タンクによって押しやられて後退位置にあり、この位
置では余剰塗布液回収タンクの回収口がカップ排液管の
突入下端部に対向し、余剰塗布液を回収する。また、余
剰塗布液回収タンクをタンク収納容器外に取り出した状
態では、スライダーは前進位置にあり、この位置では雫
回収容器がカップ排液管の突入下端部に対向し、カップ
排液管よりしたたり落ちる余剰塗布液を雫回収容器で回
収する。そして余剰塗布液回収タンク交換時にスライダ
ーが前進・後退する際には、カップ排液管の下端部が余
剰塗布液回収タンクの回収口もしくは雫回収容器の上側
にオーバーラップした状態で前進・後退する。これによ
り、余剰塗布液が回収容器外にこぼれ出ることはなくな
り、タンク収納容器内を汚すおそれもなくなる。

【０００６】

【実施例】以下本考案の実施例を図面に基づいて説明す
る。図１は本考案に係る余剰塗布液回収装置の第１の実
施例を示す縦断面図であり、符号１０は余剰塗布液回収
装置全体を示す。この余剰塗布液回収装置１０は、図４
と同様の回転処理装置１のスピンカップ５に連通するカ
ップ排液管１１と、そのカップ排液管１１より流下する
余剰塗布液Ｑを回収する余剰塗布液回収タンク１５と、
開閉自在のタンク挿入口２１を有し余剰塗布液回収タン
ク１５を出し入れ自在に収容するタンク収納容器２０
と、タンク収納容器２０内の奥寄隙間に設けれられたス
ライダー３４と、スライダー３４上に着脱自在に配置さ
れた雫回収容器３８とから成り、余剰塗布液回収タンク
１５内に余剰塗布液Ｑを回収するとともに、タンク交換
の際にカップ排液管１１よりしたたり落ちる余剰塗布液
Ｑを雫回収容器３８で回収するように構成し、タンク収
納容器２０に排気口２５を設けて余剰塗布液回収タンク
１５内より漏出する塗布液蒸気Ｇを強制排気するように
構成されている。

【０００７】上記カップ排液管１１は排液管本体１１ａ
とカップ排液管１１の下端部を構成するＬ字状の連通部
材１２とから成る。この連通部材１２はタンク収納容器
２０の後側上部に固設されており、連通部材１２の上端
部に形成した雌形連通口１２ａには排液管本体１１ａの
下端部が嵌入され、連通部材１２の下端部に形成した雄
形連通口１２ｂはタンク収納容器２０内の余剰塗布液回
収タンク１５の回収口１６内に突入されている。

【０００８】タンク収納容器２０の前側には余剰塗布液
回収タンク１５を出し入れする挿入口２１が開口されて
おり、この挿入口２１には開閉蓋２２が蝶着されてい
る。そしてタンク収納容器２０内の底部には余剰塗布液
回収タンク１５の載置台３０がスライドレール３１を介
してスライド自在に設けられ、余剰塗布液回収タンク１
５をスライドさせて出し入れするように構成されてい
る。なお図１中の符号２４は開閉蓋２２に固定された一
方のタンク保持具、２６はタンク収納容器２０の後壁に
固定された他方のタンク保持具、２７は余剰塗布液回収
タンク１５の有無を検出するセンサーである。

【０００９】一方、余剰塗布液回収タンク１５の回収口
１６はカップ排液管１１の前記雄形連通口（以下突入下
端部という）１２ｂに対向させて形成されている。即
ち、カップ排液管１１の突入下端部１２ｂと余剰塗布液
回収タンク１５のスライド方向（矢印Ａ）とをほぼ一致
させ、余剰塗布液回収タンク１５をタンク収納容器２０
内へスライドさせて挿入することにより、当該突入下端
部１２ｂが余剰塗布液回収タンク１５の余剰塗布液回収
口１６内に遊嵌状態で嵌入するように構成されている。

【００１０】スライダー３４はタンク収納容器２０内の
奥寄隙間に設けられ、このスライダー３４は図１及び図
２で示すように、タンク収納容器２０の奥壁２０ａに固
定されたスライド支持具３５と、スライド支持具３５の
上をスライド可能に設けられたスライド本体３６と、ス
ライド本体３６をタンク挿入口２１側へ付勢する付勢バ
ネ３７と、スライド本体３６を前進位置に規制するスト
ッパー（図示せず）とを具備して成り、スライド本体３
６が余剰塗布液回収タンク１５の出し入れ動作と連動し
て、図２中の実線で示す前進位置と図１中の実線で示す
後退位置との間で進退移動するように構成されている。

【００１１】雫回収容器３８はスライド本体３６上に着
脱自在に配置され、余剰塗布液回収タンク１５をタンク
収納容器２０内に収納した状態では、スライド本体３６
は余剰塗布液回収タンク１５によって押しやられて後退
位置にあり、カップ排液管１１の突入下端部１２ｂが余
剰塗布液回収タンク１５の回収口１６内に嵌入して、余
剰塗布液Ｑを回収するように構成され、この状態では余
剰塗布液回収タンク１５の回収口１６の先端部分が雫回
収容器３８の上側にオーバーラップするように構成され
ている。

【００１２】また、余剰塗布液回収タンク１５をタンク
収納容器２０外に取り出す際には、スライド本体３６は
付勢手段３７でタンク挿入口２１側へ付勢されて前進位
置へ移動し、この前進位置では図２で示すように、雫回
収容器３８がカップ排液管１１の突入下端部１２ｂに対
向し、カップ排液管の突入下端部１２ｂよりしたたり落
ちる余剰塗布液を雫回収容器３８で回収するように構成
されている。そしてスライド本体３６の後退位置から前
進位置への移動時及び前進位置から後退位置への移動時
には、余剰塗布液回収タンク１５の回収口１６の先端部
分が雫回収容器３８の上側にオーバーラップした状態で
雫回収容器３８が前進するように構成されている。即
ち、カップ排液管１１の下端部が余剰塗布液回収タンク
１５の回収口１６もしくは雫回収容器３８の上側にオー
バーラップすることになる。これにより余剰塗布液回収
タンク１５の交換時に余剰塗布液Ｑが回収容器３８外に
したたり落ちてタンク収納容器２０内を汚すことはなく
なる。

【００１３】図３は本考案に係る余剰塗布液回収装置の
第２の実施例を示す要部の縦断面図である。この実施例
では、カップ排液管１１の下端部１１ｂがタンク収納容
器２０内に垂直に突入され、余剰塗布液回収タンク１５
の回収口１６を上向きに形成して、回収口１６に漏斗１
６Ａを挿嵌し、カップ排液管１１より流下する余剰塗布
液Ｑを回収するように構成されている。この場合、漏斗
１６Ａは余剰塗布液回収タンク１５の回収口１６の一部
分を構成する。なお、スライダー３４やその他の点は前
記第１の実施例と同様に構成されている。

【００１４】上記実施例１〜２では、いずれもスライダ
ー３４がスライド支持具３５と、スライド本体３６と、
付勢バネ３７と図示しないストッパーとによって構成さ
れているものとして説明したが、本考案はこれに限らず
適宜変更を加えて実施することができる。即ち、余剰塗
布液回収タンクと連動してスライドする構成のものであ
れば良い。また余剰塗布液回収タンク１５をタンク収納
容器内にスライドさせて出し入れする構成についても適
宜変更を加えて実施することができる。

【００１５】

【考案の効果】以上の説明で明らかなように、本考案で
はタンク収納容器内の奥寄隙間にスライダーを設け、ス
ライダーを余剰塗布液回収タンクの出し入れ動作と連動
して前進位置と後退位置との間で進退移動するように構
成し、スライダー上に雫回収容器を着脱自在に配置し、
カップ排液管の下端部が余剰塗布液回収タンクの回収口
もしくは雫回収容器の上側にオーバーラップした状態で
雫回収容器が前進・後退するように構成したので、余剰
塗布液回収タンクの交換時に余剰塗布液が回収容器外に
したたり落ちてタンク収納容器内を汚すことはなくな
る。これにより、余剰塗布液回収タンクの着脱が困難に
なり、塗布液の固まりに余剰塗布液回収タンクが乗り上
げて傾き、排液センサーが誤動作する等の不都合を解消
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係る余剰塗布液回収装置の第１の実施
例を示す縦断面図である。

【図２】本考案に係るスライダーの動作説明図である。

【図３】本考案の別の実施例を示す動作説明図である。

【図４】従来例に係る余剰塗布液回収装置の縦断面図で
ある。

【符号の説明】 １…回転処理装置、 ５…スピンカッ
プ、１０…余剰塗布液回収装置、 １１…カッ
プ排液管、１２ｂ…カップ排液管の突入下端部、１５…
余剰塗布液回収タンク、１６…余剰塗布液回収タンクの
回収口、２０…タンク収納容器、２１…タンク収納容器
のタンク挿入口、３４…スライダー、３８…雫回収容
器、 Ｑ…余剰塗布液、Ｗ…基板。

フロントページの続き (72)考案者 小山 芳弘 京都市伏見区羽束師古川町322番地 大 日本スクリーン製造株式会社 洛西工場 内 (56)参考文献 実開 昭61−86930（ＪＰ，Ｕ)

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転処理装置のスピンカップに連通する
   カップ排液管と、そのカップ排液管より流下する余剰塗
   布液を回収する余剰塗布液回収タンクと、余剰塗布液回
   収タンクを出し入れ自在に収容するタンク収納容器とか
   ら成り、カップ排液管の下端部をタンク収納容器内に突
   入するとともに、余剰塗布液回収タンクをタンク収納容
   器内へ進退スライド自在に構成し、余剰塗布液回収タン
   クの回収口をカップ排液管の突入下端部に対向させて余
   剰塗布液を回収するように構成した回転処理装置の余剰
   塗布液回収装置において、タンク収納容器内の奥寄隙間
   にスライダーを設け、スライダーを余剰塗布液回収タン
   クの出し入れ動作と連動させて前進位置と後退位置との
   間で進退移動可能に構成するとともに、スライダー上に
   雫回収容器を着脱自在に配置し、スライダーの前進位置
   では雫回収容器がカップ排液管の突入下端部に対向し、
   スライダーの後退位置では余剰塗布液回収タンクの回収
   口がカップ排液管の突入下端部に対向するように構成
   し、かつスライダーの前進及び後退に際し、カップ排液
   管の下端部が余剰塗布液回収タンクの回収口もしくは雫
   回収容器の上側にオーバーラップするように構成したこ
   とを特徴とする回転処理装置の余剰塗布液回収装置。