JP2025131253A - 実装ヘッドおよび部品実装装置 - Google Patents

Abstract

【課題】部品吸着ノズル周辺に配置された配管の保護を向上させた実装ヘッドおよびそれを備える部品実装装置を提供すること。
【解決手段】実装ヘッドは、部品に吸着孔を当てて部品を吸着する複数の部品吸着ノズルと、それぞれの吸着ノズルの吸着孔に供給するエアが流れるエア流路を有するマニホールドと、マニホールドに取り付けられ、エアの流れを切り替える複数のバルブと、マニホールドから部品吸着ノズルへ供給するエアが流れ、マニホールドのエア流路と部品吸着ノズルとを連通する複数の配管と、それぞれの部品吸着ノズルが接続され昇降方向に交差する第１方向に並んで配列された複数のシャフトをそれぞれ昇降可能に保持するシャフト保持部と、一部がバルブに対して下方に配置され、かつ、配管に対して第１方向に交差する第２方向の外側に配置されるバンパーと、を備える。
【選択図】図２

Description

本開示は、実装ヘッドおよびそれを備える部品実装装置に関する。

従来、実装ヘッドのノズルで部品を保持して基板に実装する部品実装装置が知られている（例えば特許文献１参照）。特許文献１の実装ヘッドでは、実装ヘッド同士の衝突を軽減するためのバンパーが設けられている。

特開第２００９－２１８２７８号公報

しかしながら、特許文献１の実装ヘッドに設けられたバンパーは、実装ヘッド同士の衝突防止を目的としているので、ヘッドカバー周りに配置されていた。したがって、部品を吸着する部品吸着ノズル周辺とは距離が離れているので、部品吸着ノズル周辺に配置された、エアを供給する配管の保護には不十分であった。

本開示の目的は、前記課題を解決することにあって、部品吸着ノズル周辺に配置された配管の保護を向上させた実装ヘッドおよびそれを備える部品実装装置を提供することにある。

前記目的を達成するために、本開示の実装ヘッドは、実装ヘッドは、部品に吸着孔を当てて部品を吸着する複数の部品吸着ノズルと、それぞれの吸着ノズルの吸着孔に供給するエアが流れるエア流路を有するマニホールドと、マニホールドに取り付けられ、エアの流れを切り替える複数のバルブと、マニホールドから部品吸着ノズルへ供給するエアが流れ、マニホールドのエア流路と部品吸着ノズルとを連通する複数の配管と、それぞれの部品吸着ノズルが接続され昇降方向に交差する第１方向に並んで配列された複数のシャフトをそれぞれ昇降可能に保持するシャフト保持部と、一部がバルブに対して下方に配置され、かつ、配管に対して第１方向に交差する第２方向の外側に配置されるバンパーと、を備える。

また、本開示の部品実装装置は、上述した実装ヘッドと、実装ヘッドの部品吸着ノズルに部品を供給する部品供給部と、実装ヘッドによって部品が実装される基板を搬送する基板搬送機構と、を備える。

本開示によれば、部品吸着ノズル周辺に配置された配管の保護を向上させた実装ヘッドおよびそれを備える部品実装装置を提供することができる。

実施形態の部品実装装置の概略平面図 実施形態の実装ヘッドの斜視図 実施形態の実装ヘッドの斜視図 実施形態の実装ヘッドの概略断面図 実施形態の実装ヘッドの概略斜視図 実施形態の第１ノズルユニットおよび第２ノズルユニットの概略側面図 実施形態のマニホールドの周辺構成を示す概略断面図 実施形態の実装ヘッドに連結部材を取り付けた状態を示す概略正面図 実施形態のマニホールドおよびその周辺構成を示す概略斜視図 実施形態のマニホールドおよびその周辺構成を示す概略斜視図 実施形態の実装ヘッドのエア流路の接続関係を示す概略図 実施形態のバンパーの概略斜視図 実施形態のバンパー周辺の構成を示す概略正面図 バンパーとコネクタとケーブルを抜き出した説明図 実施形態のバンパーの裏面に固定された配線を示す概略図 図１５におけるＡ－Ａ線の断面図 実施形態の実装ヘッドの固定部材側を平坦な面に置いた状態の説明図 実施形態の実装ヘッドのヘッドカバー側を平坦な面に置いた状態の説明図 実施形態の実装ヘッドを直立姿勢で平坦な面に置いた状態の説明図

（本開示の態様について）
本開示の第１態様の実装ヘッドは、実装ヘッドは、部品に吸着孔を当てて部品を吸着する複数の部品吸着ノズルと、それぞれの吸着ノズルの吸着孔に供給するエアが流れるエア流路を有するマニホールドと、マニホールドに取り付けられ、エアの流れを切り替える複数のバルブと、マニホールドから部品吸着ノズルへ供給するエアが流れ、マニホールドのエア流路と部品吸着ノズルとを連通する複数の配管と、それぞれの部品吸着ノズルが接続され昇降方向に交差する第１方向に並んで配列された複数のシャフトをそれぞれ昇降可能に保持するシャフト保持部と、一部がバルブに対して下方に配置され、かつ、配管に対して第１方向に交差する第２方向の外側に配置されるバンパーと、を備える。

第１態様の実装ヘッドによれば、バンパーの一部が、バルブに対して下方に、かつ、配管に対して第１方向に交差する第２方向の外側に配置されているので、配管が他の部材と接触して破損するのを低減することができる。このように、バンパーが配管を保護することができる。

本開示の第２態様によれば、第１態様の実装ヘッドにおいて、それぞれのバルブにコネクタを介して接続された複数の配線を備え、複数の配線は、バンパーの配管側に沿って配置され、バンパーに固定されている。

本開示の第３態様によれば、第２態様の実装ヘッドにおいて、コネクタはバルブの下部にバルブの下方から着脱可能であり、バンパーは、バルブに装着されたコネクタの下方を第１方向に沿って延びる。

本開示の第４態様によれば、第３態様の実装ヘッドにおいて、バンパーは、昇降方向の下方および第２方向の外方に延びる第１アームおよび第２アームと、第１方向に沿って延び、第１アームの下端と第２アームの下端とを接続するプレート部と、を有する。

本開示の第５態様によれば、第４態様の実装ヘッドにおいて、第１アームの上部および第２アームの上部は、それぞれ、マニホールドに着脱可能に固定される。

本開示の第６態様によれば、第１態様から第５態様のいずれか１つの実装ヘッドにおいて、実装ヘッドを部品実装装置に固定する固定部材を備え、固定部材が平坦な面に当たるように置いた際にバンパーの外側が平坦な面に当たる。

本開示の第７態様の部品実装装置は、第１態様から第１１態様のいずれか１つの実装ヘッドと、実装ヘッドの部品吸着ノズルに部品を供給する部品供給部と、実装ヘッドによって部品が実装される基板を搬送する基板搬送機構と、を備える。

（実施形態）
以下、本開示に係る実装ヘッド、部品実装装置の例示的な実施形態について、添付の図面を参照しながら説明する。本開示は、以下の実施形態の具体的な構成に限定されるものではなく、同様の技術的思想に基づく構成が本開示に含まれる。以下で述べる構成、形状等は説明のための例示であって、実装ヘッド、部品実装装置の仕様に応じて、適宜変更が可能である。

以下では、各図面において対応する要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。また以下では、水平面内で互いに直交する２軸を、基板搬送方向のＸ軸方向、基板搬送方向に直交するＹ軸方向とし、水平面と直交する高さ方向をＺ軸方向とする。

（部品実装装置）
まず図１を参照して、部品実装装置２の構成を説明する。図１は、実施形態の部品実装装置２を示す概略平面図である。

部品実装装置２は、部品供給部４、６から供給されたダイやＩＣチップ等の部品（電子部品）を基板Ｗ１、Ｗ２に搭載する部品搭載作業を実行する機能を有する。部品実装装置２は、部品を基板Ｗ１、Ｗ２に搭載する部品搭載システムを構成する。

本実施形態の部品実装装置２は、２つの部品供給部４、６および２つの実装ヘッド２６Ａ、２６Ｂを用いて２枚の基板Ｗ１、Ｗ２を並行処理する機能を有する。部品実装装置２は複数枚の基板を並行処理する場合に限らず、１枚のみの基板を単独処理する場合であってもよい。

基台８の中央には、基板搬送機構１０、１２がＸ軸方向に沿って配置されている。基板搬送機構１０、１２はそれぞれ、上流から搬入される基板Ｗ１、Ｗ２をＸ軸方向に搬送し、所定の実装作業位置に位置決めする。基板搬送機構１０、１２はそれぞれ、部品実装作業が完了した基板Ｗ１、Ｗ２を下流に搬出する。

基板搬送機構１０、１２を挟んだＹ軸方向の両側には、部品供給部４、６が配置されている。部品供給部４、６のそれぞれには、複数のテープフィーダ１４、１６がＸ軸方向に沿って並設されている。テープフィーダ１４、１６はそれぞれ台車１５、１７に装着されており、部品を収納したキャリアテープをピッチ送りして、所定の部品供給位置に部品を順次供給する。

図１において、基台８のＸ軸方向の両側には、Ｙ軸リニア駆動機構を備えたＹ軸ビーム１８、２０がＹ軸方向に沿って配置されている。Ｙ軸ビーム１８、２０は、Ｙ軸方向に延びるリニアレールを備え、Ｘ軸ビーム２２、２４がＹ軸方向にスライド自在に係合している。

Ｘ軸ビーム２２、２４はそれぞれ、Ｘ軸方向に延びるリニアレール（図示省略）に沿って移動する移動テーブル２２Ｔ、２４Ｔと移動テーブル２２Ｔ、２４Ｔをリニアレールに沿って移動させるＸ軸リニア駆動機構（図示省略）を備えている。移動テーブル２２Ｔ、２４Ｔには、実装ヘッド２６Ａ、２６Ｂが装着されている。実装ヘッド２６Ａ、２６Ｂは移動テーブル２２Ｔ、２４Ｔに対して着脱可能である。

Ｘ軸ビーム２２に係合した第１実装ヘッド２６Ａは、部品供給部４から供給される部品をピックアップして、基板Ｗ１、Ｗ２に実装するヘッドである。Ｘ軸ビーム２４に係合した第２実装ヘッド２６Ｂは、部品供給部６から供給される部品をピックアップして、基板Ｗ２、Ｗ１に実装するヘッドである。

Ｙ軸ビーム１８、２０およびＸ軸ビーム２２、２４は、実装ヘッド２６Ａ、２６ＢをＸＹ平面内で移動させるヘッド移動機構を構成する。

部品供給部４、６と基板搬送機構１０、１２との間には、それぞれ部品認識カメラ２８、３０が設けられている。部品供給部４、６から部品を取り出した実装ヘッド２６Ａ、２６Ｂが、部品認識カメラ２８、３０の上方へ移動することにより、実装ヘッド２６Ａ、２６Ｂに保持された部品の画像が取得される。取得された画像を認識処理することにより、実装ヘッド２６Ａ、２６Ｂに保持された状態における部品の位置ずれが検出される。

実装ヘッド２６Ａ、２６Ｂにはそれぞれ、一体的に移動するヘッドカメラ３２、３４が取り付けられている。ヘッドカメラ３２、３４は、撮像光軸を下向きにした姿勢で実装ヘッド２６Ａ、２６Ｂに取り付けられており、基板Ｗ１、Ｗ２の上方から基板Ｗ１、Ｗ２をそれぞれ下向きに撮像する。その撮像画像を認識処理することにより、基板Ｗ１、Ｗ２の位置ずれ、すなわち実装点の位置ずれが検出される。そして、前述の部品の位置ずれの検出結果と、実装点の位置ずれの検出結果とに基づいて、部品実装時の位置補正が行われる。位置補正には、部品のθ軸廻りの回転位置を正しい方向に合わせる回転位置合わせが含まれる。

部品実装装置２はさらに、本体制御部３６を備える。本体制御部３６は、部品実装装置２の各構成要素を制御する制御部である。本体制御部３６は例えば、プロセッサと、プロセッサによって実行されるコンピュータプログラムを記憶したメモリとを備えるマイクロコンピュータで構成される。

（実装ヘッド）
次に、実装ヘッド２６Ａ、２６Ｂの詳細な構成について、図２以降の図面を用いて説明する。２つの実装ヘッド２６Ａ、２６Ｂは同様の構造を有するため、以下の説明では「実装ヘッド２６」と総称して、１つの実装ヘッド２６について説明する。

図２、図３はそれぞれ、実装ヘッド２６の斜視図である。図４は、実装ヘッド２６の概略断面図であり、図５は、実装ヘッド２６の概略斜視図である。

図２～図５に示すように、実装ヘッド２６は、実装ヘッド２６の上部を覆うヘッドカバー３８を備える。ヘッドカバー３８の内側には、実装ヘッド２６全体を制御するためのメイン基板３９が配置されている。メイン基板３９は、図１に示した本体制御部３６に電気的に接続されており、「ヘッド制御部」とも称する。

実装ヘッド２６はさらに、部品を吸着するためのユニットとして、第１ノズルユニット４０と、第２ノズルユニット５０とを備える。

ノズルユニット４０、５０はそれぞれ、複数の部品吸着ノズルおよびそれらを駆動するための駆動機構によって構成されるユニットである。第１ノズルユニット４０は、Ｘ軸方向に沿って配列された複数の部品吸着ノズル４１（４１Ａ～４１Ｈ）を有し、第２ノズルユニット５０は、Ｘ軸方向に沿って配列された複数の部品吸着ノズル５１（５１Ａ～５１Ｈ）を有する。

本実施形態では、部品吸着ノズル４１は８つの部品吸着ノズル４１Ａ～４１Ｈを有し、部品吸着ノズル５１は８つの部品吸着ノズル５１Ａ～５１Ｈを有する。ノズルユニット４０、５０における部品吸着ノズル４１、５１のそれぞれの数は８つに限らず、任意の数であってもよい。

第１ノズルユニット４０と第２ノズルユニット５０は、Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向に配列されており、２列のノズルユニットを構成する。１つの実装ヘッド２６は、８本×２列＝計１６本の部品吸着ノズル４１、５１を備える。なお、ノズルユニット４０、５０が２列配列される場合に限らず、例えば１列のみであってもよい。

部品吸着ノズル４１、５１のそれぞれの本数に応じて、ノズルユニット４０、５０の他の部材も同様の数を有し、以下の説明・図面において、「〇〇（〇〇Ａ～〇〇Ｈ）」と同様に表記する。

図６は、第１ノズルユニット４０および第２ノズルユニット５０の概略側面図である。

第１ノズルユニット４０は、複数の部品吸着ノズル４１を駆動するための駆動機構として、複数のシャフト４５（４５Ａ～４５Ｈ）と、複数のプーリ４６（４６Ａ～４６Ｈ）と、複数のエア接続部４７（４７Ａ～４７Ｈ）とを有する。

実装ヘッド２６はさらに、第１ノズルユニット４０および第２ノズルユニット５０に加えて、モータユニット６０を備える。モータユニット６０は、複数の昇降モータ４２（４２Ａ～４２Ｈ）および複数の出力軸４３（４３Ａ～４３Ｈ）と、複数の昇降モータ５２（５２Ａ～５２Ｈ）および複数の出力軸５３（５３Ａ～５３Ｈ）と、後述するブラケット６３、６４とを備える。

昇降モータ４２は、出力軸４３をＺ軸方向に昇降させるリニアモータである（矢印Ｚ１）。出力軸４３の下端部にはオフセットブロック４４（４４Ａ～４４Ｈ）が連結されている。オフセットブロック４４は、出力軸４３とシャフト４５の位置を水平方向にオフセットするためのブロックである。オフセットブロック４４の上面に出力軸４３が連結され、オフセットブロック４４の下面にシャフト４５が連結される。

シャフト４５は、部品吸着ノズル４１を昇降させるためのシャフトであり、部品吸着ノズル４１に接続される。出力軸４３とシャフト４５が一体的に昇降することで（矢印Ｚ１）、シャフト４５の下端部に取り付けられた部品吸着ノズル４１が昇降する（矢印Ｚ２）。

シャフト４５の途中部分には、プーリ４６が取り付けられている。プーリ４６のそれぞれは、図５に示す回転モータ１００に連結されたベルトに係合し、回転モータ１００がベルトを回転させることで、複数のプーリ４６がＺ軸方向を中心に一体的に回転する。これに伴い、複数のシャフト４５および複数の部品吸着ノズル４１が一体的に回転する。なお、ベルトでプーリ４６に動力を伝達する構造については、任意の構造を採用してもよく、例えば、特許第４８９４８４１号公報に記載されている構造を採用することができる。

エア接続部４７は、部品吸着ノズル４１の吸着孔４８（４８Ａ～４８Ｈ）にエアを供給するための接続部材である。エア接続部４７には、図４に示す接続ホース７２（７２Ａ～７２Ｈ）が接続される。

第２ノズルユニット５０についても同様に、複数の部品吸着ノズル５１を駆動するための駆動機構として、複数のシャフト５５（５５Ａ～５５Ｈ）と、複数のプーリ５６（５６Ａ～５６Ｈ）と、複数のエア接続部５７（５７Ａ～５７Ｈ）とを有する。シャフト５５と出力軸５３の間には、オフセットブロック５４（５４Ａ～５４Ｈ）が設けられる。

出力軸５３とシャフト５５が一体的に昇降することで（矢印Ｚ３）、シャフト５５に接続された部品吸着ノズル５１が一体的に昇降する（矢印Ｚ４）。部品吸着ノズル５１の下端部には吸着孔５８（５８Ａ～５８Ｈ）が設けられており、エア接続部５７を介して吸着孔５８にエアが供給される。エア接続部５７には、図４に示す接続ホース８２（８２Ａ～８２Ｈ）が接続される。シャフト５５の途中部分に取り付けられたプーリ５６のそれぞれは、図５に示す回転モータ１０２に連結されたベルトに係合し、回転モータ１０２によって複数のプーリ５６が回転すると、複数のシャフト５５および複数の部品吸着ノズル５１がＺ軸方向を中心に一体的に回転する。接続ホース７２および接続ホース８２は、例えば、樹脂製のチューブである。

オフセットブロック４４は、シャフト４５のＹ軸方向の位置を、昇降モータ４２および出力軸４３に対して第２ノズルユニット５０から離れる側にオフセットさせる（矢印Ｙ１）。オフセットブロック５４は、シャフト５５のＹ軸方向の位置を、昇降モータ５２および出力軸５３に対して第１ノズルユニット４０から離れる側にオフセットさせる（矢印Ｙ２）。

第１ブラケット６３は、複数の昇降モータ４２および複数の昇降モータ５２を第１の高さ位置で保持する部材である。第２ブラケット６４は、第１の高さ位置よりも低い第２の高さ位置で、複数の昇降モータ４２および複数の昇降モータ５２を保持する部材である。２つのブラケット６３、６４は、後述する支持フレーム９０を取り付けるための部材としても利用される。

実装ヘッド２６はさらに、シャフト４５、５５を昇降可能に保持するシャフト保持部６６を備える。シャフト保持部６６の構成については後述する。

図４に示すように、実装ヘッド２６は、第１ノズルユニット４０に関連する構成として、マニホールド７０と、接続ホース７２（７２Ａ～７２Ｈ）と、バルブ７４（７４Ａ～７４Ｈ）と、バルブ７６（７６Ａ～７６Ｈ）とを備える。

マニホールド７０は、部品吸着ノズル４１に供給するエアを流すための部材である。マニホールド７０は、エアを流す複数の内部流路を有しており、その内部流路に連通するように２種類のバルブ７４、７６が複数個取り付けられている。

バルブ７４、７６は、マニホールド７０の内部流路同士の連通状態を切り替えることで、部品吸着ノズル４１に供給するエアの種類を切り替えるための部材である。１つのバルブ７４と１つのバルブ７６とが対となって１つのバルブ装置６９を構成する。バルブ７４が下流側、バルブ７６が上流側に位置する。各バルブ装置６９はシャフト４５ごとに、言い換えると、部品吸着ノズル４１ごとに、一つずつ設けられている。

本実施形態のマニホールド７０は、３種類のエアとして、正圧エア、負圧エア、大気圧エアをそれぞれ流通させている。バルブ７４、７６のそれぞれの開閉動作によって、３種類の中から１種類のエアを選択的に部品吸着ノズル４１に供給することが可能となる。バルブ７４、７６は、例えば電磁弁であり、より具体的には３ポートソレノイドバルブである。

第２ノズルユニット５０についても同様に、実装ヘッド２６は、マニホールド８０と、接続ホース８２（８２Ａ～８２Ｈ）と、バルブ８４（８４Ａ～８４Ｈ）と、バルブ８６（８６Ａ～８６Ｈ）とを備える。

図７は、マニホールド７０、８０の周辺構成を示す概略縦断面図である。

図７に示すように、マニホールド７０は、内部に複数のエア流路７１を有し、エア流路７１に連通するようにバルブ７４、７６が取り付けられている。バルブ７４はそれぞれ、コネクタ７５（７５Ａ～７５Ｈ）および図示しない配線を通じて、Ｉ／Ｏ基板７３に電気的に接続されている。バルブ７６もそれぞれ、コネクタ７７（７７Ａ～７７Ｈ）および図示しない配線を通じて、Ｉ／Ｏ基板７３に電気的に接続されている。

Ｉ／Ｏ基板７３にはさらに、センサ基板７８が電気的に接続されている。センサ基板７８は、マニホールド７０の内部流路を流れるエアの流量を測定するための流量センサを実装した基板である。センサ基板７８はマニホールド７０に取り付けられており、特にバルブ７４、７６が取り付けられる第１主面７０Ａとは反対側の第２主面７０Ｂに取り付けられている。

Ｉ／Ｏ基板７３は、固定部材７９を介して、マニホールド７０の上面（第３面）に固定されている。

マニホールド８０についても同様に、複数のエア流路８１を有し、エア流路８１に連通するようにバルブ８４、８６が取り付けられている。バルブ８４はそれぞれ、コネクタ８５（８５Ａ～８５Ｈ）および図示しない配線を通じて、Ｉ／Ｏ基板８３に電気的に接続されており、バルブ８６もそれぞれ、コネクタ８７（８７Ａ～８７Ｈ）および図示しない配線を通じて、Ｉ／Ｏ基板８３に電気的に接続されている。

Ｉ／Ｏ基板８３は、固定部材８９を介して、マニホールド８０の上面に固定されている。Ｉ／Ｏ基板８３にはさらに、流量センサを実装したセンサ基板８８が電気的に接続されている。

Ｉ／Ｏ基板７３は、図示しない配線を介して、図２、図３に示したメイン基板３９に電気的に接続されている。Ｉ／Ｏ基板８３は、メイン基板３９に接続されるのではなく、図示しない配線を介して、Ｉ／Ｏ基板７３に電気的に接続されている。

上記構成によれば、バルブ７４、７６の各配線（計１６本）およびセンサ基板７８の配線（計１本）をＩ／Ｏ基板７３に集約して接続するとともに、バルブ８４、８６の配線（計１６本）およびセンサ基板８８の配線（計１本）をＩ／Ｏ基板８３に集約して接続する。この状態で、Ｉ／Ｏ基板８３をＩ／Ｏ基板７３に接続し、Ｉ／Ｏ基板７３をメイン基板３９に接続することで、メイン基板３９において、全てのバルブ７４、７６、８４、８６の開閉制御を実行し、センサ基板７８、８８の各流量センサの測定値を取得することができる。

また、バルブ７４、７６、８４、８６やセンサ基板７８、８８等のメンテナンスを行う際には、Ｉ／Ｏ基板７３とコネクタ７５、７７との間の各配線やＩ／Ｏ基板８３とコネクタ８５、８７との間の各配線を個別に抜き差しすればよい。このため、メイン基板３９に各配線を直接接続する場合と比べて、関係のない配線を抜き差しする作業や、ヘッドカバー３８等の構成を取り外す作業が不要となり、メンテナンス時の作業性を向上させることができる。

本実施形態では、各配線における通信は、シリアル通信で行われる。

図４に戻ると、実装ヘッド２６はさらに、支持フレーム９０を備える。

支持フレーム９０は、ノズルユニット４０、５０を含む実装ヘッド２６の構成要素を支持するためのフレームである。支持フレーム９０は、部品実装装置２の移動テーブル２２Ｔ、２４Ｔに、例えばボルト等により、着脱可能に装着される。引掛け部材９１は、実装ヘッド２６を移動テーブル２２Ｔ、２４Ｔに装着する際に実装ヘッド２６を移動テーブル２２Ｔ、２４Ｔに一時的に引掛けておくために設けられている。引掛け部材９１を取り付ける場所は、支持フレーム９０においてＸ軸方向の最も外側に位置する。このように引掛け部材９１を設けることにより、作業者が実装ヘッド２６を移動テーブル２２Ｔ、２４Ｔに装着する作業をやりやすくなる。本実施形態の支持フレーム９０は、ノズルユニット４０、５０を含む実装ヘッド２６の構成要素を、後述する取付部材９２、９４、９６を介してＹ軸方向の一方側に片持ちで支持する。

支持フレーム９０は、３種類の取付部材として、第１取付部材９２と、第２取付部材９４と、第３取付部材９６とを有する。

３種類の取付部材９２、９４、９６はいずれも、支持フレーム９０からＹ軸方向の一方側に突設するように設けられている。取付部材９２、９４、９６は、ノズルユニット４０、５０を含む実装ヘッド２６の構成要素を片持ちで支持する部材として、「支持ポスト」と称してもよい。

第１取付部材９２は、モータユニット６０の第１ブラケット６３に取り付けられ、第２取付部材９４は、モータユニット６０の第２ブラケット６４に取り付けられ、第３取付部材９６は、後述するブロック１０６、１０８に取り付けられる。

このような構造によれば、箱状のモータユニット６０およびシャフト保持部６６を取付部材９２、９４、９６によって片持ちで支持する構造によって高い剛性を実現することができる。これにより、例えば複数の昇降モータ４２、５２自体（図６）に高い剛性を持たせる必要がなく、剛性を高く保つための部材（例えば剛体プレート）を昇降モータ４２、５２に付加する必要がなくなる等、実装ヘッド２６の軽量化および小型化につながる。

図５に示すように、実装ヘッド２６はさらに、回転モータ１００、１０２を備える。

回転モータ１００、１０２はそれぞれ、図６等に示したシャフト４５、５５を回転させるためのモータである。回転モータ１００は、図示しないベルトおよびプーリ４６を介して、複数のシャフト４５を同期して回転させ、回転モータ１０２は、図示しない別のベルトおよびプーリ５６を介して、複数のシャフト５５を同期して回転させる。

図５に示すように、２つの回転モータ１００、１０２は、シャフト保持部６６のブロック１０６、１０８によって支持されている。

シャフト保持部６６は、第１ブロック１０４と、シャフトケース１０５（図６、図７）と、第２ブロック１０６、１０８とを備える。

第１ブロック１０４は、図６等に示すシャフト４５、５５を挿通可能に保持するブロックである。第１ブロック１０４は、シャフト４５、５５を個々に挿通させる複数のシャフトケース１０５を保持する。シャフトケース１０５は、上下に延びる筒状部材であり、シャフトケース１０５の内部には、シャフト４５、５５をＺ軸方向に案内するスプライン構造を有する回転体１０５Ａが内蔵される（図７参照）。回転体１０５Ａは、シャフトケース１０５内でＺ軸方向を中心に回転可能な状態で装着されている。従って、シャフト保持部６６は、シャフト４５、５５をＺ軸方向に移動可能かつＺ軸方向を中心に回転可能に支持する。

第２ブロック１０６、１０８は、回転モータ１００、１０２をそれぞれ支持するためのブロックである。第２ブロック１０６、１０８は、第１ブロック１０４に対してＸ軸方向の外側にそれぞれ配置される。第２ブロック１０６、１０８には、支持フレーム９０に突設された第３取付部材９６が取り付けられる。

図５に示すように、実装ヘッド２６はさらに、連結部材１１０、１１２を備える。

連結部材１１０、１１２は、モータユニット６０とシャフト保持部６６を互いに連結する部材である。連結部材１１０、１１２は、Ｚ軸方向に互いに離れたモータユニット６０とシャフト保持部６６を連結するようにＺ軸方向に延びる。

連結部材１１０、１１２を設けることで、後述するように、複数のシャフト４５あるいは複数のシャフト５５を同時に下降させた時に生じる、実装ヘッド２６の先端側の曲がりを抑制することができ、実装精度の向上につながる。連結部材１１０、１１２は「サスペンダ」と称してもよい。

本実施形態では、連結部材１１０、１１２の上端部は、モータユニット６０の第２ブラケット６４に取り付けられ、連結部材１１０、１１２の下端部は、シャフト保持部６６の第２ブロック１０６、１０８に取り付けられる。

図７に示すように、実装ヘッド２６はさらに、マニホールド７０を第１ブロック１０４に取り付けるためのマニホールド取付部材２００と、マニホールド８０を第１ブロック１０４に取り付けるためのマニホールド取付部材２０２とを備える。マニホールド取付部材２００、２０２はそれぞれ、異なる高さ位置に少なくとも２つずつ設けられている。マニホールド取付部材２００、２０２は例えばネジ孔を有し、ネジ２０４によりマニホールド７０、８０がそれぞれ第１ブロック１０４に着脱可能に取り付けられる。

（マニホールド）
次に、マニホールド７０、８０の周辺構成について、図９以降の図面を用いて説明する。なお、マニホールド７０とマニホールド８０およびそれらの周辺構成は同様の構造であるため、以下の説明では主に、マニホールド７０およびその周辺構成について図示・説明する。

図９、図１０はそれぞれ、マニホールド７０およびその周辺構成を示す斜視図である。

図９、図１０に示すように、マニホールド７０は、３つの面として、第１主面７０Ａ（第１側面）と、第２主面７０Ｂ（第２側面）と、第３面７０Ｃ（上面）とを有する。第１主面７０Ａは、バルブ７４、７６を取り付けるための面であり、第２主面７０Ｂは、センサ基板７８を取り付けるための面であり、第３面７０Ｃは、Ｉ／Ｏ基板７３を固定する固定部材７９（図１０）を取り付けるための面である。

図９、図１０に示す例では、Ｉ／Ｏ基板７３は、基板収容ボックス１５４に収容されている。図１０に示す固定部材７９が基板収容ボックス１５４をマニホールド７０の第３面７０Ｃに固定することで、Ｉ／Ｏ基板７３がマニホールド７０に対して固定される。

（エア流路）
次に、マニホールド７０のエア流路７１について、図１１の図面を用いて説明する。図１１は、実装ヘッド２６のエア流路Ａｐの接続関係を示す図である。

図１１に示すように、実装ヘッド２６は、負圧源２１２、正圧源２１４、および大気開放とそれぞれエアが流通するエア流路Ａｐを備える。エア流路７１は、エア流路Ａｐにおいてマニホールド７０内に配置された流路である。エア流路Ａｐは、負圧源２１２とバルブ７４とを接続する負圧流路Ａｐ１と、正圧源２１４とバルブ７６とを接続する正圧流路Ａｐ２と、バルブ７４とバルブ７６とを接続する接続流路１６７と、バルブ７４と部品吸着ノズル４１とを接続する終端流路Ａｐ３と、大気開放されたポートＦを含む。

マニホールド７０内のエア流路７１は、負圧流路１７２と正圧流路１７４に加えて、終端流路１６１と、負圧引込流路１６３と、接続流路１６７と、正圧引込流路１７５とを有する。負圧流路１７２および負圧引込流路１６３は負圧流路Ａｐ１の一部であり、マニホールド７０内に形成された流路である。正圧流路１７４および正圧引込流路１７５は正圧流路Ａｐ２の一部であり、マニホールド７０内に形成された流路である。正圧流路１７４の末端Ｐ２は栓で塞がれている。

ポートＡは、終端流路１６１の最上流端であり、終端流路１６１とバルブ７４を接続する接続ポートである。終端流路１６１はマニホールド７０の接続部１８６（図７）に連通する。終端流路Ａｐ３は、バルブ７４から部品吸着ノズル４１に至る流路であり、終端流路Ａｐ３の上流部分である終端流路１６１は、マニホールド７０の内部に形成されており、ポートＡが終端流路１６１の始点となっている。

終端流路１６１と接続部１８６の間にはエアフィルタ１８８が配置される。接続部１８６には前述した接続ホース７２（図４）が接続され、終端流路１６１を流れるエアが部品吸着ノズル４１に供給される。このように、終端流路Ａｐ３は、終端流路１６１と接続ホース７２を含む。

ポートＢ、Ｃはともに、バルブ７４を介してポートＡに連通する。ポートＢは、負圧引込流路１６３を介して負圧流路１７２に連通しており、負圧のエアが供給される。負圧引込流路１６３は、負圧流路１７２に供給される負圧をバルブ７４に引き込むための流路であり、一端がポートＢに接続され、他端が負圧流路１７２に接続される。ポートＢは、接続流路１６７を介して上方のポートＤに連通している。接続流路１６７は、バルブ装置６９を構成する２つのバルブ７４とバルブ７６を互いに接続するための流路であり、一端がポートＣに接続され、他端がポートＤに接続される。

ポートＥ、Ｆはともに、バルブ７６を介してポートＤに連通する。ポートＥは、正圧引込流路１７５を介して正圧流路１７４に連通しており、正圧のエアが供給される。正圧引込流路１７５は、正圧流路１７４に供給される正圧をバルブ７６に引き込むための流路であり、一端がポートＥに接続され、他端が正圧流路１７４に接続される。ポートＦは、第１主面７０ＡにおいてＸ軸方向に形成された溝であり、大気圧に開放されている。

バルブ７４は、ポートＡを、ポートＢに接続する状態とポートＣに接続する状態とを切り替える。ポートＡがポートＢに接続した状態では、ポートＢおよび負圧引込流路１６３を介して、エア供給源のうちの１つである負圧源２１２から負圧のエアが終端流路１６１の末端に接続された部品吸着ノズル４１に供給される。ポートＡがポートＣに接続した状態では、ポートＣ、接続流路１６７およびポートＤを介して、バルブ７４よりも上流側のエアが部品吸着ノズル４１に供給される。

バルブ７６は、ポートＤを、ポートＥに接続する状態とポートＦに接続する状態とを切り替える。ポートＤがポートＥに接続した状態では、ポートＥ、正圧引込流路１７５を介して、ポートＤの下流側へ、エア供給源の１つである正圧源２１４から正圧のエアが供給される。ポートＤがポートＦに接続した状態では、大気圧に開放されたポートＦを介して、ポートＤの下流の接続流路１６７、終端流路１６１、部品吸着ノズル４１のエア圧力が大気圧になる。

上記構成によれば、（１）バルブ７４およびバルブ７６が共にＯＦＦ状態のときに、バルブ７４はポートＡをポートＢに接続しているので、部品吸着ノズル４１に負圧のエアが供給され、部品吸着ノズル４１にエアが吸引される。（２）バルブ７４およびバルブ７６が共にＯＮ状態のときに、バルブ７４はポートＡをポートＣに接続し、且つバルブ７６はポートＤをポートＥに接続しているので、部品吸着ノズル４１に正圧のエアが供給され、部品吸着ノズル４１からエアが噴出する。（３）バルブ７４がＯＮ状態でバルブ７６がＯＦＦ状態のときに、バルブ７４はポートＡをポートＣに接続し、且つバルブ７６はポートＤをポートＦに接続しているので、部品吸着ノズル４１は大気に解放されて、その内部のエア圧力は大気圧となる。

このように、２つのバルブ７４、７６の動作によってポート同士の接続状態を切り替えることで、複数の部品吸着ノズル４１のそれぞれに対して、負圧のエア、正圧のエア、大気圧のエアという３種類のエアの中から選択した１種類のエアを供給（接続）することができる。

図９、図１０に示したように、マニホールド７０において、バルブ７４、７６を第１主面７０Ａに取り付けて、センサ基板７８を第２主面７０Ｂに取り付けて、Ｉ／Ｏ基板７３を第３面７０Ｃに取り付けている。このように、マニホールド７０の各面を利用して各部材を取り付けることで、マニホールド７０周りのスペースを有効活用することができ、実装ヘッド２６の小型化につながる。

また、バルブ７４、７６とセンサ基板７８の上方にＩ／Ｏ基板７３を配置し、Ｉ／Ｏ基板７３の上方にメイン基板３９を配置することで、上方から順に、メイン基板３９、Ｉ／Ｏ基板７３、バルブ７４、７６およびセンサ基板７８が位置する。これにより、各配線の着脱作業を容易に行うことができる。

（バンパー）
次に、図２、図３、図７、図１２を参照して、接続ホース７２、８２をそれぞれ保護するバンパー２３２、２６２について説明する。図１２は、バンパー２３２、２６２の概略斜視図である。

バンパー２３２、２６２は接続ホース７２、８２がそれぞれ他の部材と衝突するのを避けるための保護材であり、バンパー２３２、２６２が他の部材と衝突した際にはその衝撃を低減する緩衝材である。また、バンパー２３２、２６２は、接続ホース７２、８２だけではなく、バルブ７４、７６、８４、８６やマニホールド７０、８０等の重要部品が集中する実装ヘッド２６の側面を保護するために設けられており、特に部品実装装置２から取り外された実装ヘッド２６を保護する。バンパー２３２、２６２は、例えば、金属製の板材である。なお、バンパー２３２とバンパー２６２は同じ構成であるので、バンパー２３２の構成を以下に説明し、バンパー２６２の説明は省略する。

バンパー２３２は、Ｘ軸方向に配列された部品吸着ノズル４１にそれぞれエアを供給する流路の一部である接続ホース７２の上部を囲むように配置されている。バンパー２３２は、マニホールド７０のマニホールド取付部材２００を介してシャフト保持部６６の第１ブロック１０４に共締めにより固定されている。

バンパー２３２は、上部がマニホールド取り付け部材２００に着脱可能に固定される第１アーム２３４および第２アーム２３６と、第１アーム２３４の下端と第２アーム２３６の下端とを接続するプレート部２３８と、を有する。

第１アーム２３４は、Ｘ軸方向の内方向に延び、マニホールド取り付け部材２００に押し当てられて着脱可能に固定される第１プレート２４２と、第１プレート２４２から折り曲げられＹ軸方向の外方に延びる第２プレート２４４と、第２プレート２４４の外側の先端部からＺ軸方向下方およびＹ軸方向の外方に（斜め下方に）延びる第３プレート２４６と、第３プレート２４６の外側の先端部からＹ軸方向の外方に延びる第４プレート２４８とを有する。第１プレート２４２には、マニホールド取り付け部材２００への取り付け孔２４３が配置され、マニホールド７０と共にシャフト保持部６６の第１ブロック１０４にネジ止めされる。

第２アーム２３６も同様に、Ｘ軸方向の内方向に延び、マニホールド取り付け部材２００に押し当てられて着脱可能に固定される第１プレート２５２と、第１プレート２５２から折り曲げられＹ軸方向の外方に延びる第２プレート２５４と、第２プレート２５４の外側の先端部からＺ軸方向下方およびＹ軸方向の外方に（斜め下方に）延びる第３プレート２５６と、第３プレート２５６の外側の先端部からＹ軸方向の外方に延びる第４プレート２５８とを有する。第１プレート２５２には、マニホールド取り付け部材２００への取り付け孔２５３が配置され、マニホールド７０と共にシャフト保持部６６の第１ブロック１０４にネジ止めされる。

プレート部２３８は、Ｘ軸方向に沿って延び、第１アーム２３４の第４プレート２４８の外側端部と第２アーム２３６の第４プレート２５８の外側下端と接続する。プレート部２３８は、Ｘ軸方向に配列した接続ホース７２のＹ軸方向外側に位置しているので、接続ホース７２が他の部材と接触するのを防止する。

図１３－図１６を参照して、バンパー２３２に固定された配線について説明する。図１３はバンパー２３２周辺の構成を示す概略正面図である。図１４は、バンパー２３２とコネクタ７５Ａ－７５Ｈとケーブル２８２、２８４を抜き出した説明図である。図１５はバンパー２３２の裏面に固定された配線を示す概略図である。図１６は図１５におけるＡ－Ａ線の断面図である。

バルブ７４Ａ－７４Ｈそれぞれに接続されるコネクタ７５Ａ－７５Ｈは、Ｚ軸方向に抜き差し可能である。例えば、メンテナンスにおいてバルブ７４Ａ－７４Ｈのいずれかを交換する際に、交換対象のバルブのコネクタを下方に取り外すことができる。各コネクタ７５Ａ－７５Ｈに接続される配線はバンパー２３２に固定されている。

８個のコネクタ７５Ａ－７５Ｈのうち、半分の４個のコネクタ７５Ａ－７５Ｄに接続される配線２８４Ａ－２８４Ｄは、バンパー２３２のプレート部２３８の一方側に結束部材２７２によって固定され、１本のケーブル２８２に束ねられる。ケーブル２８２は、第３プレート２４６の内側に沿って延び、結束部材２７６によって第３プレート２４６に固定され、Ｉ／Ｏ基板７３へ接続される。

８個のコネクタ７５Ａ－７５Ｈのうち、半分の４個のコネクタ７５Ｅ－７５Ｈに接続される配線２８４Ｅ－２８４Ｈは、バンパー２３２のプレート部２３８の他方側に結束部材２７４によって固定され、１本のケーブル２８４に束ねられる。ケーブル２８４は、第３プレート２５６の内側に沿って延び、結束部材２７８によって第３プレート２５６に固定され、Ｉ／Ｏ基板７３へ接続される。

ケーブル２８２、２８４をバンパー２３２に沿って固定することで、ケーブル２８２、２８４の姿勢が安定し、実装ヘッド２６が高速で移動してもケーブル２８２、２８４が激しく移動することを防止する。これにより、ケーブル２８２、２８４の振動に起因する故障、例えば、断線などを低減することができる。また、多数のケーブル２８２、２８４をバンパー２３２に沿わせて固定するので外観上ケーブル２８２、２８４が目立たず、また、実装ヘッド２６のメンテナンス時にケーブル２８２、２８４が邪魔になりにくい。これにより、実装ヘッド２６のメンテナンス時の作業性を向上させることができる。

さらに、それぞれのコネクタ７５Ａ－７５Ｈに接続される配線がバンパー２３２に固定されているので、図１４に示すように、各コネクタ７５Ａ－７５Ｈが各バルブ７４Ａ－７４Ｈから取り外され、バンパー２３２がマニホールド７０から取り外されても、それぞれのコネクタ７５Ａ－７５Ｈの位置関係は保たれたままである。したがって、メンテナンス終了後に再び各コネクタ７５Ａ－７５Ｈを各バルブ７４Ａ－７４Ｈに装着する際に、作業者はどのコネクタをどのバルブに装着すればよいのか悩む必要がないので、組み付けの効率を向上させることができる。

次に、図２１を参照する。図２１は、実装ヘッド２６の引掛け部材９１側を平坦な面Ｓｆに置いた状態の概略断面図である。

実装ヘッド２６は、メンテナンスや交換等で部品実装装置２から取り外されるようになっているが、実装ヘッド２６は精密機器として慎重に取り扱う必要があるため、部品実装装置メーカは取り外した実装ヘッド２６を専用のスタンドに置くことを推奨している。しかしながら、スタンドの準備が間に合わない場所では、実装ヘッド２６が床や作業台などの平坦な面Ｓｆに置かれることがある。本実施の形態の実装ヘッド２６にはバンパー２６２、２３２とガード３１１、３１３等のヘッド保護部材が設けられているので、部品実装装置２から取り外された実装ヘッド２６の重要部分を保護することができる。

図１７に示すように実装ヘッド２６の引掛け部材９１側を平坦な面Ｓｆに置くと実装ヘッド２６の下部においてバンパー２６２が平坦な面Ｓｆに当たって、引掛け部材９１とバンパー２６２とで実装ヘッド２６を支持する。これにより、接続ホース８２が実装ヘッド２６と平坦な面Ｓｆとに挟まれて変形し破損するのを防止することができる。

また、作業者が把持部２９２を持って実装ヘッド２６を起立させる際に、バンパー２６２が支点となって実装ヘッド２６を起こすことができるので、このときにも接続ホース８２が変形して破損するのを防止することができる。

なお、図１８に示すように、実装ヘッド２６のヘッドカバー３８側を平坦な面Ｓｆに置いた場合、ヘッドカバー３８が実装ヘッド２６を支持するので、接続ホース７２が実装ヘッド２６と平坦な面Ｓｆとに挟まれて変形し破損するのを防止することができる。

また、実装ヘッド２６のヘッドカバー３８側が平坦な面Ｓｆに置かれた状態から、作業者が把持部２９２を持って実装ヘッド２６を起立させる際にも、バンパー２３２が支点となって実装ヘッド２６を起こすことができるので、接続ホース７２が変形して破損するのを防止することができる。

図２、図１３、および図１９を参照する。図１９は、実装ヘッド２６を直立姿勢で平坦な面Ｓｆに置いた状態の説明図である。左右一対のガード３１１およびガード３１３は、それぞれ、第１ブロック１０４にガード取付部材３１５、３１７によりそれぞれ固定されている。ガード取付部材３１５、３１７は、例えば、ボルトとナットである。ガード３１１、３１３は、環状で略矩形を有する板材であり、例えば、金属製である。

ガード３１１、３１３は、第１ノズルユニット４０と第２ノズルユニット５０のＸ軸方向に離れた両側に配置される。ガード３１１、３１３は、部品吸着ノズル４１と、部品吸着ノズル４１を保持するシャフト４５、５５と、シャフト保持部６６とがＸ軸方向から他の部材と接触するのを保護する。

また、ガード３１１、３１３のそれぞれの下端３１１ａおよび３１３ａは、待機高さに位置する部品吸着ノズル４１の下端よりも下方に突出している。例えば、ガード３１１、３１３のそれぞれの下端３１１ａおよび３１３ａは、部品吸着ノズル４１の下端よりも下方に約０．５ｍｍ程突出している。したがって、実装ヘッド２６が直立姿勢で平坦な面Ｓｆに置かれた状態において、ガード３１１、３１３のそれぞれの下端３１１ａ、３１３ａが平坦面Ｓｆに接触するので、部品吸着ノズル４１の下端は平坦面Ｓｆとの接触することなく浮いている。これにより、部品吸着ノズル４１の下端が平坦面Ｓｆとの接触により変形するのを防止することができる。

（効果）
上述したように、本実施形態の実装ヘッド２６は、部品に吸着孔４８を当てて部品を吸着する複数の部品吸着ノズル４１、５１と、それぞれの部品吸着ノズル４１、５１の吸着孔４８に供給するエアが流れるエア流路を有するマニホールド７０、８０と、マニホールド７０、８０に取り付けられ、エアの流れを切り替える複数のバルブ７４、８４と、マニホールド７０、８０から部品吸着ノズル４１、５１へ供給するエアが流れ、マニホールド７０、８０のエア流路と部品吸着ノズル４１、５１とを連通する複数の接続ホース７２、８２と、それぞれの部品吸着ノズル４１、５１が接続され昇降方向に交差するＸ軸方向に並んで配列された複数のシャフト４５、５５をそれぞれ昇降可能に保持するシャフト保持部６６と、プレート部２３８がバルブ７４、８４に対して下方に配置され、かつ、接続ホース７２、８２に対してＸ軸方向に交差するＹ軸方向の外側に配置されるバンパー２３２、２６２と、を備える。

このような構成によれば、バンパー２３２、２６２が接続ホース７２、８２を保護するので、接続ホース７２、８２が他の部材と接触して破損するのを低減することができる。

また、実施形態の実装ヘッド２６において、それぞれのバルブ７４、８４にコネクタ７５、８５を介して接続された複数の配線を備え、複数の配線は、バンパー２３２、２６２の接続ホース７２、８２側に沿って配置され、バンパー２３２、２６２に固定されている。

このような構成によれば、コネクタ７５、８５の位置関係を保ちながらコネクタ７５、８５をバルブ７４、８４に対して着脱できるので、バルブ７４、８４のメンテナンスの効率を向上させることができる。

また、実施形態の実装ヘッド２６において、コネクタ７５、８５はバルブ７４、８４の下部にバルブ７４、８４の下方から着脱可能であり、バンパー２３２、２６２は、バルブ７４、８４に装着されたコネクタ７５、８５の下方をＸ軸方向に沿って延びる。

このような構成によれば、Ｙ軸方向においてバルブ７４、８４がバンパー２３２、２６２に隠れていないので、バルブ７４、８４の動作状況を作業者が確認することができる。また、作業者はバルブ７４、８４へ直接アクセスすることができるので、メンテナンスの作業効率を向上させることができる。

また、実施形態の実装ヘッド２６において、バンパー２３２、２６２は、Ｚ軸方向の下方およびＹ軸方向の外方に延びる第１アーム２３４および第２アーム２３６と、Ｘ軸方向に沿って延び、第１アーム２３４の下端と第２アーム２３６の下端とを接続するプレート部２３８と、を有する。

また、実施形態の実装ヘッド２６において、第１アーム２３４の上部および第２アーム２３６の上部は、それぞれ、マニホールド７０、８０に着脱可能に固定される。これにより、作業者はバンパー２３２、２６２の着脱を簡易に行うことができる。

また、実施形態の実装ヘッド２６は、実装ヘッド２６を部品実装装置２に引掛ける引掛け部材９１を備える。引掛け部材９１が平坦な面Ｓｆに当たるように置いた際にバンパー２６２の外側が平坦な面Ｓｆに当たる。

このような構成によれば、引掛け部材９１とバンパー２６２とで実装ヘッド２６を支持することができるので、接続ホース８２が変形して破損するのを防止することができる。また、実装ヘッド２６を横に寝かせた状態から起立した状態へ起こす際に、バンパー２６２が支点となるので、このときにも接続ホース８２が変形して破損するのを防止することができる。

上述したように、実施形態の部品実装装置２は、実装ヘッド２６と、実装ヘッド２６の部品吸着ノズル４１に部品を供給する部品供給部４と、実装ヘッド２６によって部品が実装される基板Ｗ１を搬送する基板搬送機構１０と、を備える。

このような構成によれば、接続ホース７２、８２が保護された実装ヘッド２６を使用するので、接続ホース７２、８２の破損を低減し、高生産性の部品実装装置２を実現することができる。

（その他）
以上、上述の実施形態を挙げて本開示を説明したが、本開示は上述の実施形態に限定されない。

本開示は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した特許請求の範囲による本開示の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。また、各実施形態における要素の組合せや順序の変化は、本開示の範囲および思想を逸脱することなく実現し得るものである。

本開示は、実装ヘッドおよびそれを備える部品実装装置であれば適用可能である。

２ 部品実装装置
４、６ 部品供給部
１０、１２ 基板搬送機構
２６ 実装ヘッド
２６Ａ 第１実装ヘッド
２６Ｂ 第２実装ヘッド
３６ 本体制御部
３９ メイン基板
４０ 第１ノズルユニット
４１ 部品吸着ノズル
４２ 昇降モータ
４３ 出力軸
４４ オフセットブロック
４５ シャフト
５０ 第２ノズルユニット
５１ 部品吸着ノズル
５２ 昇降モータ
５３ 出力軸
５４ オフセットブロック
５５ シャフト
６０ モータユニット
６１、６２ モータケース
６３ 第１ブラケット
６４ 第２ブラケット
６６ シャフト保持部
７０ マニホールド
７１ エア流路
７３ Ｉ／Ｏ基板
７４、７６ バルブ
７８ センサ基板
８０ マニホールド
８１ エア流路
８３ Ｉ／Ｏ基板
８４、８６ バルブ
８８ センサ基板
９０ 支持フレーム
９２ 第１取付部材
９４ 第２取付部材
９６ 第３取付部材
１００ 回転モータ
１０２ 回転モータ
１０４ 第１ブロック
１０５ シャフトケース
１０６、１０８ 第２ブロック
１１０ 第１連結部材
１１２ 第２連結部材
１６１ 終端流路
１８２ 流量センサ
１９２ 流量センサ
２００、２０２ マニホールド取付部材
２０４ ネジ
２１２ 負圧源
２１４ 正圧源
２２２ コネクタ
２２４ 集積回路
２３２ バンパー
２３４ 第１アーム
２３６ 第２アーム
２３８ プレート部
２４２ 第１プレート
２４４ 第２プレート
２４６ 第３プレート
２４８ 第４プレート
２５２ 第１プレート
２５４ 第２プレート
２５６ 第３プレート
２５８ 第４プレート
２６２ バンパー
２７２、２７４、２７６、２７８ 結束部材
２８２、２８４ ケーブル
２９２ 把持部
３１１、３１３ ガード
３１１ａ、３１３ａ 下端
３１５、３１７ ガード取付部材

Claims (7)

1. 部品に吸着孔を当てて部品を吸着する複数の部品吸着ノズルと、
   それぞれの前記部品吸着ノズルの吸着孔に供給するエアが流れるエア流路を有するマニホールドと、
   前記マニホールドに取り付けられ、前記エアの流れを切り替える複数のバルブと、
   前記マニホールドから前記部品吸着ノズルへ供給するエアが流れ、前記マニホールドのエア流路と前記部品吸着ノズルとを連通する複数の配管と、
   それぞれの前記部品吸着ノズルが接続され昇降方向に交差する第１方向に並んで配列された複数のシャフトをそれぞれ昇降可能に保持するシャフト保持部と、
   一部が前記バルブに対して下方に配置され、かつ、前記配管に対して前記第１方向に交差する第２方向の外側に配置されるバンパーと、を備える、
   実装ヘッド。
2. それぞれの前記バルブにコネクタを介して接続された複数の配線を備え、
   複数の前記配線は、前記バンパーの前記配管側に沿って配置され、前記バンパーに固定されている、
   請求項１に記載の実装ヘッド。
3. 前記コネクタは前記バルブの下部に前記バルブの下方から着脱可能であり、
   前記バンパーは、前記バルブに装着された前記コネクタの下方を前記第１方向に沿って延びる、
   請求項２に記載の実装ヘッド。
4. 前記バンパーは、
   前記昇降方向の下方および前記第２方向の外方に延びる第１アームおよび第２アームと、
   前記第１方向に沿って延び、前記第１アームの下端と前記第２アームの下端とを接続するプレート部と、を有する、
   請求項１に記載の実装ヘッド。
5. 前記第１アームの上部および前記第２アームの上部は、それぞれ、前記マニホールドに着脱可能に固定される、
   請求項４に記載の実装ヘッド。
6. 前記実装ヘッドを部品実装装置に引掛ける引掛け部材を備え、
   前記引掛け部材が平坦な面に当たるように置いた際に前記バンパーの外側が前記平坦な面に当たる、
   請求項２に記載の実装ヘッド。
7. 請求項１から６のいずれか１つに記載の前記実装ヘッドと、
   前記実装ヘッドの前記部品吸着ノズルに部品を供給する部品供給部と、
   前記実装ヘッドによって部品が実装される基板を搬送する基板搬送機構と、を備える、
   部品実装装置。