JP2025050363A5 - - Google Patents
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2023159117A JP2025050363A (ja) | 2023-09-22 | 2023-09-22 | 炭化珪素単結晶の製造方法および炭化珪素単結晶の製造装置 |
| PCT/JP2024/031477 WO2025063035A1 (ja) | 2023-09-22 | 2024-09-02 | 炭化珪素単結晶の製造方法および炭化珪素単結晶の製造装置 |
| CN202480060071.2A CN121889541A (zh) | 2023-09-22 | 2024-09-02 | 碳化硅单晶的制造方法及碳化硅单晶的制造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2023159117A JP2025050363A (ja) | 2023-09-22 | 2023-09-22 | 炭化珪素単結晶の製造方法および炭化珪素単結晶の製造装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2025050363A JP2025050363A (ja) | 2025-04-04 |
| JP2025050363A5 true JP2025050363A5 (https=) | 2025-09-04 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2023159117A Pending JP2025050363A (ja) | 2023-09-22 | 2023-09-22 | 炭化珪素単結晶の製造方法および炭化珪素単結晶の製造装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2025050363A (https=) |
| CN (1) | CN121889541A (https=) |
| WO (1) | WO2025063035A1 (https=) |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4735622B2 (ja) * | 2007-08-28 | 2011-07-27 | 株式会社デンソー | 炭化珪素単結晶の製造装置 |
| JP4957672B2 (ja) * | 2008-07-11 | 2012-06-20 | 株式会社デンソー | 炭化珪素単結晶の製造装置の製造方法および炭化珪素単結晶の製造方法 |
| JP5240100B2 (ja) * | 2009-06-30 | 2013-07-17 | 株式会社デンソー | 炭化珪素単結晶の製造装置 |
| JP5327126B2 (ja) * | 2010-04-14 | 2013-10-30 | 株式会社デンソー | 炭化珪素単結晶の製造方法および製造装置 |
| JP5613604B2 (ja) * | 2011-03-28 | 2014-10-29 | 昭和電工株式会社 | 炭化珪素単結晶製造装置、炭化珪素単結晶の製造方法及びその成長方法 |
| JP2015020938A (ja) * | 2013-07-22 | 2015-02-02 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素結晶の製造装置、当該装置の製造方法、および当該装置を用いた炭化珪素結晶の製造方法 |
-
2023
- 2023-09-22 JP JP2023159117A patent/JP2025050363A/ja active Pending
-
2024
- 2024-09-02 CN CN202480060071.2A patent/CN121889541A/zh active Pending
- 2024-09-02 WO PCT/JP2024/031477 patent/WO2025063035A1/ja active Pending
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