JP2023164542A - センサ - Google Patents

Abstract

【課題】センサの小型化を図る。【解決手段】第１の電極１１と、第１の電極に対して周方向ｒｔｄにギャップＧ１を有して離間する第２の電極１２と、ギャップに配置されて外周表面が絶縁体からなる吸着部１５と、を備え、第１の電極と吸着部と第２の電極とが周方向に配置され、吸着部の外周表面に導体粒子を吸着することにより、第１の電極と第２の電極とを周方向に短絡して、第１の電極と第２の電極との間の電気抵抗を変化させる。【選択図】図２

Description

本発明はセンサに関する。

減速機等の機械装置は、歯車等の機械部品の損傷を抑制するために、潤滑油が貯められたハウジング内に収容される。このような機械装置の運転時に機械部品が摩耗すると、摩耗粉（例えば、鉄粉などの導体物質）が潤滑油内に混入する。この摩耗粉は、例えば、鉄粉等の導体物質である。機械部品の摩耗が進んで故障率曲線（バスタブ曲線）における摩耗故障期に入ると、潤滑油内に混入した摩耗粉の量が増加する。このため、潤滑油内の摩耗粉の量を検知するセンサにより、機械部品の予防保全を的確に行うことができる。

このようなセンサとして、例えば特許文献１には、永久磁石の外周側のカップ状の電極と、この電極と対向するように複数の棒状導電体を周方向に配置した電極とを有し、電極間を短絡する金属粉の量を検知することで、オイルの汚れ度合をチェックする構成が知られている。

また、本出願人は、特許文献２に記載されるセンサを出願している。

特開２００５－３３１３２４号公報 特開２０１９－１２８３１１号公報

しかしながら、特許文献1に記載される構成では、周方向に複数の電極を配置する必要があり、検知可能な金属粉の量を考慮すると一定以上小型化できないため、大きすぎて、容積の小さなオイルパンには、収容できない場合があるという問題があった。
特に、近年、減速機等の小型化が求められており、これに対応可能なコンパクト化されたセンサへの要求があった。同時に、センサにおいて、動作確実性と故障予知および故障検知の正確性とが求められているため、これらを、同時に実現したいという要求があった。

また、特許文献２では、径方向に電極間の検知ギャップが形成されているが、初期摩耗粉による誤動作を抑制するためには、ギャップの大きさを小さくすることができないため、さらなる小型化を実現したいという要求があった。

本発明は、小型化可能で動作確実性の高いセンサを提供可能とするという目的を達成しようとするものである。

本発明の第一態様に係るセンサは、第１の電極と、
前記第１の電極に対してギャップを介して配置される第２の電極と、
前記第1の電極と前記第２の電極が配置されたセンサ本体と、
前記ギャップに配置されて外周表面が絶縁体からなる捕捉部と、
を備えたセンサにおいて、
前記捕捉部に集まった導体粒子を介し、外周方向に通電することにより上記課題を解決した。

本発明のセンサによれば、導体粒子を検出するギャップが吸着部の外周表面に沿って設けられる。これにより、センサ端面の径方向に導体粒子を検出するギャップが設けられる場合に比べて、検知感度を落とすことなくセンサを小型化することができる。
また、外周方向に検知方向を設定できるため、軸線方向となる検知ギャップをセンサの周方向に複数設ける場合に比べても、検知感度を落とすことなくセンサを小型化することができる。

本発明の第一態様に係るセンサは、第１の電極と、
前記第１の電極に対して周方向にギャップを有して離間する第２の電極と、
前記ギャップに配置されて外周表面が絶縁体からなる吸着部と、
を備え、
前記第１の電極と前記吸着部と前記第２の電極とが周方向に配置され、
前記吸着部の外周表面に導体粒子を吸着することにより、前記第１の電極と前記第２の電極とを周方向に短絡して、前記第１の電極と前記第２の電極との間の電気抵抗を変化させることにより上記課題を解決した。

本発明のセンサによれば、導体粒子を検出するギャップが吸着部の外周表面に沿って周方向に設けられる。これにより、センサ端面の径方向に導体粒子を検出するギャップが設けられる場合に比べて、検知感度を落とすことなくセンサを小型化することができる。 また、吸着部の外周表面に沿った周方向に検知方向を設定できるため、軸線方向となる検知ギャップをセンサの周方向に複数設ける場合に比べても、検知感度を落とすことなくセンサを小型化することができる。

本発明のセンサは、前記第１の電極と前記第２の電極とに対して周方向にギャップを有して離間する第３の電極と、
前記ギャップに配置されて外周表面が絶縁体からなる吸着部と、
を備え、
前記吸着部の外周表面に導体粒子を吸着することにより、前記第１の電極と前記第３の電極とを周方向に短絡して、前記第１の電極と前記第３の電極との間の電気抵抗を変化させることができる。

本発明のセンサは、前記第１から第３の電極に対していずれも周方向にギャップを有して離間する第４の電極と、
前記ギャップに配置されて外周表面が絶縁体からなる吸着部と、
を備え、
前記吸着部の外周表面に導体粒子を吸着することにより、前記第１の電極と前記第４の電極とを周方向に短絡して、前記第１の電極と前記第４の電極との間の電気抵抗を変化させることができる。

本発明のセンサは、前記電極の外周表面が柱状体の側面を形成することができる。

本発明のセンサは、前記電極が磁石とされ、外周表面から径方向外側に向かう磁束を形成するように配置されることができる。

本発明の第一態様に係るセンサは、円筒状のセンサ本体を有し、
前記センサ本体を周方向に４分割した磁石と、
前記センサ本体における前記磁石の間のギャップを充填するように配置された吸着部と、
を備え、
前記吸着部が、前記磁石の外周面よりも径方向外側に突出し、
前記磁石が径方向に着磁されるとともに、周方向に隣接する前記磁石では互いに逆向きに着磁され、
前記磁石が電極とされて、前記吸着部の外周表面に導体粒子を吸着することにより、前記磁石を互いに周方向に短絡して、前記電極とされた磁石の間の電気抵抗を変化させることにより上記課題を解決した。

本発明のセンサによれば、導体粒子を検出するギャップが吸着部の外周表面に沿って周方向に設けられる。これにより、センサ端面の径方向に導体粒子を検出するギャップが設けられる場合に比べて、検知感度を落とすことなくセンサを小型化することができる。 また、吸着部の外周表面に沿った周方向に検知方向を設定できるため、軸線方向となる検知ギャップをセンサの周方向に複数設ける場合に比べても、検知感度を落とすことなくセンサを小型化することができる。

本発明の第一態様に係るセンサは、第1の電極と第２の電極と第３の電極とを備え、
前記第1の電極と前記第２の電極との間に第1の捕捉部が配置され、
前記第２の電極と前記第３の電極との間に第２の捕捉部が配置され、
前記第1の電極と前記第２の電極と前記第３の電極とがセンサ本体の軸方向に配置されたことにより上記課題を解決した。

本発明のセンサによれば、導体粒子を検出するギャップが捕捉部の外周表面に沿って軸線方向に設けられる。これにより、センサ端面の径方向に導体粒子を検出するギャップが設けられる場合に比べて、検知感度を落とすことなくセンサを小型化することができる。 また、捕捉部の外周表面に沿った軸線方向に検知方向を設定できるため、軸線方向となる検知ギャップをセンサの周方向に複数設ける場合に比べても、検知感度を落とすことなくセンサを小型化することができる。

本発明の第一態様に係るセンサは、第１の電極と、
前記第１の電極に対して軸線方向にギャップを有して離間する第２の電極と、
前記ギャップに配置されて外周表面が絶縁体からなる吸着部と、
を備え、
前記第１の電極と前記吸着部と前記第２の電極とが軸線方向に積み重ねられ、
前記吸着部の外周表面に導体粒子を吸着することにより、前記第１の電極と前記第２の電極とを軸線方向に短絡して、前記第１の電極と前記第２の電極との間の電気抵抗を変化させることにより上記課題を解決した。

本発明のセンサによれば、導体粒子を検出するギャップが吸着部の外周表面に沿って軸線方向に設けられる。これにより、センサ端面の径方向に導体粒子を検出するギャップが設けられる場合に比べて、検知感度を落とすことなくセンサを小型化することができる。 また、吸着部の外周表面に沿った軸線方向に検知方向を設定できるため、軸線方向となる検知ギャップをセンサの周方向に複数設ける場合に比べても、検知感度を落とすことなくセンサを小型化することができる。

本発明のセンサは、前記第１の電極と前記第２の電極とに対して軸線方向にギャップを有して離間する第３の電極と、
前記ギャップに配置されて外周表面が絶縁体からなる吸着部と、
を備え、
前記第１の電極と前記第２の電極と前記第３の電極と、各前記吸着部と、が軸線方向に積み重ねられ、
前記吸着部の外周表面に導体粒子を吸着することにより、前記第１の電極と前記第３の電極とを軸線方向に短絡して、前記第１の電極と前記第３の電極との間の電気抵抗を変化させることができる。

本発明のセンサは、前記第１から第３の電極に対していずれも軸線方向にギャップを有して離間する第４の電極と、
前記ギャップに配置されて外周表面が絶縁体からなる吸着部と、
を備え、
前記第１から前記第４の電極と、各前記吸着部と、が軸線方向に積み重ねられ、
前記吸着部の外周表面に導体粒子を吸着することにより、前記第１の電極と前記第４の電極とを軸方向に短絡して、前記第１の電極と前記第４の電極との間の電気抵抗を変化させることができる。

本発明のセンサは、前記電極の外周表面が柱状体の側面に位置することができる。

本発明のセンサは、前記電極が磁石とされ、外周表面から径方向外側に向かう磁束を形成するように配置されることができる。

本発明の第一態様に係るセンサは、円筒状のセンサ本体を有し、
前記センサ本体を軸線方向に３分割した磁石と、
前記センサ本体における軸線方向の前記磁石の間のギャップを充填するように配置された吸着部と、
を備え、
前記磁石と前記吸着部とが軸線方向に重ねられ、
前記吸着部が、前記磁石の外周面よりも径方向外側に突出し、
前記磁石が径方向に着磁されるとともに、軸線方向に隣接する前記磁石では互いに逆向きに着磁され、
前記磁石が電極とされて、前記吸着部の外周表面に導体粒子を吸着することにより、前記磁石を互いに軸線方向に短絡して、前記電極とされた磁石の間の電気抵抗を変化させることにより上記課題を解決した。

本発明のセンサによれば、導体粒子を検出するギャップが吸着部の外周表面に沿って軸線方向に設けられる。これにより、センサ端面の径方向に導体粒子を検出するギャップが設けられる場合に比べて、検知感度を落とすことなくセンサを小型化することができる。 また、吸着部の外周表面に沿った軸線方向に検知方向を設定できるため、軸線方向となる検知ギャップをセンサの周方向に複数設ける場合に比べても、検知感度を落とすことなくセンサを小型化することができる。

本発明の第一態様に係るセンサは、第１の電極と、
前記第１の電極に対して軸線方向にギャップを有して離間する第２の電極と、
前記ギャップに配置されて外周表面が絶縁体からなる捕捉部と、
を備え、
前記捕捉部が軸方向長さの異なる種類を有することにより上記課題を解決した。

本発明のセンサによれば、軸線方向に離間して重ねられた前記第１の電極と前記吸着部と前記第２の電極とにより、導体粒子を検出するギャップが吸着部の外周表面に沿って軸線方向に設けられる。これにより、センサ端面の径方向に導体粒子を検出するギャップが設けられる場合に比べて、検知感度を落とすことなくセンサを小型化することができる。 さらに、軸方向長さの異なる種類を有する捕捉部によって導体粒子の吸着状態を調整する。これにより、導体粒子の吸着量が多かった場合でも、導体粒子の吸着に応じてセンサの検知感度を調整して、確実な検知をおこなうことが可能となる。特に、センサの設置される減速機等のサイズが大きく、初期導体粒子の発生量が多かった場合に、導体粒子の吸着を制限する、あるいは、吸着量が多い場合の検出状態を変化するように設定して、確実な検知をおこなうことが可能となる。

本発明の第一態様に係るセンサは、第１の電極と、
前記第１の電極に対して軸線方向にギャップを有して離間する第２の電極と、
前記ギャップに配置されて外周表面が絶縁体からなる吸着部と、
を備え、
前記第１の電極と前記吸着部と前記第２の電極とが軸線方向に積み重ねられ、
前記吸着部の外周表面に導体粒子を吸着することにより、前記第１の電極と前記第２の電極とを軸線方向に短絡して、前記第１の電極と前記第２の電極との間の電気抵抗を変化させることにより上記課題を解決した。

本発明のセンサによれば、軸線方向に離間して重ねられた前記第１の電極と前記吸着部と前記第２の電極とにより、導体粒子を検出するギャップが吸着部の外周表面に沿って軸線方向に設けられる。これにより、センサ端面の径方向に導体粒子を検出するギャップが設けられる場合に比べて、検知感度を落とすことなくセンサを小型化することができる。

本発明のセンサは、前記第１の電極に対して軸線方向にギャップを有して離間するとともに、前記第２の電極に対して軸方向にギャップを有して離間する第３の電極と、
前記ギャップに配置されて外周表面が絶縁体からなる吸着部と、
を備え、
前記第１の電極と前記吸着部と前記第３の電極とが軸線方向に積み重ねられ、
前記吸着部の外周表面に導体粒子を吸着することにより、前記第１の電極と前記第３の電極とを軸線方向に短絡して、前記第１の電極と前記第３の電極との間の電気抵抗を変化させることができる。

本発明のセンサは、前記第１の電極に対して軸線方向にギャップを有して離間するとともに、前記第２の電極と前記第３の電極とに対して周方向にギャップを有して離間する第４の電極と、
前記ギャップに配置されて外周表面が絶縁体からなる吸着部と、
を備え、
前記吸着部の外周表面に導体粒子を吸着することにより、前記第１の電極と前記第４の電極とを周方向に短絡して、前記第１の電極と前記第４の電極との間の電気抵抗を変化させることができる。

本発明のセンサは、前記第２の電極、前記第４の電極、前記第３の電極が周方向に離間して並ぶとともに、それぞれの前記電極間のギャップに前記吸着部が配置されることができる。

本発明のセンサは、前記電極の外周表面が柱状体の側面に位置することができる。

本発明のセンサは、軸線方向で少なくとも前記第２の電極よりも前記第１の電極に近接する側に磁石が配置され、
前記磁石が、軸線方向に向かう磁束を形成するように配置されることができる。

本発明のセンサは、前記第１の電極が磁石とされることができる。

本発明の第一態様に係るセンサは、円筒状のセンサ本体を有し、
前記センサ本体は、軸線方向に積み重ねられた第１の電極と吸着部と第２の電極と、 軸線方向に着磁された磁石と、
を備え、
前記吸着部の外周表面に導体粒子を吸着することにより、前記第１の電極と前記第２の電極と外周表面が軸線方向に短絡して、前記第１の電極と前記第２の電極との間の電気抵抗を変化させることにより上記課題を解決した。

本発明のセンサによれば、軸線方向に離間して重ねられた前記第１の電極と前記吸着部と前記第２の電極とにより、導体粒子を検出するギャップが吸着部の外周表面に沿って軸線方向に設けられる。これにより、センサ端面の径方向に導体粒子を検出するギャップが設けられる場合に比べて、検知感度を落とすことなくセンサを小型化することができる。

本発明のセンサは、前記第２の電極が、前記センサ本体の周方向に分割されることができる。

本発明によれば、柱状のセンサ本体において、外周面に沿った検知ギャップを最外周位置に設けることにより、検知感度を落とすことなく正確な検知を維持したままセンサを小型化することができるという効果を奏することが可能となる。

本発明の第１実施形態に係るセンサを備える機械装置の一例を示す断面図である。 本発明に係るセンサの第１実施形態を示す斜視図である。 本発明に係るセンサの第１実施形態における磁束方向を示す断面図である。 本発明に係るセンサの第１実施形態における電極配置を示す説明図である。 本発明に係るセンサの第１実施形態における検知状態を示す断面図である。 本発明に係るセンサの第１実施形態における磁石の他の例を示す説明図である。 本発明に係るセンサの第１実施形態における他の例を示す斜視図である。 本発明に係るセンサの第２実施形態を示す斜視図である。 本発明に係るセンサの第２実施形態における磁束方向を示す断面図である。 本発明に係るセンサの第２実施形態における他の例を示す軸線方向と直交する断面図である。 本発明に係るセンサの第２実施形態における他の例を示す軸線方向に沿った断面図である。 本発明に係るセンサの第３実施形態を示す軸線方向に沿った断面図である。 本発明に係るセンサの第３実施形態における磁石を示す説明図である。 本発明に係るセンサの第３実施形態における電極配置を示す説明図である。 本発明に係るセンサの第３実施形態における検知状態を示す断面図である。 本発明に係るセンサの第３実施形態における他の例を示す軸線方向に沿った断面図である。 本発明に係るセンサの第４実施形態を示す斜視図である。 本発明に係るセンサの第４実施形態における他の例を示す軸線方向に沿った断面図である。 本発明に係るセンサの第５実施形態における他の例を示す分解斜視図である。 本発明に係るセンサの第５実施形態における他の例を示す分解斜視図である。 本発明に係るセンサの第５実施形態における他の例を示す軸線方向と直交する断面図である。 本発明に係るセンサの第６施形態の電極配置を示す軸線方向に沿った断面図である。 本発明に係るセンサの第７実施形態を示す軸線方向に沿った断面図である。 本発明に係るセンサの第７実施形態における磁石を示す説明図である。 本発明に係るセンサの第８実施形態を示す軸線方向に沿った断面図である。 本発明に係るセンサの第８実施形態の電極配置を示す説明図である。 本発明に係るセンサの第９実施形態における他の例を示す軸線方向に沿った断面図である。

以下、本発明に係るセンサの第１実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係るセンサを備える機構の一例を示す断面図である。図において、符号１は、機構である。
なお、複数の図面において共通する構成要素には当該複数の図面を通じて同一の参照符号が付されている。各図面は、説明の便宜上、必ずしも正確な縮尺で記載されているとは限らない。

本実施形態に係る機構１は、例えばロボットアーム等の可動部等である。機構１は、図１に示すように、減速機２と、入力側に設けられたフランジ３と、サーボモータ４と、出力側の装置Ａ１と、を備えている。

減速機２は、フランジ３に取り付けられたケース２ａと、サーボモータ４の出力軸２ｂに接続された入力軸２ｃと、出力側の装置Ａ１に接続された出力軸２ｄとを備えている。入力軸２ｃおよび出力軸２ｄは、ケース２ａに対して軸ＡＸを中心として回転可能に支持されている。サーボモータ４の出力は、入力軸２ｃを介して減速機２に入力され、減速機２によって減速された後、出力軸２ｄを介して出力側の装置Ａ１に伝達される。これにより、出力側の装置Ａ１とフランジ３とは相対回転可能となっている。

フランジ３は筒状の部材であり、減速機２の少なくとも一部を収容する。また、フランジ３には、サーボモータ４が取り付けられる。軸ＡＸに沿った方向におけるフランジ３の一端の開口部は減速機２によって塞がれ、他端の開口部はサーボモータ４によって塞がれている。これにより、フランジ３には、密閉された中空部（空間Ｓ）が形成されている。空間Ｓ内には潤滑油が収容されており、フランジ３はオイルバスとしても機能する。

減速機２のケース２ａ内には、例えば歯車機構が収容されている。ケース２ａ内の空間は、フランジ３内の空間Ｓと連続している。減速機２が作動すると、ケース２ａ内の歯車機構の回転に伴い、ケース２ａ内の空間とフランジ３内の空間Ｓとの間で潤滑油の循環が生じる。この潤滑油の循環により、減速機２の内部で発生した摩耗粉（導体摩耗粉）等の導体粒子ｍｐ（図５参照）がフランジ３内の空間Ｓに排出される。

空間Ｓ内には、潤滑油内に含まれる導体粒子ｍｐの量を検知するためのセンサ１０が取り付けられている。センサ１０は、例えば支持部材２ｅを介してフランジ３に固定される。センサ１０は、磁石によって潤滑油内に含まれる導体粒子（鉄粉）ｍｐを一対の電極間に集積させ、一対の電極間の電気抵抗の変化に基づいて潤滑油内の導体粒子ｍｐの量を検知する。センサ１０が配置される位置は、例えばケース２ａ内でもよく、潤滑油が収容された空間内であれば機構１内の任意の場所に配置することができる。

次に、図２～図４に基づいて、本実施形態に係るセンサについて詳細に説明する。
図２は、本実施形態に係るセンサを示す斜視図である。図３は、本実施形態に係るセンサを示す端面図である。図４は、本実施形態に係るセンサにおける電極配置を示す説明図である。図において、符号１０はセンサを示している。

センサ１０は、図２に示すように、軸線ａｘｄを有する略円柱状の外形（柱状体）を有している。センサ１０は、第１の電極１１と、第２の電極１２と、第３の電極１３と、第４の電極１４と、吸着部（捕捉部）１５とを備えている。

センサ１０の端面１０ａは、軸線ａｘｄに直交する方向で略円形輪郭を有する。
第１の電極１１と、第２の電極１２と、第３の電極１３と、第４の電極１４とは、センサ１０の端面１０ａから見て四分円の円弧を有する略扇形の断面形状を有する。第１の電極１１と、第２の電極１２と、第３の電極１３と、第４の電極１４とは、いずれも、略同一形状とされる。

第１の電極１１と、第２の電極１２と、第３の電極１３と、第４の電極１４とは、配置方向が軸線ａｘｄまわりで対称となるように、軸線ａｘｄのまわりに回転された配置とされている。各電極１１～１４は、端面１０ａから見て周方向ｒｔｄで右回りに、第１の電極１１、第２の電極１２、第４の電極１４、第３の電極１３の順に配置されている。

第１の電極１１、第２の電極１２、第４の電極１４、第３の電極１３は、軸線ａｘｄに沿った方向で、いずれも同じ位置に配置される。
第１の電極１１、第２の電極１２、第４の電極１４、第３の電極１３においては、それぞれの外周表面１１ａ～１４ａが、同じ円筒面として面一になるように配置される。

第１の電極１１と、第２の電極１２と、第３の電極１３と、第４の電極１４とは、いずれも軸線ａｘｄに沿った方向での長さ寸法が等しく設定される。
第１の電極１１と、第２の電極１２と、第３の電極１３と、第４の電極１４とは、端面１０ａに沿った方向で互いに離間している。各電極１１～１４の間にギャップＧ１～Ｇ４が形成される。

第１の電極１１と第２の電極１２との周方向ｒｔｄにおける離間距離がギャップＧ１とされる。第１の電極１１と第３の電極１３との周方向ｒｔｄにおける離間距離がギャップＧ２とされる。第２の電極１２と第４の電極１４との周方向ｒｔｄにおける離間距離がギャップＧ３とされる。第３の電極１３と第４の電極１４との周方向ｒｔｄにおける離間距離がギャップＧ４とされる。

第１の電極１１と、第２の電極１２と、第３の電極１３と、第４の電極１４とは、いずれも磁石とされる。磁石は、例えば、永久磁石によって構成される。
第１の電極１１と、第２の電極１２と、第３の電極１３と、第４の電極１４とは、いずれも磁化方向がセンサ１０の径方向とされる。

軸線ａｘｄに対称な位置にある第１の電極１１と第３の電極１３とは、いずれも、同じ極性が外周表面１１ａ，１３ａとなるように着磁される。軸線ａｘｄに対称な位置にある第２の電極１２と第４の電極１４とは、いずれも、同じ極性が外周表面１２ａ，１４ａとなるように着磁される。なお、隣接するそれぞれの電極１１～１４は、異なる極性を有するように着磁される。

例えば、図３に示すように、第１の電極１１と第３の電極１３とは、Ｎ極が外周表面１１ａ，１３ａとなるように着磁される。第２の電極１２と第４の電極１４とは、Ｓ極が外周表面１２ａ，１４ａとなるように着磁される。なお、着磁の方向は、各電極１１～１４が全て逆極性とすることもできる。

このような配置とすることで、磁石とされた各電極１１～１４は、それぞれの磁力によって互いに吸着されており、接着剤等の接着手段を用いることなく十字形状の吸着部（捕捉部）１５に固定することが可能である。

各電極１１～１４の間には、吸着部（捕捉部）１５が配置される。吸着部（捕捉部）１５は、樹脂等の絶縁性を有する非磁性材料によって構成されている。吸着部（捕捉部）１５は、軸線ａｘｄに沿って端面１０ａから見て、十文字形状（十字架形状）となる断面形状を有する。

吸着部（捕捉部）１５は、第１の電極１１と第２の電極１２との間のギャップＧ１を埋めるように設けられるとともに、外周表面１１ａ，１２ａよりも径方向外側に突出する吸着凸部１５Ｇ１を有する。
吸着部（捕捉部）１５は、第１の電極１１と第３の電極１３との間のギャップＧ２を埋めるように設けられるとともに、外周表面１１ａ，１３ａよりも径方向外側に突出する吸着凸部１５Ｇ２を有する。

吸着部（捕捉部）１５は、第２の電極１２と第４の電極１４との間のギャップＧ３を埋めるように設けられるとともに、外周表面１２ａ，１４ａよりも径方向外側に突出する吸着凸部１５Ｇ３を有する。
吸着部（捕捉部）１５は、第３の電極１３と第４の電極１４との間のギャップＧ４を埋めるように設けられるとともに、外周表面１３ａ，１４ａよりも径方向外側に突出する吸着凸部１５Ｇ４を有する。

吸着凸部１５Ｇ１～１５Ｇ４は、径方向における突出高さがいずれも、同じ寸法となるように形成される。なお、吸着凸部１５Ｇ１～１５Ｇ４は、径方向における突出高さが、互いに異なる寸法など、任意の寸法となるように形成されてもよい。吸着凸部１５Ｇ１～１５Ｇ４における径方向における突出高さによって、後述する検出感度を調節することができる。

各電極１１～１４の間のギャップＧ１～Ｇ４の周方向ｒｔｄにおける寸法は、潤滑油内に含まれる導体物質の寸法よりも大きくなっている。一例として、導体物質の寸法は１．０μｍ～１００μｍ程度であり、ギャップＧ１～Ｇ４の間隔は初期摩耗鉄粉で短絡しない程度の距離にすることが好ましい。ギャップＧ１～Ｇ４の周方向ｒｔｄにおける寸法は、いずれも同じ値とされる。

磁石である各電極１１～１４の間には、図３に示すように、吸着凸部１５Ｇ１～１５Ｇ４の径方向外側を通って結ぶように磁束線が形成される。
第１の電極１１と第２の電極１２との間には、Ｎ極である第１の電極１１の外周表面１１ａから、吸着凸部１５Ｇ１の径方向外側を通り、Ｓ極である第２の電極１２の外周表面１２ａに向かう磁束線が形成される。
第１の電極１１と第３の電極１３との間には、Ｎ極である第１の電極１１の外周表面１１ａから、吸着凸部１５Ｇ２の径方向外側を通り、Ｓ極である第３の電極１３の外周表面１３ａに向かう磁束線が形成される。

第４の電極１４と第２の電極１２との間には、Ｎ極である第４の電極１４の外周表面１４ａから、吸着凸部１５Ｇ３の径方向外側を通り、Ｓ極である第２の電極１２の外周表面１２ａに向かう磁束線が形成される。
第４の電極１４と第３の電極１３との間には、Ｎ極である第４の電極１４の外周表面１４ａから、吸着凸部１５Ｇ４の径方向外側を通り、Ｓ極である第３の電極１３の外周表面１３ａに向かう磁束線が形成される。

なお、各電極１１～１４には、端面１０ａとは逆側に、磁石ではない導体部分を設けることもできる。この場合、各電極１１～１４においては、それぞれ、磁石と導体部分とが互いに接触して導電性を有している。なお、図２において、第２の電極１２に対応する導体部分１２ｂを示している。

第１の電極１１と、第２の電極１２と、第３の電極１３と、第４の電極１４とには、それぞれ出力ラインが接続されている。第１の電極１１と、第２の電極１２と、第３の電極１３と、第４の電極１４とは、当該出力ラインを介して、それぞれ検知部５（図１参照）と電気的に接続されている。
複数の電極１１～１４は、互いに絶縁されており、図４に示すように、第１の電極１１およびそれ以外の電極１２～１４のいずれか一箇所から成る一対の電極と、当該一対の電極の間に配置された吸着部（捕捉部）１５とによって１つの検知ユニットが構成されている。
図４において、第１の電極１１の出力ラインには「＋」を、また、それ以外の電極１２～１４の出力ラインには「―」を記載することで、検知ユニットの対を示している。

図５は、本実施形態に係るセンサにおける検知状態を示す断面図である。
本実施形態では、センサ１０は第２の電極１２，第３の電極１３，第４の電極１４に対応して、３つの検知ユニットが構成されている。電極１２～１４の数、および検知ユニットの数は特に限定されない。
センサ１０の電極１１～１４である磁石は、対となる電極１１～１４の間に磁束線を形成するので、図５に示すように、潤滑油内に含まれる導体粒子（摩耗粉）ｍｐは吸着部（捕捉部）１５に吸着される。この際、電極１１～１４が吸着部（捕捉部）１５の直近となる位置から径方向に磁束を形成しているので、導体粒子ｍｐの吸着効率が高くなる。
このように、吸着部（捕捉部）１５の付近に導体粒子ｍｐが集積されると、検知ユニットにおける電気抵抗が変化する。導体粒子（摩耗粉）ｍｐが吸着されていない状態において、複数の検知ユニットのそれぞれにおける電気抵抗は同一であってもよい。

本実施形態では、第２の電極１２と第３の電極１３とに対応する複数の検知ユニットは互いに並列に接続されている。第１の電極１１と第２の電極１２との間には、同一の電圧源からの電圧が印加されている。また、第１の電極１１と第３の電極１３との間には、同一の電圧源からの電圧が印加されている。
吸着凸部１５Ｇ１の付近に導体粒子ｍｐが集積されると、第２の電極１２に対応する検知ユニットにおける電気抵抗が変化する。
吸着凸部１５Ｇ２の付近に導体粒子ｍｐが集積されると、第３の電極１３に対応する検知ユニットにおける電気抵抗が変化する。

検知部５は、第１の電極１１と第２の電極１２との間の電気抵抗の変化を検知する。検知部５は、例えば、吸着凸部１５Ｇ１の周辺への導体粒子ｍｐの集積による電気抵抗の変化に基づき、機構１の部品の故障予知を行うセンサ駆動回路を含む。潤滑油内に含まれる導体粒子ｍｐが吸着凸部１５Ｇ１の周辺に集積されると、電圧が印加された第１の電極１１と第２の電極１２との間の電気抵抗が低下（または短絡）し、出力ラインの出力レベルが変化する。検知部５は、この電気抵抗の変化を検出することで、機構１の部品の故障予知をおこなう。

同様に、検知部５は、第１の電極１１と第３の電極１３との間の電気抵抗の変化を検知する。検知部５は、例えば、吸着凸部１５Ｇ２の周辺への導体粒子ｍｐの集積による電気抵抗の変化に基づき、機構１の部品の故障予知を行うセンサ駆動回路を含む。潤滑油内に含まれる導体粒子ｍｐが吸着凸部１５Ｇ３の周辺に集積されると、電圧が印加された第１の電極１１と第３の電極１３との間の電気抵抗が低下（または短絡）し、出力ラインの出力レベルが変化する。検知部５は、この電気抵抗の変化を検出することで、機構１の部品の故障予知をおこなう。

さらに、第１の電極１１と第４の電極１４との間には、同一の電圧源からの電圧が印加されている。
吸着凸部１５Ｇ１と吸着凸部１５Ｇ３との付近にいずれも導体粒子ｍｐが集積されると、第４の電極１４に対応する検知ユニットにおける電気抵抗が変化する。
または、吸着凸部１５Ｇ２と吸着凸部１５Ｇ４との付近にいずれも導体物質が集積されると、第４の電極１４に対応する検知ユニットにおける電気抵抗が変化する。

検知部５は、第１の電極１１と第４の電極１４との間の電気抵抗の変化を検知する。検知部５は、例えば、吸着凸部１５Ｇ１の周辺と吸着凸部１５Ｇ３の周辺とへの導体粒子ｍｐの集積による電気抵抗の変化に基づき、機構１の部品の故障予知を行うセンサ駆動回路を含む。潤滑油内に含まれる導体粒子ｍｐが吸着凸部１５Ｇ１の周辺と吸着凸部１５Ｇ３の周辺との両方にいずれも集積されると、電圧が印加された第１の電極１１と第４の電極１４との間の電気抵抗が低下（または短絡）し、出力ラインの出力レベルが変化する。検知部５は、この電気抵抗の変化を検出することで、機構１の部品の故障予知をおこなう。 この検知は、吸着凸部１５Ｇ１の周辺と吸着凸部１５Ｇ３の周辺との両方に、導体粒子ｍｐが集積された状態で、始めて可能となる。

同様に、検知部５は、例えば、吸着凸部１５Ｇ２の周辺と吸着凸部１５Ｇ４の周辺とへの導体粒子ｍｐの集積による電気抵抗の変化に基づき、機構１の部品の故障予知を行うセンサ駆動回路を含む。潤滑油内に含まれる導体粒子ｍｐが吸着凸部１５Ｇ２の周辺と吸着凸部１５Ｇ４の周辺との両方に集積されると、電圧が印加された第１の電極１１と第４の電極１４との間の電気抵抗が低下（または短絡）し、出力ラインの出力レベルが変化する。検知部５は、この電気抵抗の変化を検出することで、機構１の部品の故障予知をおこなう。
この検知は、吸着凸部１５Ｇ２の周辺と吸着凸部１５Ｇ４の周辺との両方に、導体粒子ｍｐが集積された状態で、始めて可能となる。

このように、第２の電極１２に対応する検知ユニット、および、第３の電極１３に対応する検知ユニットでの電気抵抗変化は、１箇所の吸着凸部１５Ｇ１または吸着凸部１５Ｇ２での電気抵抗変化を検出する。これに対して、第４の電極１４に対応する検知ユニットでの電気抵抗変化は、２箇所の吸着凸部１５Ｇ１，１５Ｇ３、または、吸着凸部１５Ｇ２，１５Ｇ４での電気抵抗変化を検出することになる。このため、複数の検知ユニットにおいて、異なる状態を検知することが可能となる。つまり、２段階に電気抵抗変化を検出することになる。
しかも、いずれも、二段階、二系統の検知ユニットを設けたことになる。したがって、故障予知の確実性を向上することができる。

検知部５は、設定された検知ユニットにおいて電気抵抗が変化した場合に信号を出力する。例えば、検知部５は、２つ以上の検知ユニットにおいて電気抵抗が低下した場合にマニピュレータ等の上位制御装置に信号を出力するように設定されてもよいし、全ての検知ユニットにおいて電気抵抗が低下した場合に信号を出力するように設定されてもよい。

なお、電気抵抗の低下には、非通電と通電によるオン、オフ信号も含まれ、非通電と通電との２つの状態を検知（以下、「デジタル検知」という）してもよい。検知部５は、有線または無線により、マニピュレータ等の上位制御装置（不図示）に接続されていてもよい。上位制御装置は、検知部５からの信号を受信すると、所定の報知手段（例えば、表示装置や音声出力装置等）により、減速機２等のメンテナンスを促す警告を発するように構成することができる。

以上説明したように、本実施形態のセンサ１０は複数の検知ユニットを備えており、検知部５は、設定された任意の検知ユニットにおいて電気抵抗が低下した場合に信号を出力する。これにより、初期摩耗粉によって１つの検知ユニットにおいて電気抵抗が変化しても、他の検知ユニットで電気抵抗が変化しない場合には信号を出力しないように検知部５を設定することも可能である。したがって、予期しないセンサの作動を抑制することが可能である。また、センサ１０によれば、検知部５が信号を出力する条件を設定することができるので、１つのセンサ１０において信号が出力されるタイミングを、ユーザごとに要望が異なる最適な故障予知のタイミングに合わせることができる。

また、導体粒子ｍｐが吸着されていない状態において、複数の検知ユニットのそれぞれにおける電気抵抗は同一とできる。これにより、センサ１０に印加する電圧を低くすることができる。また、複数の検知ユニットは、互いに並列に接続されている。これにより、それぞれの検知ユニットの一対の電極間に印加する電圧を低くすることができる。
また、他の全ての電極１２～１４に対して検知ユニットを形成する第１の電極１１を、導体粒子ｍｐの量が多い箇所に対応するようにセンサ１０の配置を設定することが好ましい。

本実施形態のセンサ１０によれば、導体粒子ｍｐを検出するギャップＧ１～Ｇ４が外周表面１１ａ～１４ａに沿って周方向ｒｔｄに設けられる。これにより、センサ１０の端面１０ａにおける径方向に導体粒子を検出するギャップが設けられる場合に比べて、検知感度を落とすことなくセンサ１０を小型化することができる。
また、外周表面１１ａ～１４ａに沿った周方向ｒｔｄに検知ユニットにおける検知方向を設定できるため、軸線ａｘｄ方向となる検知ギャップをセンサの周方向に複数設ける場合に比べても、検知感度を落とすことなくセンサを小型化することができる。
また磁石である電極１１～１４が吸着部（捕捉部）１５の直近となる位置から径方向に磁束を形成しているので、導体粒子ｍｐの吸着効率が高く、小型化しても吸着効率を低下させることがない。
さらに、本実施形態のセンサ１０によれば、部品点数を抑えて、組み立てを容易にし、製造コストを抑制することができる。

図６は、本実施形態のセンサにおける磁石の他の例を示す説明図である。
なお、本実施形態のセンサ１０では、各電極１１～１４となる磁石を、断面が扇形となるように構成したが、図６に示すように、周方向に４分割された円環状の断面を有する構成とすることもできる。
この場合でも、各電極１１～１４は、いずれも磁化方向がセンサ１０の径方向とされる。第１の電極１１と第３の電極１３とは、いずれも、同じ極性が外周表面１１ａ，１３ａとなるように着磁される。第２の電極１２と第４の電極１４とは、いずれも、同じ極性が外周表面１２ａ，１４ａとなるように着磁される。なお、隣接するそれぞれの電極１１～１４は、異なる極性を有するように着磁される。

このような配置とすることで、磁石とされた各電極１１～１４は、それぞれの磁力によって互いに吸着されており、接着剤等の接着手段を用いることなく十字形状の吸着部（捕捉部）１５に固定することが可能である。

図７は、本実施形態のセンサにおける他の例を示す斜視図である。
本実施形態のセンサ１０では、図７に示すように、各電極１１～１４からの出力ラインとして、フレキシブル基板１１ｆ～１４ｆを用いることができる。

第１の電極１１に接続される出力ラインは、フレキシブル基板１１ｆとされて、第１の電極１１と吸着部（捕捉部）１５との間に挟まれている。フレキシブル基板１１ｆが第１の電極１１に接触する部分は、被覆を剥がすなど導電性を有しており、第１の電極１１と、導通が維持される。また、磁石とされた各電極１１～１４は、それぞれの磁力によって互いに吸着されているため、フレキシブル基板１１ｆは、第１の電極１１と吸着部（捕捉部）１５との間に挟まれた状態で固定される。

したがって、接着剤等を用いることなく、導通状態を維持したままで、フレキシブル基板１１ｆを第１の電極１１に固定接続することができる。
同様に、本実施形態のセンサ１０では、フレキシブル基板１２ｆを第２の電極１２に固定接続し、フレキシブル基板１３ｆを第３の電極１３に固定接続し、フレキシブル基板１４ｆを第４の電極１４に固定接続する。

なお、図において、フレキシブル基板１１ｆが、第１の電極１１と吸着凸部１５Ｇ２との間に挟まれているが、第１の電極１１と吸着凸部１５Ｇ１との間に挟むこともできる。

以下、本発明に係るセンサの第２実施形態を、図面に基づいて説明する。
図７は、本実施形態におけるセンサを示す斜視図である。図８は、本実施形態に係るセンサを示す端面図である。図において、符号２０はセンサを示している。
本実施形態において、上述した第１実施形態と異なるのは、センサおよび磁石の外形に関する点である。なお、図１に示した機構１に関する構成はその説明を省略する。

センサ２０は、図７に示すように、軸線ａｘｄを有する略角柱状の外形（柱状体）を有している。センサ２０は、第１の電極２１と、第２の電極２２と、第３の電極２３と、第４の電極２４と、吸着部（捕捉部）２５とを備えている。

センサ２０の端面２０ａは、軸線ａｘｄに直交する方向で略矩形輪郭を有する。
第１の電極２１と第２の電極２２と第３の電極２３と第４の電極２４とは、角柱体の側面を形成する。
第１の電極２１と、第２の電極２２と、第３の電極２３と、第４の電極２４とは、センサ２０の端面２０ａから見て略矩形の断面形状を有する。これらの電極２１～２４は、矩形の平板状とされる。第１の電極２１と、第２の電極２２と、第３の電極２３と、第４の電極２４とは、いずれも、略同一形状とされる。

第１の電極２１と、第２の電極２２と、第３の電極２３と、第４の電極２４とは、配置方向が軸線ａｘｄまわりで対称となるように、軸線ａｘｄのまわりに回転された配置とされている。各電極２１～２４は、端面２０ａから見て周方向ｒｔｄで右回りに、第１の電極２１、第２の電極２２、第４の電極２４、第３の電極２３の順に配置されている。

第１の電極２１、第２の電極２２、第４の電極２４、第３の電極２３は、軸線ａｘｄに沿った方向で、いずれも同じ位置に配置される。
第１の電極２１、第２の電極２２、第４の電極２４、第３の電極２３においては、それぞれの外周表面２１ａ～２４ａが、軸線ａｘｄから同じ距離にある正方向の各辺である断面形状になるように配置される。

第１の電極２１と、第２の電極２２と、第３の電極２３と、第４の電極２４とは、いずれも軸線ａｘｄに沿った方向での長さ寸法が等しく設定される。
第１の電極２１と、第２の電極２２と、第３の電極２３と、第４の電極２４とは、端面２０ａに沿った方向で互いに離間している。各電極２１～２４の間にギャップＧ１～Ｇ４が形成される。

第１の電極２１と第２の電極２２との周方向ｒｔｄにおける離間距離がギャップＧ１とされる。第１の電極２１と第３の電極２３との周方向ｒｔｄにおける離間距離がギャップＧ２とされる。第２の電極２２と第４の電極２４との周方向ｒｔｄにおける離間距離がギャップＧ３とされる。第３の電極２３と第４の電極２４との周方向ｒｔｄにおける離間距離がギャップＧ４とされる。

第１の電極２１と、第２の電極２２と、第３の電極２３と、第４の電極２４とは、いずれも磁石とされる。磁石は、例えば、永久磁石によって構成される。
第１の電極２１と、第２の電極２２と、第３の電極２３と、第４の電極２４とは、いずれも磁化方向がセンサ２０の径方向とされる。つまり、各電極２１～２４は、平板状の主面となる表裏面に両極性を有するように磁化された薄い板状磁石である。

軸線ａｘｄに対称に対向する位置にある第１の電極２１と第３の電極２３とは、いずれも、同じ極性が外周表面２１ａ，１３ａとなるように着磁される。軸線ａｘｄに対称に対向する位置にある第２の電極２２と第４の電極２４とは、いずれも、同じ極性が外周表面２２ａ，２４ａとなるように着磁される。なお、隣接するそれぞれの電極２１～２４は、異なる極性を有するように着磁される。

例えば、図９に示すように、第１の電極２１と第３の電極２３とは、Ｎ極が外周表面２１ａ，２３ａとなるように着磁される。第２の電極２２と第４の電極２４とは、Ｓ極が外周表面２２ａ，２４ａとなるように着磁される。なお、着磁の方向は、各電極２１～２４が全て逆極性とすることもできる。

このような配置とすることで、磁石とされた各電極２１～２４は、Ｎ極とＳ極となる面が互いに対向した平行状態に配置されているため、それぞれの磁力によって互いに吸着されている。これにより、磁石とされた各電極２１～２４は、接着剤等の接着手段を用いることなく十字形状の吸着部（捕捉部）２５の中央部２５ｃに対して固定することが可能である。

各電極２１～２４の間には、吸着部（捕捉部）２５が配置される。吸着部（捕捉部）２５は、樹脂等の絶縁性を有する非磁性材料によって構成されている。吸着部（捕捉部）２５は、軸線ａｘｄに沿って端面２０ａから見て、十文字形状（十字架形状）となる断面形状を有し、その中央部２５ｃが径方向端部より拡径されている。なお、中央部２５ｃは角柱状に形成される。各電極２１～２４の間には、中央部２５ｃが充填されるように形成される。

吸着部（捕捉部）２５は、第１の電極２１と第２の電極２２との間のギャップＧ１を埋めるように設けられるとともに、外周表面２１ａ，２３ａよりも径方向外側に突出する吸着凸部２５Ｇ１を有する。
吸着部（捕捉部）２５は、第１の電極２１と第３の電極２３との間のギャップＧ２を埋めるように設けられるとともに、外周表面２１ａ，２２ａよりも径方向外側に突出する吸着凸部２５Ｇ２を有する。

吸着部（捕捉部）２５は、第２の電極２２と第４の電極２４との間のギャップＧ３を埋めるように設けられるとともに、外周表面２２ａ，２４ａよりも径方向外側に突出する吸着凸部２５Ｇ３を有する。
吸着部（捕捉部）２５は、第３の電極２３と第４の電極２４との間のギャップＧ４を埋めるように設けられるとともに、外周表面２３ａ，２４ａよりも径方向外側に突出する吸着凸部２５Ｇ４を有する。

吸着凸部２５Ｇ１～２５Ｇ４は、軸線ａｘｄ方向に断面視して、各電極２１～２４で形成される矩形（正方形）に対して、その対角線をそれぞれ径方向外側に延ばした形状として形成される。
吸着凸部２５Ｇ１～２５Ｇ４は、径方向における突出高さがいずれも、同じ寸法となるように形成される。なお、吸着凸部２５Ｇ１～２５Ｇ４は、径方向における突出高さが、互いに異なる寸法など、任意の寸法となるように形成されてもよい。吸着凸部２５Ｇ１～２５Ｇ４における径方向における突出高さによって、後述する検出感度を調節することができる。

各電極２１～２４の間のギャップＧ１～Ｇ４の周方向ｒｔｄにおける寸法は、潤滑油内に含まれる導体物質の寸法よりも大きくなっている。一例として、導体物質の寸法は１．０μｍ～１００μｍ程度であり、ギャップＧ１～Ｇ４の間隔は初期摩耗鉄粉で短絡しない程度の距離にすることが好ましい。ギャップＧ１～Ｇ４の周方向ｒｔｄにおける寸法は、いずれも同じ値とされる。

磁石である各電極２１～２４の間には、図９に示すように、吸着凸部２５Ｇ１～２５Ｇ４の径方向外側を通って結ぶように磁束線が形成される。
第１の電極２１と第２の電極２２との間には、Ｎ極である第１の電極２１の外周表面２１ａから、吸着凸部２５Ｇ１の径方向外側を通り、Ｓ極である第２の電極２２の外周表面２２ａに向かう磁束線が形成される。
第１の電極２１と第３の電極２３との間には、Ｎ極である第１の電極２１の外周表面２１ａから、吸着凸部２５Ｇ２の径方向外側を通り、Ｓ極である第３の電極２３の外周表面２３ａに向かう磁束線が形成される。

第４の電極２４と第２の電極２２との間には、Ｎ極である第４の電極２４の外周表面２４ａから、吸着凸部２５Ｇ３の径方向外側を通り、Ｓ極である第２の電極２２の外周表面２２ａに向かう磁束線が形成される。
第４の電極２４と第３の電極２３との間には、Ｎ極である第４の電極２４の外周表面２４ａから、吸着凸部２５Ｇ４の径方向外側を通り、Ｓ極である第３の電極２３の外周表面２３ａに向かう磁束線が形成される。

なお、各電極２１～２４と吸着凸部２５Ｇ１～２５Ｇ４との間は、互いに接触していなくてもよい。図９に示すように、各電極２１～２４と吸着凸部２５Ｇ１～２５Ｇ４との間は、中央部２５ｃから径方向外側に向かって、その離間距離が増大するようにしてもよい。
また、各電極２１～２４には、端面２０ａとは逆側に、磁石ではない導体部分を設けることもできる。この場合、各電極２１～２４においては、それぞれ、磁石と導体部分とが互いに接触して導電性を有している。

第１の電極２１と、第２の電極２２と、第３の電極２３と、第４の電極２４とには、それぞれ出力ラインが接続されている。第１の電極２１と、第２の電極２２と、第３の電極２３と、第４の電極２４とは、当該出力ラインを介して、それぞれ検知部５（第１実施形態で示した図１参照）と電気的に接続されている。
複数の電極２１～２４は、互いに絶縁されており、第１の電極２１およびそれ以外の電極２２～２４のいずれか一箇所から成る一対の電極と、当該一対の電極の間に配置された吸着部（捕捉部）２５とによって１つの検知ユニットが構成されている。

本実施形態では、センサ２０は第２の電極２２，第３の電極２３，第４の電極２４に対応して、３つの検知ユニットが構成されている。電極２２～２４の数、および検知ユニットの数は特に限定されない。センサ２０の電極２１～２４である磁石は、対となる電極２１～２４の間に磁束線を形成するので、潤滑油内に含まれる摩耗粉ｍｐ（第１実施形態で示した図５参照）は吸着部（捕捉部）２５に吸着される。このように、吸着部（捕捉部）２５の付近に導体粒子ｍｐが集積されると、検知ユニットにおける電気抵抗が変化する。導体粒子（摩耗粉）ｍｐが吸着されていない状態において、複数の検知ユニットのそれぞれにおける電気抵抗は同一であってもよい。

複数の電極２２～２４のそれぞれに接続された出力ラインに対応して、複数の検知ユニットのそれぞれが検知部５と電気的に接続される。
本実施形態では、第２の電極２２と第３の電極２３とに対応する複数の検知ユニットは互いに並列に接続されている。第１の電極２１と第２の電極２２との間には、同一の電圧源からの電圧が印加されている。また、第１の電極２１と第３の電極２３との間には、同一の電圧源からの電圧が印加されている。
吸着凸部２５Ｇ１の付近に導体粒子ｍｐが集積されると、第２の電極２２に対応する検知ユニットにおける電気抵抗が変化する。
吸着凸部２５Ｇ２の付近に導体粒子ｍｐが集積されると、第３の電極２３に対応する検知ユニットにおける電気抵抗が変化する。

検知部５は、第１の電極２１と第２の電極２２との間の電気抵抗の変化を検知する。検知部５は、例えば、吸着凸部２５Ｇ１の周辺への導体粒子ｍｐの集積による電気抵抗の変化に基づき、機構１の部品の故障予知を行うセンサ駆動回路を含む。潤滑油内に含まれる導体粒子ｍｐが吸着凸部２５Ｇ１の周辺に集積されると、電圧が印加された第１の電極２１と第２の電極２２との間の電気抵抗が低下（または短絡）し、出力ラインの出力レベルが変化する。検知部５は、この電気抵抗の変化を検出することで、機構１の部品の故障予知をおこなう。

同様に、検知部５は、第１の電極２１と第３の電極２３との間の電気抵抗の変化を検知する。検知部５は、例えば、吸着凸部２５Ｇ２の周辺への導体粒子ｍｐの集積による電気抵抗の変化に基づき、機構１の部品の故障予知を行うセンサ駆動回路を含む。潤滑油内に含まれる導体粒子ｍｐが吸着凸部２５Ｇ３の周辺に集積されると、電圧が印加された第１の電極２１と第３の電極２３との間の電気抵抗が低下（または短絡）し、出力ラインの出力レベルが変化する。検知部５は、この電気抵抗の変化を検出することで、機構１の部品の故障予知をおこなう。

さらに、第１の電極２１と第４の電極２４との間には、同一の電圧源からの電圧が印加されている。
吸着凸部２５Ｇ１と吸着凸部２５Ｇ４との付近にいずれも導体粒子ｍｐが集積されると、第４の電極２４に対応する検知ユニットにおける電気抵抗が変化する。
または、吸着凸部２５Ｇ２と吸着凸部２５Ｇ４との付近にいずれも導体物質が集積されると、第４の電極２４に対応する検知ユニットにおける電気抵抗が変化する。

検知部５は、第１の電極２１と第４の電極２４との間の電気抵抗の変化を検知する。検知部５は、例えば、吸着凸部２５Ｇ１の周辺と吸着凸部２５Ｇ３の周辺とへの導体粒子ｍｐの集積による電気抵抗の変化に基づき、機構１の部品の故障予知を行うセンサ駆動回路を含む。潤滑油内に含まれる導体粒子ｍｐが吸着凸部２５Ｇ１の周辺と吸着凸部２５Ｇ３の周辺とにいずれも集積されると、電圧が印加された第１の電極２１と第４の電極２４との間の電気抵抗が低下（または短絡）し、出力ラインの出力レベルが変化する。検知部５は、この電気抵抗の変化を検出することで、機構１の部品の故障予知をおこなう。
この検知は、吸着凸部２５Ｇ１の周辺と吸着凸部２５Ｇ３の周辺との両方に、導体粒子ｍｐが集積された状態で、始めて可能となる。

同様に、検知部５は、例えば、吸着凸部２５Ｇ２の周辺と吸着凸部２５Ｇ４の周辺とへの導体粒子ｍｐの集積による電気抵抗の変化に基づき、機構１の部品の故障予知を行うセンサ駆動回路を含む。潤滑油内に含まれる導体粒子ｍｐが吸着凸部２５Ｇ２の周辺と吸着凸部２５Ｇ４の周辺とにいずれも集積されると、電圧が印加された第１の電極２１と第４の電極２４との間の電気抵抗が低下（または短絡）し、出力ラインの出力レベルが変化する。検知部５は、この電気抵抗の変化を検出することで、機構１の部品の故障予知をおこなう。
この検知は、吸着凸部２５Ｇ２の周辺と吸着凸部２５Ｇ４の周辺との両方に、導体粒子ｍｐが集積された状態で、始めて可能となる。

このように、第２の電極２２に対応する検知ユニット、および、第３の電極２３に対応する検知ユニットでの電気抵抗変化は、１箇所の吸着凸部２５Ｇ１または吸着凸部２５Ｇ２での電気抵抗変化をそれぞれ検出する。これに対して、第４の電極２４に対応する検知ユニットでの電気抵抗変化は、２箇所の吸着凸部２５Ｇ１，２５Ｇ４、または、吸着凸部２５Ｇ２，２５Ｇ４での電気抵抗変化のいずれかを検出することになる。このため、複数の検知ユニットにおいて、異なる状態を検知することが可能となる。つまり、２段階に電気抵抗変化を検出することになる。
しかも、いずれも、二段階、二系統の検知ユニットを設けたことになる。したがって、障予知の確実性を向上することができる。

検知部５は、設定された検知ユニットにおいて電気抵抗が変化した場合に信号を出力する。例えば、検知部５は、第２の電極２２に対応する検知ユニット、および、第３の電極２３に対応する検知ユニットの２つの検知ユニットにおいて電気抵抗が低下した場合にマニピュレータ等の上位制御装置に信号を出力するように設定されてもよいし、第４の電極２４に対応する検知ユニットを含む全ての検知ユニットにおいて電気抵抗が低下した場合に信号を出力するように設定されてもよい。

なお、電気抵抗の低下には、非通電と通電によるオン、オフ信号も含まれ、非通電と通電との２つの状態を検知（以下、「デジタル検知」という）してもよい。検知部５は、有線または無線により、マニピュレータ等の上位制御装置（不図示）に接続されていてもよい。上位制御装置は、検知部５からの信号を受信すると、所定の報知手段（例えば、表示装置や音声出力装置等）により、減速機２等のメンテナンスを促す警告を発するように構成することができる。

以上説明したように、本実施形態のセンサ２０は複数の検知ユニットを備えており、検知部５は、設定された任意の検知ユニットにおいて電気抵抗が低下した場合に信号を出力する。これにより、初期摩耗粉によって１つの検知ユニットにおいて電気抵抗が変化しても、他の検知ユニットで電気抵抗が変化しない場合には信号を出力しないように検知部５を設定することも可能である。したがって、予期しないセンサの作動を抑制することが可能である。また、センサ２０によれば、検知部５が信号を出力する条件を設定することができるので、１つのセンサ２０において信号が出力されるタイミングを、ユーザごとに要望が異なる最適な故障予知のタイミングに合わせることができる。

また、導体粒子ｍｐが吸着されていない状態において、複数の検知ユニットのそれぞれにおける電気抵抗は同一とできる。これにより、センサ２０に印加する電圧を低くすることができる。また、複数の検知ユニットは、互いに並列に接続されている。これにより、それぞれの検知ユニットの一対の電極間に印加する電圧を低くすることができる。
また、他の全ての電極２２～２４に対して検知ユニットを形成する第１の電極２１を、導体粒子ｍｐの量が多い箇所に対応するようにセンサ２０の配置を設定することが好ましい。

本実施形態のセンサ２０によれば、導体粒子ｍｐを検出するギャップＧ１～Ｇ４が外周表面２１ａ～２４ａに沿って周方向ｒｔｄに設けられる。これにより、センサ２０の端面２０ａにおける径方向に導体粒子を検出するギャップが設けられる場合に比べて、検知感度を落とすことなくセンサ２０を小型化することができる。
また、外周表面２１ａ～２４ａに沿った周方向ｒｔｄに検知ユニットにおける検知方向を設定できるため、軸線ａｘｄ方向となる検知ギャップをセンサの周方向に複数設ける場合に比べても、検知感度を落とすことなくセンサを小型化することができる。
また磁石である電極２１～２４が吸着部（捕捉部）２５の直近となる位置から径方向に磁束を形成しているので、導体粒子ｍｐの吸着効率が高く、小型化しても吸着効率を低下させることがない。このため、さらなる小型化が可能である。
さらに、本実施形態のセンサ２０によれば、部品点数を抑えて、組み立てを容易にし、また、安価な板状磁石を用いて、製造コストを抑制することができる。

図１０は、本実施形態のセンサの他の例を示す軸線方向と直交する断面図である。
なお、本実施形態のセンサ２０では、各電極２１～２４となる磁石が、吸着凸部２５Ｇ１～２５Ｇ４と離間した部分があるように構成したが、図１０に示すように、吸着凸部２５Ｇ１～２５Ｇ４と中央部２５ｃとの基部に各電極２１～２４となる磁石を嵌め込む溝部２５ｍを有する構成とすることもできる。
この場合、溝部２５ｍは、各電極２１～２４における外周表面２１ａ～２４ａを覆わないようにすることが好ましい。

ここで、溝部２５ｍを設けても、吸着凸部２５Ｇ１～２５Ｇ４の周方向ｒｔｄにおける延べ長さ、つまり、例えば、吸着凸部２５Ｇ１において、隣接する外周表面２１ａから外周表面２２ａまでの表面距離が、溝部２５ｍのない場合に導体粒子ｍｐが堆積する量を同じにすることが好ましい。これにより、それぞれの検知ユニットにおける検出感度を溝部２５ｍの有無に依存せずに設定することが可能となる。
同時に、溝部２５ｍを設けても、各ギャップＧ１～Ｇ４の周方向ｒｔｄの寸法は変化しないようにすることが好ましい。

また、この例では、溝部２５ｍに対して、端面２０ａ側から各電極２１～２４を軸線ａｘｄ方向に沿って挿入することで、センサ２０を容易に組み立てることができる。これにより、各電極２１～２４の磁力のみによって吸着部（捕捉部）２５に各電極２１～２４を固定している場合よりも、各電極２１～２４を強固に固定することができる。

図１１は、本実施形態のセンサの他の例を示す軸線方向に沿った断面図である。
なお、本実施形態のセンサ２０では、端面２０ａにおいて、各電極２１～２４および吸着部（捕捉部）２５が面一となるように構成したが、図１１に示すように、端面２０ｄを中央部が軸線ａｘｄ方向の外側向きに突出した傾斜面として形成し、さらに、磁石とされる電極２６ａ～２６ｄを有する構成とすることもできる。
この場合でも、電極２６ａ～２６ｄおよび電極２１～２４は、隣接する磁石と異なる極性を有するように配置される。

これにより、軸線ａｘｄと直交する平面であった端面２０ａにおいて、各電極２１～２４の磁石から漏れる弱い磁束に対して、電極２６ａ～２６ｄによる強い磁束を用いて、さらなる検知ユニットを形成することもできる。したがって、センサ２０における検知の確実性や、検知感度を所定の状態に設定することが可能となる。

なお、本実施形態のセンサ２０においても、各電極２１～２４からの出力ラインとして、第１実施形態の図７に示したように、フレキシブル基板１１ｆ～１４ｆを用いることも可能である。
この場合、磁石とされた各電極２１～２４が、Ｎ極とＳ極となる面が互いに対向した平行状態に配置されているため、フレキシブル基板１１ｆ～１４ｆを吸着部２５に押圧する押圧力が第１実施形態に比べて大きくなり、より強固に固定することができ、良好な接触を維持することができる。

以下、本発明に係るセンサの第３実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１２は、本実施形態におけるセンサを示す軸線方向に沿った断面図である。図１３は、本実施形態に係るセンサの磁石を示す説明図である。図において、符号３０はセンサを示している。
本実施形態において、上述した第１実施形態と異なるのは、センサの構成に関する点である。なお、図１に示した機構１に関する構成はその説明を省略する。

センサ３０は、図１２に示すように、軸線ａｘｄを有する略円柱状の外形を有している。センサ３０は、第１の電極３１と、第２の電極３２と、第３の電極３３と、吸着部（捕捉部）３５とを備えている。

センサ３０の先端３０ａは略半球状に形成される。
第１の電極３１と、第２の電極３２と、第３の電極３３とは、軸線ａｘｄ方向に見て、軸線ａｘｄを中心とする円形の輪郭形状を有する板体とされる。第１の電極３１と、第２の電極３２と、第３の電極３３とは、いずれも略同一輪郭形状で略同一厚さとされる。 第２の電極３２と、第１の電極３１と、第３の電極３３とは、軸線ａｘｄ方向に積層されており、先端３０ａから基端に向けて軸線ａｘｄ方向に沿って、第２の電極３２、第１の電極３１、第３の電極３３の順に並んで配置されている。

第２の電極３２、第１の電極３１、第３の電極３３は、軸線ａｘｄに沿った方向で、同軸状にいずれも平行に配置される。
第２の電極３２、第１の電極３１、第３の電極３３においては、それぞれの外周表面３１ａ～３３ａが、同じ円筒面として面一になるように配置される。
第２の電極３２と、第１の電極３１と、第３の電極３３とは、いずれも軸線ａｘｄと直交する方向における径寸法が等しく設定される。

第２の電極３２と、第１の電極３１と、第３の電極３３とは、軸線ａｘｄに沿った方向で互いに離間している。各電極３１～３３の間にギャップＧ１，Ｇ２が形成される。
第１の電極３１と第２の電極３２との軸線ａｘｄに沿った方向における離間距離がギャップＧ１とされる。第１の電極３１と第３の電極３３との軸線ａｘｄに沿った方向における離間距離がギャップＧ２とされる。

第１の電極３１と、第２の電極３２と、第３の電極３３とは、いずれも磁石とされる。磁石は、例えば、永久磁石によって構成される。
第１の電極３１と、第２の電極３２と、第３の電極３３とは、いずれも磁化方向がセンサ３０の径方向とされる。
第１の電極３１は、径方向外側の外周表面３１ａのうち、その半周ごとにそれぞれ極性が異なるように着磁される。また、第２の電極３２と、第３の電極３３とは、いずれも外周表面３２ａ，３３ａのうち、その半周ごとにそれぞれ極性が異なるように着磁される。

第１の電極３１は、第２の電極３２および第３の電極３３に対して、外周表面３１ａにおける極性が、外周表面３２ａ，３３ａにおける極性とは、逆になっている。つまり、軸線ａｘｄに沿って隣接する電極３１，３２，３３では、異なる極性を有するように着磁される。
つまり、第１の電極３１は、第２の電極３２および第３の電極３３に対して、同じ状態に極性を着磁した磁石を、軸線ａｘｄまわりに半周分回転して配置したものである。

例えば、図１２に示すように、第１の電極３１は、Ｎ極が外周表面３１ａの下半分となるように着磁される。第２の電極３２と第３の電極３３とは、Ｓ極が外周表面３２ａ，３３ａの上半分となるように着磁される。なお、着磁の方向は、各電極３１～３３が全て逆極性とすることもできる。

このような配置とすることで、磁石とされた各電極３１～３３は、それぞれの磁力によって互いに軸線ａｘｄ方向に引き付け合っている。したがって、各電極３１～３３を、接着剤等の接着手段を用いることなく軸線ａｘｄ方向に重ね合わせて吸着部（捕捉部）３５に対して固定することが可能である。

各電極３１～３３の間には、吸着部（捕捉部）３５が配置される。吸着部（捕捉部）３５は、樹脂等の絶縁性を有する非磁性材料によって構成されている。吸着部（捕捉部）３５は、軸線ａｘｄに沿って先端３０ａから見て、円形輪郭を有する板体とされる。

吸着部（捕捉部）３５は、第１の電極３１と第２の電極３２との間のギャップＧ１を埋めるように設けられるとともに、外周表面３１ａ，３２ａよりも径方向外側に突出する吸着凸部３５Ｇ１を有する。
吸着部（捕捉部）３５は、第１の電極３１と第３の電極３３との間のギャップＧ２を埋めるように設けられるとともに、外周表面３１ａ，３２ａよりも径方向外側に突出する吸着凸部３５Ｇ２を有する。

吸着凸部３５Ｇ１，３５Ｇ２は、径方向において外周表面３１ａ～３３ａに対する突出寸法がいずれも、同じ寸法となるように形成される。なお、吸着凸部３５Ｇ１，３５Ｇ２は、径方向における突出高さが、互いに異なる寸法など、任意の寸法となるように形成されてもよい。吸着凸部３５Ｇ１，３５Ｇ２における径方向における突出高さによって、後述する検出感度を調節することができる。

各電極３１～３３の間のギャップＧ１，Ｇ２の軸線ａｘｄ方向の厚さ寸法は、潤滑油内に含まれる導体物質の寸法よりも大きくなっている。一例として、導体物質の寸法は１．０μｍ～１００μｍ程度であり、ギャップＧ１，Ｇ２の間隔は初期摩耗鉄粉で短絡しない程度の距離にすることが好ましい。ギャップＧ１，Ｇ２の軸線ａｘｄに沿った方向における寸法は、それぞれ同じ値とされる。

磁石である各電極３１～３３の間には、図１２に示すように、吸着凸部３５Ｇ１，３５Ｇ２の径方向外側を通って軸線ａｘｄに沿った方向で結ぶように磁束線が形成される。 第１の電極３１と第２の電極３２との間には、図１２の紙面下側に示すように、Ｎ極である第１の電極３１の外周表面３１ａから、吸着凸部３５Ｇ１の径方向外側を通り、Ｓ極である第２の電極３２の外周表面３２ａに向かう磁束線が形成される。同時に、第１の電極３１と第２の電極３２との間には、図１２の紙面上側に示すように、Ｎ極である第２の電極３２の外周表面３２ａから、吸着凸部３５Ｇ１の径方向外側を通り、Ｓ極である第１の電極３１の外周表面３１ａに向かう磁束線が形成される。

第１の電極３１と第３の電極３３との間には、図１２の紙面下側に示すように、Ｎ極である第１の電極３１の外周表面３１ａから、吸着凸部３５Ｇ２の径方向外側を通り、Ｓ極である第３の電極３３の外周表面３３ａに向かう磁束線が形成される。同時に、第１の電極３１と第３の電極３３との間には、図１２の紙面上側に示すように、Ｎ極である第３の電極３３の外周表面３３ａから、吸着凸部３５Ｇ２の径方向外側を通り、Ｓ極である第１の電極３１の外周表面３１ａに向かう磁束線が形成される。

軸線ａｘｄに沿った方向における第２の電極３２の外側位置、つまり、先端３０ａには、吸着部（捕捉部）３５と同じ材質で形成された先端部分３５ａが形成される。先端部分３５ａは、軸線ａｘｄ方向視して、吸着凸部３５Ｇ１，３５Ｇ２と同じ輪郭形状を有する。また、先端部分３５ａは、その表面形状が球状として形成される。
軸線ａｘｄに沿った方向における第３の電極３３の外側位置、つまり、センサ３０の基部側には、吸着部（捕捉部）３５と同じ材質で形成された基端部分３５ｂが形成される。基端部分３５ｂは、軸線ａｘｄ方向視して、吸着凸部３５Ｇ１，３５Ｇ２と同じ輪郭形状を有する。また、基端部分３５ｂは、吸着凸部３５Ｇ１，３５Ｇ２と同じ軸線ａｘｄに沿った方向厚さ寸法を有する。

軸線ａｘｄに沿って積み重ねされた、基端部分３５ｂ、第３の電極３３、吸着凸部３５Ｇ２、第１の電極３１、吸着凸部３５Ｇ１、第２の電極３２には、それぞれ締結部材３８（図示の実施形態ではネジ）を挿通する中心孔が、軸線ａｘｄと一致する中心軸線を有するように設けられている。この軸線ａｘｄに沿った中心孔に締結部材３８が挿通されることにより、電極３１～３３および吸着凸部３５Ｇ１，３５Ｇ２と、先端部分３５ａ、基端部分３５ｂとが互いに固定される。
ネジ３８の径方向周囲には、筒３７が設けられる。筒３７は、各電極３１～３３と、ネジ３８とが、互いに絶縁状態を維持するとともに、電極３１～３３および吸着凸部３５Ｇ１，３５Ｇ２と、先端部分３５ａ、基端部分３５ｂとにおいて、径方向における互いの固定位置を設定する機能を有する。

第１の電極３１と、第２の電極３２と、第３の電極３３とには、それぞれ出力ラインが接続されている。第１の電極３１と、第２の電極３２と、第３の電極３３とは、当該出力ラインを介して、それぞれ検知部５（図１参照）と電気的に接続されている。
複数の電極３１～３３は、互いに絶縁されており、第１の電極３１およびそれ以外の電極３２～３３のいずれか一箇所から成る一対の電極と、当該一対の電極の間に配置された吸着部（捕捉部）３５とによって１つの検知ユニットが構成されている。
図１４において、第１の電極３１の出力ラインには「＋」を、また、それ以外の電極３２，３３の出力ラインには「―」を記載することで、検知ユニットの対を示している。

図１５は、本実施形態に係るセンサにおける検知状態を示す断面図である。
本実施形態では、センサ３０は第２の電極３２，第３の電極３３に対応して、２つの検知ユニットが構成されている。電極３２～３３の数、および検知ユニットの数は特に限定されない。センサ３０の電極３１～３３である磁石は、対となる電極３１～３３の間に磁束線を形成するので、図１５に示すように、潤滑油内に含まれる導体粒子（摩耗粉）ｍｐは吸着部（捕捉部）３５に吸着される。このように、吸着部（捕捉部）３５の付近に導体粒子ｍｐが集積されると、検知ユニットにおける電気抵抗が変化する。導体粒子（摩耗粉）ｍｐが吸着されていない状態において、複数の検知ユニットのそれぞれにおける電気抵抗は同一であってもよい。

本実施形態では、第２の電極３２と第３の電極３３とに対応する複数の検知ユニットは互いに並列に接続されている。第１の電極３１と第２の電極３２との間には、同一の電圧源からの電圧が印加されている。また、第１の電極３１と第３の電極３３との間には、同一の電圧源からの電圧が印加されている。
吸着凸部３５Ｇ１の付近に導体粒子ｍｐが集積されると、第２の電極３２に対応する検知ユニットにおける電気抵抗が変化する。
吸着凸部３５Ｇ２の付近に導体粒子ｍｐが集積されると、第３の電極３３に対応する検知ユニットにおける電気抵抗が変化する。

検知部５は、第１の電極３１と第２の電極３２との間の電気抵抗の変化を検知する。検知部５は、例えば、吸着凸部３５Ｇ１の周辺への導体粒子ｍｐの集積による電気抵抗の変化に基づき、機構１の部品の故障予知を行うセンサ駆動回路を含む。潤滑油内に含まれる導体粒子ｍｐが吸着凸部３５Ｇ１の周辺に集積されると、電圧が印加された第１の電極３１と第２の電極３２との間の電気抵抗が低下（または短絡）し、出力ラインの出力レベルが変化する。検知部５は、この電気抵抗の変化を検出することで、機構１の部品の故障予知をおこなう。

同様に、検知部５は、第１の電極３１と第３の電極３３との間の電気抵抗の変化を検知する。検知部５は、例えば、吸着凸部３５Ｇ２の周辺への導体粒子ｍｐの集積による電気抵抗の変化に基づき、機構１の部品の故障予知を行うセンサ駆動回路を含む。潤滑油内に含まれる導体粒子ｍｐが吸着凸部３５Ｇ３の周辺に集積されると、電圧が印加された第１の電極３１と第３の電極３３との間の電気抵抗が低下（または短絡）し、出力ラインの出力レベルが変化する。検知部５は、この電気抵抗の変化を検出することで、機構１の部品の故障予知をおこなう。

このように、第２の電極３２に対応する検知ユニット、および、第３の電極３３に対応する検知ユニットでの電気抵抗変化は、１箇所の吸着凸部３５Ｇ１または吸着凸部３５Ｇ２での電気抵抗変化を検出する。このため、複数の検知ユニットにおいて、異なる状態を検知することが可能となる。つまり、二系統の検知ユニットで電気抵抗変化を検出することになる。

検知部５は、設定された検知ユニットにおいて電気抵抗が変化した場合に信号を出力する。例えば、検知部５は、２つ以上の検知ユニットにおいて電気抵抗が低下した場合にマニピュレータ等の上位制御装置に信号を出力するように設定されてもよいし、全ての検知ユニットにおいて電気抵抗が低下した場合に信号を出力するように設定されてもよい。

なお、電気抵抗の低下には、非通電と通電によるオン、オフ信号も含まれ、非通電と通電との２つの状態を検知（以下、「デジタル検知」という）してもよい。検知部５は、有線または無線により、マニピュレータ等の上位制御装置（不図示）に接続されていてもよい。上位制御装置は、検知部５からの信号を受信すると、所定の報知手段（例えば、表示装置や音声出力装置等）により、減速機２等のメンテナンスを促す警告を発するように構成することができる。

以上説明したように、本実施形態のセンサ３０は複数の検知ユニットを備えており、検知部５は、設定された任意の検知ユニットにおいて電気抵抗が低下した場合に信号を出力する。これにより、初期摩耗粉によって１つの検知ユニットにおいて電気抵抗が変化しても、他の検知ユニットで電気抵抗が変化しない場合には信号を出力しないように検知部５を設定することも可能である。したがって、予期しないセンサの作動を抑制することが可能である。また、センサ３０によれば、検知部５が信号を出力する条件を設定することができるので、１つのセンサ３０において信号が出力されるタイミングを、ユーザごとに要望が異なる最適な故障予知のタイミングに合わせることができる。

また、導体粒子ｍｐが吸着されていない状態において、複数の検知ユニットのそれぞれにおける電気抵抗は同一とできる。これにより、センサ３０に印加する電圧を低くすることができる。また、複数の検知ユニットは、互いに並列に接続されている。これにより、それぞれの検知ユニットの一対の電極間に印加する電圧を低くすることができる。
また、他の全ての電極３２，３３に対して検知ユニットを形成する第１の電極３１を、導体粒子ｍｐの量が多い箇所に対応するようにセンサ３０の配置を設定することが好ましい。

本実施形態のセンサ３０によれば、導体粒子ｍｐを検出するギャップＧ１，Ｇ２が外周表面３１ａ～３３ａに沿って軸線ａｘｄに沿った方向に設けられる。これにより、センサ３０の端面における径方向に導体粒子を検出するギャップが設けられる場合に比べて、検知感度を落とすことなくセンサ３０を小型化することができる。
また、外周表面３１ａ～３３ａに沿った軸線ａｘｄに沿った検知ユニットを隣接して、かつ、軸線ａｘｄに沿った方向に検知方向を設定できるため、軸線ａｘｄ方向となる検知ギャップをセンサの周方向に複数設ける場合に比べても、検知感度を落とすことなくセンサを小型化することができる。
また磁石がセンサ表面に露出し、かつ、磁石が電極３１～３３と兼用されており、吸着部（捕捉部）３５の直近となる位置から径方向に磁束を形成しているので、導体粒子ｍｐの吸着効率が高く、小型化しても吸着効率を低下させることがない。
さらに、本実施形態のセンサ３０によれば、部品点数を抑えて、組み立てを容易にし、製造コストを抑制することができる。

図１６は、本実施形態のセンサにおける他の例を示す説明図である。
なお、本実施形態のセンサ３０では、各電極３１～３３に対する検知ユニットが二系統並列となるように構成したが、図１６に示すように、検知ユニットを二段階に形成する構成とすることもできる。

具体的には、先端３０ａ側に位置する第２の電極３２と、軸線ａｘｄ方向の中央位置にある第１の電極３１と、で１段階目の検知ユニットが構成されるとともに、先端３０ａ側に位置する第２の電極３２と、軸線ａｘｄ方向の逆側位置にある第３の電極３３と、で二段階目の検知ユニットが構成される。
図１６において、第２の電極３２の出力ラインには「＋」を、また、それ以外の電極３１，３３の出力ラインには「―」を記載することで、検知ユニットとなる対を示している。

この例では、検知部５が、第２の電極３２と第１の電極３１との間の電気抵抗の変化を検知する。機構１の潤滑油内に含まれる導体粒子ｍｐが吸着凸部１５Ｇ１の周辺に集積されると、電圧が印加された第２の電極３２と第１の電極３１との間の電気抵抗が低下（または短絡）し、出力ラインの出力レベルが変化する。検知部５は、この電気抵抗の変化を検出することで、機構１の部品の故障予知をおこなう。

また、この例では、検知部５は、例えば、吸着凸部３５Ｇ１の周辺と吸着凸部３５Ｇ２の周辺とへの導体粒子ｍｐの集積による電気抵抗の変化に基づき、機構１の部品の故障予知を行う。潤滑油内に含まれる導体粒子ｍｐが吸着凸部３５Ｇ１の周辺と吸着凸部３５Ｇ２の周辺との両方に集積されると、電圧が印加された第２の電極３２と第３の電極３３との間の電気抵抗が低下（または短絡）し、出力ラインの出力レベルが変化する。検知部５は、この電気抵抗の変化を検出することで、機構１の部品の故障予知をおこなう。
この検知は、吸着凸部３５Ｇ１の周辺と吸着凸部３５Ｇ２の周辺との両方に、導体粒子ｍｐが集積された状態で、始めて可能となる。

このように、第１の電極３１に対応する検知ユニットに対応する検知ユニットでの電気抵抗変化は、１箇所の吸着凸部３５Ｇ１での電気抵抗変化を検出する。これに対して、第３の電極３３に対応する検知ユニットでの電気抵抗変化は、２箇所の吸着凸部３５Ｇ１，３５Ｇ２での電気抵抗変化を検出することになる。このため、複数の検知ユニットにおいて、異なる状態を検知することが可能となる。つまり、２段階に電気抵抗変化を検出することになる。したがって、故障予知の確実性を向上することができる。

なお、軸線ａｘｄ方向に並ぶ第２の電極３２、第１の電極３１、第３の電極３３に対応して、図１４に示す「―」「＋」「―」、および、図１６に示す「＋」「―」「―」とする検知ユニット設定を説明したが、「―」「―」「＋」とする検知ユニット設定も可能である。

以下、本発明に係るセンサの第４実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１７は、本実施形態におけるセンサを示す斜視図である。
本実施形態において、上述した第３実施形態と異なるのは、吸着部（捕捉部）の形状に関する点であるため、対応する構成には。同一の符号を付してその説明を省略する。

本実施形態のセンサ３０は、図１７に示すように、吸着部（捕捉部）３５が電極３１～３３の周方向における一部分を覆っている。
具体的には、ギャップＧ１，Ｇ２となる吸着凸部３５Ｇ１，３５Ｇ２が、周方向の半分程度とされて、それ以外の電極３１～３３の周方向部分が、吸着部（捕捉部）３５とおなじ樹脂により覆われる。つまり、吸着部（捕捉部）３５として、略円柱状のケース３５Ｂを有する構成とされる。
ケース３５Ｂには、電極３１～３３の外周表面３１ａ～３３ａの半周程度を露出させる窓部３５Ｂａ～３５Ｂｃが設けられる。

窓部３５Ｂａ～３５Ｂｃは、軸線ａｘｄ方向視して、同じ周方向ｒｔｄ位置となるように設けられる。これにより、磁石である電極３１～３３において、図１３の左右に示した、Ｎ極とＳ極との境界付近をケース３５Ｂによって覆うことができる。これにより、電極３１～３３の周方向に回ってしまい、ギャップＧ１，Ｇ２に関与しない磁束に起因する検知の不具合発生を防止することができる。

また、ケース３５Ｂには、基端部分３５ｂの軸線ａｘｄ方向に、拡径されたネジ部３５Ｂｇを設けることができる。ネジ部３５Ｂｇは、例えば、支持部材２ｅを介すことなくフランジ３にセンサ３０を固定することを可能にする（図１参照）。ネジ部３５Ｂｇは、ケース３５Ｂと同軸状に、軸線ａｘｄ方向にケース３５Ｂから延びて形成される。なお、ネジ部３５Ｂｇとケース３５Ｂとは、一体に成形することも可能である。

本実施形態のセンサ３０においても、上述した第３実施形態と同等の効果を奏することができる。

図１８は、本実施形態のセンサにおける他の例を示す軸線方向に沿った断面図である。 本実施形態のセンサ３０では、ケース３５Ｂを一体として説明したが、図１８に示すように、ケース３５Ｂを軸線ａｘｄと平行な平面で二分割してもよい。

この例では、上ケース３５Ｃには、窓部３５Ｂａ～３５Ｂｃが設けられ、また、下ケース３５Ｄには、外周表面３１ａ，３２ａ，３３ａに接するように、軸線ａｘｄに沿った方向にライン通路３５Ｄｆが設けられる。ライン通路３５Ｄｆは、基端部分３５ｂ側に開口しており、先端３０ａ側が閉塞している。

この例では、出力ラインとして、フレキシブル基板３１ｆ，３２ｆ，３３ｆが備えられる。

第１の電極３１に接続される出力ラインは、フレキシブル基板３１ｆとされて、第１の電極３１と吸着部（捕捉部）３５との間に挟まれている。フレキシブル基板３１ｆが第１の電極３１に接触する部分は、被覆を剥がすなど導電性を有しており、第１の電極３１と、導通が維持される。また、磁石とされた各電極３１～３３は、それぞれの磁力によって互いに吸着されているため、フレキシブル基板３１ｆは、第１の電極３１と吸着部（捕捉部）３５との間に挟まれた状態で固定される。

したがって、接着剤等を用いることなく、導通状態を維持したままで、フレキシブル基板３１ｆを第１の電極３１に固定接続することができる。
同様に、本実施形態のセンサ３０では、フレキシブル基板３２ｆを第２の電極３２に固定接続し、フレキシブル基板３３ｆを第３の電極３３に固定接続する。
また、これらのフレキシブル基板３１ｆ，３２ｆ，３３ｆは、ライン通路３５Ｄｆの内部を経て検知部５に接続される。

この例においても、上述した各実施形態と同等の効果を奏することができる。

以下、本発明に係るセンサの第５実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１９は、本実施形態におけるセンサを示す分解斜視図である。
本実施形態において、上述した第４実施形態と異なるのは、磁石の形状に関する点であるため、対応する構成には。同一の符号を付してその説明を省略する。

本実施形態におけるセンサ３０では、第１の電極３１と、第２の電極３２と、第３の電極３３とは、軸線ａｘｄに沿った方向に見て略矩形の輪郭形状を有する。これらの電極３１～３３は、矩形の平板状とされる。第１の電極３１と、第２の電極３２と、第３の電極３３とは、いずれも、略同一形状とされる。

本実施形態におけるセンサ３０では、各電極３１～３３における着磁方向および、ケース３５Ｂとされる吸着部（捕捉部）３５に対する配置状態は、上述した第３実施形態とほぼ同様とされる。
具体的には、第１の電極３１と、第２の電極３２と、第３の電極３３とは、軸線ａｘｄを中心とする矩形の板体とされる。第１の電極３１と、第２の電極３２と、第３の電極３３とは、軸線ａｘｄ方向に積層されており、先端３０ａから基端に向けて軸線ａｘｄ方向に沿って、第２の電極３２、第１の電極３１、第３の電極３３の順に並んで配置されている。

第２の電極３２、第１の電極３１、第３の電極３３は、軸線ａｘｄに沿った方向で、同軸状にいずれも平行に配置される。
第２の電極３２、第１の電極３１、第３の電極３３においては、それぞれの外周表面３１ａ～３３ａの４辺が、同じ角柱の表面として互いに面一になるように配置される。
第２の電極３２と、第１の電極３１と、第３の電極３３とは、いずれも軸線ａｘｄと直交する方向における径寸法（対応する矩形の一辺の長さ、あるいは、矩形の対角線長さ）が等しく設定される。

磁石とされる第１の電極３１と、第２の電極３２と、第３の電極３３とは、いずれも、磁化方向がセンサ３０の径方向とされる。
第１の電極３１は、径方向外側の外周表面３１ａのうち、軸線ａｘｄの両側で対向する一組のごとにそれぞれ極性が異なるように着磁される。また、第２の電極３２と、第３の電極３３とは、いずれも外周表面３２ａ，３３ａのうち、軸線ａｘｄの両側で対向する一組のごとにそれぞれ極性が異なるように着磁される。

第１の電極３１は、第２の電極３２および第３の電極３３に対して、外周表面３１ａにおける極性が、外周表面３２ａ，３３ａにおける極性とは、逆になっている。つまり、軸線ａｘｄに沿って隣接する電極３１，３２，３３では、異なる極性を有するように着磁される。
つまり、第１の電極３１は、第２の電極３２および第３の電極３３に対して、同じ状態に極性を着磁した磁石を、軸線ａｘｄまわりに半周分回転して配置したものである。

例えば、図１９に示すように、第１の電極３１は、Ｎ極が外周表面３１ａの下端面となるように着磁される。第２の電極３２と第３の電極３３とは、Ｓ極が外周表面３２ａ，３３ａの上端面となるように着磁される。なお、着磁の方向は、各電極３１～３３が全て逆極性とすることもできる。

このような配置とすることで、磁石とされた各電極３１～３３は、それぞれの磁力によって互いに軸線ａｘｄ方向に引き付け合っている。したがって、各電極３１～３３を、接着剤等の接着手段を用いることなく軸線ａｘｄ方向に重ね合わせて吸着部（捕捉部）３５に対して固定することが可能である。
さらに、各電極３１～３３が矩形の輪郭形状を有することで、各電極３１～３３をケース３５Ｂに取り付ける際に、着磁方向の設定を容易な状態で固定することが可能となる。

なお、本実施形態においても、軸線ａｘｄに沿って積み重ねされた、第３の電極３３、第１の電極３１、第２の電極３２には、それぞれ締結部材３８（図示の実施形態ではネジ）を挿通する中心孔が、軸線ａｘｄと一致する中心軸線を有するように設けられていてもよい。

本実施形態においても、上述した各実施形態と同等の効果を奏することができる。

図２０は、本実施形態のセンサにおける他の例を示す分解斜視図である。
なお、本実施形態のセンサ３０では、ケース３５Ｂの外形が略円柱状となるように構成したが、図２０に示すように、ケース３５Ｂの外形が略角柱状となる構成とすることもできる。
この例では、矩形輪郭を有する各電極３１～３３における辺と、略角柱状となるケース３５Ｂの辺とが平行になるように、互いに配置することができる。
これにより、各電極３１～３３をケース３５Ｂに取り付ける際に、着磁方向の設定をさらに容易な状態で固定することが可能となる。

本例においても、上述した各実施形態と同等の効果を奏することができる。

図２１は、本実施形態のセンサにおける他の例を示す分解斜視図である。
さらに、本実施形態のセンサ３０では、ケース３５Ｂを一体として説明したが、図２１に示すように、ケース３５Ｂを軸線ａｘｄと平行な平面で二分割してもよい。
この例では、さらに、磁石である各電極３１～３３が矩形輪郭の平板状であり、ライン通路３５Ｄｆを有し、出力ラインとして、フレキシブル基板３１ｆ，３２ｆ，３３ｆが備えられる。

この例では、上ケース３５Ｃには、窓部３５Ｂａ～３５Ｂｃが設けられる。窓部３５Ｂａ～３５Ｂｃは、図２１に示すように、周方向の寸法が各電極３１～３３よりも多少狭くなるように形成されている。
また、ライン通路３５Ｄｆは、外周表面３１ａ，３２ａ，３３ａに接するように、軸線ａｘｄに沿った方向に下ケース３５Ｄに形成される。ライン通路３５Ｄｆは、基端部分３５ｂ側に開口しており、先端３０ａ側が閉塞している。

本例においても、第１の電極３１に接続される出力ラインは、フレキシブル基板３１ｆとされて、第１の電極３１と吸着部（捕捉部）３５との間に挟まれている。フレキシブル基板３１ｆが第１の電極３１に接触する部分は、被覆を剥がすなど導電性を有しており、第１の電極３１と、導通が維持される。また、磁石とされた各電極３１～３３は、それぞれの磁力によって互いに吸着されているため、フレキシブル基板３１ｆは、第１の電極３１と吸着部（捕捉部）３５との間に挟まれた状態で固定される。

したがって、接着剤等を用いることなく、導通状態を維持したままで、フレキシブル基板３１ｆを第１の電極３１に固定接続することができる。
同様に、本例のセンサ３０では、フレキシブル基板３２ｆを第２の電極３２に固定接続し、フレキシブル基板３３ｆを第３の電極３３に固定接続する。
また、これらのフレキシブル基板３１ｆ，３２ｆ，３３ｆは、ライン通路３５Ｄｆの内部を経て検知部５に接続される。

また、本例において、各電極３１～３３を上ケース３５Ｃに挿入し、ライン通路３５Ｄｆに通したフレキシブル基板３１ｆ，３２ｆ，３３ｆを挿入して、下ケース３５Ｄを組み付けることができる。これにより、組み立てにおける容易性を向上することができる。

本例においても、上述した各実施形態と同等の効果を奏することができる。

以下、本発明に係るセンサの第６実施形態を、図面に基づいて説明する。
図２２は、本実施形態におけるセンサにおける電極配置を示す軸線に沿った断面図である。
本実施形態において、上述した第３実施形態と異なるのは、電極の数に関する点であるため、対応する構成には。同一の符号を付してその説明を省略する。

本実施形態のセンサ３０は、電極３１～３３に加えて、第３野電極の基端部分３５ｂ側に、ギャップＧ４を形成する吸着凸部３５Ｇ４と第４の電極３４とを有する。
各電極３１～３４は、軸線ａｘｄ方向に積層されており、先端３０ａから基端部分３５ｂに向けて軸線ａｘｄ方向に沿って、第２の電極３２、第１の電極３１、第３の電極３３、第４の電極３４の順に並んで配置されている。

本実施形態において、第４の電極３４に関しては、その形状、および、ギャップＧ４、吸着凸部３５Ｇ４との配置等は、第１の電極３１、吸着凸部３５Ｇ１，３５Ｇ２、ギャップＧ１，Ｇ２に準じた構成とされている。
本実施形態において、第４の電極３４の着磁方向は、第１の電極３１と同じ方向で、隣接する第３の電極３３の着磁方向とは、逆向きとされる。

なお、本実施形態のセンサ３０では、各電極３１～３４に対する検知ユニットが二系統並列となるように構成し、図２２に示すように、検知ユニットを二段階に形成する構成とする。

具体的には、先端３０ａ側に位置する第２の電極３２と、軸線ａｘｄ方向の中央位置にある第１の電極３１と、で１段階目の検知ユニットが構成されるとともに、先端３０ａ側に位置する第２の電極３２と、軸線ａｘｄ方向の逆側位置にある第３の電極３３と、並列の検知ユニットが構成され、さらに、第１の電極３１と第４の電極３４と、で二段階目の検知ユニットが構成される。
図２２において、第１の電極３１の出力ラインには「＋」を、また、それ以外の電極３２～３４の出力ラインには「―」を記載することで、検知ユニットとなる対を示している。

本実施形態では、検知部５が、第１の電極３１と第２の電極３２との間の電気抵抗の変化を検知する。機構１の潤滑油内に含まれる導体粒子ｍｐが吸着凸部１５Ｇ１の周辺に集積されると、電圧が印加された第１の電極３１と第２の電極３２との間の電気抵抗が低下（または短絡）し、出力ラインの出力レベルが変化する。検知部５は、この電気抵抗の変化を検出することで、機構１の部品の故障予知をおこなう。

本実施形態では、検知部５が、第２の電極３２と第３の電極３３との間の電気抵抗の変化を検知する。機構１の潤滑油内に含まれる導体粒子ｍｐが吸着凸部１５Ｇ２の周辺に集積されると、電圧が印加された第１の電極３１と第３の電極３３との間の電気抵抗が低下（または短絡）し、出力ラインの出力レベルが変化する。検知部５は、この電気抵抗の変化を検出することで、機構１の部品の故障予知をおこなう。

また、本実施形態では、検知部５は、例えば、吸着凸部３５Ｇ１の周辺と吸着凸部３５Ｇ３の周辺とへの導体粒子ｍｐの集積による電気抵抗の変化に基づき、機構１の部品の故障予知を行う。潤滑油内に含まれる導体粒子ｍｐが吸着凸部３５Ｇ１の周辺と吸着凸部３５Ｇ３の周辺との両方に集積されると、電圧が印加された第２の電極３２と第４の電極３４との間の電気抵抗が低下（または短絡）し、出力ラインの出力レベルが変化する。検知部５は、この電気抵抗の変化を検出することで、機構１の部品の故障予知をおこなう。 この検知は、吸着凸部３５Ｇ１の周辺と吸着凸部３５Ｇ３の周辺との両方に、導体粒子ｍｐが集積された状態で、始めて可能となる。

このように、第１の電極３１に対応する検知ユニットに対応する検知ユニットでの電気抵抗変化は、１箇所の吸着凸部３５Ｇ１での電気抵抗変化を検出する。同様に、第３の電極３３に対応する検知ユニットに対応する検知ユニットでの電気抵抗変化は、１箇所の吸着凸部３５Ｇ２での電気抵抗変化を検出する。
これに対して、第４の電極３４に対応する検知ユニットでの電気抵抗変化は、２箇所の吸着凸部３５Ｇ１，３５Ｇ３での電気抵抗変化を検出することになる。このため、複数の検知ユニットにおいて、異なる状態を検知することが可能となる。つまり、２段階に電気抵抗変化を検出することになる。したがって、故障予知の確実性を向上することができる。

なお、軸線ａｘｄ方向に並ぶ第２の電極３２、第１の電極３１、第３の電極３３、第４の電極３４に対応して、図２２に示す「―」「＋」「―」「―」とする検知ユニット設定を説明したが、これ以外でも、「―」「―」「＋」「―」とする検知ユニット設定も可能である。
さらに、「＋」「―」「―」「―」、および、「―」「―」「―」「＋」する検知ユニット設定も可能であり、この場合、三段階の電気抵抗変化を検出することが可能となる。

本実施形態においても、上述した各実施形態と同等の効果を奏することができる。

以下、本発明に係るセンサの第７実施形態を、図面に基づいて説明する。
図２３は、本実施形態におけるセンサを示す軸線方向に沿った断面図である。図２４は、本実施形態に係るセンサの磁石を示す説明図である。図において、符号４０はセンサを示している。
本実施形態において、上述した第３実施形態と異なるのは、センサの構成に関する点である。なお、図１に示した機構１に関する構成はその説明を省略する。

本実施形態のセンサ４０は、図２３に示すように、軸線ａｘｄを有する略円筒状の外形を有している。センサ４０は、第１の電極４１と、第２の電極４２と、締結部材４８と、吸着部（捕捉部）４５とを備えている。

センサ４０において、第１の電極４１と、第２の電極４２と、吸着部（捕捉部）４５とは、軸線ａｘｄ方向に見て、軸線ａｘｄを中心とする円形の輪郭形状を有する板体とされる。第１の電極４１と、吸着部（捕捉部）４５と、第２の電極４２とは、いずれも略同一輪郭形状で略同一厚さとされる。
第１の電極４１と、吸着部（捕捉部）４５と、第２の電極４２とは、軸線ａｘｄ方向に積み重ねられており、上端面４０ａから軸線ａｘｄ方向に沿って、第１の電極４１と、吸着部（捕捉部）４５と、第２の電極４２の順に並んで配置されている。

第１の電極４１と、吸着部（捕捉部）４５と、第２の電極４２とは、軸線ａｘｄに沿った方向で、同軸状にいずれも平行に配置される。
第１の電極４１、第２の電極４２においては、それぞれの外周表面４１ａ，４２ａが、同じ円筒面として面一になるように配置される。第１の電極４１の上端面４０ａ側には、例えばワッシャとされる電極板４１ｂが配置される。

第１の電極４１と、第２の電極４２とは、軸線ａｘｄに沿った方向で互いに離間している。第１の電極４１と、第２の電極４２との間には、ギャップＧ１が形成される。
第１の電極４１は、磁石とされる。磁石は、永久磁石によって構成される。
第１の電極４１は、図２４に示すように、磁化方向が軸線ａｘｄに沿った方向とされる。
第２の電極４２は、例えば、鉄やフェライトコア、ケイ素鋼等の導電性を有する磁性材料によって構成される。

吸着部（捕捉部）４５は、第１の電極４１および第２の電極４２よりも大きな径寸法を有する円板状とされる。
吸着部（捕捉部）４５は、第１の電極４１と第２の電極４２との間のギャップＧ１を埋めるように設けられるとともに、外周表面３１ａ，３２ａよりも径方向外側に突出する吸着凸部４５Ｇ１を有する。
第１の電極４１および第２の電極４２の間のギャップＧ１の軸線ａｘｄ方向の厚さ寸法は、潤滑油内に含まれる導体物質の寸法よりも大きくなっている。一例として、導体物質の寸法は１．０μｍ～１００μｍ程度であり、ギャップＧ１の間隔は初期摩耗鉄粉で短絡しない程度の距離にすることが好ましい。ギャップＧ１の軸線ａｘｄに沿った方向における寸法は、それぞれ同じ値とされる。

第１の電極４１と、吸着部（捕捉部）４５と、第２の電極４２とのそれぞれには、締結部材４８（図示の実施形態ではボルト）が挿し込まれる貫通孔がそれぞれ設けられている。この貫通孔に締結部材４８が挿し込まれることにより、第１の電極と、吸着部（捕捉部）４５と、第２の電極４２とは互いに固定されている。ボルト（締結部材）４８は、ナット４８ａで締め付けられる。
ボルト（締結部材）４８の径方向周囲には、筒４７が設けられる。筒４７は、第１の電極４１と第２の電極４２と、ＢＰルと４８とが、互いに絶縁状態を維持するとともに、第１の電極４１と第２の電極４２と吸着凸部４５Ｇ１とにおいて、径方向における互いの固定位置を設定する機能を有する。筒４７を設けないこともできる。

第２の電極４２と、磁石である第１の電極４１との間には、図２３に示すように、吸着凸部４５Ｇ１の径方向外側を通って軸線ａｘｄに沿った方向で結ぶように磁束線が形成される。

第１の電極４１と第２の電極４２とには、それぞれ出力ラインが接続されている。第１の電極４１と第２の電極４２とは、当該出力ラインを介して、それぞれ検知部５（図１参照）と電気的に接続されている。
第１の電極４１と第２の電極４２とは、互いに絶縁されており、第１の電極４１と第２の電極４２とから成る一対の電極と、当該一対の電極の間に配置された吸着部４５とによって１つの検知ユニットが構成されている。

検知部５は、第１の電極４１と第２の電極４２との間の電気抵抗の変化を検知する。検知部５は、例えば、吸着部（捕捉部）４５の周辺への導体物質の集積による軸線ａｘｄ方向における電気抵抗の変化に基づき、機構１の部品の故障予知を行うセンサ駆動回路を含む。潤滑油内に含まれる導体物質が吸着部（捕捉部）４５の周辺に集積されると、電圧が印加された第１の電極４１と第２の電極４２との間の電気抵抗が低下（または短絡）し、出力ラインの出力レベルが変化する。検知部５は、この電気抵抗の変化を検出することで、機構１の部品の故障予知を行う。

なお、電気抵抗の低下には、非通電と通電によるオン、オフ信号も含まれ、非通電と通電との２つの状態を検知（以下、「デジタル検知」という）してもよい。検知部５は、有線又は無線により、マニピュレータ等の上位制御装置（不図示）に接続されていてもよい。上位制御装置は、検知部５からの信号を受信すると、所定の報知手段（例えば、表示装置や音声出力装置等）により、減速機２等のメンテナンスを促す警告を発するように構成することができる。

本実施形態のセンサ４０によれば、導体粒子ｍｐを検出するギャップＧ１が外周表面４１ａ、４２ａに沿って軸線ａｘｄに沿った方向に設けられる。これにより、センサ４０の端面における径方向に導体粒子を検出するギャップが設けられる場合に比べて、検知感度を落とすことなくセンサ４０を小型化することができる。
また磁石がセンサ表面に露出し、かつ、磁石が第１の電極４１と兼用されており、吸着部（捕捉部）４５の径方向外側となる位置に磁束を形成しているので、導体粒子ｍｐの吸着効率が高く、小型化しても吸着効率を低下させることがない。また、軸線ａｘｄに沿った方向の寸法を設定することで、検知感度を設定することが可能であり、初期摩耗粉での誤動作防止に対応しても、径寸法が大きくなることを防止できる。
さらに、本実施形態のセンサ４０によれば、部品点数を抑えて、組み立てを容易にし、製造コストを抑制することができる。

以下、本発明に係るセンサの第８実施形態を、図面に基づいて説明する。
図２５は、本実施形態におけるセンサを示す軸線方向に沿った断面図である。図２６は、本実施形態に係るセンサの電極配置を示す説明図である。
本実施形態において、上述した第７実施形態と異なるのは、第２の電極およびケースの構成に関する点であり、これ以外の対応する構成は同一の符号を付してその説明を省略する。

本実施形態に係るセンサ４０は、上述した第７実施形態におけるセンサ４０と同様に、潤滑油内に含まれる導体物質の量を検知するためのセンサである。
図２５に示すように、センサ４０は略円柱状の外形を有しており、複数の検知ユニットと、当該検知ユニットにおいて電気抵抗が変化した場合に信号を出力する検知部５と、を備えている。

より具体的に、センサ４０は、第１の電極４１と、複数の第２の電極４２と、電極４１と電極４２との間に配置された吸着部（捕捉部）４５とを有している。複数の第２の電極４２は、互いにケース４６等によって絶縁されており、第１の電極４１および１つの第２の電極４２から成る一対の電極と、当該一対の電極の間に配置された吸着部（捕捉部）４５とによって１つの検知ユニットが構成されている。

なお、ケース４６は、図２６に示すように、径方向に分割された４つの第２の電極４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ，４２Ｄをそれぞれ嵌め込んで、位置設定が可能で、かつ、４つの第２の電極４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ，４２Ｄを互いに絶縁する。ケース４６は、吸着部（捕捉部）４５と同材の樹脂からなることもできる。

図示の実施形態では、センサ４０は径方向に分割された４つの第２の電極４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ，４２Ｄを有しており、４つの検知ユニットが構成されている。第２の電極４２の数、および検知ユニットの数は特に限定されない。センサ４０における第１の電極４１である磁石は、対となる第１の電極４１と、分割されたそれぞれの第２の電極４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ，４２Ｄと、のいずれかの間に磁束線を形成する。このため、潤滑油内に含まれる導体物質は吸着部（捕捉部）４５に吸着される。第１の電極４１と、分割されたそれぞれの第２の電極４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ，４２Ｄとは、センサ本体の側面に位置するそれぞれの検知ユニットに対応する。

このように、吸着部（捕捉部）４５の付近に導体物質が集積されると、検知ユニットにおける電気抵抗が変化する。導体粒子が吸着されていない状態において、複数の検知ユニットのそれぞれにおける電気抵抗は同一である。
複数の検知ユニットのそれぞれにおける検知方向は、ギャップＧ１によって設定され、いずれも軸線ａｘｄに沿った方向である。

第１の電極４１および複数の第２の電極４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ，４２Ｄのそれぞれには、図２６に示すように、出力ラインが接続されており、当該出力ラインを介して複数の検知ユニットのそれぞれは検知部５と電気的に接続されている。
本実施形態では、複数の検知ユニットは互いに並列に接続されており、第１の電極４１および複数の第２の電極４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ，４２Ｄとの間には、同一の電圧源からの電圧が印加されている。検知部５は、設定された任意の数の検知ユニットにおいて電気抵抗が変化した場合に信号を出力する。例えば、検知部５は、２つ以上の検知ユニットにおいて電気抵抗が低下した場合にマニピュレータ等の上位制御装置に信号を出力するように設定されてもよいし、全ての検知ユニットにおいて電気抵抗が低下した場合に信号を出力するように設定されてもよい。

以上説明したように、センサ４０は複数の検知ユニットを備えており、検知部５は、設定された任意の数の検知ユニットにおいて電気抵抗が低下した場合に信号を出力する。これにより、たとえ大径導体片によって１つの検知ユニットにおいて電気抵抗が変化しても信号を出力しないように検知部５を設定することができる。また、センサ４０によれば、検知部５が信号を出力する条件を設定することができるので、１つのセンサ４０において信号が出力されるタイミングを、ユーザごとに要望が異なる最適な故障予知のタイミングに合わせることができる。

また、導体粒子が吸着されていない状態において、複数の検知ユニットのそれぞれにおける電気抵抗は同一である。これにより、センサ４０に印加する電圧を低くすることができる。また、複数の検知ユニットは、互いに並列に接続されている。これにより、それぞれの検知ユニットの一対の電極間に印加する電圧を低くすることができる。

本実施形態においても、上述した各実施形態と同等の効果を奏することができる。

以下、本発明に係るセンサの第９実施形態を、図面に基づいて説明する。
図２７は、本実施形態におけるセンサを示す軸線方向に沿った断面図である。
本実施形態において、上述した第７および第８実施形態と異なるのは、吸着部（捕捉部）および磁石に関する点であり、これ以外の対応する構成は同一の符号を付してその説明を省略する。

本実施形態においては、磁石４９が吸着部（捕捉部）４５の内部に埋め込まれて、外周面が外部に露出していない。また、磁石４９は、軸線ａｘｄに沿った方向で、円板状導体である第１の電極４１における第２の電極４２側に接触している。磁石４９は、第１の電極４１と第２の電極４２とに近接していることが好ましい。磁石４９は、第２の電極４２に接触する構成としてもよい。
また、第１の電極４１の上端面４０ａ側にはケース４６ｂが設けられる。ケース４６ｂは、第１の電極４１の上端面４０ａ側を覆っている。

つまり、第１の電極４１、磁石４９、吸着部（捕捉部）４５、第２の電極４２、ケース４６が軸線ａｘｄに沿った方向で積み重なっている。
第１の電極４１と、第２の電極４２とは、ほぼ同じ径寸法とされて、外周表面４１ａと外周表面４２ａとが、面一となる円筒面を形成している。磁石４９は、第１の電極４１および第２の電極４２に比べて、小さな径寸法とされる。また、吸着部（捕捉部）４５は、第１の電極４１および第２の電極４２に比べて、大きな径寸法となる吸着凸部４５Ｇ１を有する。

吸着部（絶縁体）４５は、例えば、樹脂等の絶縁性を有する非磁性材料によって構成されている。磁石４９により、第１の電極４１と第２の電極４２との間には磁束線が形成される。これにより、潤滑油内に含まれる導体物質は吸着凸部４５Ｇ１の周辺に集積される。なお、潤滑油の循環する範囲が検出領域とされる。

本実施形態のセンサ４０は、第１の電極４１の外周表面４１ａに対して略面一とされる第２の電極４２の外周表面４２ａを結ぶ円筒よりも、径方向外側に突出する吸着凸部４５Ｇ１の表面が検知面とされる。すなわち、検知面において、第１の電極４１と第２の電極４２との間に、磁束線に対応して導体摩耗粉が吸着されて、第１の電極４１と第２の電極４２との間を電気的に接続することで、第１の電極４１と第２の電極４２との間の抵抗値が変化することを検知する。
なお、第１の電極４１の外周表面４１ａと第２の電極４２の外周表面４２ａとが、面一でなくてもよい。

第１の電極４１と第２の電極４２との間の沿面距離が長くなることによって、第１の電極４１と第２の電極４２との間の抵抗値が閾値まで低減するか短絡する状態まで吸着する導体摩耗粉の量が大きくなる。
また、第１の電極４１と第２の電極４２との間の沿面距離が短くなることによって、第１の電極４１と第２の電極４２との間の抵抗値が閾値まで低減するか短絡する状態まで吸着する導体摩耗粉の量が小さくなる。

ここで、検知ユニットにおける検知感度を設定するための第１の電極４１と第２の電極４２との沿面距離は、吸着部（捕捉部）４５における吸着凸部４５Ｇ１の突出量によって規定される。
つまり、径方向における吸着凸部４５Ｇ１の突出量、および、軸線ａｘｄ沿った方向における吸着凸部４５Ｇ１の厚み寸法を増減することで、導体粒子が堆積した際に、短絡する第１の電極４１と第２の電極４２との沿面距離を変更できる。
なお、軸線ａｘｄ沿った方向における吸着凸部４５Ｇ１の厚み寸法は、ギャップＧ１と、磁石４９の厚さ寸法とに依存する。

本実施形態のセンサ４０は、突出量および厚み寸法が異なる値に設定された吸着部（捕捉部）４５の群を有し、この中から選択して組み立てることができる。
つまり、厚さ（軸線ａｘｄ方向寸法）および／または径方向の突出量の異なる複数の吸着部（捕捉部）４５の群が感度調整手段を構成する。
これにより、感度調整手段を選択することで、第１の電極４１と第２の電極４２との間の沿面距離を複数の値から選択することができる。
本実施形態におけるセンサ４０は、感度調整手段を有することで、検知感度を所定の状態に設定することが可能となる。

減速機の型式(大きさ)の違いによって、初期摩耗で発生する鉄粉（摩耗粉）量には差があり、大型減速機の場合は初期摩耗鉄粉の量が多く、初期摩耗鉄粉によって、電極４１，４２間のセンサ電気ギャップが埋まって反応してしまい、誤動作する可能性がある。そのため、減速機型式に応じたセンサの雷気ギャップ設計を行う必要があるが、センサの直径方向の大型化を招くという問題がある。
これに対し、本実施形態におけるセンサ４０は、寸法の異なる吸着部（捕捉部）４５の群からなる感度調整手段を有することで、直径方向への延伸と同じ効果が得られるため、センサ４０が大型化することがない。

本実施形態においても、上述した各実施形態と同等の効果を奏することができる。

１０，２０，３０，４０…センサ
１０ａ，２０ａ…端面
１１，２１，３１，４１…第１の電極
１１ａ，１２ａ，１３ａ，１４ａ，２１ａ，２２ａ，２３ａ，２４ａ，３１ａ，３２ａ，３３ａ，４１ａ，４２ａ…外周表面
１１ｆ，１２ｆ，１３ｆ，１４ｆ，３１ｆ，３２ｆ，３３ｆ…フレキシブル基板
１２，２２，３２，４２，４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ，４２Ｄ…第２の電極
１３，２３，３３…第３の電極
１４，２４，３４…第４の電極
１５，２５，３５，４５…吸着部（捕捉部）
１５Ｇ１，１５Ｇ２，１５Ｇ３，１５Ｇ４，２５Ｇ１，２５Ｇ２，２５Ｇ３，２５Ｇ４，３５Ｇ１，３５Ｇ２，３５Ｇ３，３５Ｇ４，４５Ｇ１…吸着凸部
２５ｃ…中央部
２５ｍ…溝部
２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ…電極
３０ａ…先端
３５ａ…先端部分
３５ｂ…基端部分
３５Ｂ，４６，４６ｂ…ケース
３５Ｂａ，３５Ｂｂ，３５Ｂｃ…窓部
３５Ｂｇ…ネジ部
３５Ｃ…上ケース
３５Ｄ…下ケース
３５Ｄｆ…ライン通路
３７，４７…筒
３８…ネジ（締結部材）
４０ａ…上端面
４１ｂ…電極板
４８…締結部材
４８…ボルト（締結部材）
４８ａ…ナット
４９…磁石
ａｘｄ…軸線
Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４…ギャップ
ｍｐ…導体粒子（摩耗粉）

本発明の第一態様に係るセンサは、
柱状体のセンサ本体を有し、
前記センサ本体の側面に周方向に離間して配置された複数の磁石と、
前記センサ本体における複数の前記磁石の間のギャップを充填するように配置された絶縁体の吸着部と、
を備え、
前記吸着部が、前記磁石の外周面よりも径方向外側に突出し、
前記磁石が電極とされて、前記吸着部の外周表面に導体粒子を吸着することにより、前記磁石を互いに周方向に短絡して、前記磁石の間の電気抵抗を変化させる
ことにより上記課題を解決した。
本発明は、
前記磁石が径方向に着磁されるとともに、周方向に隣接する前記磁石では互いに逆向きに着磁される
ことができる。
本発明は、
複数の前記磁石が、径方向外側に向かう磁束を形成するように配置される
ことができる。
本発明は、
前記電極が、前記磁石と、前記磁石に接触して導電性を有する導体部分と、を備える
ことができる。
本発明は、
複数の前記磁石にはそれぞれ出力ラインが接続されている
ことができる。

本発明のセンサは、第１の電極と、
前記第１の電極に対してギャップを介して配置される第２の電極と、
前記第1の電極と前記第２の電極が配置されたセンサ本体と、
前記ギャップに配置されて外周表面が絶縁体からなる捕捉部と、
を備えたセンサにおいて、
前記捕捉部に集まった導体粒子を介し、外周方向に通電することができる。
本発明のセンサによれば、導体粒子を検出するギャップが吸着部の外周表面に沿って設けられる。これにより、センサ端面の径方向に導体粒子を検出するギャップが設けられる場合に比べて、検知感度を落とすことなくセンサを小型化することができる。
また、外周方向に検知方向を設定できるため、軸線方向となる検知ギャップをセンサの周方向に複数設ける場合に比べても、検知感度を落とすことなくセンサを小型化することができる。

Claims (24)

1. 第１の電極と、
   前記第１の電極に対してギャップを介して配置される第２の電極と、
   前記第1の電極と前記第２の電極が配置されたセンサ本体と、
   前記ギャップに配置されて外周表面が絶縁体からなる捕捉部と、
   を備えたセンサにおいて、
   前記捕捉部に集まった導体粒子を介し、外周方向に通電する
   ことを特徴するセンサ。
2. 第１の電極と、
   前記第１の電極に対して周方向にギャップを有して離間する第２の電極と、
   前記ギャップに配置されて外周表面が絶縁体からなる吸着部と、
   を備え、
   前記第１の電極と前記吸着部と前記第２の電極とが周方向に配置され、
   前記吸着部の外周表面に導体粒子を吸着することにより、前記第１の電極と前記第２の電極とを周方向に短絡して、前記第１の電極と前記第２の電極との間の電気抵抗を変化させる
   ことを特徴とするセンサ。
3. 前記第１の電極と前記第２の電極とに対して周方向にギャップを有して離間する第３の電極と、
   前記ギャップに配置されて外周表面が絶縁体からなる吸着部と、
   を備え、
   前記吸着部の外周表面に導体粒子を吸着することにより、前記第１の電極と前記第３の電極とを周方向に短絡して、前記第１の電極と前記第３の電極との間の電気抵抗を変化させる
   ことを特徴とする請求項２に記載のセンサ。
4. 前記第１から第３の電極に対していずれも周方向にギャップを有して離間する第４の電極と、
   前記ギャップに配置されて外周表面が絶縁体からなる吸着部と、
   を備え、
   前記吸着部の外周表面に導体粒子を吸着することにより、前記第１の電極と前記第４の電極とを周方向に短絡して、前記第１の電極と前記第４の電極との間の電気抵抗を変化させる
   ことを特徴とする請求項３に記載のセンサ。
5. 前記電極の外周表面が柱状体の側面を形成する
   ことを特徴とする請求項２から４のいずれかに記載のセンサ。
6. 前記電極が磁石とされ、外周表面から径方向外側に向かう磁束を形成するように配置される
   ことを特徴とする請求項２から５のいずれかに記載のセンサ。
7. 円筒状のセンサ本体を有し、
   前記センサ本体を周方向に４分割した磁石と、
   前記センサ本体における前記磁石の間のギャップを充填するように配置された吸着部と、
   を備え、
   前記吸着部が、前記磁石の外周面よりも径方向外側に突出し、
   前記磁石が径方向に着磁されるとともに、周方向に隣接する前記磁石では互いに逆向きに着磁され、
   前記磁石が電極とされて、前記吸着部の外周表面に導体粒子を吸着することにより、前記磁石を互いに周方向に短絡して、前記電極とされた磁石の間の電気抵抗を変化させることを特徴とするセンサ。
8. 第1の電極と第２の電極と第３の電極とを備え、
   前記第1の電極と前記第２の電極との間に第1の捕捉部が配置され、
   前記第２の電極と前記第３の電極との間に第２の捕捉部が配置され、
   前記第1の電極と前記第２の電極と前記第３の電極とがセンサ本体の軸方向に配置された
   ことを特徴とするセンサ
9. 第１の電極と、
   前記第１の電極に対して軸線方向にギャップを有して離間する第２の電極と、
   前記ギャップに配置されて外周表面が絶縁体からなる吸着部と、
   を備え、
   前記第１の電極と前記吸着部と前記第２の電極とが軸線方向に積み重ねられ、
   前記吸着部の外周表面に導体粒子を吸着することにより、前記第１の電極と前記第２の電極とを軸線方向に短絡して、前記第１の電極と前記第２の電極との間の電気抵抗を変化させる
   ことを特徴とするセンサ。
10. 前記第１の電極と前記第２の電極とに対して軸線方向にギャップを有して離間する第３の電極と、
    前記ギャップに配置されて外周表面が絶縁体からなる吸着部と、
    を備え、
    前記第１の電極と前記第２の電極と前記第３の電極と、各前記吸着部と、が軸線方向に積み重ねられ、
    前記吸着部の外周表面に導体粒子を吸着することにより、前記第１の電極と前記第３の電極とを軸線方向に短絡して、前記第１の電極と前記第３の電極との間の電気抵抗を変化させる
    ことを特徴とする請求項９に記載のセンサ。
11. 前記第１から第３の電極に対していずれも軸線方向にギャップを有して離間する第４の電極と、
    前記ギャップに配置されて外周表面が絶縁体からなる吸着部と、
    を備え、
    前記第１から前記第４の電極と、各前記吸着部と、が軸線方向に積み重ねられ、
    前記吸着部の外周表面に導体粒子を吸着することにより、前記第１の電極と前記第４の電極とを軸方向に短絡して、前記第１の電極と前記第４の電極との間の電気抵抗を変化させる
    ことを特徴とする請求項１０に記載のセンサ。
12. 前記電極の外周表面が柱状体の側面に位置する
    ことを特徴とする請求項９から１１のいずれかに記載のセンサ。
13. 前記電極が磁石とされ、外周表面から径方向外側に向かう磁束を形成するように配置される
    ことを特徴とする請求項９から１２のいずれかに記載のセンサ。
14. 円筒状のセンサ本体を有し、
    前記センサ本体を軸線方向に３分割した磁石と、
    前記センサ本体における軸線方向の前記磁石の間のギャップを充填するように配置された吸着部と、
    を備え、
    前記磁石と前記吸着部とが軸線方向に重ねられ、
    前記吸着部が、前記磁石の外周面よりも径方向外側に突出し、
    前記磁石が径方向に着磁されるとともに、軸線方向に隣接する前記磁石では互いに逆向きに着磁され、
    前記磁石が電極とされて、前記吸着部の外周表面に導体粒子を吸着することにより、前記磁石を互いに軸線方向に短絡して、前記電極とされた磁石の間の電気抵抗を変化させることを特徴とするセンサ。
15. 第１の電極と、
    前記第１の電極に対して軸線方向にギャップを有して離間する第２の電極と、
    前記ギャップに配置されて外周表面が絶縁体からなる捕捉部と、
    を備え、
    前記捕捉部が軸方向長さの異なる種類を有することを
    特徴とするセンサ。
16. 第１の電極と、
    前記第１の電極に対して軸線方向にギャップを有して離間する第２の電極と、
    前記ギャップに配置されて外周表面が絶縁体からなる吸着部と、
    を備え、
    前記第１の電極と前記吸着部と前記第２の電極とが軸線方向に積み重ねられ、
    前記吸着部の外周表面に導体粒子を吸着することにより、前記第１の電極と前記第２の電極とを軸線方向に短絡して、前記第１の電極と前記第２の電極との間の電気抵抗を変化させる
    ことを特徴とするセンサ。
17. 前記第１の電極に対して軸線方向にギャップを有して離間するとともに、前記第２の電極に対して周方向にギャップを有して離間する第３の電極と、
    前記ギャップに配置されて外周表面が絶縁体からなる吸着部と、
    を備え、
    前記第１の電極と前記吸着部と前記第３の電極とが軸線方向に積み重ねられ、
    前記吸着部の外周表面に導体粒子を吸着することにより、前記第１の電極と前記第３の電極とを軸線方向に短絡して、前記第１の電極と前記第３の電極との間の電気抵抗を変化させる
    ことを特徴とする請求項１６に記載のセンサ。
18. 前記第１の電極に対して軸線方向にギャップを有して離間するとともに、前記第２の電極と前記第３の電極とに対して軸方向にギャップを有して離間する第４の電極と、
    前記ギャップに配置されて外周表面が絶縁体からなる吸着部と、
    を備え、
    前記吸着部の外周表面に導体粒子を吸着することにより、前記第１の電極と前記第４の電極とを周方向に短絡して、前記第１の電極と前記第４の電極との間の電気抵抗を変化させる
    ことを特徴とする請求項１７に記載のセンサ。
19. 前記第２の電極、前記第４の電極、前記第３の電極が周方向に離間して並ぶとともに、それぞれの前記電極間のギャップに前記吸着部が配置される
    ことを特徴とする請求項１８記載のセンサ。
20. 前記電極の外周表面が柱状体の側面に位置する
    ことを特徴とする請求項１６から１９のいずれかに記載のセンサ。
21. 軸線方向で少なくとも前記第２の電極よりも前記第１の電極に近接する側に磁石が配置され、
    前記磁石が、軸線方向に向かう磁束を形成するように配置される
    ことを特徴とする請求項１６から２０のいずれかに記載のセンサ。
22. 前記第１の電極が磁石とされる
    ことを特徴とする請求項２１に記載のセンサ。
23. 円筒状のセンサ本体を有し、
    前記センサ本体は、軸線方向に積み重ねられた第１の電極と吸着部と第２の電極と、 軸線方向に着磁された磁石と、
    を備え、
    前記吸着部の外周表面に導体粒子を吸着することにより、前記第１の電極と前記第２の電極と外周表面が軸線方向に短絡して、前記第１の電極と前記第２の電極との間の電気抵抗を変化させる
    ことを特徴とするセンサ。
24. 前記第２の電極が、前記センサ本体の周方向に分割される
    ことを特徴とする請求項２３に記載のセンサ。

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