JP2023134162A - プローブシート及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1,図2に示すように、本発明に係るプローブシート1は、後述するように、絶縁シート1′から成り、次のような基本構成を有している。
貫通電極2は、プローブシート1の上面1aと下面1b間を貫通する貫通孔2′で構成され、上側開口2aの内面及び下側開口2bの内面と、該上側開口2aと該下側開口2b間の内周面2cにメッキ処理により導電性を有する金属の層を生成して成る。
上下動プローブ4は、図1,図2に示すように、貫通スリット3によってシート本体から切り離され、貫通電極2を内包し、側面に第一テーパー面4aと第二テーパー面4bを有し、該第一・第二テーパー面4a・4bで構成する膨出角部4cを有する構成となっている。
本発明に係るプローブシートの製造方法について、工程を順を追って説明する。
本工程においては、図4(A)に示すような絶縁シート1′に、図4(B)に示すように、シート上面1′a(プローブシート1のシート上面1a)とシート下面1′b(プローブシート1のシート下面1b)間を貫通する貫通孔2′を穿設する工程を備える。該貫通孔2′は、最終的に貫通電極2を構成するものであり、貫通電極2の接触対象たるボール形バンプの配列やピッチに基づき数やピッチを調整して穿設するものである。なお、穿設方法は既知のレーザー又はエッチングによる穿設方法を用いることができる。
本工程は、貫通孔2′の内壁、つまり後の貫通電極2の上側開口2aの内面、下側開口2bの内面及びこれらに続く内周面2cにメッキ処理により金属層を生成して貫通電極2を形成する工程である。なお、メッキ処理としては、既知の電気メッキ処理、無電解ニッケルメッキ処理を施すことができる他、銅下ニッケル上に金メッキを施し、銅の高通電性と金の耐久性を利用したメッキ処理を施すことができる。
本工程は、図5(B)に示すように、上述の貫通電極2の周囲を平面視環状に包囲し、且つシート上下面間を貫通する貫通スリット3を形成する工程である。形成方法としては、既知のレーザーによる切削方法等を用いることができる。
1…プローブシート、1a…シート上面、1b…シート下面、
2′…貫通孔、2′a…上側開口、2′b…下側開口、2′′…金属層、
2…貫通電極、2a…上側開口、2b…下側開口、2c…内周面、
3…貫通スリット、
4…上下動プローブ、4a…第一テーパー面、4b…第二テーパー面、4c…膨出角部、4d…上端部、4e…下端部、
5…ガイド孔、5a…第三テーパー面、5b…第四テーパー面、5c…受入角部、
θ…受入角部の角度、θ′…膨出角部の角度、
11…ICパッケージ、11a…ボール形バンプ、
12…基盤、12a…平板電極、
13…第一部材、13a…ボール形バンプ、
14…第二部材、14a…ボール形バンプ。
Claims (6)
- シート上下面間を貫通する貫通孔で構成する貫通電極と、該貫通電極の周囲を平面視環状に包囲しつつシート上下面間を貫通する貫通スリットと、該貫通スリットを介してシート本体から切り離された上下動プローブと、同貫通スリットを介して上記上下動プローブを包囲するガイド孔を備え、上記上下動プローブは、第一テーパー面と第二テーパー面で構成する膨出角部を側面に有する一方、上記ガイド孔は、上記第一テーパー面に対向する第三テーパー面と上記第二テーパー面に対向する第四テーパー面とで構成する受入角部を内壁に有し、該受入角部及び上記膨出角部により上記上下動プローブの抜け止めを図りつつ上下動を許容することを特徴とするプローブシート。
- 上記ガイド孔の受入角部の角度が鈍角であることを特徴とする請求項1記載のプローブシート。
- 上記上下動プローブを截頭推体と截頭逆錐体の底面同士を突き合せた形状とし、該截頭錐体の側面を上記第一テーパー面とすると共に、上記截頭逆推体の側面を上記第二テーパー面とすることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のプローブシート。
- 上記貫通電極の上側開口を截頭逆推体状に形成したことを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れかに記載のプローブシート。
- 上記貫通電極の下側開口を截頭推体状に形成したことを特徴とする請求項4記載のプローブシート。
- 絶縁シートに貫通孔を穿設する工程と、該貫通孔の内壁に金属層を生成して貫通電極を形成する工程と、該貫通電極の周囲を平面視環状に包囲しつつシート上下面間を貫通する貫通スリットを形成すると同時に、該貫通スリットによりシート本体から切り離された上下動プローブ及び該上下動プローブを保持するガイド孔を形成する工程を備え、上記貫通スリットをシート上面側とシート下面側の双方から彫り進めて形成することにより、上記上下動プローブの側面に第一テーパー面と第二テーパー面で構成する膨出角部を設ける一方、上記ガイド孔の内壁に上記第一テーパー面に対向する第三テーパー面と上記第二テーパー面に対向する第四テーパー面とで構成する受入角部を設けることを特徴とするプローブシートの製造方法。
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