JP2023121152A - 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 - Google Patents
塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 Download PDFInfo
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2026079103A1 (ja) * | 2024-10-11 | 2026-04-16 | Jsr株式会社 | 感放射線性組成物、レジストパターン形成方法及び化合物 |
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2023
- 2023-02-17 JP JP2023023277A patent/JP2023121152A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2026079103A1 (ja) * | 2024-10-11 | 2026-04-16 | Jsr株式会社 | 感放射線性組成物、レジストパターン形成方法及び化合物 |
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