JP2023121151A - 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 - Google Patents
塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2023121151A JP2023121151A JP2023023276A JP2023023276A JP2023121151A JP 2023121151 A JP2023121151 A JP 2023121151A JP 2023023276 A JP2023023276 A JP 2023023276A JP 2023023276 A JP2023023276 A JP 2023023276A JP 2023121151 A JP2023121151 A JP 2023121151A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group
- salt
- carbon atoms
- formula
- groups
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Materials For Photolithography (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2022023971 | 2022-02-18 | ||
| JP2022023971 | 2022-02-18 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2023121151A true JP2023121151A (ja) | 2023-08-30 |
| JP2023121151A5 JP2023121151A5 (https=) | 2025-12-22 |
Family
ID=87797594
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2023023276A Pending JP2023121151A (ja) | 2022-02-18 | 2023-02-17 | 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2023121151A (https=) |
-
2023
- 2023-02-17 JP JP2023023276A patent/JP2023121151A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2022123839A (ja) | 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2022141598A (ja) | カルボン酸塩、カルボン酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2022189790A (ja) | 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2022191199A (ja) | 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2022191197A (ja) | 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP7840778B2 (ja) | 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP7696208B2 (ja) | 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2024037169A (ja) | 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023121152A (ja) | 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023002490A (ja) | 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023016035A (ja) | 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023014044A (ja) | 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023010680A (ja) | 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023001919A (ja) | 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023008953A (ja) | 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2022191201A (ja) | 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023014038A (ja) | 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023001917A (ja) | 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023001921A (ja) | 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023008906A (ja) | 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023008963A (ja) | 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2022164583A (ja) | 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2022173110A (ja) | 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2022189773A (ja) | 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2022183077A (ja) | 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20251212 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20251212 |