JP2023112680A - レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 - Google Patents

レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2023112680A
JP2023112680A JP2023011190A JP2023011190A JP2023112680A JP 2023112680 A JP2023112680 A JP 2023112680A JP 2023011190 A JP2023011190 A JP 2023011190A JP 2023011190 A JP2023011190 A JP 2023011190A JP 2023112680 A JP2023112680 A JP 2023112680A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
group
carbon atoms
hydrocarbon group
groups
formula
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2023011190A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2023112680A5 (https=
Inventor
雅彦 嶋田
Masahiko Shimada
良賢 青野
Yoshimasa Aono
幸司 市川
Koji Ichikawa
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Chemical Co Ltd filed Critical Sumitomo Chemical Co Ltd
Publication of JP2023112680A publication Critical patent/JP2023112680A/ja
Publication of JP2023112680A5 publication Critical patent/JP2023112680A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)
JP2023011190A 2022-02-01 2023-01-27 レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 Pending JP2023112680A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022014383 2022-02-01
JP2022014383 2022-02-01

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2023112680A true JP2023112680A (ja) 2023-08-14
JP2023112680A5 JP2023112680A5 (https=) 2025-12-02

Family

ID=87562185

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2023011190A Pending JP2023112680A (ja) 2022-02-01 2023-01-27 レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2023112680A (https=)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2023105306A (ja) * 2020-12-14 2023-07-28 株式会社三洋物産 遊技機
JP2023108012A (ja) * 2021-03-02 2023-08-03 株式会社三洋物産 遊技機
JP2023110101A (ja) * 2020-12-14 2023-08-08 株式会社三洋物産 遊技機
JP2023116654A (ja) * 2020-12-14 2023-08-22 株式会社三洋物産 遊技機
JP2023116653A (ja) * 2020-12-14 2023-08-22 株式会社三洋物産 遊技機
JP2023116655A (ja) * 2020-12-14 2023-08-22 株式会社三洋物産 遊技機

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2023105306A (ja) * 2020-12-14 2023-07-28 株式会社三洋物産 遊技機
JP2023110101A (ja) * 2020-12-14 2023-08-08 株式会社三洋物産 遊技機
JP2023116654A (ja) * 2020-12-14 2023-08-22 株式会社三洋物産 遊技機
JP2023116653A (ja) * 2020-12-14 2023-08-22 株式会社三洋物産 遊技機
JP2023116655A (ja) * 2020-12-14 2023-08-22 株式会社三洋物産 遊技機
JP2023108012A (ja) * 2021-03-02 2023-08-03 株式会社三洋物産 遊技機

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2023112680A (ja) レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
JP2023098698A (ja) 樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
JP2023100005A (ja) 樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
JP2022135974A (ja) レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
JP7803685B2 (ja) 化合物、樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
JP7636200B2 (ja) レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
JP2023098703A (ja) 樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
JP2022173127A (ja) レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
JP2022161856A (ja) レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
JP2022130324A (ja) レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
JP7752506B2 (ja) レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
JP2023024363A (ja) レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
JP2022161854A (ja) レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
JP2023118096A (ja) レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
JP2022161021A (ja) レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
JP2022161855A (ja) レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
JP2024119059A (ja) 樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
JP2022173129A (ja) 化合物、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
JP2024115546A (ja) 樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
JP2023021056A (ja) レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法並びに化合物
JP2024115548A (ja) 樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
JP2023061382A (ja) レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
JP2023058023A (ja) レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
JP2022173128A (ja) 化合物、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
JP2024112312A (ja) 樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20251121

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20251121