JP2023099338A - 加熱および温度モニタリングのための方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】加熱および温度モニタリングのための方法および装置を提供する。【解決手段】装置は、構成要素の外表面へと貼り付けられたプリントされたヒーターを有する、シャワーヘッド、管、弁マニホールド、または容器などの構成要素を提供してもよい。加えて、プリントされた温度センサが、構成要素の外表面に貼り付けられてもよい。装置は、プリントされた温度センサから出力されたデータに従って、プリントされたヒーターへの電力を制御するために、コントローラをさらに提供してもよい。【選択図】図1
Description
本開示は、概して、加熱および温度モニタリングのための方法および装置に関する。より具体的には、本開示は、半導体デバイスを製作するために使用される機器における加熱および温度モニタリングのための方法および装置に関する。
半導体デバイスの製作のために使用されるシステムの様々な構成要素は、一定の温度調整を必要とする場合がある。室温を上回る温度が望ましい事例では、加熱源が構成要素に適用されてもよい。別の方法として、室温を下回る温度が望ましい事例では、冷却源が構成要素に適用されてもよい。多くの用途では、ヒータージャケットが加熱源として使用され、またヒータージャケットが構成要素の周りに巻かれる。しかしながら、ヒータージャケットはかさばるものであり、構成要素との一貫性のない接触に起因して構成要素に対して十分な加熱または熱的な均一性を提供しない場合がある。
システムはまた、加熱または冷却された構成要素の実際の温度をモニターするための温度センサを含んでもよい。多くの事例では、温度センサからの情報は、構成要素の温度を調整するように、加熱源または冷却源の動作を制御するために使用される。しかしながら、従来の温度センサは、接触の不一致または誤った配置を経験する場合があり、そのことは、結果として不正確な温度の読み取りをもたらす場合があり、それ故に加熱源または冷却源の望ましくない動作および構成要素の温度調整の不良をもたらす場合がある。
装置は、構成要素の外表面へと貼り付けられたプリントされたヒーターを有する、シャワーヘッド、管、弁マニホールド、または容器などの構成要素を提供してもよい。加えて、プリントされた温度センサが、構成要素の外表面に貼り付けられてもよい。装置は、プリントされた温度センサから出力されたデータに従って、プリントされたヒーターへの電力を制御するために、コントローラをさらに提供してもよい。
本明細書で開示される本発明のこれらおよび他の特徴、態様、および利点は、本発明を例示することを意図しており本発明を限定することは意図していない、特定の実施形態の図面を参照して以下で説明される。
当然のことながら、図内の要素は単純化および明瞭化のために例示されており、必ずしも原寸に比例して描かれていない。例えば、図内の要素のうちの一部の相対サイズは、本開示の例示された実施形態の理解の向上を助けるために他の要素に対して相対的に誇張されている場合がある。
同様の参照番号が本開示の類似の構造的特徴または態様を特定する図面をここで参照する。説明および例示の目的で、かつ限定の目的ではなく、本開示による半導体プロセッシングシステムの実施例の部分図が図1に示され、全体として参照符号100によって指定される。本開示、またはその態様による半導体プロセッシングシステムの他の実施例が、記述されるように、図2~図9に提供される。本開示の方法および装置は、加熱源および温度センサを使用して半導体プロセッシングシステムの1つ以上の構成要素の温度を調整するために使用されてもよいが、本開示は半導体プロセッシングでの使用に限定されない。
以下に提供される例示的な実施形態の説明は、単に例示的なものであり、かつ例示の目的のみのために意図されており、以下の説明は、本開示の範囲または特許請求の範囲を限定することを意図していない。さらに、述べられた特徴を有する複数の実施形態の列挙は、追加的な特徴を有する他の実施形態、または述べられた特徴の異なる組み合わせを組み込む他の実施形態を除外することを意図しない。
本開示は、概して、半導体プロセッシングシステムで使用される構成要素の外表面へと貼り付けられたプリントされたヒーターに関する。加えて、本技術のいくつかの態様は、概して、半導体プロセッシングシステムで使用される外側構成要素に貼り付けられたプリントされた温度センサに関連する。
図1を参照すると、システム100は、化学物質(液体またはガスなど)を収容する容器105と、管110と、弁アセンブリ115と、シャワーヘッド130と、を備えてもよい。
様々な実施形態では、図1~図9を参照すると、システム100は、システム100内の様々な構成要素の温度をモニターおよび/または調整するように構成された温度調整システムをさらに備えてもよい。様々な実施形態では、温度調整システムは、プリントされたヒーター200を備えてもよい。プリントされたヒーター200は、第1の誘電体層200と、導電層215と、第2の誘電体層210とを備えてもよい。様々な実施形態では、プリントされたヒーター200は、プリントされたヒーター200を周辺システムまたはデバイス(図示せず)へと電気的に接続するために使用されるはんだパッド205をさらに備えてもよい。例示的な実施形態では、第1の誘電体層220は直接的に、システム100の構成要素225(例えば、容器105、管110、弁アセンブリ115、およびシャワーヘッド130)の上に重なっていてもよい。様々な実施形態では、プリントされたヒーター200は、摂氏10度~摂氏250度の範囲内の温度を生成するように構成されてもよい。
様々な実施形態では、プリントされたヒーター200は、構成要素225の外表面上に貼り付けられてもよい。例えば、プリントされたヒーター200は、構成要素225の外表面上に直接的にプリントされてもよい。別の方法として、プリントされたヒーター200は、構成要素とプリントされたヒーター200との間に直接的に配設された接着剤層300を用いて、構成要素225の外表面へと取り付けられてもよい。様々な実施形態では、プリントされたヒーター200は、0.1mm~おおよそ10ミリメートルの範囲の全厚Tを有する薄型ヒーターであってもよい。プリントされたヒーター200は、1~10ミリメートルの幅、または任意の好適な寸法を有してもよい。プリントされたヒーター200の長さおよび幅は、任意の好適な寸法であってもよく、また適用部位に従って選択されてもよい。
様々な実施形態では、第2の誘電体層220は、プラスチックなどの任意の好適な絶縁材料および/または非導電性材料を含んでもよい。一部の実施形態では、第2の誘電体層220は、任意の好適な方法を使用して、直接的に構成要素225の外表面上に形成されてもよい。別の方法として、第2の誘電体層220は、接着剤層300を用いて構成要素225の外表面に接着されてもよい。第2の誘電体層220は、0.1mm~おおよそ5ミリメートルの範囲内の厚さを有してもよい。
様々な実施形態では、導電層215は、導電性金属(例えば、銅)などの任意の好適な導電性材料を含んでもよい。様々な実施形態では、導電層215は、第2の誘電体層220の上に重なっていてもよい。別の方法として、導電層215は、構成要素225の外表面上に直接的に堆積されてもよい。別の方法として、導電層215は、接着剤層300を用いて構成要素225の外表面へと接着されてもよい。導電層215は、蛇行パターン、櫛形パターン、らせんパターン、およびこれに類するものなどの任意の好適なパターンを有してもよい。導電層215は、0.1mm~おおよそ5ミリメートルの範囲内の厚さを有してもよい。様々な実施形態では、導電層220は、はんだパッド205へと電気的に接続されてもよい。
様々な実施形態では、第1の誘電体層210は、プラスチックなどの絶縁材料および/または非導電性材料を含むのであり、導電層215の上に重なっていてもよい。第1の誘電体層210は、0.1mm~おおよそ5ミリメートルの範囲内の厚さを有してもよい。
様々な実施形態では、プリントされたヒーター200は、制御信号に従って動作してもよい。
様々な実施形態では、温度調整システムは、温度を検出し、かつ検出された温度に対応する出力センサ信号Voutを生成するように構成された、プリントされた熱電対などの温度センサ600をさらに備えてもよい。様々な実施形態では、温度センサ600は、構成要素225の外表面上に貼り付けられてもよい。例えば、温度センサ600は、構成要素225の外表面上に直接的にプリントされてもよい。別の方法として、温度センサ600は、構成要素と温度センサ600との間に直接的に配設された接着剤層300を用いて、構成要素225の外表面へと取り付けられてもよい。様々な実施形態では、温度センサ600は、0.1ミリメートル~10ミリメートルの範囲内の厚さを有する薄型センサであってもよい。
様々な実施形態では、温度センサ600は、ニッケル、クロム、アルミニウム、またはそれらの組み合わせなどの第1の材料から形成される第1の脚部、およびニッケル、クロム、アルミニウム、またはそれらの組み合わせなどの第2の材料から形成される第2の脚部を備えてもよい。第1の材料は第2の材料とは異なっていてもよい。例えば、第1の材料はNi2OCrであってもよく、一方で第2の材料はNi5Alであってもよい。
加えて、温度センサ600は、熱被覆(図示せず)内に埋め込まれてもよく、または熱被覆で覆われてもよい。熱被覆は、イットリア安定化ジルコニアなどの任意の好適な材料の1つ以上の層を含んでもよい。
様々な実施形態では、システム100は、センサ信号Voutを受信するように構成された、プロセッサ610または他の好適な制御システムをさらに備えてもよい。プロセッサ610は、構成要素225を所望の温度へと加熱するために、加熱源の温度を上昇/低下させるための制御信号を生成することによって、センサ信号Voutに応答してもよい。様々な実施形態では、プロセッサ610は、プリントされたヒーター200の温度を制御するために、センサ信号Voutを受信してもよく、およびこれに応答してしてもよい。加えて、または代替的に、プロセッサ610は、ヒータージャケット605などの異なる加熱源の温度を制御するために、センサ信号Voutを受信してもよく、およびこれに応答してもよい。
例示的な実施形態で、かつ図5および図6を参照すると、温度センサ600および/またはプリントされたヒーター200は、容器105の外表面へと貼り付けられてもよく、または接着されてもよい。本事例では、第1のプリントされたヒーター200(A)および第2のプリントされたヒーター200(B)などの複数のプリントされたヒーターは、容器105へと貼り付けられてもよく、または接着されてもよい。第1のプリントされたヒーター200(A)は、容器105の外側側壁を囲んでもよく、また第2のプリントされたヒーター200(B)は、容器105の上部の外表面を覆ってもよい。本実施形態では、第1のプリントされたヒーター200(A)および第2のプリントされたヒーター200(B)は、摂氏10~150度の範囲内の温度を生成するように構成されてもよい。
第1のプリントされたヒーター200(A)および第2のプリントされたヒーター200(B)は、プロセッサ610へと接続されてもよく、およびプロセッサ610によって制御されてもよい(図6)。プロセッサ610は、温度センサ600などの温度センサに従って、第1のプリントされたヒーター200(A)および第2のプリントされたヒーター200(B)を制御してもよい。
同様に、第3のプリントされたヒーター200(C)は、容器105へと接続する管110に貼り付けられてもよく、または接着されてもよい。本事例では、プリントされたヒーター200(C)は、管110の外表面の周りに巻かれてもよい。第3のプリントされたヒーター200(C)は、プロセッサ610へと接続されてもよく、およびプロセッサ610によって制御されてもよい(図6)。プロセッサ610は、温度センサ600などの温度センサに従って、第3のプリントされたヒーター200(C)を制御してもよい。本実施形態では、第3のプリントされたヒーター200(C)は、摂氏45~150度の範囲内の温度を生成するように構成されてもよい。
例示的な実施形態で、かつ図6を参照すると、第1の温度センサ600は、管110の外表面に貼り付けられてもよく、または接着されてもよい。本事例では、第1の温度センサ600は、ヒータージャケット605と併せて使用されてもよい。その結果、温度センサ600は、センサ信号Voutを生成してもよく、またプロセッサ610へと信号を送信してもよい。次いで、プロセッサ610は、センサ信号および構成要素(この事例では、管110)の所望の温度に従って、ヒータージャケット605の動作を制御してもよい。
例示的な実施形態で、かつ図7を参照すると、温度センサ600および/またはプリントされたヒーター200は、弁アセンブリ115の外表面に貼り付けられてもよく、または接着されてもよい。例えば、本事例では、第4のプリントされたヒーター200(D)は第1の側壁に貼り付けられ、第5のプリントされたヒーター200(E)は第1の側壁に垂直な第2の側壁に貼り付けられ、および第6のプリントされたヒーター200(F)は入口/出口管700に隣接して貼り付けられる。本実施形態では、第4のプリントされたヒーター200(D)および第5のプリントされたヒーター200(E)は、摂氏90~250度の範囲内の温度を生成するように構成されてもよい。
加えて、温度センサ600は、入口/出口管700に隣接する弁アセンブリの外表面上に位置してもよい。入口/出口管700は、管110へと取り付けられてもよく、または管110と連続的であってもよい。
様々な実施形態では、弁アセンブリ115は、電気的信号に従って、または機械的機構によって、開閉するように構成されてもよい。例えば、弁アセンブリ115は、空気制御弁、ソレノイド弁制御弁、または任意の好適な弁制御スタイルを備えてもよい。加えて、弁アセンブリ115は、ダイアフラム弁、プラグ弁、ニードル弁、またはこれに類するものを備えてもよい。特定の弁タイプは、特定の用途および/またはシステムに従って選択されてもよい。例えば、特定の弁は、流量、温度定格、圧力定格、およびこれに類するものなどの弁の仕様に基づいて、特定の用途のためにより好適である場合がある。
例示的な実施形態で、かつ図8を参照すると、弁アセンブリ115は、ゲート弁800を備えてもよい。プリントされたヒーター200は、ゲート弁800の一部分に貼り付けられてもよく、または接着されてもよい。例えば、第7のプリントされたヒーター200(G)は、ゲート弁800の第1の一部分805に貼り付けられてもよく、または接着されてもよく、また第8のプリントされたヒーター200(H)は、ゲート弁800の第2の一部分825に貼り付けられてもよく、または接着されてもよい。第7のプリントされたヒーター200(G)および第8のプリントされたヒーター200(H)は、プロセッサ610によって互いに独立して制御されてもよい(図6)。別の方法として、第7のプリントされたヒーター200(G)および第8のプリントされたヒーター200(H)は、同時に制御されてもよい。言い換えれば、第7のプリントされたヒーター200(G)および第8のプリントされたヒーター200(H)は電気的に接続されてもよく、またプロセッサ610から同じ制御信号を受信してもよい。さらに、第7のプリントされたヒーター200(G)および第8のプリントされたヒーター200(H)は、第1のプリントされたヒーター200(A)、第2のプリントされたヒーター200(B)、および/または第3のプリントされたヒーター200(C)などの、システム100内の他のプリントされたヒーターから独立して制御されてもよい。別の方法として、第7のプリントされたヒーター200(G)および第8のプリントされたヒーター200(H)は、システム100内の他のプリントされたヒーター200のうちの1つ以上と同時に制御されてもよい。
本実施形態では、第7のプリントされたヒーター200(G)は、狭い隙間しか有しない小さい特徴部および/または空間へと適用されてもよい。例えば、第7のプリントされたヒーター200(G)は、高さ815を有する特徴部と2つの特徴部の間の隙間空間820とを含む領域にわたって連続的であってもよい。他の実施形態では、プリントされたヒーター200は、高さ815を有する特徴部および/または隙間空間820を含む領域にわたって連続的であってもよい。
例示的な実施形態で、かつ図9を参照すると、温度センサ600および/またはプリントされたヒーター200は、シャワーヘッド130の外表面へと貼り付けられてもよく、または接着されてもよい。シャワーヘッド130は、基材910に面する下向きの表面905、下向きの表面905の反対側の外向きの表面915、および側壁表面920を備えてもよい。下向きの表面905は、蒸気を基材910の表面へと方向付ける複数の開口(図示せず)を備えてもよい。外向きの表面915および側壁表面920は、滑らかで均一な表面を有して実質的に平坦であってもよい。
本事例では、温度センサ600(C)および/またはプリントされたヒーター200は、外向きの表面の外表面915およびシャワーヘッド130の側壁表面920に貼り付けられてもよく、または接着されてもよい。プリントされたヒーター200は、プリントされたヒーター200の全体が同じ程度で加熱されるように、単一の連続的な要素であってもよい。
別の方法として、いくつかのプリントされたヒーター200は、外向きの表面915および/または側壁表面920へと貼り付けられてもよく、または接着されてもよく、各プリントされたヒーター200は、シャワーヘッド130上の他のプリントされたヒーターに対して独立して制御される。こうした事例では、1つのプリントされたヒーター200(I)は、第1の温度へと加熱されてもよく、一方で別のプリントされたヒーター200(J)は、第1の温度とは異なる第2の温度へと加熱されてもよい。各プリントされたヒーターの温度を独立して制御することは、シャワーヘッド130のより均一な熱的パターンを提供してもよく、そしてそれ故に基材910上により均一な化学堆積を提供してもよい。本実施形態では、プリントされたヒーター200(I)、200(J)は、摂氏90~250度の範囲内の温度を生成するように構成されてもよい。
一部の実施形態では、温度センサ600(C)からの情報は、プリントされたヒーター200(I)などの隣接するプリントされたヒーターを制御するために使用されてもよい。同様に、プリントされたヒーター200(J)を制御するために、異なる温度センサ(図示せず)を使用してもよい。
動作時に、かつ図1~図9を参照すると、本技術の様々な実施形態は、統合システムにおける様々な構成要素の温度調整のための閉ループシステムを提供してもよい。例えば、温度センサ600は、それが取り付けられる構成要素の温度を検出し、かつ対応するセンサ信号Voutを生成するために使用されてもよい。センサ信号Voutは、プロセッサ610へと送信されてもよい。プロセッサ610は、センサ信号を、分析し、および/または例えばデジタル信号へと変換してもよい。
センサ信号Voutに応答して、プロセッサ610は、第1の制御信号S1および第2の制御信号S2などの1つ以上の出力制御信号を生成し、制御信号を、1つ以上のプリントされたヒーター200、ならびに/またはヒータージャケット605およびこれに類するものなどの他の好適な加熱源へと送信してもよい。例えば、一部の事例では、各プリントされたヒーター200は、システム100内の他のプリントされたヒーター200に対して独立して制御されてもよい。本事例では、各プリントされたヒーター200は、それぞれのプリントされたヒーターに対応する、かつ/またはそれぞれのプリントされたヒーターに物理的に隣接する温度センサ600に従って制御されてもよい。例えば、プリントされたヒーター200(F)は、第2の温度センサ600(B)によって制御されてもよく、一方で第4のプリントされたヒーター200(D)および第5のプリントされたヒーター200(E)は、異なるプリントされた温度センサ(図示せず)からのセンサ信号によって制御されてもよい。言い換えれば、この場合、制御信号S1およびS2は、異なる値を有することになる。
他の事例では、2つ以上のプリントされたヒーター200は、同じ制御信号および信号センサ信号Voutに従って制御されてもよい。例えば、第4のプリントされたヒーター200(D)および第5のプリントされたヒーター200(E)は、同じ(共有された)温度センサ600からのセンサ信号によって制御されてもよい。言い換えれば、この場合、制御信号S1およびS2は同じ値を有することになる。
本開示はある特定の実施形態および実施例の文脈で提供されてきたが、本開示は、具体的に記述される実施形態を超えて、本実施形態の他の代替的な実施形態および/または使用および明白な修正ならびにそれらの均等物にまで延長されることを当業者は理解するであろう。加えて、本開示の実施形態のいくつかの変形が示され、かつ詳細に記述されているが、本開示の範囲内にある他の修正は、本開示に基づいて当業者に対して容易に明らかとなるであろう。実施形態の特定の特徴および態様の様々な組み合わせまたは部分組み合わせが作製されてもよく、また依然として本開示の範囲に含まれてもよいこともまた企図される。当然のことながら、開示された実施形態の様々な特徴および態様は、本開示の実施形態の様々なモードを形成するために、互いに組み合わせまたは置き換えることができる。それ故に、本開示の範囲は、上述の特定の実施形態によって限定されるべきではないことが意図される。
Claims (20)
- 装置であって、
シャワーヘッド、管、弁マニホールド、および容器のうちの少なくとも1つを含む構成要素と、
前記構成要素の外表面上に貼り付けられた、かつ前記構成要素を加熱するように構成されたプリントされたヒーターと、
前記構成要素の前記表面上に貼り付けられた、かつ前記構成要素の実際の温度を測定し、かつ対応する温度信号を生成するように構成されたプリントされた温度センサであって、前記プリントされたヒーターに隣接して位置付けられた、プリントされた温度センサと、
前記プリントされた温度センサおよび前記プリントされたヒーターに接続された、かつ前記温度信号に従って前記プリントされたヒーターへの電力を制御するように構成された、コントローラと、を備える、装置。 - 前記シャワーヘッドが、
複数の開口を含む第1の表面と、
前記第1の表面とは反対側に面する、かつ滑らかで均一な表面を含む、第2の表面と、を備え、
前記プリントされたヒーターが、前記滑らかで均一な表面の少なくとも一部分上に貼り付けられる、請求項1に記載の装置。 - 前記プリントされたヒーターが、0.1ミリメートル~10ミリメートルの範囲の厚さを有し、かつ前記プリントされた温度センサが、0.1ミリメートル~10ミリメートルの範囲内の厚さを有する、請求項1に記載の装置。
- 前記プリントされたヒーターが、摂氏10度~摂氏250度の範囲内の温度を生成するように構成される、請求項1に記載の装置。
- 前記管が、ガスまたは液体のうちの1つを流すように構成され、かつ前記プリントされたヒーターが、摂氏45~150度の範囲内の温度を生成するように構成される、請求項1に記載の装置。
- 前記容器が、ガスまたは液体のうちの1つを収容するように構成され、かつ前記プリントされたヒーターが、摂氏10~150度の範囲の温度を生成するように構成される、請求項1に記載の装置。
- 前記構成要素の前記表面と前記プリントされたヒーターとの間に直接的に接着剤層をさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 前記プリントされたヒーターが、前記構成要素の前記表面に貼り付けられた金属電極と、前記金属電極の上に重なっている誘電体層とを備える、請求項1に記載の装置。
- 構成要素の温度を調整するための方法であって、
前記構成要素をプリントされたヒーターを用いて加熱することであって、前記構成要素がシャワーヘッド、容器、管、および弁マニホールドのうちの少なくとも1つを含み、かつ前記ヒーターが前記構成要素の表面へと貼り付けられる、加熱することと、
前記構成要素の前記温度を、プリントされた温度センサを用いてモニターすることであって、前記プリントされた温度センサが前記プリントされたヒーターに隣接して位置付けられる、モニターすることと、
前記プリントされた温度センサを用いて、前記構成要素の実際の温度データを生成することと、
前記実際の温度データに応答して前記プリントされたヒーターの動作を調整することと、を含む、方法。 - 前記プリントされたヒーターが、0.1ミリメートル~10ミリメートルの範囲の厚さを有し、かつ前記プリントされた温度センサが、0.1ミリメートル~10ミリメートルの範囲の厚さを有する、請求項9に記載の方法。
- 前記プリントされたヒーターが、摂氏10度~摂氏250度の範囲内の温度を生成するように構成される、請求項9に記載の方法。
- 前記プリントされたヒーターおよび前記プリントされた温度センサが、接着剤層を用いて前記構成要素の前記表面へと貼り付けられる、請求項9に記載の方法。
- システムであって、
ガスまたは液体のうちの1つを収容するように構成された容器と、
管を介して前記容器に接続された弁マニホールドと、
前記弁マニホールドに接続された、かつ原料化学物質を反応チャンバへと送達するように構成されたシャワーヘッドと、
前記シャワーヘッドの外表面上に貼り付けられた第1のプリントされたヒーターと、
前記管の外表面上に貼り付けられた第2のプリントされたヒーターと、
前記弁マニホールドの前記外表面上に貼り付けられた第3のプリントされたヒーターと、
前記容器の前記外表面上に貼り付けられた第4のプリントされたヒーターと、
前記シャワーヘッドの前記外表面上に貼り付けられた第1のプリントされた温度センサと、
前記管の前記外表面上に貼り付けられた第2のプリントされた温度センサと、
前記弁マニホールドの前記外表面上に貼り付けられた第3のプリントされた温度センサと、
前記容器の前記外表面上に貼り付けられた第4のプリントされた温度センサと、を備え、
前記プリントされた温度センサが、前記プリントされたヒーターに隣接して位置付けられる、システム。 - 前記第1、第2、第3、および第4のプリントされたヒーターの各々が、他と独立して動作する、請求項13に記載のシステム。
- 前記第1のプリントされたヒーターが、摂氏90~250度の範囲内の温度を生成するように構成される、請求項13に記載のシステム。
- 前記第2のプリントされたヒーターが、摂氏45~150度の範囲内の温度を生成するように構成される、請求項13に記載のシステム。
- 前記第3のプリントされたヒーターが、摂氏90~250度の範囲内の温度を生成するように構成される、請求項13に記載のシステム。
- 前記第4のプリントされたヒーターが、摂氏10~150度の範囲内の温度を生成するように構成される、請求項13に記載のシステム。
- 前記シャワーヘッドが、
複数の開口を含む第1の表面と、
前記第1の表面とは反対側に面する、かつ滑らかで均一な表面を含む、第2の表面と、を備え、
前記プリントされたヒーターが、前記滑らかで均一な表面の少なくとも一部分上に貼り付けられる、請求項13に記載のシステム。 - 前記第1、第2、第3、および第4のプリントされたヒーターの各々が、それぞれの接着剤層を用いて前記外表面上に貼り付けられ、前記第1、第2、第3、および第4のプリントされた前記温度センサの各々が、それぞれの接着剤層を用いて前記外表面上に貼り付けられる、請求項13に記載のシステム。
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