JP2023098703A - 樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 - Google Patents
樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2023098703A JP2023098703A JP2022210477A JP2022210477A JP2023098703A JP 2023098703 A JP2023098703 A JP 2023098703A JP 2022210477 A JP2022210477 A JP 2022210477A JP 2022210477 A JP2022210477 A JP 2022210477A JP 2023098703 A JP2023098703 A JP 2023098703A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group
- carbon atoms
- hydrocarbon group
- groups
- formula
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Materials For Photolithography (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021215046 | 2021-12-28 | ||
| JP2021215046 | 2021-12-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2023098703A true JP2023098703A (ja) | 2023-07-10 |
| JP2023098703A5 JP2023098703A5 (https=) | 2025-10-23 |
Family
ID=87072032
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2022210477A Pending JP2023098703A (ja) | 2021-12-28 | 2022-12-27 | 樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2023098703A (https=) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2025069728A1 (ja) * | 2023-09-27 | 2025-04-03 | Jsr株式会社 | 感放射線性組成物及びレジストパターン形成方法 |
-
2022
- 2022-12-27 JP JP2022210477A patent/JP2023098703A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2025069728A1 (ja) * | 2023-09-27 | 2025-04-03 | Jsr株式会社 | 感放射線性組成物及びレジストパターン形成方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2023088870A (ja) | カルボン酸塩、カルボン酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023100005A (ja) | 樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023098698A (ja) | 樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023179380A (ja) | レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2022183076A (ja) | カルボン酸塩、カルボン酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023098703A (ja) | 樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023100003A (ja) | 樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023081337A (ja) | 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023036004A (ja) | 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023035960A (ja) | カルボン酸塩、カルボン酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023008957A (ja) | カルボン酸塩、カルボン酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023001098A (ja) | カルボン酸塩、カルボン酸発生剤、樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023008964A (ja) | カルボン酸塩、カルボン酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023008903A (ja) | カルボン酸塩、カルボン酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2022189798A (ja) | カルボン酸塩、カルボン酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023001922A (ja) | カルボン酸塩、カルボン酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2022123840A (ja) | カルボン酸塩、カルボン酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023098705A (ja) | レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023100004A (ja) | レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023100006A (ja) | レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023098702A (ja) | レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023001095A (ja) | カルボン酸塩、カルボン酸発生剤、樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023001100A (ja) | カルボン酸塩、カルボン酸発生剤、樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2023036012A (ja) | カルボン酸塩、カルボン酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 | |
| JP2022161018A (ja) | 化合物、樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20251015 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20251015 |