JP2023098698A - 樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 - Google Patents

樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 Download PDF

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102024115461A1 (de) 2023-06-15 2024-12-19 Kioxia Corporation Belichtungsvorrichtung und belichtungsverfahren
WO2025037476A1 (ja) * 2023-08-14 2025-02-20 Jsr株式会社 感放射線性組成物、レジストパターン形成方法及び重合体
WO2025057562A1 (ja) * 2023-09-14 2025-03-20 Jsr株式会社 感放射線性組成物、パターン形成方法、及び重合体
WO2025062850A1 (ja) * 2023-09-21 2025-03-27 Jsr株式会社 感放射線性組成物、パターン形成方法、及び重合体

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102024115461A1 (de) 2023-06-15 2024-12-19 Kioxia Corporation Belichtungsvorrichtung und belichtungsverfahren
WO2025037476A1 (ja) * 2023-08-14 2025-02-20 Jsr株式会社 感放射線性組成物、レジストパターン形成方法及び重合体
WO2025057562A1 (ja) * 2023-09-14 2025-03-20 Jsr株式会社 感放射線性組成物、パターン形成方法、及び重合体
WO2025062850A1 (ja) * 2023-09-21 2025-03-27 Jsr株式会社 感放射線性組成物、パターン形成方法、及び重合体

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