JP2022542089A - Mramパターニングのための不揮発性材料の化学エッチング - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2019年7月31日出願の米国特許出願第62/881,131号の優先権の利益を主張する。上記の出願は、すべての目的のために、参照により本明細書に組み込まれる。
M+Cl→MClx(s) (不揮発性) (1)
M+SiClx→M-SiClx (揮発性) (2)
次に、特定の実施形態において原子層エッチング(ALE)工程および原子層堆積(ALD)工程に好適に用い得る誘導結合プラズマ(ICP)反応器について説明する。このようなICP反応器は、米国特許出願公開第2014/0170853号(発明の名称「IMAGE REVERSAL WITH AHM GAP FILL FOR MULTIPLE PATTERNING」、2013年12月10日出願)にも記載されており、本明細書においてその全体がすべての目的のために参照により援用される。本明細書ではICP反応器について説明するが、いくつかの実施形態では、容量結合プラズマ反応器を用いてもよいことを理解されたい。
[実験1]
実験により、CoPt表面をSiCl4-Heプラズマに曝露して改質し、改質表面をバイアスを印加した活性化ヘリウムに曝露してバイアスパルスのみでスパッタリングを行った。このような実験を様々なバイアス電圧にて行い、CoPt表面のエッチング速度を評価した。また、これらのエッチングプロセスの相乗効果も確認した。いくつかの実施形態において、ALEの相乗効果は65%~80%である。
明確な理解に資する目的で上記の実施形態をある程度詳細に説明してきたが、添付の特許請求の範囲内で、一部変更や変形を行ってもよいことは明らかである。なお、本実施形態のプロセス、システムおよび装置を実現する方法として多くの代替方法が存在する。したがって、本実施形態は、あくまでも例示であって本開示を限定するものではない。実施形態は、本明細書に記載の詳細に限られるものではない。
Claims (24)
- 方法であって、
a)チャンバ内に配置された基板を、シリコン、ゲルマニウム、炭素、チタン、およびスズからなる群から選択される元素を含むハロゲン含有ガスに曝露し、プラズマを点火して前記基板の表面を改質し、改質表面を形成することと、
b)前記基板を活性化された活性化ガスに曝露し、前記改質表面の少なくとも一部をエッチングすることと、
を含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記ハロゲン含有ガスは四塩化シリコンである、
方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記ハロゲン含有ガスは、クロロシラン、ブロモシラン、ヨードシラン、ヒドロクロロシラン、およびフルオロシランからなる群から選択される、
方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記基板を前記活性化された活性化ガスに前記曝露することは、バイアスを印加することを含む、
方法。 - 請求項4に記載の方法であって、
前記バイアスはパルス化される、
方法。 - 請求項4に記載の方法であって、
前記バイアスは、100V~2000Vの電圧で印加される、
方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記基板を前記ハロゲン含有ガスに曝露し、前記プラズマを点火することは、バイアスを印加することを含む、
方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記基板を前記活性化された活性化ガスに曝露することで、揮発性の金属サイロ複合体が生成される、
方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記工程a)の前に、IV族元素含有材料の層を前記基板に堆積することをさらに含む、
方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記基板を前記活性化された活性化ガスに曝露し、前記改質表面の少なくとも一部をエッチングすることにより、前記改質表面がイオン衝撃され、前記イオン衝撃は揮発性の副生成物を形成し、前記揮発性の副生成物は、ハロゲン、前記基板からの元素、ならびにシリコン、ゲルマニウム、炭素、チタン、およびスズのうちの少なくとも1つを含む複合体である、
方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記工程a)および前記工程b)は、同時に実行される、
方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
複数のサイクルの原子層エッチングプロセスにおいて、前記工程a)は前記工程b)の前に実行される、
方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記活性化された活性化ガスは、活性化ガスから形成されるプラズマ、および前記活性化ガスから形成されるイオンビームからなる群から選択される、
方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記工程b)は、前記工程a)中にイオンビームを供給することを含む、
方法。 - 請求項14に記載の方法であって、
前記イオンビームは、アルゴンのイオンビームである、
方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記基板は、金属材料の1つ以上の層を含み、前記1つ以上の層のうちの少なくとも1つの層の前記金属材料は、IV族遷移金属、V族遷移金属、VI族遷移金属、およびこれらの組み合わせからなる群から選択される、
方法。 - 請求項16に記載の方法であって、
前記基板の前記1つ以上の層のうちの少なくとも1つの材料は、誘電体材料を含む、
方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記基板上の1つ以上の層を反応性イオンエッチングによりエッチングすることをさらに含む、
方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記基板は、1つ以上の金属層、自由層、誘電体バリア層、および固定層を含み、前記誘電体バリア層は、前記自由層と前記固定層の間に設けられ、前記自由層、前記誘電体バリア層、および前記固定層は、前記1つ以上の金属層の間に設けられる、
方法。 - 基板のフィーチャをエッチングするための装置であって、
プラズマチャンバと、
前記プラズマチャンバにガスを供給するための供給システムと、
前記供給システムに前記ガスを供給するための1つ以上のガス源と、
少なくとも1つのRF発生器と、
前記1つ以上のガス源および前記少なくとも1つのRF発生器に制御可能に接続されたコントローラであって、
前記供給システムを制御して、シリコン、ゲルマニウム、炭素、チタン、およびスズからなる群から選択される元素を含むハロゲン含有ガスを、前記1つ以上のガス源から前記プラズマチャンバに流し、
前記少なくとも1つのRF発生器を制御して、前記1つ以上のガス源からプラズマを点火し、前記基板の表面を改質して改質表面を形成し、
前記供給システムを制御して、前記1つ以上のガス源から前記プラズマチャンバに活性化ガスを流し、
前記供給システムを制御して、前記1つ以上のガス源から前記プラズマチャンバに前記活性化ガスを流して、前記改質表面の少なくとも一部をエッチングするように構成された1つ以上のプロセッサを含むコントローラと、
を含む、装置。 - 請求項20に記載の装置であって、
前記1つ以上のガス源は、四塩化シリコンのガス源を含む、
装置。 - 請求項20に記載の装置であって、
前記1つ以上のガス源は、クロロシラン、ブロモシラン、ヨードシラン、ヒドロクロロシラン、およびフルオロシランのガス源のうちの少なくとも1つを含む、
装置。 - 請求項20に記載の装置であって、
バイアス電圧電源をさらに含み、
前記コントローラは、前記バイアス電圧電源を制御して、前記活性化ガスを活性化するようにさらに構成されている、
装置。 - 請求項20に記載の装置であって、
バイアス電圧電源をさらに含み、
前記コントローラは、前記バイアス電圧電源を制御して、前記プラズマの点火中にバイアスを印加するようにさらに構成されている、
装置。
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