JP2022183836A - 管継手解除方法及び治具 - Google Patents

Abstract

【課題】外側に雄ネジを持つ外管を端部に有する第１管と、該外管の内部に挿入された内管とフランジとを端部に有する第２管の継手を、狭い場所であっても容易に外すことができる方法及び治具を提供する。【解決手段】2以上の部分体２１ａ、２１ｂから成り、該2以上の部分体を結合したときに、外管の外側の雄ネジに適合する雌ネジを内壁に有する孔部２７と、回転駆動具が係合可能である係合部２８を有するスリーブ体２０を用いる。該スリーブ体２０の前記雌ネジが前記雄ネジに螺合するように前記外管の周囲で前記2以上の部分体２１ａ、２１ｂを結合してスリーブ体２０を形成し、それを前記回転駆動具により回転させることにより前記フランジを移動させ、前記内管を前記外管から引き抜く。【選択図】図２

Description

本発明は、半導体製造装置等の配管を接続する部分の取り外し方法及びそのための道具に関する。

半導体製造装置等では、パイプ内に所定温度の液体を流して装置の各部を冷却或いは加温することがある。このようなパイプの配管において、2本のパイプを接続する部分（継手）では、接続部からの液漏れを防ぐため、ゴム製やプラスチック製のＯリングや金属製の円環部材であるフェルールと呼ばれる部品が用いられる。

高温の液体や化学的に活性な液体が配管を流れる場合、ゴム製やプラスチック製のＯリングでは不十分であり、フェルールによるシールが行われる。フェルールを用いたシールでは、2本の配管の接続部において外側のパイプ（外管）と内側のパイプ（内管）の間の隙間に、先端がくさび状のフェルールをネジで押し込むことによりシールを行う（非特許文献１）。

特開2010-000552号公報

"合金 2507 スーパー・デュープレックス・ステンレス鋼製チューブ継手",スウェージロック社,[online],[令和3年4月30日検索],インターネット<https://www.swagelok.co.jp/downloads/webcatalogs/JP/MS-01-174.pdf>

フェルールを用いたシールを行う場合、シールを確実にするために、内管又は外管が塑性変形するまでフェルールを押し込むことがある。フェルールを押し込む際にはネジを締めることにより内管と外管の間に強く押し込むことができるが、メンテナンス等で配管を取り外す際に、そのネジを緩めてもフェルール自体は塑性変形した内管と外管の間に挟まったままとなっており、内管と外管を外すことが困難となっていることが多い。

特許文献１には、板材等の工作物の孔内に挿入されたボルトやスリーブ等の部品を引き抜くための装置や治具が開示されているが、これは支持フレームを使用するものであるため、作業スペースが狭い場合には使うことができない。

本発明はこのような課題を解決するために成されたものであり、その目的とするところは、強く固着した配管継手の内管と外管を、狭い場所であっても容易に外すことができる方法及び治具を提供するものである。

上記課題を解決するために成された本発明に係る、外側に雄ネジを持つ外管を端部に有する第１管と、該外管の内部に挿入された内管を端部に有する第２管の継手において前記内管を前記外管から抜く管継手解除方法は、
2以上の部分体から成り、該2以上の部分体を結合したときに、前記雄ネジに適合する雌ネジを内壁に有する孔部と、回転駆動具が係合可能である係合部を有するスリーブ体の前記雌ネジが前記雄ネジに螺合するように前記外管の周囲で前記2以上の部分体を結合してスリーブ体を形成する工程と、 前記スリーブ体を前記回転駆動具で回転させることにより、前記スリーブ体により、前記第２管に外軸方向に移動不可に設けられたフランジを押し、前記内管を前記外管から引き抜く工程
を含むことを特徴とする。

前記「第２管に外軸方向に移動不可に設けられたフランジ」とは、第１管と第２管が離れる方向には移動できないように第２管に設けられたフランジのことをいう。第１管側に移動可能であってもよいし、その方向にも移動不可であってもよい。また、周方向に回動可能であってもよいし、回動不可であってもよい。さらに、第２管に初めからそのように設けられているものであってもよいし、後に第２管にそのように設けられるものであってもよい。

本発明に係る方法によると、第１管と第２管が強固に結合されていても、回転駆動具でスリーブ体を回転し、第２管に設けられたフランジを押して第２管を第１管から分離する方向に移動させることにより、容易に、しかもまっすぐ引き抜くことができる。本発明に係る方法では、外管の外側の雄ネジにスリーブ体を取り付け、場合によってはさらに第２管にフランジを取り付けるだけであるため、作業スペースが狭い場合でも有効に実施することができる。

このような管継手解除方法に用いるスリーブ体は、前記のとおり、2以上の部分体から成り、該2以上の部分体を結合したときに、前記雄ネジに適合する雌ネジを内壁に有する孔部と、回転駆動具が係合可能である係合部を有するものである。

前記係合部は、多角形断面を有する柱状とすることができるが、一般的には六角ナットと同様の形態を有する六角柱形状とするのが望ましい。

或いは、外周に穴を開けただけのものであってもよい。このようなスリーブ体は図５(b)に示すようなレンチ（フックレンチ、フックスパナ、ピンスパナ等）で回転させることができる。

さらに、係合部は外周にローレット加工を施した円柱状であってもよい。この場合、回転駆動具としては摩擦レンチを用いる。外管と内管の結合が強くない場合は、手指を回転駆動具として、手でスリーブ体を回転させてもよい。この場合、本発明による、まっすぐ引き抜くことができるという効果が有効に働く。

本発明に係る方法では、内管と外管が強く固着されてしまった配管継手であっても、その外管から内管を、狭いスペースでも容易に引き抜くことができる。

本発明の一実施形態において取り外す対象となる継手の外観図(a)、及び、断面図(b)。 本発明の一実施形態であるスリーブ体の平面図(a)、及び、その結合方法を示す説明平面図(b)。 前記スリーブ体の一方の部分体の外側面図(a)、平面図(b)、及び、内側面図(c)。 取り外し対象継手に前記スリーブ体を取り付けた状態の側面図(a)、及び、前記スリーブ体を移動させ、第２管を第１管から抜き出す状態の側面図(b)。 本発明の別の実施形態であるスリーブ体の平面図(a)、及び、それを回転するためのレンチの平面図(b)。

以下、本発明の一実施形態であるスリーブ体について、図１～図４を参照しつつ説明する。本実施形態のスリーブ体が取り外す対象とする継手は図１(a)に示すように、第１管１１と第２管１２が接続されたものであり、その内部は図１(b)に示すように、第２管１２の先端に設けられた内管１４が第１管１１の先端部分である外管１３の内部に挿入された状態となっている。外管１３と内管１４の間には金属製のリングであるフェルール１５が密に介挿されており、これにより外管１３と内管１４の間の隙間は閉鎖され、第１管１１と第２管１２は気密又は液密に接続されている。外管１３の外側には、後に説明する両管１１、１２の取り外しの際に使用する雄ネジ１６が形成されている。また、第１管１１及び第２管１２にはそれぞれ第１フランジ１７及び第２フランジ１８が固定されている。第２フランジが本発明で言うフランジである。
第２フランジ１８は第２管１２の外径よりも大きな径を有する環状体である。第２フランジ１８と第２管１２とは一体成形品でも別体品でもよく、別体品の場合には本発明の管継手解除工程を実施する際に第２管１２と固定されていればよい。別体品である第２フランジ１８の一例としては結合型（或いは、分割型）スリーブ体が挙げられる。このスリーブ体は環状体を半分に切断したような形態の2個の部分体から成り、両部分体の両端にはそれぞれネジ取付穴及びネジ穴が設けられており、第２管１２の端部で両部分体を合わせた後、これらに小ネジを挿し込んでナットで固定することにより、スリーブ体が第２管１２の第２フランジ１８となる。

このように接続された第１管１１及び第２管１２を取り外す場合、その接続の密閉度が高いほど、両管１１，１２を取り外す、すなわち、外管１３から内管１４を引き抜くのに強い力が必要となる。また、外管１３から内管１４を引き抜く際、両者を正しく軸方向に引き抜く必要があり、内管１４を引き抜く方向が外管１３の軸方向とずれていると、引き抜くことが困難となるとともに、場合によっては両者の固着をより強固にしてしまう可能性がある。

そのため、本実施形態では、図２に示すような結合型（或いは、分割型）スリーブ体を用いる。本実施形態のスリーブ体２０は、六角ナットを半分に切断したような形態をしており、図２(a)に示すように、2個の部分体２１ａ及び２１ｂから成る。両部分体２１ａ、２１ｂはそれぞれ内側に半割の雌ネジ２２ａ、２２ｂを有しており（図３(c)）、両部分体２１ａ、２１ｂを合わせた状態では中央に完全な雌ネジが形成される。この雌ネジは、第１管１１の外管１３の外側に形成された雄ネジ１６に対応するものとなっている。

両部分体２１ａ、２１ｂの両端にはそれぞれネジ取付穴２３ａ、２３ｂ及びネジ穴２４ａ、２４ｂが設けられており、両部分体２１ａ、２１ｂを合わせた後、これらに小ネジ２５を挿し込んでナット２６で固定することにより、両部分体２１ａ、２１ｂは外管１３の雄ネジ１６に対応する1つのナットとなる。こうして1つのナットとなったスリーブ体２０の内部の孔２７が本発明の孔部であり、外側の六角形の部分２８が係合部である。

このスリーブ体２０を用いて第１管１１と第２管１２を外す手順を図４により説明する。まず、第１管１１の外管１３の雄ネジ１６に内側の雌ネジ２２ａ、２２ｂが合致するように、スリーブ体２０の両部分体２１ａ、２１ｂを外管１３の周囲に取り付け、それらを２本の小ネジ２５とナット２６で固定する（図４(a)）。そして、このスリーブ体２０をレンチ（回転駆動具。図示せず。）で回し、第２管１２の第２フランジ１８に当てる（図４(b)）。その後、更にスリーブ体２０を回すことにより、第２フランジ１８を第１管１１から離れる方向（図４では右側）に移動させる。これにより、第２管１２の先端の内管１４は外管１３からまっすぐ引き抜かれてゆく。こうして最終的に第２管１２と第１管１１が外れる。

本発明において、スリーブ体は必ずしも六角ナットの形状である必要はない。図５(a)に示すように、外周が円形であり、図５(b)に示すようなフックレンチ３１で回転するようなスリーブ体３０であってもよい。

図２(a)及び図５(a)の実施形態ではスリーブ体２０、３０はいずれも2分割されていたが、これは3分割以上となっていてもよい。

１１…第１管
１２…第２管
１３…外管
１４…内管
１５…フェルール
１６…雄ネジ
１７…第１フランジ
１８…第２フランジ
２０…スリーブ体
２１ａ…部分体
２２ａ…雌ネジ
２３ａ…ネジ取付穴
２４ａ…ネジ穴
２５…小ネジ
２６…ナット
２７…孔
２８…係合部
３０…スリーブ体
３１…フックレンチ

Claims (8)

1. 外側に雄ネジを持つ外管を端部に有する第１管と、該外管の内部に挿入された内管を端部に有する第２管の継手において前記内管を前記外管から抜く管継手解除方法であって、
   2以上の部分体から成り、該2以上の部分体を結合したときに、前記雄ネジに適合する雌ネジを内壁に有する孔部と、回転駆動具が係合可能である係合部を有するスリーブ体の前記雌ネジが前記雄ネジに螺合するように前記外管の周囲で前記2以上の部分体を結合してスリーブ体を形成する工程と、
   前記スリーブ体を前記回転駆動具で回転させることにより、前記スリーブ体により、前記第２管に外軸方向に移動不可に設けられたフランジを押し、前記内管を前記外管から引き抜く工程
   を含むことを特徴とする管継手解除方法。
2. 前記フランジが前記第２管に固定的に設けられているものである請求項１に記載の管継手解除方法。
3. 前記フランジが前記第２管に後付けで設けられるものである請求項１に記載の管継手解除方法。
4. 外側に雄ネジを持つ外管を端部に有する第１管と、該外管の内部に挿入された内管とフランジとを端部に有する第２管の継手において前記内管を前記外管から抜くために用いるスリーブ体であって、2以上の部分体から成り、該2以上の部分体を結合したときに、前記雄ネジに適合する雌ネジを内壁に有する孔部と、回転駆動具が係合可能である係合部を有することを特徴とするスリーブ体。
5. 六角ナットの形状を有する請求項４に記載のスリーブ体。
6. 前記係合部がフックレンチ用の穴である請求項４に記載のスリーブ体。
7. 前記係合部が、円柱状の外周に施されたローレット加工である請求項４に記載のスリーブ体。
8. 2の部分体から成る請求項４～７のいずれかに記載のスリーブ体。

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