JP2022134309A - ヒータ制御装置及び真空計 - Google Patents
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Abstract
【課題】ヒータが必要以上に高温となることを高い確度で抑制する。【解決手段】真空計10は、ヒータ12の温度を圧力センサ11の温度に基づいてフィードバック制御する制御回路22を備える。制御回路22は、第1温度センサ14が検出したヒータ12の温度が閾値S1よりも高くなったときに、トランジスタ21Cをオフして、ヒータ12の通電を強制的に遮断する。他方、真空計10の冗長化された第1及び第2リミット回路25及び26も、それぞれ個別に、第1温度センサ14が検出したヒータ12の温度を監視し、第1温度センサ14が検出したヒータ12の温度が閾値S2よりも高くなったときに、トランジスタ21A又は21Bをオフする。これによっても、ヒータ12の通電が強制的に遮断される。【選択図】図1
Description
本発明は、ヒータ制御装置及び真空計に関する。
圧力センサを有する真空計は、特許文献1が開示するように、圧力センサの外周面を取り囲むヒータを有することがある。このヒータは、真空計が備えるヒータ制御部により制御され、圧力センサ内を加熱(自己加熱)することにより、圧力センサ内のダイアフラムの周辺の温度を、汚染物質が析出することのない高温度に保つ。
上記ヒータ制御部は、ヒータの発熱を制御するが、このヒータ制御部が暴走してヒータの発熱を制御できなくなると、ヒータの温度が必要以上に高温となってしまう恐れがある。そこで、ヒータの温度が所定の温度よりも高温となったことを検出したときに、ヒータに電流が流れないようにして、ヒータがそれ以上発熱しないように制御するリミット回路を真空計に別途設けることが考えられる。しかし、当該リミット回路に不具合が生じた状態でそれに気づかず真空計が使用されると、ヒータ制御部の暴走が生じたときにリミット回路が動作せず、ヒータが必要以上に高温となってしまう恐れがある。なお、このようなことは、ヒータ一般に言えることでもある。
本発明は、ヒータが必要以上に高温となることを高い確度で抑制することを課題とする。
上記課題を解決するため、本発明の第1の観点に係るヒータ制御装置は、ヒータに流れる電流を制御することで前記ヒータの温度を制御するように構成された制御回路と、第1温度センサにより検出された前記ヒータの温度が第1閾値を超えたときに前記ヒータに前記電流を流さないように動作する第1リミット回路と、前記第1温度センサにより検出された前記温度が前記第1閾値を超えたときに前記ヒータに前記電流を流さないように動作する、前記第1リミット回路を冗長化した第2リミット回路と、を備える。
前記制御回路は、前記第1温度センサにより検出された前記温度が第2閾値を超えたときに前記ヒータに電流を流さない制御を行う、ようにしてもよい。
前記ヒータ制御装置は、前記電流の電流路上に設けられ、前記第1リミット回路が出力した信号に基づいて前記電流が流れないオフ状態に切り替わる第1スイッチング素子と、前記電流路上に設けられ、前記第2リミット回路が出力した信号に基づいて前記電流が流れないオフ状態に切り替わる第2スイッチング素子と、前記電流路上に設けられ、前記制御回路が出力した信号に基づいて前記電流が流れないオフ状態に切り替わる第3スイッチング素子と、をさらに備える、ようにしてもよい。
前記ヒータ制御装置は、前記電流路上に配置され、前記第1リミット回路からのオフ信号に基づいて前記電流路に電流が流れないオフ状態に切り替わる第4スイッチング素子と、前記電流路上に配置され、前記制御回路からの信号及び前記第2リミット回路からの信号のうち少なくとも一方がオフ信号である場合に前記電流路に電流が流れないオフ状態に切り替わる第5スイッチング素子と、をさらに備える、ようにしてもよい。
前記ヒータ制御装置は、前記制御回路からの信号及び前記第2リミット回路からの信号のうち少なくとも一方がオフ信号である場合にオフ信号を出力する論理ゲート素子をさらに備え、前記第5スイッチング素子は、前記論理ゲート素子から前記オフ信号が入力されたときに前記オフ状態に切り替わる、ようにしてもよい。
上記課題を解決するため、本発明の第2の観点に係る真空計は、上記のヒータ制御装置と、前記ヒータと、前記ヒータにより加熱される隔膜式の圧力センサと、を備え、前記制御回路は、前記圧力センサの温度が所定の温度となるように前記ヒータの発熱を制御する。
本発明によれば、ヒータが必要以上に高温となることが高い確度で抑制される。
(第1実施形態)
以下、本発明の第1実施形態に係る真空計10について、図面を参照して説明する。真空計10は、隔膜真空計として形成されている。
以下、本発明の第1実施形態に係る真空計10について、図面を参照して説明する。真空計10は、隔膜真空計として形成されている。
真空計10は、圧力センサ11と、ヒータ12と、ヒータ電源回路13と、第2温度センサ15と、第1温度センサ14と、ヒータ制御装置20と、を備えている。
圧力センサ11は、内部に真空室を備え、真空室の気圧と、測定対象の部屋の気圧との差圧をダイアフラムの変位により検出する隔膜式の圧力センサである。測定対象の気圧としては、例えば、半導体製造装置の真空チャンバ内の気圧等が挙げられる。
ヒータ12は、発熱することで圧力センサ11を加熱する。この加熱により、圧力センサ内のダイアフラムの周辺の温度が、測定対象の部屋(真空チャンバ等)から圧力センサ11内部に導入されるガスに含まれる汚染物質が析出されることのない高温度に保たれる。ヒータ12は、シーズヒータ等を含んで構成されるバンドヒータなどである。ヒータ12は、ヒータ電源回路13から供給されるヒータ電流が流れること、つまり、通電することで発熱し、圧力センサ11を加熱する。ヒータ電流の通電/非通電は、ヒータ制御装置20により制御される。
ヒータ電源回路13には、不図示の外部電源から入力される電圧をヒータ12に印加する。後述のように、ヒータ制御装置20が、ヒータ12にヒータ電流を流す制御を行っているとき、ヒータ電源回路13は、印加電圧に応じたヒータ電流をヒータ12に流す。これにより、ヒータ12は発熱し、圧力センサ11を加熱する。
第1温度センサ14は、ヒータ12の所定箇所に設けられ、ヒータ12の温度を検出し、検出した温度をヒータ制御装置20に出力する。第2温度センサ15は、圧力センサ11の内部又は外周面に設けられて、圧力センサ11の温度を検出し、検出した温度をヒータ制御装置20に出力する。第1及び第2温度センサ14及び15それぞれは、温度を電圧値に変換する熱電対、サーミスタ等の素子を含んで構成され、ここでは温度を示す電圧値を出力することで、前記の温度を検出及び出力する。
ヒータ制御装置20は、ヒータ12に流れるヒータ電流を制御することでヒータ12の発熱を制御してヒータ12の温度を制御する。ヒータ制御装置20は、トランジスタ21A~21Cと、制御回路22と、ADC(Analog to Digital Converter)23及び24と、第1及び第2リミット回路25及び26と、を備える回路構成を有する。
トランジスタ21A~21Cは、ヒータ12にヒータ電源回路13からのヒータ電流を流す/流さないを切り替えるスイッチング素子である。トランジスタ21A~21Cそれぞれは、FET(Field effect transistor)からなる。
トランジスタ21Aのドレインは、一端がヒータ電源回路13に接続されたヒータ12の他端に接続されている。トランジスタ21Aのソースは、トランジスタ21Bのドレインに接続されている。トランジスタ21Bのソースは、トランジスタ21Cのドレインに接続されている。トランジスタ21Cのソースは、グランドに接続されている。このような接続により、トランジスタ21A~21Cは、ヒータ電源回路13から前記のグランドに向かって流れるヒータ電流の電流路R1上に設けられる。そして、トランジスタ21A~21Cすべてがオン状態になっているときのみ、ヒータ12にヒータ電流が流れることができ、ヒータ12が発熱できる。
トランジスタ21Cのゲートには、ヒータ12に流れる電流を制御する制御回路22が接続されている。制御回路22は、CPU(Central Processing Unit)等のプロセッサから構成される。制御回路22は、不図示の記憶部に記録されたプログラムを実行することで、かつ、当該記憶部に記憶されたデータに基づいて動作する。上記プロセッサは、前記の記憶部を含むマイクロコンピュータ等であってもよい。制御回路22は、各種の論理回路であってもよい。
制御回路22には、ADC23が接続されている。ADC23は、第2温度センサ15が検出及び出力した圧力センサ11の温度(電圧値)を、デジタルデータに変換して制御回路22に供給する。制御回路22は、ADC23からの温度つまり圧力センサ11の温度が予め設定された目標温度となるよう、オン信号(例えば、High信号)又はオフ信号(例えば、Low信号)をトランジスタ21Cに出力してトランジスタ21Cのオン/オフを制御する。制御回路22は、例えば、PID(Proportional-Integral-Differential)制御等のフィードバック制御により、トランジスタ21Cのオン/オフする。
制御回路22には、ADC24も接続されている。ADC24は、第1温度センサ14が検出及び出力したヒータ12の温度(電圧値)を、デジタルデータに変換して制御回路22に供給する。制御回路22は、ADC24からの温度が閾値S1を超えたかを判定する。当該温度が閾値S1を超えた場合、ヒータ12の温度が必要以上に高くなっていることになるので、制御回路22は、上記フィードバック制御に優先して、トランジスタ21Cにオフ信号(例えば、Low信号)を供給し、トランジスタ21Cをオフする。これにより、ヒータ12の通電が遮断され、ヒータ12の発熱が停止する。
トランジスタ21Aのゲートには、第1リミット回路25が接続されている。トランジスタ21Bのゲートには、第2リミット回路26が接続されている。
第1リミット回路25及び第2リミット回路26は、同じ回路構成を有しており、第2リミット回路26は第1リミット回路25を冗長化した回路である。両回路25及び26には、第1温度センサ14が検出したヒータ12の温度が入力される。両回路25及び26それぞれは、入力された温度と閾値S2とを比較する。なお、閾値S2は、閾値S1と同じでもよいし、異なる値(特に、閾値S1よりも高い値)であってもよい。
第1リミット回路25は、入力されたヒータ12の温度が閾値S2以下であるとき、つまり、ヒータ12の温度が正常範囲内であるとき、トランジスタ21Aのゲートにオン信号(例えば、High信号)を供給し、トランジスタ21Aをオンする。第1リミット回路25は、入力された圧力センサ11の温度が閾値S2を超えたとき、つまり、ヒータ12の温度が必要以上に高いとき、トランジスタ21Aのゲートにオフ信号を供給し、トランジスタ21Aをオフする。トランジスタ21Aがオフとなることで、ヒータ12の通電が遮断され、ヒータ12の発熱が停止する。
第1リミット回路25と同様に第2リミット回路26は、入力されたヒータ12の温度が閾値S2以下であるとき、トランジスタ21Bのゲートにオン信号を供給し、トランジスタ21Bをオンする。第2リミット回路26は、入力された圧力センサ11の温度が閾値S2を超えたとき、トランジスタ21Bのゲートにオフ信号を供給し、トランジスタ21Bをオフする。トランジスタ21Bがオフとなることで、ヒータ12の通電が遮断され、ヒータ12の発熱が停止する。
以上説明したように、本第1実施形態では、制御回路22によりヒータ12の温度が圧力センサ11の温度に基づいてフィードバック制御される。そして、制御回路22は、第1温度センサ14が検出したヒータ12の温度が閾値S1よりも高くなったときに、トランジスタ21Cをオフして、ヒータ12の通電を強制的に遮断する。他方、冗長化された第1及び第2リミット回路25及び26も、それぞれ個別に、第1温度センサ14が検出したヒータ12の温度を監視し、第1温度センサ14が検出したヒータ12の温度が閾値S2よりも高くなったときに、トランジスタ21B又は21Cをオフする。これによっても、ヒータ12の通電が強制的に遮断される。このような構成により、第1及び第2リミット回路25及び26のどちらか一方が故障してリミット機能が働かなくなり、それにユーザーが気づかずに制御回路22が暴走しても、他方によって、ヒータ12の通電を強制的に遮断できる。以上のように、第1実施形態によれば、リミット回路が冗長化されずに1つの場合よりも、正常に動作するリミット回路が残る可能性が高く、ヒータ12が必要以上に高温となることが高い確度で抑制される。
(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態に係る真空計50について、図2を参照して説明する。以下の説明では、第1実施形態と異なる部分を中心にして説明し、第1実施形態と重複する説明については適宜省略する。特に、第1実施形態と同じ又は同様の部材又は回路については、同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。
次に、本発明の第2実施形態に係る真空計50について、図2を参照して説明する。以下の説明では、第1実施形態と異なる部分を中心にして説明し、第1実施形態と重複する説明については適宜省略する。特に、第1実施形態と同じ又は同様の部材又は回路については、同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。
図2に示すように、真空計50は、第1実施形態のヒータ制御装置20の代わりにヒータ制御装置60を有する。ヒータ制御装置60は、ヒータ制御装置20が有するトランジスタ21Cを有さない代わりに、論理ゲート素子67を有する。論理ゲート素子67は、ここでは、AND素子である。論理ゲート素子67には、制御回路22から出力される上述のオン又はオフ信号と、第2リミット回路26から出力される上述のオン又はオフ信号と、が入力される。論理ゲート素子67は、これら信号の論理積を取り、論理積の結果を示すオン又はオフ信号をトランジスタ21Bに出力する。論理ゲート素子67は、制御回路22及び第2リミット回路26の両者からオン信号が入力されたときは、オン信号をトランジスタ21Bに出力する。論理ゲート素子67は、制御回路22及び第2リミット回路26のうちの少なくとも一方からオフ信号が入力されたとき、つまり、制御回路22からPID制御によるオフ信号が入力されたとき、又は、第1温度センサ14からのヒータ12の温度が閾値S1又はS2を超えたときに制御回路22又は第2リミット回路26からオフ信号が入力されたときに、オフ信号をトランジスタ21Bに出力する。これにより、ヒータ12の通電が遮断される。
以上のような構成により、上記第1実施形態と同様に、ヒータ12が必要以上に高温となることが高い確度で抑制される。さらに、第2実施形態では、第1実施形態に比べて、トランジスタ21Cが削減され、その代わりに論理ゲート素子67が追加されている。一般に、AND素子等の論理ゲート素子は、トランジスタ(特にFET)に比べて安価でありかつ故障し難い。従って、第2実施形態のヒータ制御装置60は、第1実施形態のヒータ制御装置20に比べて、安価に形成でき、かつ、ヒータ制御装置全体の故障率が低い。
(変形例)
上記第1実施形態及び第2実施形態について種々の変更を施してもよい。例えば、本発明は、真空計以外の装置のヒータを対象とした装置に適用してもよい。第1及び第2リミット回路25及び26は、それぞれ、例えば、第1温度センサ14により検出されたヒータ12の温度が第1閾値を超えたときにヒータ12に電流を流さないように動作するように構成されればよい。制御回路22は、例えば、ヒータ12に流れる電流を制御するほか、第1温度センサ14により検出されたヒータ12の温度が第2閾値(上記第1閾値と同じでもよい)を超えたときにヒータ12に電流を流さない制御を行うように構成されていればよい。このように構成される各回路の回路構成は、上記実施の形態に限らず任意である。
上記第1実施形態及び第2実施形態について種々の変更を施してもよい。例えば、本発明は、真空計以外の装置のヒータを対象とした装置に適用してもよい。第1及び第2リミット回路25及び26は、それぞれ、例えば、第1温度センサ14により検出されたヒータ12の温度が第1閾値を超えたときにヒータ12に電流を流さないように動作するように構成されればよい。制御回路22は、例えば、ヒータ12に流れる電流を制御するほか、第1温度センサ14により検出されたヒータ12の温度が第2閾値(上記第1閾値と同じでもよい)を超えたときにヒータ12に電流を流さない制御を行うように構成されていればよい。このように構成される各回路の回路構成は、上記実施の形態に限らず任意である。
トランジスタ21A~21Cは、それぞれ、バイポーラトランジスタ等の他の各種のスイッチング素子に変更可能である。スイッチング素子それぞれは、例えば、ヒータ12に流れるヒータ電流の電流路R1上に配置され、第1リミット回路25、第2リミット回路26、制御回路22、又は、論理ゲート素子67からの信号(オフ信号等)に基づいて電流路R1ないしヒータ12に電流が流れないオフ状態に切り替わる素子であればよい。トランジスタ21Bは、例えば、第2実施形態のように、制御回路22からの信号及び第2リミット回路26からの信号のうち少なくとも一方がオフ信号である場合に電流路R1ないしヒータ12に電流が流れないオフ状態に切り替わるスイッチング素子であればよい。論理ゲート素子67は、例えば、例えば、制御回路22からの信号及び第2リミット回路26からの信号が入力され、両信号のうち少なくとも一方がオフ信号である場合にオフ信号をトランジスタ21B等のスイッチング素子に出力する素子であればよい。
以上、実施の形態及び変形例を参照して本発明を説明したが、本発明は、上記の実施の形態及び変形例に限定されるものではない。例えば、本発明には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る、上記の実施の形態及び変形例に対する様々な変更が含まれる。上記実施の形態及び変形例に挙げた各構成は、矛盾の無い範囲で適宜組み合わせることができる。
10…真空計、11…圧力センサ、12…ヒータ、13…ヒータ電源回路、14…第1温度センサ、15…第2温度センサ、20…ヒータ制御装置、21A~21C…トランジスタ、22…制御回路、23,24…ADC、25…第1リミット回路、26…第2リミット回路、50…真空計、60…ヒータ制御装置、67…論理ゲート素子、R1…電流路。
Claims (6)
- ヒータに流れる電流を制御することで前記ヒータの温度を制御するように構成された制御回路と、
第1温度センサにより検出された前記ヒータの温度が第1閾値を超えたときに前記ヒータに前記電流を流さないように動作する第1リミット回路と、
前記第1温度センサにより検出された前記温度が前記第1閾値を超えたときに前記ヒータに前記電流を流さないように動作する、前記第1リミット回路を冗長化した第2リミット回路と、
を備えるヒータ制御装置。 - 前記制御回路は、前記第1温度センサにより検出された前記温度が第2閾値を超えたときに前記ヒータに電流を流さない制御を行う、
請求項1に記載のヒータ制御装置。 - 前記電流の電流路上に設けられ、前記第1リミット回路が出力した信号に基づいて前記電流が流れないオフ状態に切り替わる第1スイッチング素子と、
前記電流路上に設けられ、前記第2リミット回路が出力した信号に基づいて前記電流が流れないオフ状態に切り替わる第2スイッチング素子と、
前記電流路上に設けられ、前記制御回路が出力した信号に基づいて前記電流が流れないオフ状態に切り替わる第3スイッチング素子と、
をさらに備える請求項1又は2に記載のヒータ制御装置。 - 前記電流路上に配置され、前記第1リミット回路からのオフ信号に基づいて前記電流路に電流が流れないオフ状態に切り替わる第4スイッチング素子と、
前記電流路上に配置され、前記制御回路からの信号及び前記第2リミット回路からの信号のうち少なくとも一方がオフ信号である場合に前記電流路に電流が流れないオフ状態に切り替わる第5スイッチング素子と、
をさらに備える請求項1又は2に記載のヒータ制御装置。 - 前記制御回路からの信号及び前記第2リミット回路からの信号のうち少なくとも一方がオフ信号である場合にオフ信号を出力する論理ゲート素子をさらに備え、
前記第5スイッチング素子は、前記論理ゲート素子から前記オフ信号が入力されたときに前記オフ状態に切り替わる、
請求項4に記載のヒータ制御装置。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載のヒータ制御装置と、
前記ヒータと、
前記ヒータにより加熱される隔膜式の圧力センサと、を備え、
前記制御回路は、前記圧力センサの温度が所定の温度となるように前記ヒータの発熱を制御する、
真空計。
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