JP2022103768A - 部品装着システムおよび部品装着装置ならびに判定方法 - Google Patents

Abstract

【課題】搬送されたトレイに収容された部品の収容状態を適切に判定することができる部品装着システムおよび部品装着装置ならびに判定方法を提供する。【解決手段】搬送装置により搬送されたパレットが保持するトレイに収容された部品の収容状態に異常がないかの判定を行う判定方法は、搬送装置によるパレットの搬送時にトレイ内の部品の収容状態に異常が生じた可能性があることを示す警告情報を取得し、警告情報を取得した場合に（ＳＴ２２においてＹｅｓ）、トレイ内の部品の収容状態に異常がないかの判定を行う（ＳＴ２３～ＳＴ２４）。【選択図】図１８

Description

本発明は、トレイに収容された部品を基板に装着する部品装着システムおよび部品装着装置ならびにトレイに収容された部品の収容状態の判定方法に関する。

基板に部品を装着する部品装着装置に対して部品を供給する部品供給装置として、トレイに収容された部品を供給するトレイフィーダが広く用いられている。また、部品装着装置などの製造装置が設置されたフロアの省人化、無人化の取り組みとして、製造装置で使用される部材（被搬送物）を自動で搬送、供給する技術が開発されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１には、部品を収容した複数のトレイを載置して保持するカートと無人搬送車を連結し、無人搬送車でカートを製造装置の前まで移動させて、カートに保持されたトレイを製造装置に供給することが開示されている。

特開２０１９－９１７７０号公報

しかしながら、特許文献１を含む従来技術では、無人搬送車によって被搬送物を製造装置に供給することができるものの、フロアの状態に起因して、次のような問題点があった。すなわち、無人搬送車が走行する搬送経路が上下に波打つ地点を通過したり、ネジやゴミなどの落下物やフロアの継ぎ目を乗り越えたりした際に、無人搬搬送車やカートが跳ねてトレイから部品がこぼれ落ちることがある。このように部品がこぼれ落ちた可能性があるトレイを使用して部品装着を行うと、装着ミスで部品装着装置による装着作業が停止したり、装着品質が低下したりする可能性があり、このような問題を未然に防止するためにはさらなる改善の余地があった。

そこで本発明は、搬送されたトレイに収容された部品の収容状態を適切に判定することができる部品装着システムおよび部品装着装置ならびに判定方法を提供することを目的とする。

本発明の部品装着システムは、基板に部品を装着する部品装着システムであって、前記基板に部品を装着する部品装着装置と、トレイに収容された部品を前記部品装着装置に供給する部品供給装置と、前記トレイを保持するパレットを収納するパレット収納部を有し、前記部品供給装置へと前記パレットを供給する保管装置と、前記保管装置へと前記パレットを搬送する搬送装置と、を備え、前記部品装着装置、前記部品供給装置、または前記保管装置は、前記搬送装置による前記パレットの搬送時に前記トレイ内の部品の収容状態に異常が生じた可能性があることを示す警告情報を取得する第１情報取得部と、前記トレイ内の部品を撮像する撮像部と、前記警告情報が取得された場合に、前記撮像部による前記トレイ内の部品の撮像結果に基づいて前記収容状態に異常があるかの判定を行う異常判定部と、を有する。

本発明の部品装着装置は、部品供給装置から供給されるトレイに収容された部品を基板に装着する部品装着装置であって、搬送装置による前記トレイを保持するパレットの保管装置への搬送時に前記トレイ内の部品の収容状態に異常が生じた可能性があることを示す警告情報を取得する第１情報取得部と、前記トレイ内の部品を撮像する撮像部と、前記警告情報が取得された場合に、前記撮像部による前記トレイ内の部品の撮像結果に基づいて、前記トレイ内の部品の収容状態に異常があるかの判定を行う異常判定部と、を有する。

本発明の判定方法は、搬送装置により搬送されたパレットが保持するトレイに収容された部品の収容状態に異常がないかの判定を行う判定方法であって、前記搬送装置による前記パレットの搬送時に前記トレイ内の部品の収容状態に異常が生じた可能性があることを示す警告情報を取得し、前記警告情報を取得した場合に、前記トレイ内の部品の収容状態に異常がないかの判定を行う。

本発明によれば、搬送されたトレイに収容された部品の収容状態を適切に判定することができる。

本発明の一実施の形態の部品装着システムを含むフロアの構成説明図 本発明の一実施の形態の部品装着システムが備える部品装着ラインを含むフロアの構成説明図 本発明の一実施の形態の部品供給装置と保管装置が装着された部品装着装置と搬送装置の構成説明図 本発明の一実施の形態の（ａ）トレイマガジンの構成説明図（ｂ）（ｃ）部品を収容するトレイの部分断面図 本発明の一実施の形態の部品供給装置と保管装置の構成を示す側面図 本発明の一実施の形態の保管装置の構成を示す正面図 （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態の保管装置においてパレットを第２保持部から第１保持部に移動する工程の説明図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態の保管装置のトレイマガジンを搬送装置が搬送してきたトレイマガジンと交換する工程の説明図 本発明の一実施の形態の搬送システムが備える管理コンピュータの構成を示すブロック図 本発明の一実施の形態の搬送システムが備える搬送装置の構成を示すブロック図 本発明の一実施の形態の搬送システムで使用される被搬送物情報の例を示す図 本発明の一実施の形態の部品装着ラインが設置されたフロアに設定された搬送経路の例を示す図 本発明の一実施の形態の部品装着ラインが設置されたフロアにおいて警告地点が検出された搬送経路の例を示す図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態の搬送システムで使用される経路情報の例を示す図 本発明の一実施の形態の搬送方法のフロー図 本発明の一実施の形態の補給方法のフロー図 本発明の一実施の形態の部品供給装置と保管装置が取り付けられた部品装着装置の構成を示すブロック図 本発明の一実施の形態の判定方法のフロー図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態の部品供給装置と保管装置の他の実施例の構成説明図

以下に図面を用いて、本発明の一実施の形態を詳細に説明する。以下で述べる構成、形状等は説明のための例示であって、部品装着システム、管理コンピュータ、部品装着ライン、部品装着装置、部品供給装置、保管装置、搬送装置の仕様に応じ、適宜変更が可能である。以下では、全ての図面において対応する要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図２、および後述する一部では、水平面内で互いに直交する２軸方向として、基板搬送方向のＸ軸（図１における左右方向）、基板搬送方向に直交するＹ軸（図１における左右方向）が示される。また、図２、および後述する一部では、水平面と直交する高さ方向としてＺ軸（図２における上下方向）が示される。

まず図１を参照して、部品装着システム１の構成を説明する。部品装着システム１は、フロアＦに設置された３本の部品装着ラインＬ１～Ｌ３が有線または無線の通信ネットワーク２によって接続され、管理コンピュータ３によって管理される構成となっている。各部品装着ラインＬ１～Ｌ３は、後述するように部品装着装置を含む複数の製造装置を連結して構成され、基板に部品を装着した実装基板を生産する機能を有している。なお、部品装着システム１が備える部品装着ラインＬ１～Ｌ３は３本である必要はなく、１本、２本及び４本以上でも良い。

フロアＦには、部品装着ラインＬ１～Ｌ３が備える部品装着装置に補給される部品や、印刷装置に補給されるクリームはんだなどの部材が収納される収納棚４が設置されている。部品は、トレイの上に載置された状態や、キャリアテープに保持されてリールに巻回収納された状態で、収納棚４の所定の保管棚に保管されている。収納棚４に収納されている部品の位置は、保管される部品名、トレイ番号、リール番号などに紐付けられて管理コンピュータ３によって管理されている。

図１、図２において、フロアＦの天井Ｆａには、複数（ここでは８台）の撮影装置Ｓ１～Ｓ８が設置されている。撮影装置Ｓ１～Ｓ８は、それぞれ通信ネットワーク２によって管理コンピュータ３と接続されている。撮影装置Ｓ１～Ｓ８はカメラを有する撮影部を備えており、撮影部によってフロアＦで作業する作業者Ｗや搬送装置Ｑを撮影し、撮影データを管理コンピュータ３に送信する。撮影装置Ｓ１～Ｓ８は、いずれかの撮影装置Ｓ１～Ｓ８によって、フロアＦで作業する作業者Ｗや搬送装置Ｑが撮影できるように台数および設置位置が設定される。

図１において、フロアＦで作業する作業者Ｗは情報端末５を携帯している。情報端末５は、スマートフォンやタブレットＰＣなどであり、管理コンピュータ３が備える管理側通信部３ａと無線で通信して情報の授受を行う端末側通信部６、表示機能と入力機能を有するタッチパネル７を備えている。情報端末５は、管理コンピュータ３から受信した各種情報を表示処理してタッチパネル７に表示する。また、情報端末５は、タッチパネル７から入力された各種情報などを管理コンピュータ３に送信する。

図１において、フロアＦには、部品（トレイ、リール）や部材などの被搬送物を搬送し、製造装置に補給する搬送装置Ｑ（搬送ロボット）が稼働している。図１、図３に示す搬送装置Ｑは、被搬送物を搭載する被牽引車Ｃと、被牽引車Ｃを牽引する自動搬送車Ｖを備えて構成されている。被牽引車Ｃは、搬送する被搬送物に対応して異なる種類が用意されている。自動搬送車Ｖは、管理コンピュータ３から送信される情報に従って、被牽引車Ｃを牽引してフロアＦ内を移動する。

被牽引車Ｃには、３軸方向（ＸＹＺ軸）の加速度を計測する加速度センサや、６軸方向の加速度を計測するジャイロセンサなどを備える加速度計Ａが設置されている。なお、加速度計Ａは、被牽引車Ｃに搭載される被搬送物に設置するようにしてもよい。加速度計Ａによる計測結果は、無線により管理コンピュータ３に送信される。または、加速度計Ａによる計測結果を、計測時間と関連付けて搬送装置Ｑが備える記憶装置（ロガー）に一時的に記憶し、計測後に管理コンピュータ３に計測結果を転送するようにしてもよい。

なお、図１、図３に示す搬送装置Ｑは、自動搬送車Ｖが被牽引車Ｃを牽引するトレーラタイプであったが、搬送装置Ｑは自動搬送車Ｖと被牽引車Ｃが一体構成されたトラックタイプであってもよい。このように、製造装置が設置されたフロアＦにおいて用いられる被搬送物を搬送する搬送装置Ｑには、加速度を計測する加速度計Ａが設置されている。

次に図２を参照して、部品装着ラインＬ１～Ｌ３の詳細な構成を説明する。部品装着ラインＬ１～Ｌ３は同様の構成をしており、以下、部品装着ラインＬ３について説明する。図２は、部品装着ラインＬ３が設置されたフロアＦ内をフロント側（図１における下方側）から見た概略図である。部品装着ラインＬ３には、基板搬送方向（Ｘ軸）の上流（紙面左側）から下流（紙面右側）に向けて、基板供給装置Ｍ１、印刷装置Ｍ２、印刷検査装置Ｍ３、部品装着装置Ｍ４，Ｍ５、装着検査装置Ｍ６、リフロー装置Ｍ７、基板回収装置Ｍ８などの製造装置が直列に連結されている。

基板供給装置Ｍ１は、収納部に収納する複数の基板を下流の装置に供給する。印刷装置Ｍ２は、スクリーンマスクを介して基板にクリームはんだを印刷する。印刷検査装置Ｍ３は、基板に印刷されたクリームはんだの印刷状態を検査する。部品装着装置Ｍ４，Ｍ５は、基板に部品を装着する。装着検査装置Ｍ６は、基板に装着された部品の装着状態を検査する。リフロー装置Ｍ７は、基板を加熱して基板の電極部と部品の端子とをはんだ接合させる。基板回収装置Ｍ８は、リフロー後の基板を収納部に回収する。このように、フロアＦには、基板に対して所定の作業を行う１以上の製造装置が設置されている。

次に図３を参照して、部品装着装置Ｍ５の詳細について説明する。図３は、部品装着装置Ｍ５をリア側（図１における上方側）から見た概略図である。部品装着装置Ｍ５のフロント側とリア側の両側（Ｙ軸の前後方向）には、それぞれ部品供給部１１が設置されている。リア側の部品供給部１１には、複数のテープフィーダ１２がＸ軸に沿って並列に装着された台車１３が取り付けられている。台車１３には、部品を格納したキャリアテープ１４を巻回状態で収納するリール１５が保持されている。キャリアテープ１４は、ベーステープに形成された複数のポケットにそれぞれ部品を格納し、カバーテープでポケットを封止した構成をしている。

リール１５から引き出されたキャリアテープ１４は、テープフィーダ１２に装着される。テープフィーダ１２は、装着されたキャリアテープ１４を内部でピッチ送りしながら、カバーテープを剥離してポケットに格納された部品を部品装着装置Ｍ５に供給する。部品補給の際には、テープフィーダ１２に新たなキャリアテープ１４が装着され、または部品供給中のキャリアテープ１４の後端に新たなキャリアテープ１４が継合される。補給される部品を格納したキャリアテープ１４（被搬送物）は、リール１５に収納された状態で搬送装置Ｑによって搬送される。以下、リール１５に収納されたキャリアテープ１４に格納され、テープフィーダ１２によって部品装着装置Ｍ４，Ｍ５に供給される部品を「テープ部品」と称する。

図３において、リア側の部品供給部１１には、パレット１６の上面に保持されたトレイ１７に収容された部品を部品装着装置Ｍ５に供給する部品供給装置２１が取り付けられている。また、部品供給装置２１のリア側には、部品供給装置２１へとパレット１６を供給する保管装置２２が取り付けられている。保管装置２２には、部品装着装置Ｍ５に供給する部品が収容されたトレイ１７を保持する複数のパレット１６が保管されている。保管装置２２に保管されるパレット１６は、複数のパレット収容部１９（図４（ａ）参照）を有するトレイマガジン２０に収納（保管）された状態で、保管装置２２に補給され、また回収される。保管装置２２のリア側には、トレイマガジン２０を交換するためのマガジン交換用窓２３が配置されている。

部品装着装置Ｍ５に部品を供給して空となったトレイ１７を保持するパレット１６を収容するトレイマガジン２０（以下、「回収マガジン」と称する）は、マガジン交換用窓２３から取り出される。そして、部品を収容するトレイ１７を保持するパレット１６を収容するトレイマガジン２０（以下、「補給マガジン」と称する）は、マガジン交換用窓２３から保管装置２２に補給される。補給マガジンは、搬送装置Ｑによって搬送される被搬送物である。トレイマガジン２０の交換は、作業者Ｗにより、または、自動補給装置３８（図８参照）を備えた搬送装置Ｑにより行われる。以下、パレット１６に保持されたトレイ１７に格納され、部品供給装置２１によって部品装着装置Ｍ４，Ｍ５に供給される部品を「トレイ部品」と称する。

図３において、保管装置２２のリア側には、ドッキング部２４が配置されている。補給マガジンに収容された状態で搬送されるパレット１６を保管装置２２に自動で補給する自動補給装置３８を有する搬送装置Ｑは、ドッキング部２４に結合された状態で、マガジン交換用窓２３を介して回収マガジンを回収し、補給マガジンを保管装置２２に補給する。このように、パレット１６は、トレイマガジン２０に保管された状態で搬送装置Ｑにより保管装置２２まで搬送される。保管装置２２は、パレット１６を保管するトレイマガジン２０を収納する。そして、保管装置２２は、トレイ１７を保持するパレット１６を収納するパレット収納部１９を有し、部品供給装置２１へとパレット１６を供給する。

図４において、トレイ１７の上面には、トレイ部品を収容する複数の収容部１８が形成されている。トレイ１７は、収容する部品のサイズ、形状に対応して収容部１８が形成された複数の種類が用意されている。例えば、図４（ｂ）に示す、大型の部品Ｐ１を収容するトレイ１７Ａには、大きくて深い収容部１８Ａが形成されている。また、図４（ｃ）に示す、小型の部品Ｐ２を収容するトレイ１７Ｂには、小さくて浅い収容部１８Ｂが形成されている。

次に図５、図６を参照して、部品供給装置２１と保管装置２２の詳細について説明する。保管装置２２は、パレット供給部２２Ａとパレットストック部２２Ｂから構成されている。パレット供給部２２Ａは部品供給装置２１のリア側に配置されている。パレットストック部２２Ｂは、パレット供給部２２Ａのリア側に配置されている。パレット供給部２２Ａには、複数のパレット１６を保持する複数のパレット収納部１９を上下に有する第１保持部２５が配置されている。部品供給装置２１には、第１保持部２５のパレット収納部１９のフロント側からパレット１６を引き出して、トレイ１７に収容された部品を部品装着装置Ｍ５に供給する部品取り出し位置まで移動させる第１パレット移動部２６が配置されている。

パレットストック部２２Ｂには、複数のパレット１６を保持する複数のパレット収納部１９を上下に有する第２保持部２７が配置されている。第２保持部２７のうち、マガジン交換用窓２３が形成されている部分はトレイマガジン２０を出し入れ可能なマガジン保持部２８となっている。マガジン保持部２８の下部には、トレイマガジン２０を保持し、結合された搬送装置Ｑとの間でトレイマガジン２０の受け渡しを行うマガジン移動部２９が配置されている。

パレットストック部２２Ｂにおいて、第１保持部２５のリア側であって、第２保持部２７の横の位置には第２パレット移動部３０が配置されている。第２パレット移動部３０は、第２保持部２７のパレット収納部１９からパレット１６を引き出して、第１保持部２５のパレット収納部１９にリア側から収容させる。その逆に、第２パレット移動部３０は、第１保持部２５のパレット収納部１９のリア側からパレット１６を引き出して、第２保持部２７のパレット収納部１９に収容させる。

ここで図７を参照して、第２パレット移動部３０が第２保持部２７に保持されているパレット１６を第１保持部２５に移動させる工程について説明する。図７（ａ）において、まず、第２パレット移動部３０は、第１保持部２５の所定のパレット収納部１９に保持されているパレット１６を引き出す（矢印ａ）。図５（ｂ）において、次いで第２パレット移動部３０は、引き出したパレット１６を９０度旋回させる（矢印ｂ）。図５（ｃ）において、次いで第２パレット移動部３０は、パレット１６をリア側に移動させて、第１保持部２５の所定のパレット収納部１９に移動させる（矢印ｃ）。なお、第２パレット移動部３０が第１保持部２５に保持されているパレット１６を第２保持部２７に移動させる工程では、上述の工程とは逆の制御が行われる。

図５において、パレット供給部２２Ａの上部には、第１パレット移動部２６によって部品取り出し位置まで移動したパレット１６が保持するトレイ１７に収容されている部品の状態を撮像する第１カメラ３１が配置されている。図６において、パレットストック部２２Ｂの第２パレット移動部３０の上方には、第２パレット移動部３０が第２保持部２７から引き出したパレット１６が保持するトレイ１７に収容されている部品の状態を撮像する第２カメラ３２が配置されている。

パレット供給部２２Ａのリア側で作業者Ｗが作業する位置には、作業者Ｗが操作するタッチパネル３３が設置されている。タッチパネル３３は、その表示部に各種情報を表示し、また表示部に表示される操作ボタンなどを使って作業者Ｗがデータ入力や部品供給装置２１、保管装置２２の操作を行う。作業者Ｗは、マガジン保持部２８に保持されているトレイマガジン２０を補給用のトレイマガジン２０と交換する作業を行う際は、タッチパネル３３を操作しながら作業を実行する。

図５において、部品装着装置Ｍ５は、ヘッド移動機構３４（図１７参照）によって水平方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向）に移動して、部品取り出し位置のトレイ１７から部品を取り出して基板３５に装着する装着ヘッド３６を備えている。また、部品装着装置Ｍ５は、装着ヘッド３６と一体的に設けられ、ヘッド移動機構３４によって水平方向に移動して下方を撮像するヘッドカメラ３７を備えている。ヘッドカメラ３７は、部品取り出し位置の上方に移動することで、部品取り出し位置のトレイ１７に収容されている部品の状態を撮像することができる。

次に図８を参照して、搬送装置Ｑが搬送した補給部品を収容するトレイ１７を保持するパレット１６を、部品装着装置Ｍ４，Ｍ５に装着された部品供給装置２１に供給する保管装置２２に補給する工程について説明する。ここでは、補給されるパレット１６はトレイマガジン２０（以下、「補給マガジン２０Ａ」と称する。）に保管された状態で搬送され、搬送装置Ｑが備える自動補給装置３８によって保管装置２２に自動で補給される工程について説明する。

図８（ａ）において、保管装置２２（パレット供給部２２Ａ）のマガジン保持部２８には、収容していた部品を部品装着装置Ｍ４，Ｍ５に供給して空となったトレイ１７を保持するパレット１６を保管するトレイマガジン２０（以下、「回収マガジン２０Ｂ」と称する）が保持されている。自動補給装置３８は、自動搬送車Ｖに牽引される被牽引車Ｃに配置されている。補給マガジン２０Ａを回収マガジン２０Ｂと入れ替える補給作業は、被牽引車Ｃに配置された結合部３９と保管装置２２が備えるドッキング部２４が結合された状態で実行される。

自動補給装置３８は、上段マガジン保持棚４０、下段マガジン保持棚４１および保持棚昇降機構４２を備えて構成されている。上段マガジン保持棚４０は、その上面にトレイマガジン２０を保持する。下段マガジン保持棚４１は上段マガジン保持棚４０の下方に配置され、その上面にトレイマガジン２０を保持する。保持棚昇降機構４２は、上段マガジン保持棚４０と下段マガジン保持棚４１を一体的に昇降させる。保持棚昇降機構４２は、搬送装置Ｑが備える搬送制御装置７０の補給処理部７５（図１０）によって制御される。補給マガジン２０Ａを保管装置２２に自動で補給する際は、補給処理部７５と保管装置２２が備える保管制御装置１１２のマガジン移動処理部１１４（図１７）が連携して補給を実行する。

図８（ａ）において、まず、補給処理部７５は保持棚昇降機構４２を制御して、上段マガジン保持棚４０の高さ位置を、回収マガジン２０Ｂを保持しているマガジン保持部２８の位置に移動させる。次いでマガジン移動処理部１１４はマガジン移動部２９を制御して、回収マガジン２０Ｂを上段マガジン保持棚４０に保持させる（矢印ｄ）。

図８（ｂ）において、次いで補給処理部７５は保持棚昇降機構４２を制御して、補給マガジン２０Ａを保持する下段マガジン保持棚４１の高さ位置を、空となったマガジン保持部２８の位置に移動させる（矢印ｅ）。次いでマガジン移動処理部１１４はマガジン移動部２９を制御して、下段マガジン保持棚４１から補給マガジン２０Ａを引き出して、マガジン保持部２８に保持させる（矢印ｆ）。このように、自動補給装置３８と保管装置２２によって、回収マガジン２０Ｂを自動補給装置３８に回収し、補給マガジン２０Ａを保管装置２２に補給する補給作業が自動で実行される。

次に図９、図１０を参照して、部品装着システム１（搬送システム）が備える管理コンピュータ３（制御システム）と搬送装置Ｑの制御系の構成のうち、フロアＦにおいて被搬送物を製造装置などの搬送先に搬送する機能について説明する。図９において、管理コンピュータ３は、管理処理部５０、管理記憶部５６、入力部６２、表示部６３、通信部６４、管理側通信部３ａを備えている。管理処理部５０はＣＰＵなどのデータ処理装置であり、管理情報取得部５１、警告判定部５２、管理出力部５３、搬送制御部５４、画像解析部５５を備えている。管理記憶部５６は記憶装置であり、フロア情報５７、被搬送物情報５８、加速度情報５９、警告情報６０、経路情報６１などが記憶されている。

入力部６２は、キーボード、タッチパネル、マウスなどの入力装置であり、操作コマンドやデータ入力時などに用いられる。表示部６３は液晶パネルなどの表示装置であり、管理記憶部５６が記憶する各種データを表示する他、入力部６２による操作のための操作画面、入力画面などの各種情報を表示する。通信部６４は、通信インターフェースであり、通信ネットワーク２を介して部品装着ラインＬ１～Ｌ３を構成する製造装置との間でデータの送受信を行う。管理側通信部３ａは、情報端末５の端末側通信部６、搬送装置Ｑの搬送側通信部８０（図１０参照）と、無線で各種情報を送受信する。なお、管理コンピュータ３は、ひとつのコンピュータで構成する必要はなく、複数のデバイスで構成してもよい。例えば、記憶部、処理部の全てもしくは一部をサーバを介してクラウドに備えてもよい。

図１０において、搬送装置Ｑは、搬送制御装置７０、保持棚昇降機構４２、走行装置７９、搬送側通信部８０、加速度計Ａを備えている。搬送制御装置７０は、走行処理部７１、位置情報取得部７２、搬送判定部７３、搬送出力部７４、補給処理部７５、搬送記憶部７６を備えている。搬送記憶部７６は記憶装置であり、搬送経路情報７７、補給保留情報７８などが記憶されている。搬送側通信部８０は、管理コンピュータ３の管理側通信部３ａと無線で各種情報を送受信する。搬送側通信部８０は、管理コンピュータ３から後述する経路情報６１を受信して、搬送経路情報７７として搬送記憶部７６に記憶させる。また、搬送側通信部８０は、加速度計Ａの計測データを管理コンピュータ３に送信する。

走行装置７９は、自動搬送車Ｖの車輪を駆動するモータや、車輪の方向を変更する機構などを備えている。走行処理部７１は、搬送記憶部７６に記憶された搬送経路情報７７、または、管理コンピュータ３からの指示に従い、走行装置７９を制御して、搬送装置ＱをフロアＦ内の指定された搬送経路を指定された速度（最大速度）で走行させる。補給処理部７５は、搬送記憶部７６に記憶された補給保留情報７８、または、管理コンピュータ３からの指示に従い、保持棚昇降機構４２を制御して、搬送したトレイマガジン２０（補給マガジン２０Ａ）を保管装置２２に補給させる（図８参照）。その際、補給処理部７５は、補給保留情報７８に補給を保留させる旨の情報が記憶されている場合は、補給マガジン２０Ａの補給を保留する。

図１０において、加速度計Ａは、被搬送物を搬送している搬送装置Ｑの走行時の加速度を計測する。位置情報取得部７２は、走行装置７９が備えるセンサなどからフロアＦにおける搬送装置Ｑの位置情報を取得する。搬送側通信部８０は、加速度計Ａが計測した加速度と、位置情報取得部７２が取得した搬送装置Ｑの位置情報を関連付けて、管理コンピュータ３に送信する。

図９において、管理情報取得部５１は、搬送装置Ｑから送信された加速度と位置情報を加速度情報５９として管理記憶部５６に記憶させる。このように、管理情報取得部５１（情報取得部、第２情報取得部）は、搬送装置Ｑの走行時のフロアＦにおける位置情報と、搬送装置Ｑが搬送している被搬送物が受けた可能性がある加速度とを取得する。フロア情報５７には、フロアＦに配置された部品装着ラインＬ１～Ｌ３の製造装置の位置（座標）、フロアＦに設定されている搬送経路の情報（座標）、搬送経路に設けられた区間の最高速度などの情報が含まれている（図１２参照）。被搬送物情報５８には、フロアＦに設置されている製造装置において用いられる部品やクリームはんだなどの被搬送物を、搬送装置Ｑが搬送するための情報が含まれている。

ここで、図１１を参照して、部品を被搬送物とする被搬送物情報５８の一例について説明する。被搬送物情報５８には、部品名９０毎に、容器９１、クラス９２、最高速度９３などが含まれている。容器９１は、搬送装置Ｑに搭載される際の部品の保持形態を示しており、「トレイ」はトレイ１７に収容されたトレイ部品であることを、「テープ」はキャリアテープ１４に格納されてリールに収納されたテープ部品であることを示している。

クラス９２は、搬送装置Ｑによる搬送時に受ける振動により被搬送物の状態に異常が生じる感度（耐性）の区分けである。この例では、クラス９２は「０」から「３」の４つに区分されており、数字が小さいほど振動に強く、数字が大きくなると振動に弱いことを示している。例えば、テープ部品である部品名９０が「Ｄ００６」と「Ｄ００７」は、振動に起因する部品のずれは発生しないため、クラス９２が「０」となっている。

また、トレイ部品であっても、例えば、図４（ｂ）に示す大型で振動に対する耐性が高い部品Ｐ１は、クラス９２は「１」に区分される。また、図４（ｃ）に示す小型で振動に対する耐性が低い部品Ｐ２は、搬送中に受ける大きな振動でトレイ１７Ｂから飛び出す可能性があり、クラス９２は「２」または「３」に区分される。以下、クラス９２が「１」の部品を「クラス１の部品」などと称する。

図１１において、最高速度９３は、その部品を搬送中に許される最高速度を示している。最高速度９３は、搬送中の部品が受ける可能性がある加速度の大きさで、複数に区分されている。この例では、Ｚ軸方向の加速度が「－０．８Ｇ以上」の第１速度９３ａ、Ｚ軸方向の加速度が「－０．８Ｇから－１．２Ｇ」の第２速度９３ｂ、Ｚ軸方向の加速度が「－１．２Ｇ以下」の第３速度９３ｃの３つの区分に分かれている。

Ｇは重力加速度であり、－１．０Ｇは地球の重力と釣り合うだけのＺ軸方向の加速度が部品に加わっていることを示す。Ｚ軸方向にマイナスの加速度が加わると、トレイ１７の収容部１８内における部品の状態が不安定となる。この間にトレイ１７が水平方向に高速で移動すると、収容部１８から部品が飛び出たり、収容部１８内で部品が反転したりするなど、部品の収容状態に異常が発生することがある。

図１１の例では、Ｚ軸方向の加速度が「－０．８Ｇ」と「－１．２Ｇ」の２つの閾値が設定されている。以下、Ｚ軸方向の加速度が「－０．８Ｇ」を「第１閾値」と、「－１．２Ｇ」を「第２閾値」と称する。第１速度９３ａは、いずれの部品も「１．０ｍ／ｓ」に設定されている。クラス０の部品では、第２速度９３ｂと第３速度９３ｃは、第１速度９３ａと同じ「１．０ｍ／ｓ」に設定されている。

一方、クラス１の部品では、第２速度９３ｂは第１速度６３ａと同じ「１．０ｍ／ｓ」であるが、第３速度９３ｃは「０．８ｍ／ｓ」に設定されている。また、クラス２の部品では、第２速度９３ｂが「０．８ｍ／ｓ」に、第３速度９３ｃが「０．５ｍ／ｓ」に設定されている。また、クラス３の部品では、第２速度９３ｂが「０．５ｍ／ｓ」に、第３速度９３ｃが「０．３ｍ／ｓ」に設定されている。すなわち、振動に対する耐性が低い部品を搬送する際にマイナスの加速度を受ける可能性がある場合は、最高速度９３を低くする（遅くする）ように設定されている。

なお、図１１に示す被搬送物情報５８において設定されるクラス９２の区分数、最高速度９３の区分数、閾値の値は一例であり、区分は３つであっても５つ以上であってもよい。また、Ｚ軸方向の加速度の閾値も、部品のサイズ、重さ、トレイ１７の収容部１８の形状に応じて、実験結果などに基づいて自由に設定される。例えば、所定の閾値は、被搬送物に対応して設定するようにしてもよい。また、閾値となる加速度も、Ｚ軸方向の成分だけでなく、水平方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向）も成分も考慮して決定するようにしてもよい。このように、第１閾値、第２閾値（所定の閾値）は、搬送装置Ｑによるトレイマガジン２０またはパレット１６（被搬送物）の搬送時に、トレイ１７内の部品の収容状態（被搬送物の状態）に異常が生じる加速度に基づいて設定されている。

図９において、警告判定部５２（判定部）は、取得された加速度情報５９に基づいて、搬送装置Ｑの走行時の加速度が所定の閾値（第１閾値、第２閾値）を超えたか否かを判定する。そして、加速度が所定の閾値を超えた地点（以下、「警告地点Ｈ」と称する。）がある場合は（図１３参照）、警告判定部５２は、警告地点Ｈの位置情報（座標）と計測された加速度の値を関連付けて、警告情報６０として管理記憶部５６に記憶させる。すなわち、警告情報６０には、加速度が所定の閾値を超えた地点（警告地点Ｈ）に関する情報が含まれる。管理出力部５３（出力部、第３出力部）は、加速度が所定の閾値を超えた場合に警告情報６０を所定の出力先（表示部６３、搬送装置Ｑ、情報端末５、部品装着装置Ｍ４，Ｍ５、部品供給装置２１、保管装置２２）に出力する。

例えば、管理出力部５３は、管理コンピュータ３が備える表示部６３に警告情報６０を表示させる。すなわち、表示部６３は、警告情報６０に基づいて警告を報知する報知部である。また、管理出力部５３は、作業者Ｗが使用する端末（情報端末５）に警告情報６０を出力する。これにより、作業者Ｗは、フロアＦ内の搬送経路の警告地点Ｈにおいて、継ぎ目や床のうねり、落下物などの障害が発生している可能性があることを知ることができる。

また、計測された加速度が所定の閾値（第１閾値、第２閾値）を超えた場合は、搬送装置Ｑが搬送している被搬送物の状態（トレイ１７に収容されている部品の収容状態）に異常が発生した可能性がある。そこで、管理出力部５３は、その搬送装置Ｑに対して被搬送物の搬送先（製造装置）への補給を保留する旨の補給保留情報７８を出力する。これにより、加速度が所定の閾値を超えた場合に、搬送装置Ｑが備える自動補給装置３８は、警告情報６０が出力されると被搬送物の製造装置への補給を保留する。

また、管理出力部５３は、パレット１６（被搬送物）が補給される部品装着装置Ｍ４，Ｍ５（製造装置）に警告情報６０を出力する。これにより、パレット１６が補給された部品装着装置Ｍ４，Ｍ５において、基板３５にトレイ１７の部品を装着する部品装着作業前に、加速度が所定の閾値を超えたトレイ１７に収容されている部品の状態を確認（撮像）することができる。

なお、管理出力部５３（撮像判定部）は、警告情報６０に含まれるトレイ１７が受けた加速度とトレイ１７に収容された部品の関係（被搬送物情報５８）に基づいて、トレイ１７内の部品の状態を確認する（部品を撮像する）か否かを判断し、状態を確認すると判断した場合にのみ警告情報６０を出力するようにしてもよい。例えば、補給マガジン２０Ａに保管して搬送されたトレイ部品のうち、そのトレイ部品に指定された第１閾値を超えている場合に、撮像判定部は部品を撮像すると判断する。

また、管理出力部５３は、作業者Ｗが使用する端末（情報端末５）に搬送装置Ｑが搬送している被搬送物の搬送先の情報を出力する。被搬送物が補給マガジン２０Ａの場合、管理出力部５３は、被搬送物情報５８に基づいて、補給マガジン２０Ａに保管されたいずれかのパレット１６が保持するトレイ１７に収容されている部品の収容状態が異常である可能性がある場合は、その搬送装置Ｑに補給保留情報７８を出力する。また、管理出力部５３は、異常の可能性があるパレット１６を特定する情報も含めて、作業者Ｗが使用する情報端末５に出力する。

情報端末５に被搬送物の搬送先が表示された作業者Ｗは、表示された情報に従って搬送先の製造装置の前で停止している搬送装置Ｑまで移動する。そして、作業者Ｗは、搬送装置Ｑから異常の可能性があるパレット１６などの被搬送物を取り出し、被搬送物の状態（トレイ１７に収容されている部品の収容状態）を確認し、部品の収容状態を修正した後に、被搬送物を搬送先の製造装置に補給する。これにより、搬送された被搬送物が異常な状態で補給されることを防止することができる。

図９において、搬送制御部５４は、フロア情報５７に含まれるフロアＦに設定されている搬送経路の情報、被搬送物情報５８、警告情報６０に基づいて、搬送装置Ｑによる搬送作業を制御する。具体的には、搬送制御部５４は、搬送装置Ｑが被搬送物を搬送先に搬送する際に参照される搬送経路に関する経路情報６１を作成し、管理記憶部５６に記憶させる。

さらに、搬送制御部５４は、経路情報６１をその被搬送物を搬送する搬送装置Ｑに送信する。経路情報６１を受信した搬送装置Ｑは、受信した経路情報６１を搬送経路情報７７として搬送記憶部７６に記憶し、搬送経路情報７７に従って被搬送物を搬送先まで搬送する。または、搬送制御部５４は、作成した経路情報６１に基づいて、搬送装置Ｑに対して逐次指示を送信する。

また、搬送制御部５４は、警告情報６０に基づいて、搬送経路の警告地点Ｈを含む区間に搬送装置Ｑの走行速度（最高速度）を通常の走行速度（第１速度９３ａ）より遅くする減速区間を設定する。そして、搬送制御部５４は、被搬送物を搬送先に搬送するまでの間に警告地点Ｈを通過する搬送装置Ｑに対しては、減速区間の情報を含む経路情報６１に基づく搬送作業の制御を行う。すなわち、搬送制御部５４は、警告地点Ｈを通過する搬送装置Ｑの走行速度が遅くなるように搬送作業を制御する。

図９において、情報端末５に表示された警告地点Ｈを含む警告情報６０を見た作業者Ｗは、警告地点Ｈまで移動して異常の原因を除去する。その後、作業者Ｗが情報端末５に修復報告を入力すると、管理コンピュータ３の管理情報取得部５１が情報端末５から修復報告を取得する。修復報告が取得されると、警告判定部５２は、管理記憶部５６に記憶されている警告情報６０から修復された警告地点Ｈの情報を削除する。また、搬送制御部５４は、削除された警告情報６０に該当する減速区間を解除して経路情報６１を更新する。

すなわち、管理情報取得部５１（情報取得部）は、警告地点Ｈにおいて加速度が所定の閾値を超えた原因が除去された旨の修復報告を取得する。そして、搬送制御部５４は、修復報告が取得されると、当該警告地点Ｈを通過する搬送装置Ｑの走行速度が元に戻るように搬送作業を制御する。このように、搬送制御部５４を備える管理コンピュータ３は、搬送経路に関する経路情報６１に基づいて、搬送装置Ｑによる搬送作業を制御する制御システムを構成する。

次に図１２～図１４を参照して、搬送制御部５４による経路情報６１の作成の例について説明する。図１２、図１３は、部品装着ラインＬ１～Ｌ３と収納棚４が配置されたフロアＦに設定された搬送経路の例を示している。図１２において、フロアＦの搬送経路は、分岐、曲がり角の地点Ｂ１１～Ｂ２０と、収納棚４に保管されていた被搬送物を載置された搬送装置Ｑが製造装置に向けてスタートする地点Ｂ１０を加えた地点の間で、複数の区間Ｅ２１～Ｅ３４に区分けされている。図１２は、搬送経路に警告地点Ｈが無くて、減速区間が設定されていないフロアＦを示している。

図１４（ａ）は、図１２に示す収納棚４の前のスタート地点Ｔ０から、部品装着ラインＬ１の部品装着装置Ｍ５のリア側の搬送先Ｔ１に、クラス２のトレイ部品を搬送する際の経路情報６１である。この場合、搬送制御部５４は、スタート地点Ｔ０から区間Ｅ２１～Ｅ２６を最高速度が１．０ｍ／ｓ（第１速度９３ａ）で走行して搬送先Ｔ１まで走行する経路情報６１を作成する。また、搬送制御部５４は、被搬送物を降ろした後の帰路として、搬送先Ｔ１から区間Ｅ２６～Ｅ３１を最高速度が１．０ｍ／ｓ（第１速度９３ａ）で走行してスタート地点Ｔ０に戻る経路情報６１を作成する。

図１３は、区間Ｅ２４において搬送装置Ｑの走行時の加速度が第１閾値を超えた警告地点Ｈが検出されたフロアＦを示している。この例では、搬送制御部５４は、警告地点Ｈを前後に延ばして、最高速度が第２速度９３ｂである減速区間ＥＹ１を設定している。また、搬送制御部５４は、区間Ｅ２４における減速区間ＥＹ１以外の区間を区間Ｅ２４ａと区間Ｅ２４ｂに設定している。なお、警告地点Ｈにおける加速度が第２閾値を超えた場合、搬送制御部５４は、減速区間ＥＹ１における最高速度を第３速度９３ｃに設定する。また、搬送制御部５４は、警告地点Ｈを含む区間Ｅ２４の全体を最高速度が第２速度９３ｂである減速区間として設定するようにしてもよい。

図１４（ｂ）は、図１３に示す減速区間ＥＹ１が設定されているフロアＦの搬送経路において、スタート地点Ｔ０から搬送先Ｔ１にクラス２のトレイ部品を搬送する経路情報６１である。図１３では、スタート地点Ｔ０から搬送先Ｔ１までの間には、最高速度が第２速度９３ｂの減速区間ＥＹ１が設定されている。そこで、搬送制御部５４は、スタート地点Ｔ０から搬送先Ｔ１までの間に設定されている減速区間ＥＹ１の最高速度が０．８ｍ／ｓ（第２速度９３ｂ）となる経路情報６１を作成する。

減速区間ＥＹ１が設定された経路情報６１に基づいて搬送作業が制御される搬送装置Ｑは、減速区間ＥＹ１を通過する最高速度を第２速度９３ｂまでに遅くする。例えば、搬送装置Ｑは、フロアＦにおける位置情報を取得する位置情報取得部７２（情報取得部）を備え、加速度が所定の閾値を超えた警告地点Ｈを含む減速区間ＥＹ１をその後に通過する際に、走行速度（最高速度）を遅くする。これにより、警告地点Ｈを通過する際に被搬送物が受ける加速度を第１閾値以下にすることができ、被搬送物を正常な状態に維持したまま警告地点Ｈを通過させることができる。

図９において、画像解析部５５は、撮影装置Ｓ１～Ｓ８が撮像したフロアＦ内を走行する搬送装置Ｑの映像を解析して、走行中の搬送装置Ｑの状態を検出する。例えば、搬送装置Ｑに設置された加速度計Ａが計測した加速度情報５９に基づいて警告判定部５２が警告地点Ｈを抽出する代わりに、画像解析部５５が警告地点Ｈを抽出する場合、画像解析部５５は走行中の搬送装置ＱのＺ軸方向の変化量を検出する。

そして、画像解析部５５は、検出したＺ軸方向の変化量が所定の閾値を超えた地点を、警告地点Ｈとして警告情報６０に記憶させる。そして、搬送制御部５４は、画像解析部５５が抽出した警告地点Ｈに基づいて、経路情報６１を作成する。これにより、搬送装置Ｑが加速度計Ａを備えていない場合であっても、製造装置が設置されたフロアＦにおいて被搬送物を正常な状態で搬送することができる。

上記説明したように、走行時の加速度を計測するための加速度計Ａを被搬送物または搬送装置Ｑに備え、フロアＦにおいて用いられる被搬送物を搬送する搬送装置Ｑと、搬送経路に関する経路情報６１に基づいて、搬送装置Ｑによる搬送作業を制御する搬送制御部５４と、計測された加速度に関する加速度情報５９を取得する管理情報取得部５１（情報取得部）と、取得された加速度情報５９に基づいて、加速度が所定の閾値（第１閾値、第２閾値）を超えたか否かを判定する警告判定部５２（判定部）と、加速度が所定の閾値を超えた場合に警告情報６０を出力する管理出力部５３（出力部）と、を有する管理コンピュータ３（制御システム）は、フロアＦにおいて被搬送物を搬送する搬送システムを構成する。これによって、製造装置が設置されたフロアＦにおいて被搬送物を正常な状態で搬送することができる。

なお、搬送システムは、管理コンピュータ３が備える情報取得部、判定部、出力部と同様の機能を搬送装置Ｑが備える構成であってもよい。すなわち、図１０において、搬送制御装置７０が備える位置情報取得部７２（情報取得部）は、搬送装置Ｑの位置情報の他に加速度計Ａが計測した加速度に関する加速度情報を取得する。また、搬送制御装置７０が備える搬送判定部７３（判定部）は、加速度が所定の閾値（第１閾値、第２閾値）を超えたか否かを判定する。また、搬送制御装置７０が備える搬送出力部７４（出力部、第２出力部）は、加速度が所定の閾値を超えた場合に警告情報を管理コンピュータ３、情報端末５、部品装着装置Ｍ４，Ｍ５、部品供給装置２１、保管装置２２に送信（出力）する。

このように、走行時の加速度を計測するための加速度計Ａを被搬送物または搬送装置Ｑに備え、位置情報取得部７２（情報取得部）と、搬送判定部７３（判定部）と、搬送出力部７４（出力部、第２出力部）を有して、フロアＦにおいて用いられる被搬送物を搬送する搬送装置Ｑと、搬送装置Ｑによる搬送作業を制御する搬送制御部５４を有する管理コンピュータ３（制御システム）は、フロアＦにおいて被搬送物を搬送する搬送システムを構成する。これによって、製造装置が設置されたフロアＦにおいて被搬送物を正常な状態で搬送することができる。

次に図１５のフローに沿って、フロアＦにおいて用いられる被搬送物を搬送装置Ｑにより搬送する搬送方法について説明する。まず、管理コンピュータ３の管理情報取得部５１は、被搬送物または搬送装置Ｑに設けられた加速度計Ａによって計測された、搬送装置Ｑの走行時の加速度に関する加速度情報５９を取得する（ＳＴ１：加速度情報取得工程）。加速度情報５９には、搬送装置Ｑの走行時のフロアＦにおける位置情報が含まれている。次いで警告判定部５２は、取得された加速度情報５９に基づいて、加速度が所定の閾値（第１閾値、第２閾値）を超えたか否かを判定する（ＳＴ２：判定工程）。加速度が閾値を超えていない場合（ＳＴ２においてＮｏ）、加速度情報取得工程（ＳＴ１）が実行される。

加速度が所定の閾値を超えた場合（ＳＴ２においてＹｅｓ）、管理出力部５３は警告情報６０を搬送装置Ｑ、情報端末５に対して出力する（ＳＴ３：警告情報出力工程）。次いで搬送制御部５４は、警告情報６０に基づいて、フロアＦ内の搬送経路の警告地点Ｈを含む区間に減速区間ＥＹ１を設定する（ＳＴ４：減速区間設定工程）（図１３参照）。さらに搬送制御部５４は、減速区間ＥＹ１を含む経路情報６１を作成して、警告地点Ｈを通過する搬送装置Ｑに送信する。これにより、加速度が所定の閾値を超えた警告地点Ｈをその後に通過する搬送装置Ｑの走行速度（最大速度）が遅くなるように当該搬送装置Ｑが制御される。

図１５において、情報端末５に表示された警告地点Ｈを含む警告情報６０を見た作業者Ｗが警告地点Ｈから加速度が閾値を超えた原因を除去して修復報告を情報端末５に入力すると、修復報告が管理コンピュータ３に送信される。管理コンピュータ３の管理情報取得部５１が修復報告を受け取ると（ＳＴ５においてＹｅｓ）、警告判定部５２は修復された警告地点Ｈを含む警告情報６０を削除し、搬送制御部５４は減速区間ＥＹ１を解除する（ＳＴ６：減速区間解除工程）（図１２参照）。

このように、警告地点Ｈを通過する搬送装置Ｑの走行速度が遅くなるようにした後（ＳＴ４）、警告地点Ｈにおいて加速度が所定の閾値を超えた原因が除去された旨の修復報告を取得すると（ＳＴ５においてＹｅｓ）、その後に当該警告地点Ｈを通過する搬送装置Ｑの走行速度を元に戻すように搬送装置Ｑが制御される（ＳＴ６）。これによって、製造装置が設置されたフロアＦにおいて被搬送物を正常な状態で搬送することができる。

次に図１６のフローに沿って、補給マガジン２０Ａ（被搬送物）を搬送先の部品装着装置Ｍ４，Ｍ５（製造装置）まで搬送した搬送装置Ｑから部品装着装置Ｍ４，Ｍ５に補給マガジン２０Ａを補給する補給方法について説明する。まず、搬送先に到着した搬送装置Ｑの補給処理部７５は、管理コンピュータ３または他の搬送装置Ｑから警告情報または補給保留情報７８を取得したか否かを判断する（ＳＴ１１：情報取得判断工程）。すなわち、搬送方法で説明した警告情報出力工程（ＳＴ３）において、管理コンピュータ３から警告情報６０または補給保留情報７８を取得したか否か、警告地点Ｈを検出した自己を含む搬送装置Ｑからの警告情報を取得したか否かが判断される。

情報取得判断工程（ＳＴ１１）において、警告情報または補給保留情報７８を取得したと判断した場合（ＳＴ１１においてＹｅｓ）、補給処理部７５は、自動補給装置３８による補給マガジン２０Ａの補給を保留させる（ＳＴ１２）。次いで警告情報出力工程（ＳＴ３）において情報端末５に出力された警告情報６０を見た作業者Ｗは、搬送先で停止している搬送装置Ｑまで移動して、部品が飛び出した可能性があるトレイ１７を目視により確認し、異常がある場合は修正を行う（ＳＴ１３）。その後、自動または手動で補給マガジン２０Ａを部品装着装置Ｍ４，Ｍ５に補給する（ＳＴ１４：補給工程）。

情報取得判断工程（ＳＴ１１）において、警告情報または補給保留情報７８を取得していないと判断した場合（ＳＴ１１においてＮｏ）、補給処理部７５は、自動補給装置３８を制御して、補給マガジン２０Ａを部品装着装置Ｍ４，Ｍ５に補給させる（ＳＴ１４）（図８参照）。このように、搬送中にトレイ部品の収容状態に異常が発生した可能性がある場合は（ＳＴ１１においてＹｅｓ）、作業者Ｗが確認と修正を行い（ＳＴ１３）、搬送中に異常が発生した可能性がない場合は（ＳＴ１１においてＮｏ）、補給マガジン２０Ａが自動で補給される。

次に図１７を参照して、部品装着装置Ｍ４，Ｍ５と、部品装着装置Ｍ４，Ｍ５に取り付けられた部品供給装置２１と、部品供給装置２１にパレット１６を供給する保管装置２２の制御系の構成のうち、搬送装置Ｑにより搬送されたパレット１６が保持するトレイ１７の収容された部品の収容状態を確認する機能について説明する。部品装着装置Ｍ４，Ｍ５は、装着制御装置１００、ヘッド移動機構３４、装着ヘッド３６、ヘッドカメラ３７を備えている。装着制御装置１００は、装着動作処理部１０１、装着情報取得部１０２、装着判定部１０３、装着出力部１０４、装着記憶部１０５を備えている。装着記憶部１０５は記憶装置であり、装着データ１０６などが記憶されている。

装着データ１０６には、生産する実装基板の種類毎に、基板３５のサイズ、搭載される部品の種類と装着位置（ＸＹ座標）、部品の供給情報、その他の部品装着作業に必要な情報が含まれている。装着動作処理部１０１は、装着データ１０６に基づいてヘッド移動機構３４、装着ヘッド３６、ヘッドカメラ３７、装着されたテープフィーダ１２、部品供給装置２１を制御して、部品供給装置２１やテープフィーダ１２が供給する部品を装着ヘッド３６で保持して基板３５に装着する部品装着作業を制御する。

図１７において、装着情報取得部１０２（第１情報取得部）は、管理コンピュータ３から出力された、搬送装置Ｑによるパレット１６の搬送時にトレイ１７内の部品の収容状態に異常が生じた可能性があることを示す警告情報６０を、通信ネットワーク２を介して取得する。装着判定部１０３は、警告情報６０に基づいて、ヘッド移動機構３４とヘッドカメラ３７を制御して、搬送時に収容している部品の収容状態に異常が生じた可能性があるトレイ１７（以下、「被疑トレイ」と称する。）の状態を撮像させる。

具体的には、装着判定部１０３は、被疑トレイが部品供給装置２１によって部品取り出し位置に移動すると、ヘッド移動機構３４によってヘッドカメラ３７を移動させながら被疑トレイ内を撮像させる（図５参照）。すなわち、ヘッドカメラ３７は、基板３５に部品を装着する装着ヘッド３６と一体的に設けられ、被疑トレイ内の部品を撮像する撮像部である。

さらに、装着判定部１０３は、被疑トレイ内の撮像結果を認識処理して、部品が被疑トレイの収容部１８から飛び出したり、傾いたりする異常の発生の有無を判定する。すなわち、装着判定部１０３は、警告情報６０が取得された場合に、撮像部（ヘッドカメラ３７）による被疑トレイ内の部品の撮像結果に基づいて収容状態に異常があるかの判定を行う異常判定部である。

図１７において、装着出力部１０４は、装着判定部１０３により被疑トレイの収容状態に異常があると判定されると、作業者Ｗが所持する情報端末５に異常があるトレイ１７を保持するパレット１６の交換の指示を出力する。または、装着出力部１０４は、部品供給装置２１および保管装置２２に、異常があるトレイ１７を保持するパレット１６をマガジン保持部２８の回収マガジン２０Ｂに回収し、異常があるトレイ１７と同じ部品を収容するトレイ１７を部品取り出し位置に移動するように指示を出力する。このように、装着出力部１０４は、被疑トレイの部品の収容状態に異常があると判定された場合に、異常がある旨を出力する第１出力部である。

なお、異常がある旨を部品装着装置Ｍ４，Ｍ５の装着出力部１０４から情報端末５、または部品供給装置２１および保管装置２２に送信するのではなく、管理コンピュータ３から送信するようにしてもよい。すなわち、装着出力部１０４（第１出力部）は、管理コンピュータ３（制御システム）に異常がある旨を出力し、管理コンピュータ３は、異常がある旨を取得した場合、異常があると判定されたトレイ１７を保持するパレット１６の交換の指示を出力する第２出力部を有する形態であってもよい。

図１７において、部品供給装置２１は、供給制御装置１１０、第１パレット移動部２６を備えている。供給制御装置１１０は、供給動作処理部１１１を備えている。供給動作処理部１１１は、装着制御装置１００の装着動作処理部１０１からの指令に従って第１パレット移動部２６を制御して、パレット１６を保管装置２２の第１保持部２５と部品取り出し位置の間で移動させる。

保管装置２２は、保管制御装置１１２、第２パレット移動部３０、マガジン移動部２９、第１カメラ３１、第２カメラ３２、タッチパネル３３を備えている。保管制御装置１１２は、パレット移動処理部１１３、マガジン移動処理部１１４、保管情報取得部１１５、保管判定部１１６、保管出力部１１７、保管記憶部１１８を備えている。保管記憶部１１８は記憶装置であり、第１保持部２５と第２保持部２７に保管されているパレット１６の位置、トレイ１７に収容されている部品の種類などの情報が記憶されている。

図１７において、パレット移動処理部１１３は、第２パレット移動部３０を制御して、パレット１６を第２保持部２７と第１保持部２５との間で移動させる。マガジン移動処理部１１４は、マガジン移動部２９を制御して、マガジン保持部２８のトレイマガジン２０（補給マガジン２０Ａ、回収マガジン２０Ｂ）を出し入れさせる。保管情報取得部１１５（第１情報取得部）は、管理コンピュータ３から出力された、警告情報６０を、通信ネットワーク２、部品装着装置Ｍ４，Ｍ５、部品供給装置２１を介して取得する。

保管判定部１１６は、警告情報６０に基づいて、第１カメラ３１（撮像部）を制御して、被疑トレイの状態を撮像させる。具体的には、保管判定部１１６は、被疑トレイが部品供給装置２１によって部品取り出し位置に移動すると、第１カメラ３１によって被疑トレイ内を撮像させる（図５参照）。

または、保管判定部１１６は、警告情報６０に基づいて、第２パレット移動部３０と第２カメラ３２（撮像部）を制御して、被疑トレイの状態を撮像させる。具体的には、保管判定部１１６は、第２保持部２７から被疑トレイを保持するパレット１６を引き出して、第２カメラ３２によって被疑トレイ内を撮像させる（図６参照）。撮像の際、第２保持部２７は、パレット１６を第２カメラ３２の焦点が合う高さ位置まで移動させる。このように、第２カメラ３２は、第２パレット移動部３０（引き出し部）を撮像可能な位置に設けられている撮像部である。

図１７において、保管判定部１１６は、第１カメラ３１または第２カメラ３２による被疑トレイ内の撮像結果を認識処理して、部品の収容状態の異常の有無を判定する。保管出力部１１７は、保管判定部１１６により被疑トレイの収容状態に異常があると判定されると、情報端末５または管理コンピュータ３に異常がある旨を出力する。このように、保管判定部１１６は、警告情報６０が取得された場合に、撮像部（第１カメラ３１、第２カメラ３２）による被疑トレイ内の部品の撮像結果に基づいて収容状態に異常があるかの判定を行う異常判定部である。また、保管出力部１１７は、被疑トレイの部品の収容状態に異常があると判定された場合に、異常がある旨を出力する第１出力部である。

なお、第１カメラ３１は、部品供給装置２１が備える構成であってもよい。その場合、供給制御装置１１０が警告情報６０を取得する第１情報取得部と、第１パレット移動部２６と第１カメラ３１を制御する異常判定部を有する。そして、異常判定部は、第１パレット移動部２６を制御して、被疑トレイを保持するパレット１６を第１保持部２５から部品取り出し位置に移動させて、第１カメラ３１により被疑トレイ内を撮像させる。

上記説明したように、部品供給装置２１から供給されるトレイ１７に収容された部品を基板３５に装着する部品装着装置Ｍ４，Ｍ５は、搬送装置Ｑによるトレイ１７を保持するパレット１６の保管装置２２への搬送時にトレイ１７内の部品の収容状態に異常が生じた可能性があることを示す警告情報６０を取得する第１情報取得部（装着情報取得部１０２）と、トレイ１７内の部品を撮像する撮像部（ヘッドカメラ３７）と、警告情報６０が取得された場合に、撮像部によるトレイ１７内の部品の撮像結果に基づいて、トレイ１７内の部品の収容状態に異常があるかの判定を行う異常判定部（装着判定部１０３）と、を有する。これによって、搬送されたトレイ１７に収容された部品の収容状態を適切に判定することができる。

また、基板３５に部品を装着する部品装着システム１は、基板３５に部品を装着する部品装着装置Ｍ４，Ｍ５と、トレイ１７に収容された部品を部品装着装置Ｍ４，Ｍ５に供給する部品供給装置２１と、部品供給装置２１へとパレット１６を供給する保管装置２２と、保管装置２２へとパレット１６を搬送する搬送装置Ｑを備えている。そして、部品装着装置Ｍ４，Ｍ５、部品供給装置２１、または保管装置２２は、第１情報取得部（装着情報取得部１０２、保管情報取得部１１５）と、撮像部（ヘッドカメラ３７、第１カメラ３１、第２カメラ３２）と、異常判定部（装着判定部１０３、保管判定部１１６）とを有している。これによって、搬送されたトレイ１７に収容された部品の収容状態を適切に判定することができる。

なお、搬送装置Ｑが搬送する補給マガジン２０Ａのパレット１６が保持するトレイ１７を撮像する撮像部を備える場合、警告情報６０を取得した搬送装置Ｑの撮像部が搬送したトレイ１７内を撮像して、部品の収容状態を判定するようにしてもよい。

次に図１８のフローに沿って、搬送装置Ｑにより搬送されたパレット１６が保持するトレイ１７に収容された部品の収容状態に異常がないかの判定を行う判定方法について説明する。ここでは、保管装置２２が第２カメラ３２を使用して異常を判定する場合について説明する。まず、搬送装置Ｑは、自動補給装置３８により搬送した補給マガジン２０Ａを保管装置２２に自動補給する（ＳＴ２１：自動補給工程）。

次いで保管情報取得部１１５が搬送装置Ｑによるパレット１６の搬送時にトレイ１７内の部品の収容状態に異常が生じた可能性があることを示す警告情報６０を取得すると（ＳＴ２２においてＹｅｓ）、保管判定部１１６は第２カメラ３２に被疑トレイ内を撮像させる（ＳＴ２３：トレイ内撮像工程）。具体的には、保管判定部１１６は第２パレット移動部３０を制御して、補給マガジン２０Ａから被疑トレイを保持するパレット１６を引き出させて、第２カメラ３２（撮像部）で被疑トレイ内の部品を撮像させる。

図１８において、次いで保管判定部１１６は、被疑トレイ内の部品の撮像結果に基づいて、被疑トレイ内の部品の収容状態に異常がないかの判定を行う（ＳＴ２４：異常判定工程）。収容状態に異常がある場合（ＳＴ２４においてＹｅｓ）、保管出力部１１７は、情報端末５または管理コンピュータ３に当該被疑トレイを保持するパレットの交換を指示する旨を出力する（ＳＴ２５：交換指示出力工程）。そして、保管判定部１１６は、第２パレット移動部３０に異常がある被疑トレイを保持するパレット１６を元の補給マガジン２０Ａ（回収マガジン２０Ｂ）に回収させる。

収容状態に異常がない場合（ＳＴ２４においてＮｏ）、保管判定部１１６は、第２パレット移動部３０に異常がなかった被疑トレイを保持するパレット１６を第１保持部２５または第２保持部２７の所定のパレット収納部１９に収納させる。補給マガジン２０Ａに未確認の被疑トレイが残っている場合（ＳＴ２６においてＮｏ）、トレイ内撮像工程（ＳＴ２３）に戻って、次の被疑トレイの収容状態が確認される（ＳＴ２４～ＳＴ２６）。警告情報６０が取得されない場合は（ＳＴ２２においてＮｏ）、トレイ内撮像工程（ＳＴ２３）を行うことなく判定処理が終了する。これによって、搬送されたトレイ１７に収容された部品の収容状態を適切に判定することができる。

このように、トレイ内撮像工程（ＳＴ２３）は、基板３５に部品を装着する部品装着装置Ｍ４，Ｍ５にトレイ１７に収容された部品を供給する部品供給装置２１へとパレット１６を供給する保管装置２２にパレット１６を補給した（ＳＴ２１）後に行われる。また、保管装置２２におけるトレイ内撮像工程（ＳＴ２３）は、第２パレット移動部３０が部品装着作業のための作業を行っていない空き時間に実行される。これによって、部品装着装置Ｍ４，Ｍ５による部品装着作業を妨げることがない。

次に図１９を参照して、トレイ１７に収容された部品を部品装着装置Ｍ４，Ｍ５に供給する部品供給装置と、部品供給装置へとパレット１６を供給する保管装置の他の実施例について説明する。他の実施例の部品供給装置１２１は、第１パレット移動部１２３がＸ軸に沿って２つ並列に配置されているところが、部品供給装置２１とは異なる。また、他の実施例の保管装置１２２は、第１保持部１２４にトレイマガジン２０（補給マガジン２０Ａ、回収マガジン２０Ｂ）を出し入れするところが保管装置２２とは異なっている。すなわち、保管装置１２２は、第２保持部と第２パレット移動部を備えていない。また、保管装置１２２は、２つの第１パレット移動部１２３に対応して、２つのマガジン保持部１２５を備えている。

保管装置１２２のリア側には、２つのマガジン保持部１２５に対応して２つのマガジン交換用窓１２６が形成されている。マガジン保持部１２５の下部には、トレイマガジン２０を保持し、搬送装置Ｑとの間でトレイマガジン２０の受け渡しを行うマガジン移動部１２７がそれぞれ配置されている。マガジン交換用窓１２６の下方には、それぞれ、ドッキング部１２８が配置されている。搬送装置Ｑは、トレイマガジン２０を補給する側のドッキング部１２８に結合部３９を結合させ、自動補給装置３８とマガジン保持部１２５を連携させて搬送したトレイマガジン２０（補給マガジン２０Ａ）を保管装置１２２に補給させる。

図１９において、第１パレット移動部１２３は、対応するマガジン保持部１２５に補給されたトレイマガジン２０のパレット収納部１９からパレット１６を引き出して、トレイ１７の収容された部品を部品装着装置Ｍ４，Ｍ５に供給する部品取り出し位置まで移動させる。保管装置１２２の上部には、第１パレット移動部１２３によって部品取り出し位置まで移動したパレット１６が保持するトレイ１７に収容されている部品の状態を撮像する２つの第１カメラ１２９が、２つの第１パレット移動部１２３に対応して配置されている。

保管装置１２２の第１情報取得部が警告情報６０を取得すると、被疑トレイから部品を供給する前に、第１カメラ１２９が部品取り出し位置の被疑トレイ内の部品を撮像し、異常判定部が収容状態に異常があるかの判定を行う。収容状態に異常があると判定されると、保管装置１２２の第１出力部は異常がある旨を情報端末５または管理コンピュータ３に出力する。そして、第１パレット移動部１２３は、異常と判定されたパレット１６をトレイマガジン２０に回収する。

他の実施例の部品供給装置１２１と保管装置１２２は、一方のマガジン保持部１２５のトレイマガジン２０が収容していたトレイ１７の全ての部品が部品装着装置Ｍ４，Ｍ５に供給されたトレイマガジン２０が空になると、他方の部品取り出し位置から部品が供給されている間に、一方のマガジン保持部１２５の空になったトレイマガジン２０（回収マガジン２０Ｂ）が、搬送装置Ｑが搬送した補給マガジン２０Ａと交換される。

なお、上記の実施例では、搬送システムとして基板に対して作業を行う製造装置が配置されたフロアＦにおいてトレイマガジン２０などの被搬送物を搬送する搬送装置Ｑを例に説明したが、これに限定されることはない。例えば、製造装置は半導体製品を製造する半導体製造ラインにおいてウェハ（ワーク）に対して生産作業を行う製造装置であり、被搬送物はウェハを収容したウェハキャリアであってもよい。また、製造装置は電気機器を組立てる組立て生産ラインや、食品加工製品を生産する食品加工ラインにおいて、生産作業を行う製造装置であり、被搬送物は実装基板や筐体、食品材料や容器であってもよい。

本発明の部品装着システムおよび部品装着装置ならびに判定方法は、搬送されたトレイに収容された部品の収容状態を適切に判定することができるという効果を有し、部品を基板に実装する分野において有用である。

１ 部品装着システム
３ 管理コンピュータ（制御システム）
１６ パレット
１７、１７Ａ、１７Ｂ トレイ
１９ パレット収納部
２０ トレイマガジン
２１、１２１ 部品供給装置
２２、１２２ 保管装置
３０ 第２パレット移動部（引き出し部）
３１、１２９ 第１カメラ（撮像部）
３２ 第２カメラ（撮像部）
３５ 基板
３６ 装着ヘッド
３７ ヘッドカメラ（撮像部）
３８ 自動補給装置
Ａ 加速度計
Ｍ４、Ｍ５ 部品装着装置
Ｐ１、Ｐ２ 部品
Ｑ 搬送装置

Claims (17)

1. 基板に部品を装着する部品装着システムであって、
   前記基板に部品を装着する部品装着装置と、
   トレイに収容された部品を前記部品装着装置に供給する部品供給装置と、
   前記トレイを保持するパレットを収納するパレット収納部を有し、前記部品供給装置へと前記パレットを供給する保管装置と、
   前記保管装置へと前記パレットを搬送する搬送装置と、を備え、
   前記部品装着装置、前記部品供給装置、または前記保管装置は、
   前記搬送装置による前記パレットの搬送時に前記トレイ内の部品の収容状態に異常が生じた可能性があることを示す警告情報を取得する第１情報取得部と、
   前記トレイ内の部品を撮像する撮像部と、
   前記警告情報が取得された場合に、前記撮像部による前記トレイ内の部品の撮像結果に基づいて前記収容状態に異常があるかの判定を行う異常判定部と、を有する、部品装着システム。
2. 前記部品装着装置、前記部品供給装置、または前記保管装置は、前記収容状態に異常があると判定された場合に、前記異常がある旨を出力する第１出力部をさらに有する、請求項１に記載の部品装着システム。
3. 制御システムをさらに備え、
   前記第１出力部は、前記制御システムに前記異常がある旨を出力し、
   前記制御システムは、前記異常がある旨を取得した場合、前記異常があると判定されたトレイを保持するパレットの交換の指示を出力する第２出力部を有する、請求項２に記載の部品装着システム。
4. 前記部品装着装置は、前記基板に前記部品を装着する装着ヘッドを有し、
   前記撮像部は、前記装着ヘッドと一体的に設けられている、請求項１から３のいずれかに記載の部品装着システム。
5. 前記保管装置は、前記パレットを引き出す引き出し部を有し、
   前記撮像部は、前記引き出し部を撮像可能な位置に設けられている、請求項１から３のいずれかに記載の部品装着システム。
6. 前記搬送装置は、
   前記トレイが受けた加速度を計測するための加速度計と、
   前記加速度が所定の閾値を超えた場合に前記警告情報を出力する第２出力部と、を有する、請求項１から５のいずれかに記載の部品装着システム。
7. 前記搬送装置は、
   前記トレイが受けた加速度を計測するための加速度計を有し、
   前記制御システムは、
   計測された前記加速度に関する加速度情報を取得する第２情報取得部と、
   取得された前記加速度情報に基づいて、前記加速度が所定の閾値を超えたか否かを判定する警告判定部と、
   前記加速度が所定の閾値を超えた場合に前記警告情報を出力する第３出力部と、を有する、請求項３に記載の部品装着システム。
8. 前記所定の閾値は、前記搬送装置による前記パレットの搬送時に前記トレイ内の前記部品の収容状態に異常が生じる加速度に基づいて設定されている、請求項６または７に記載の部品装着システム。
9. 前記搬送装置は、搬送する前記パレットを前記保管装置に自動で補給する自動補給装置を有する、請求項１から８のいずれかに記載の部品装着システム。
10. 前記パレットは、トレイマガジンに保管された状態で搬送され、
    前記保管装置は、前記パレットを保管する前記トレイマガジンを収納する、請求項１から９のいずれかに記載の部品装着システム。
11. 前記警告情報と前記トレイに収容された部品の関係に基づいて、前記トレイ内の部品を撮像するか否かを判断する撮像判定部を、さらに備える、請求項１から１０のいずれかに記載の部品装着システム。
12. 部品供給装置から供給されるトレイに収容された部品を基板に装着する部品装着装置であって、
    搬送装置による前記トレイを保持するパレットの保管装置への搬送時に前記トレイ内の部品の収容状態に異常が生じた可能性があることを示す警告情報を取得する第１情報取得部と、
    前記トレイ内の部品を撮像する撮像部と、
    前記警告情報が取得された場合に、前記撮像部による前記トレイ内の部品の撮像結果に基づいて、前記トレイ内の部品の収容状態に異常があるかの判定を行う異常判定部と、を有する、部品装着装置。
13. 前記異常があると判定された場合、前記異常があると判定されたトレイを保持するパレットの交換の指示を出力する第２出力部を有する、請求項１２に記載の部品装着装置。
14. 前記撮像部は、基板に部品を装着する装着ヘッドに一体的に設けられている、請求項１２または１３に記載の部品装着装置。
15. 搬送装置により搬送されたパレットが保持するトレイに収容された部品の収容状態に異常がないかの判定を行う判定方法であって、
    前記搬送装置による前記パレットの搬送時に前記トレイ内の部品の収容状態に異常が生じた可能性があることを示す警告情報を取得し、
    前記警告情報を取得した場合に、前記トレイ内の部品の収容状態に異常がないかの判定を行う、判定方法。
16. 基板に部品を装着する部品装着装置に前記トレイに収容された部品を供給する部品供給装置へとパレットを供給する保管装置に前記パレットを補給した後に、前記判定を行う、請求項１５に記載の判定方法。
17. 撮像部で前記トレイ内の部品を撮像し、
    前記トレイ内の部品の撮像結果に基づいて、前記判定を行う、請求項１５または１６に記載の判定方法。

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