JP2022100062A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
Description
14 センサチップ/端子用固定部材
16 センサチップ
17 スペーサ部材
18 チップマウント部材
19 ハーメチックガラス
20、21、31 シールド部材
30 端子接続用基板
32、42、52 ダイヤフラム
40ai 入出力端子群
14G、24G、44G チップ設置部
62 中継端子
Wi、Wia ,Wib ボンディングワイヤ
Wie 接続端
Claims (7)
- 圧力を検出し検出出力信号を送出するセンサチップと、該センサチップが配される液封室と該液封室に向き合う圧力室とを仕切るダイヤフラムと、該センサチップに配線材を介して電気的に接続される入出力端子群と、前記センサチップが配置されるチップ設置部を有し、前記センサチップおよび前記入出力端子群を支持するセンサチップ/端子用支持部材とを含んでなるセンサユニットと、
前記液封室内における前記センサチップの一方の端面と前記ダイヤフラムとの間に配され、前記センサチップの真上に位置する遮蔽部と、該遮蔽部に連なり前記センサチップ/端子用支持部材に固定される固定端部とを有し、前記センサチップに作用する電界を遮断する電界遮断部材と、を備え、
前記電界遮断部材の遮蔽部における前記センサチップに接続された配線材の接続端の配列方向に沿った少なくとも一方の端部が、該配線材の真上の位置よりも前記センサチップの中央部に近接した位置に配置されることを特徴とする圧力センサ。 - 圧力を検出し検出出力信号を送出するセンサチップと、該センサチップが配される液封室と該液封室に向き合う圧力室とを仕切るダイヤフラムと、該センサチップに電気的に接続される入出力端子群と、前記センサチップが配置されるチップ設置部を有し、前記センサチップおよび前記入出力端子群を支持するセンサチップ/端子用支持部材とを含んでなるセンサユニットと、
前記液封室内における前記センサチップの一方の端面と前記ダイヤフラムとの間に配され、前記センサチップの真上に位置する遮蔽部と、遮蔽部に連なり前記センサチップ/端子用支持部材に固定される固定端部とを有し、該センサチップに作用する電界を遮断する電界遮断部材と、を備え、
前記ダイヤフラムは、前記電界遮断部材の遮蔽部に対向する部分を有し、該遮蔽部に対向する部分の両端に連なり同心円状に形成される凹凸が、前記センサチップ/端子用支持部材に向けて張り出すように形成されることを特徴とする圧力センサ。 - 圧力を検出し検出出力信号を送出するセンサチップと、該センサチップが配される液封室と該液封室に向き合う圧力室とを仕切るダイヤフラムと、該センサチップに電気的に接続される入出力端子群と、前記センサチップが配置されるチップ設置部を有し、前記センサチップおよび前記入出力端子群を支持するセンサチップ/端子用支持部材とを含んでなるセンサユニットと、
前記液封室内における前記センサチップの一方の端面と前記ダイヤフラムとの間に配され、前記センサチップの真上に位置する遮蔽部と、遮蔽部に連なり前記センサチップ/端子用支持部材に固定される固定端部とを有し、該センサチップに作用する電界を遮断する電界遮断部材と、を備え、
前記ダイヤフラムの外縁部の位置は、前記センサチップの一方の端面に向き合う部分の位置よりも前記液封室内のセンサチップ/端子用支持部材の端部に近いことを特徴とする圧力センサ。 - 前記チップ設置部は、前記センサチップ/端子用支持部材の端部に凹状に形成されることを特徴とする請求項1から請求項3までのうちのいずれかに記載の圧力センサ。
- 導体パターンが前記センサチップ/端子用支持部材の端面に形成され、前記入出力端子群が前記導体パターンと電気的に接続され、前記電界遮断部材の各固定端部が前記導体パターンに固定されていることを特徴とする請求項1から請求項3までのうちのいずれかに記載の圧力センサ。
- 圧力を検出し検出出力信号を送出するセンサチップと、該センサチップが配される液封室と該液封室に向き合う圧力室とを仕切るダイヤフラムと、該センサチップに電気的に接続される入出力端子群とを含んでなるセンサユニットと、
前記液封室における前記センサチップを取り囲むように配置されるスペーサ部材と、
前記スペーサ部材に支持されることにより、前記液封室内における前記センサチップの一方の端面と前記ダイヤフラムとの間に配され、該センサチップに作用する電界を遮断する電界遮断部材と、を備え、
前記電界遮断部材の電位が、前記入出力端子群のうちのいずれかの入出力端子の電位と同一の電位とされることを特徴とする圧力センサ。 - 前記電界遮断部材は、前記液封室における前記ダイヤフラムと前記電界遮断部材との間に形成される部分と前記スペーサ部材の内周部における前記電界遮断部材により囲まれる部分との間、または、前記スペーサ部材の内側と前記ダイヤフラムと前記電界遮断部材との間に形成される部分とを連通させる少なくとも一つの開口部を有することを特徴とする請求項6記載の圧力センサ。
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