JP2022087031A - ヒーター組立体及びこれを含むボンディングヘッド - Google Patents

ヒーター組立体及びこれを含むボンディングヘッド Download PDF

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Abstract

【課題】ヒーター組立体及びこれを含むボンディングヘッドを提供する。【解決手段】本発明のヒーター組立体は、内部の収容空間及びこれと連通する冷却ガス流入口を有するハウジングと、ハウジングに結合されるヒーターと、収容空間内に配置される多孔質ブロックと、を含むことができる。【選択図】図２

Description

本発明は、ダイ（ｄｉｅ）を基板上に実装するのに使用されるボンディングヘッド、及び該ボンディングヘッドに備えられるヒーター組立体に関する。
一般に、ソーイング工程（ｓａｗｉｎｇ ｐｒｏｃｅｓｓ）を介して個別化されたダイをプリント回路基板、リードフレームなどの基板上に実装するダイボンディング工程では、ウエハ上のダイをピックアップして基板上に搭載するボンディングヘッドが使用される。
ボンディングヘッドは、真空圧を用いてダイをピックアップするためのコレット（ｃｏｌｌｅｔ）と、コレットが装着される本体とを備える。
ダイを基板上に実装するためには、ダイを加熱する必要がある。このために、ボンディングヘッドには、ヒーターを含むヒーター組立体が備えられる。
また、ヒーター組立体は、ヒーターを冷却するように構成される冷却モジュールを含む。冷却モジュールは、ヒーターに向けて空気を噴出させてヒーターを冷却するように構成される。冷却モジュールは、空気が流入する複数の空気流入口と、複数の空気流入口に連通する複数の冷却流路と、複数の冷却流路に連通する複数の空気排出口と、を備える。複数の空気排出口は、ヒーターに隣接して配置される。
このような従来のヒーター組立体の場合、複数の空気流入口に流入した空気が複数の冷却流路に沿って流動した後、複数の空気排出口を介して外部に排出される。複数の空気排出口から噴出される空気がヒーターと衝突することによりヒーターが冷却される。
ところが、従来のヒーター組立体の場合、複数の冷却流路の長さ、すなわち、複数の空気流入口と複数の空気排出口との距離が異なるので、複数の空気排出口から排出される空気の圧力と流量が異なる。これにより、ヒーターの全体領域が均一に冷却されないという問題がある。
このように、ヒーターの全体領域が均一に冷却されなければ、ヒーターの複数の領域で温度偏差が発生する。そして、温度偏差によりヒーターが熱変形して破損するおそれがあり、ヒーターの寿命が短縮されるおそれがある。
韓国公開特許第１０－２０１５－０１４１３６１号公報（２０１５年１２月１８日）
本発明の目的は、ヒーターの全体領域を均一に冷却することができるヒーター組立体、及びこれを含むボンディングヘッドを提供することにある。
本発明の実施形態によれば、内部に収容空間を有し、収容空間と連通する冷却ガス流入口を有するハウジングと、ハウジングに結合されるヒーターと、ハウジングの収容空間内に配置される多孔質ブロックと、を含むヒーター組立体が提供されることができる。
ヒーターは、異なる温度で発熱する複数の発熱領域を含むことができ、多孔質ブロックは、複数の発熱領域に応じて冷却ガスの流量が変化するように構成されることができる。
ヒーターは、第１温度で熱を放出する第１領域と、第１温度よりも低い第２温度で熱を放出する第２領域と、を含むことができ、多孔質ブロックは、第１空隙率を有する第１多孔質部材と、第１空隙率よりも小さい第２空隙率を有する第２多孔質部材と、を含むことができ、第１多孔質部材は、第１領域に対応するように配置されることができ、第２多孔質部材は、第２領域に対応するように配置されることができる。
第１多孔質部材は、第２多孔質部材に比べて単位体積当たりの気孔の数が多いことができる。
第１多孔質部材は、第２多孔質部材に比べて体積が大きい気孔を有することができる。
ヒーターは、第１温度で熱を放出する第１領域と、第１温度よりも低い第２温度で熱を放出する第２領域と、を含むことができ、多孔質ブロックは、第１厚さを有する第１多孔質部材と、第１厚さよりも大きい第２厚さを有する第２多孔質部材と、を含むことができ、第１多孔質部材は、第１領域に対応するように配置されることができ、第２多孔質部材は、第２領域に対応するように配置されることができる。
第１多孔質部材は、ヒーターから離隔することができる。
ヒーターは、第１温度で熱を放出する第１領域と、第１温度よりも低い第２温度で熱を放出する第２領域と、を含むことができ、多孔質ブロックは、第１領域に対応するように配置される第１多孔質部材と、第２領域に対応するように配置される第２多孔質部材と、を含むことができ、第１多孔質部材は、第１領域から離隔し、第２多孔質部材は、第２領域に接触することができる。
ヒーターは、第１温度で熱を放出する第１領域と、第１温度よりも低い第２温度で熱を放出する第２領域と、を含むことができ、多孔質ブロックは、第２領域のみに配置されることができる。
ヒーターは、第１温度で熱を放出する第１領域と、第１温度よりも低い第２温度で熱を放出する第２領域と、を含むことができ、多孔質ブロックは、第２領域のみを覆うように形成されることができる。
本発明の実施形態によるヒーター組立体は、冷却ガス流入口と多孔質ブロックとの間に備えられるバッフルをさらに含むことができる。
本発明の実施形態によるヒーター組立体は、内部に収容空間を有し、収容空間と連通する冷却ガス流入口及び冷却ガス排出口を有するハウジングと、ハウジングに結合されるヒーターと、収容空間内に配置され、冷却ガス流入口と連通する第１多孔質ブロックと、収容空間内に配置され、冷却ガス排出口と連通する第２多孔質ブロックと、を含むことができる。
第１多孔質ブロックは、ヒーターから離隔して、第１多孔質ブロックとヒーターとの間に冷却ガスの流動する流動空間が形成されることができる。
ハウジングは、ベース部材を含むことができ、収容空間は、ベース部材及び第２多孔質ブロックによって形成されることができ、ヒーターは、収容空間を密閉するように第２多孔質ブロックに結合されることができる。
冷却ガス排出口は、ベース部材及びヒーターが互いに離隔することにより形成されることができる。
第２多孔質ブロックは、第１多孔質ブロック、ベース部材及びヒーターを支持するように構成されることができる。
ハウジングは、ベース部材と、ベース部材を囲むように配置される側壁と、を含むことができ、収容空間は、ベース部材及び側壁によって形成されることができ、ヒーターは、収容空間を密閉するように側壁に結合されることができる。
冷却ガス流入口は、ベース部材及び側壁のうちの少なくとも一つに形成されることができる。すなわち、冷却ガス流入口は、ベース部材または側壁に形成されることもでき、ベース部材と側壁の両方ともに形成されることもできる。
冷却ガス排出口は、ベース部材及び側壁のうちの少なくとも一つに形成されることができる。つまり、冷却ガス排出口は、ベース部材または側壁に形成されることもでき、ベース部材と側壁の両方ともに形成されることもできる。
本発明の実施形態によれば、ダイをピックアップして基板上に搭載するように構成されものであって、ダイを維持するように構成されるコレットと、コレットに隣接して配置される前記ヒーター組立体と、を含むボンディングヘッドが提供されることができる。
本発明の実施形態によるボンディングヘッドは、ヒーター組立体から放出される熱を遮断する断熱ブロックをさらに含むことができ、ヒーター組立体は、コレットと断熱ブロックとの間に配置されることができる。
本発明の実施形態によれば、ヒーターの全体領域を均一に冷却することができるので、ヒーターの複数の領域で温度偏差が発生することを防止することができる。よって、温度偏差によりヒーターが熱変形して破損したりヒーターの寿命が短縮されたりすることを防止することができる。
本発明の第１実施形態によるヒーター組立体が備えられるボンディングヘッドを概略的に示す図である。 本発明の第１実施形態によるヒーター組立体の一例を概略的に示す図である。 本発明の第１実施形態によるヒーター組立体の他の例を概略的に示す図である。 本発明の第１実施形態によるヒーター組立体の別の例を概略的に示す図である。 本発明の第２実施形態によるヒーター組立体の一例を概略的に示す図である。 本発明の第２実施形態によるヒーター組立体の他の例を概略的に示す図である。 本発明の第２実施形態によるヒーター組立体の別の例を概略的に示す図である。 本発明の第２実施形態によるヒーター組立体の別の例を概略的に示す図である。 本発明の第３実施形態によるヒーター組立体の一例を概略的に示す図である。 本発明の第３実施形態によるヒーター組立体の他の例を概略的に示す図である。 本発明の第３実施形態によるヒーター組立体の別の例を概略的に示す図である。 本発明の第３実施形態によるヒーター組立体の別の例を概略的に示す図である。
以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態によるボンディングヘッド、及びボンディングヘッドに備えられるヒーター組立体について説明する。
図１に示すように、本発明の第１実施形態によるボンディングヘッドは、ソーイング工程によって個別化されたダイ８０を含むウエハ９０からダイ８０をピックアップするように構成される。ボンディングヘッドは、ダイをプリント回路基板、リードフレームなどの基板上に実装するために使用される。
ボンディングヘッドは、固定ブロック１０、断熱ブロック２０、ヒーター組立体３０及びコレット４０を含む。
固定ブロック１０は、駆動ユニット（図示せず）に連結されることができる。駆動ユニットは、ボンディングヘッドを水平及び垂直に移動させる役割を果たす。
断熱ブロック２０は、ヒーター組立体３０から発生した熱が固定ブロック１０へ伝達されることを防止する。
コレット４０は、負圧を用いてダイ８０を吸着するように構成されることができる。このため、コレット４０には負圧源６０が連結される。例えば、コレット４０は、セラミック材料で形成されることができる。
以下、図２乃至図４を参照して、本発明の第１実施形態によるヒーター組立体３０について説明する。
ヒーター組立体３０は、断熱ブロック２０とコレット４０との間に配置される。ヒーター組立体３０は、コレット４０によってピックアップされたダイ８０を加熱する役割を果たす。ヒーター組立体３０から発生した熱によって加熱されたダイ８０は、基板上に熱圧着されることができる。
図１及び図２に示すように、ヒーター組立体３０は、ハウジング３１、ヒーター３２及び多孔質ブロック５０を含む。
例えば、ハウジング３１は、熱絶縁性材料で形成されることができる。ハウジング３１は、内部に収容空間３１１を有する。ハウジング３１は、収容空間３１１に連通する冷却ガス流入口３１２及び冷却ガス排出口３１３を有する。冷却ガス流入口３１２は、冷却ガスを供給する冷却ガス供給源７０に連結される。
冷却ガス供給源７０から供給される冷却ガスは、空気または不活性ガスであることができる。他の例として、冷却ガスとして冷媒が使用されることができる。冷却ガス供給源７０は、常温以下の冷却ガスを供給することができる。
ハウジング３１は、一側が開放された形状に形成されることができる。ハウジング３１の開放された一側には、ヒーター３２が設置されることができる。ハウジング３１は、ベース部材３１４及び側壁３１５を含むことができる。
ベース部材３１４は、板状に形成されることができる。側壁３１５は、ベース部材３１４を囲むように配置されることができる。
収容空間３１１は、ベース部材３１４及び側壁３１５によって形成されることができる。
冷却ガス流入口３１２は、ベース部材３１４に形成されることができる。ただし、本発明は、これに限定されず、冷却ガス流入口３１２が側壁３１５に形成される構成にも本発明が適用されることができる。ハウジング３１は、一つ以上の冷却ガス流入口３１２を備えることができる。複数の冷却ガス流入口３１２が備えられる場合、複数の冷却ガス流入口３１２は、一定の間隔で配置されることができる。
冷却ガス排出口３１３は、側壁３１５に形成されることができる。ただし、本発明は、これに限定されず、冷却ガス排出口３１３がベース部材３１４に形成される構成にも本発明が適用されることができる。ハウジング３１は、一つ以上の冷却ガス排出口３１３を備えることができる。複数の冷却ガス排出口３１３が備えられる場合、複数の冷却ガス排出口３１３は、一定の間隔で配置されることができる。
ヒーター３２は、板状に形成されることができる。ヒーター３２は、収容空間３１１を密閉するようにハウジング３１に結合されることができる。例えば、ヒーター３２は、ハウジング３１の側壁３１５に結合されることができる。
多孔質ブロック５０は、ハウジング３１の収容空間３１１内に配置される。多孔質ブロック５０は、冷却ガスが通過しうる複数の気孔を含むことができる。多孔質ブロック５０は、所定の空隙率を有することができる。空隙率は、単位体積に対する複数の気孔の体積の和の比率であることができる。空隙率が大きい場合、多孔性ブロック５０を通過する冷却ガスの流量が増加することができる。逆に、空隙率が小さい場合、多孔性ブロック５０を通過する冷却ガスの流量が減少することができる。
冷却ガスが多孔質ブロック５０を通過することにより、冷却ガスの圧力及び流量が全体的に均一になることができる。
図２に示すように、多孔質ブロック５０は、ヒーター３２から離隔することができる。これにより、多孔質ブロック５０とヒーター３２との間に流動空間３１６が形成されることができる。したがって、冷却ガスが多孔質ブロック５０を通過し、流動空間３１６内で流動した後、ヒーター３２と接触しながらヒーター３２を冷却させることができる。
他の例として、図３に示すように、多孔質ブロック５０は、ヒーター３２に接触することができる。よって、冷却ガスが多孔質ブロック５０を通過した後、直ちにヒーター３２と接触しながらヒーター３２を冷却させることができる。
別の例として、図４に示すように、冷却ガス流入口３１２と多孔質ブロック５０との間にバッフル３１７がさらに備えられることができる。バッフル３１７は、所定のメッシュを有する網で構成されることができる。冷却ガス流入口３１２から多孔質ブロック５０に向かって流動する冷却ガスがバッフル３１７を通過することにより、冷却ガスの圧力及び流量が全体的に均一になることができる。よって、ヒーター３２の全体領域がより均一に冷却されることができる。
本発明の第１実施形態によるヒーター組立体３０によれば、冷却ガスが多孔質ブロック５０を通過することにより、冷却ガスの圧力及び流量が全体的に均一になることができる。よって、ヒーター３２の全体領域に対して冷却ガスが均一に伝達されることができる。したがって、ヒーター３２の全体領域が均一に冷却されることができるので、ヒーター３２の複数の領域で温度偏差が発生することを防止することができる。このため、温度偏差によりヒーター３２が熱変形して破損したりヒーター３２の寿命が短縮されたりすることを防止することができる。
一方、本発明の第１実施形態は、ヒーター３２がハウジング３１に結合される構成を提示しているが、本発明は、これに限定されない。他の実施形態として、ヒーター３２は、ハウジング３１から離隔するように配置されることができる。この場合、ハウジング３１の開放された一側が冷却ガス排出口としての役割を果たすことができ、ハウジング３１のベース部材３１４または側壁３１５に別途の冷却ガス排出口３１３が備えられないことができる。このような構成によれば、冷却ガス流入口３１２を介してハウジング３１の内部に流入した冷却ガスは、多孔質ブロック５０を通過してヒーター３２に向かって噴出されることができ、多孔質ブロック５０から噴出された冷却ガスは、ヒーター３２と衝突しながらヒーター３２を冷却させることができる。
本発明の第２実施形態によるヒーター組立体３０のヒーター３２は、異なる温度で発熱する複数の発熱領域Ｒ１、Ｒ２を含むことができる。本発明の第２実施形態は、ヒーター３２が２つの発熱領域Ｒ１、Ｒ２を有する構成を提示するが、本発明は、これに限定されない。他の例として、ヒーター３２が３つ以上の発熱領域を有する構成にも本発明が適用されることができる。
多孔質ブロック５０は、複数の発熱領域Ｒ１、Ｒ２に応じて冷却ガスの流量が変化するように構成されることができる。
例えば、複数の発熱領域Ｒ１、Ｒ２は、第１温度で熱を放出する第１領域Ｒ１と、第１温度よりも低い第２温度で熱を放出する第２領域Ｒ２と、を含むことができる。
複数の発熱領域Ｒ１、Ｒ２に応じて冷却ガスの流量が変化するように、図５に示すように、多孔質ブロック５０は、第１空隙率を有する第１多孔質部材５０１と、第１空隙率よりも小さい第２空隙率を有する第２多孔質部材５０２と、を含む。そして、第１多孔質部材５０１は第１領域Ｒ１に対応するように配置され、第２多孔質部材５０２は第２領域Ｒ２に対応するように配置される。
第１多孔質部材５０１及び第２多孔質部材５０２は、互いに対して個別に形成されてもよく、一体に形成されてもよい。
一例として、第１多孔質部材５０１は、第２多孔質部材５０２に比べて単位体積当たりの気孔の数が多いことができる。他の例として、第１多孔質部材５０１は、第２多孔質部材５０２に比べて体積が大きい気孔を有することができる。
このように、第１多孔質部材５０１及び第２多孔質部材５０２の空隙率の差により、冷却ガスは、相対的に大きい流量で第１多孔質部材５０１を通過することができ、相対的に小さい流量で第２多孔質部材５０２を通過することができる。したがって、冷却ガスが相対的に大きい流量で第１領域Ｒ１に伝達されることができ、相対的に小さい流量で第２領域Ｒ２に伝達されることができる。よって、第１領域Ｒ１が冷却される程度は、第２領域Ｒ２が冷却される程度よりも大きいことができる。このため、第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２とが同一またはほぼ類似の冷却速度および冷却温度で冷却されることができる。ヒーター３２の全体領域が均一に冷却されることができる。
他の例として、複数の発熱領域Ｒ１、Ｒ２に応じて冷却ガスの流量が変化するように、図６に示すように、多孔質ブロック５０は、第１厚さを有する第１多孔質部材５０１と、第１厚さよりも大きい第２厚さを有する第２多孔質部材５０２と、を含む。そして、第１多孔質部材５０１は第１領域Ｒ１に対応するように配置され、第２多孔質部材５０２は第２領域Ｒ２に対応するように配置される。
第１多孔質部材５０１及び第２多孔質部材５０２は、互いに対して個別に形成されてもよく、一体に形成されてもよい。
一方、第１多孔質部材５０１及び第２多孔質部材５０２の厚さの差をより大きくするために、第１多孔質部材５０１はヒーター３２から離隔することができる。ただし、本発明は、このような構成に限定されず、第１多孔質部材５０１がヒーター３２に接触する構成、第２多孔質部材５０２がヒーター３２に接触する構成、第１多孔質部材５０１及び第２多孔質部材５０２の両方ともがヒーター３２に接触する構成、第１多孔質部材５０１がヒーター３２から離隔する構成、第２多孔質部材５０２がヒーター３２から離隔する構成、第１多孔質部材５０１及び第２多孔質部材５０２の両方ともがヒーター３２から離隔する構成にも本発明が適用されることができる。
このように、第１多孔質部材５０１及び第２多孔質部材５０２の厚さの差により、冷却ガスは、相対的に大きい流量で第１多孔質部材５０１を通過することができ、相対的に小さい流量で第２多孔質部材５０２を通過することができる。したがって、冷却ガスが相対的に大きい流量で第１領域Ｒ１に伝達されることができ、相対的に小さい流量で第２領域Ｒ２に伝達されることができる。よって、第１領域Ｒ１が冷却される程度は、第２領域Ｒ２が冷却される程度よりも大きいことができる。このため、第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２とが同一またはほぼ類似の冷却速度および冷却温度で冷却されることができる。ヒーター３２の全体領域が均一に冷却されることができる。
別の例として、複数の発熱領域Ｒ１、Ｒ２に応じて冷却ガスの流量が変化するように、図７に示すように、多孔質ブロック５０は、第１領域Ｒ１に対応するように配置される第１多孔質部材５０１と、第２領域Ｒ２に対応するように配置される第２多孔質部材５０２と、を含む。そして、第１多孔質部材５０１は第１領域Ｒ１から離隔し、第２多孔質部材５０２は第２領域Ｒ２に接触する。
第１多孔質部材５０１及び第２多孔質部材５０２は、互いに対して個別に形成されてもよく、一体に形成されてもよい。
第１多孔質部材５０１は、第１領域Ｒ１から離隔し、これにより、第１多孔質部材５０１と第１領域Ｒ１との間には、冷却ガスの流動する流動空間３１６が形成される。
したがって、流動空間３１６が占める体積だけ、第１多孔質部材５０１が占める空間が減少する。よって、第１多孔質部材５０１及び流動空間３１６を通過してヒーター３２へ流動する冷却ガスの流量は、第２多孔質部材５０２を通過してヒーター３２へ流動する冷却ガスの流量よりも大きいことができる。
このように、第１多孔質部材５０１と第２多孔質部材５０２との位置差により、冷却ガスは、相対的に大きい流量で第１多孔質部材５０１を通過することができ、相対的に小さい流量で第２多孔質部材５０２を通過することができる。よって、冷却ガスが相対的に大きい流量で第１領域Ｒ１へ伝達されることができ、相対的に小さい流量で第２領域Ｒ２へ伝達されることができる。したがって、第１領域Ｒ１が冷却される程度は、第２領域Ｒ２が冷却される程度よりも大きいことができる。このため、第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２とが同一またはほぼ類似の冷却速度および冷却温度で冷却されることができる。ヒーター３２の全体領域が均一に冷却されることができる。
別の例として、複数の発熱領域Ｒ１、Ｒ２に応じて冷却ガスの流量が変化するように、図８に示すように、多孔質ブロック５０は第２領域Ｒ２のみに配置されることができる。他の例として、多孔性ブロック５０は第２領域Ｒ２のみを覆うように形成されることができる。
多孔質ブロック５０が配置されていない領域を通過してヒーター３２へ流動する冷却ガスの流量は、多孔質ブロック５０が配置された空間を通過してヒーター３２へ流動する冷却ガスの流量よりも大きいことができる。
このように、多孔質ブロック５０の配置有無によって、冷却ガスが相対的に大きい流量で第１領域Ｒ１へ伝達されることができ、相対的に小さい流量で第２領域Ｒ２へ伝達されることができる。したがって、第１領域Ｒ１が冷却される程度は、第２領域Ｒ２が冷却される程度よりも大きいことができる。このため、第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２とが同一またはほぼ類似の冷却速度および冷却温度で冷却されることができる。ヒーター３２の全体領域が均一に冷却されることができる。
本発明の第２実施形態によるヒーター組立体３０によれば、異なる温度で発熱する複数の発熱領域Ｒ１、Ｒ２に応じて冷却ガスの流量が変化するので、ヒーター３２の全体領域が均一に冷却されることができる。ヒーター３２の複数の領域で温度偏差が発生することを防止することができる。したがって、温度偏差によりヒーター３２が熱変形して破損したりヒーター３２の寿命が短縮されたりすることを防止することができる。
以下、図９乃至図１２を参照して、本発明の第３実施形態によるヒーター組立体３０について説明する。前述した第１実施形態及び第２実施形態で説明した部分と同一の部分については同一の符号を付し、これについての詳細な説明は省略する。
本発明の第３実施形態によるヒーター組立体３０は、ハウジング３１、ヒーター３２、第１多孔質ブロック５１及び第２多孔質ブロック５２を含む。
図９に示すように、ハウジング３１は、内部に収容空間３１１を有する。ハウジング３１は、収容空間３１１と連通する冷却ガス流入口３１２及び冷却ガス排出口３１３を備える。
ヒーター３２は、ハウジング３１に結合される。
第１多孔質ブロック５１は収容空間３１１内に配置される。第１多孔質ブロック５１は冷却ガス流入口３１２と連通する。第１多孔質ブロック５１は、冷却ガス流入口３１２を介してハウジング３１の内部に流入した冷却ガスが流動する流路としての役割を果たす。
第２多孔質ブロック５２は収容空間３１１内に配置される。第２多孔質ブロック５２は冷却ガス排出口３１３と連通する。第２多孔質ブロック５１は、冷却ガス排出口３１３を介してハウジング３１の外部に排出される冷却ガスが流動する流路としての役割を果たす。
第１多孔質ブロック５１は、ヒーター３２から離隔して、第１多孔質ブロック５１とヒーター３２との間に冷却ガスの流動する流動空間３１６が形成されることができる。
一方、ハウジング３１は、ベース部材３１４と、ベース部材３１４を囲むように配置される側壁３１５と、を含み、収容空間３１１は、ベース部材３１４及び側壁３１５によって形成される。また、ヒーター３２は、収容空間３１１を密閉するように側壁３１５に結合されることができる。また、ヒーター３２は第２多孔質ブロック５２に支持されることができる。
第２多孔質ブロック５２はベース部材３１４及びヒーター３２に密着することができる。
本発明の第３実施形態では、冷却ガス流入口３１２及び冷却ガス排出口３１３がベース部材３１４に形成される構成を提示するが、本発明は、このような構成に限定されない。例えば、冷却ガス流入口３１２は、ベース部材３１４、側壁３１５、またはベース部材３１４及び側壁３１５に形成されることができ、冷却ガス排出口３１３は、ベース部材３１４、側壁３１５、またはベース部材３１４及び側壁３１５に形成されることができる。
一例として、図１０に示すように、第１多孔質ブロック５１及び第２多孔質ブロック５２は、直線状に形成されて互いに平行に配置されることができる。そして、第１多孔質ブロック５１は第２多孔質ブロック５２に支持されることができる。
他の例として、図１１に示すように、第１多孔質ブロック５１が第２多孔質ブロック５２内に配置されることができる。すなわち、第２多孔質ブロック５２は、第１多孔質ブロック５１を囲むように配置されることができる。そして、第１多孔質ブロック５１は第２多孔質ブロック５２に支持されることができる。
一方、他の例として、図１２に示すように、ハウジング３１はベース部材３１４を含み、収容空間３１１は第２多孔質ブロック５２によって形成されることができる。また、ヒーター３２は、収容空間３１１を密閉するように第２多孔質ブロック５２に結合されることができる。
このような構成によれば、ハウジング３１は側壁３１５を備えないことができる。すなわち、冷却ガス排出口は、ベース部材３１４及びヒーター３２が互いに離隔することにより形成されることができる。
本発明の第３実施形態によれば、第１多孔質ブロック５１、ベース部材３１４及びヒーター３２は第２多孔質ブロック５２によって支持される。このように、第１多孔質ブロック５１、ベース部材３１４及びヒーター３２を支持するための構成要素として、冷却ガスが通過しうる第２多孔質ブロック５２が備えられることができる。よって、第１多孔質ブロック５１、ベース部材３１４及びヒーター３２を支持する支持構造、及び冷却ガスを排出するための排出流路構造を別途設ける場合に比べて、ヒーター組立体３０の構成を単純化することができる。
また、本発明の第３実施形態によれば、冷却ガスが第１多孔質ブロック５１を通過することにより、冷却ガスの圧力及び流量が全体的に均一になることができる。よって、ヒーター３２の全体領域に対して冷却ガスが均一に伝達されることができる。したがって、ヒーター３２の全体領域が均一に冷却することができるので、ヒーター３２の複数の領域で温度偏差が発生することを防止することができる。このため、温度偏差によりヒーター３２が熱変形して破損したりヒーター３２の寿命が短縮されたりすることを防止することができる。
本発明の好適な実施形態が例示的に説明されたが、本発明の範囲は、このような特定の実施形態に限定されず、請求の範囲に記載された範疇内で適切に変更されることができる。
１０ 固定ブロック
２０ 断熱ブロック
３０ ヒーター組立体
４０ コレット
５０ 多孔質ブロック
６０ 負圧源
７０ 冷却ガス供給源
８０ ダイ
９０ ウエハ

Claims (20)

  1. 内部に収容空間を有し、前記収容空間と連通する冷却ガス流入口を有するハウジングと、
    前記ハウジングに結合されるヒーターと、
    前記収容空間内に配置される多孔質ブロックと、を含むヒーター組立体。
  2. 前記ヒーターは、異なる温度で発熱する複数の発熱領域を含み、
    前記多孔質ブロックは、前記複数の発熱領域に応じて前記冷却ガスの流量が変化するように構成されることを特徴とする、
    請求項１に記載のヒーター組立体。
  3. 前記ヒーターは、第１温度で熱を放出する第１領域と、第１温度よりも低い第２温度で熱を放出する第２領域と、を含み、
    前記多孔質ブロックは、第１空隙率を有する第１多孔質部材と、前記第１空隙率よりも小さい第２空隙率を有する第２多孔質部材と、を含み、
    前記第１多孔質部材は、前記第１領域に対応するように配置され、
    前記第２多孔質部材は、前記第２領域に対応するように配置されることを特徴とする、
    請求項１に記載のヒーター組立体。
  4. 前記第１多孔質部材は、前記第２多孔質部材に比べて単位体積当たりの気孔の数が多いことを特徴とする、
    請求項３に記載のヒーター組立体。
  5. 前記第１多孔質部材は、前記第２多孔質部材に比べて体積が大きい気孔を有することを特徴とする、
    請求項３に記載のヒーター組立体。
  6. 前記ヒーターは、第１温度で熱を放出する第１領域と、前記第１温度よりも低い第２温度で熱を放出する第２領域と、を含み、
    前記多孔質ブロックは、第１厚さを有する第１多孔質部材と、前記第１厚さよりも大きい第２厚さを有する第２多孔質部材と、を含み、
    前記第１多孔質部材は、前記第１領域に対応するように配置され、
    前記第２多孔質部材は、前記第２領域に対応するように配置されることを特徴とする、
    請求項１に記載のヒーター組立体。
  7. 前記第１多孔質部材は前記ヒーターから離隔することを特徴とする、
    請求項６に記載のヒーター組立体。
  8. 前記ヒーターは、第１温度で熱を放出する第１領域と、前記第１温度よりも低い第２温度で熱を放出する第２領域と、を含み、
    前記多孔質ブロックは、前記第１領域に対応するように配置される第１多孔質部材と、前記第２領域に対応するように配置される第２多孔質部材と、を含み、
    前記第１多孔質部材は、前記第１領域から離隔し、前記第２多孔質部材は、前記第２領域に接触することを特徴とする、
    請求項１に記載のヒーター組立体。
  9. 前記ヒーターは、第１温度で熱を放出する第１領域と、前記第１温度よりも低い第２温度で熱を放出する第２領域と、を含み、
    前記多孔質ブロックは、前記第２領域のみに配置されることを特徴とする、
    請求項１に記載のヒーター組立体。
  10. 前記ヒーターは、第１温度で熱を放出する第１領域と、前記第１温度よりも低い第２温度で熱を放出する第２領域と、を含み、
    前記多孔質ブロックは、前記第２領域のみを覆うように形成されることを特徴とする、 請求項１に記載のヒーター組立体。
  11. 前記冷却ガス流入口と前記多孔質ブロックとの間に備えられるバッフルをさらに含むことを特徴とする、
    請求項１に記載のヒーター組立体。
  12. 内部に収容空間を有し、前記収容空間と連通する冷却ガス流入口及び冷却ガス排出口を有するハウジングと、
    前記ハウジングに結合されるヒーターと、
    前記収容空間内に配置され、前記冷却ガス流入口と連通する第１多孔質ブロックと、
    前記収容空間内に配置され、前記冷却ガス排出口と連通する第２多孔質ブロックと、を含むことを特徴とする、ヒーター組立体。
  13. 前記第１多孔質ブロックは、前記ヒーターから離隔して、前記第１多孔質ブロックと前記ヒーターとの間に冷却ガスの流動する流動空間が形成されることを特徴とする、
    請求項１２に記載のヒーター組立体。
  14. 前記ハウジングは、ベース部材を含み、
    前記収容空間は、前記ベース部材及び前記第２多孔質ブロックによって形成され、
    前記ヒーターは、前記収容空間を密閉するように前記第２多孔質ブロックに結合されることを特徴とする、
    請求項１２に記載のヒーター組立体。
  15. 前記冷却ガス排出口は、前記ベース部材及び前記ヒーターが互いに離隔することにより形成されることを特徴とする、
    請求項１４に記載のヒーター組立体。
  16. 前記第２多孔質ブロックは、第１多孔質ブロック、前記ベース部材及び前記ヒーターを支持するように構成されることを特徴とする、
    請求項１４に記載のヒーター組立体。
  17. 前記ハウジングは、ベース部材と、前記ベース部材を囲むように配置される側壁と、を含み、
    前記収容空間は、前記ベース部材及び前記側壁によって形成され、
    前記ヒーターは、前記収容空間を密閉するように前記側壁に結合されることを特徴とする、
    請求項１２に記載のヒーター組立体。
  18. 前記冷却ガス流入口は、前記ベース部材、前記側壁、又は前記ベース部材及び前記側壁に形成され、
    前記冷却ガス排出口は、前記ベース部材、前記側壁、又は前記ベース部材及び前記側壁に形成されることを特徴とする、
    請求項１７に記載のヒーター組立体。
  19. ダイをピックアップして基板上に搭載するように構成されるボンディングヘッドであって、
    前記ダイを維持するように構成されるコレットと、
    前記コレットに隣接して配置される請求項１乃至１８のいずれか一項に記載のヒーター組立体と、を含むボンディングヘッド。
  20. 前記ヒーター組立体から放出される熱を遮断する断熱ブロックをさらに含み、
    前記ヒーター組立体は前記コレットと前記断熱ブロックとの間に配置されることを特徴とする、
    請求項１９に記載のボンディングヘッド。
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