JP2022077303A - 光ファイバープローブセンサーを用いた薄液膜厚さと液膜速度との同時測定方法、及び同センサーの較正方法 - Google Patents
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Abstract
Description
このレーザー光の干渉の技術は、開放されている状態で機器やプラント内を移動する固体薄膜(プラスティック薄膜など)には有効な方法であるが、密閉された機器やプラント内壁を移動する液膜計測に供することは不可能である。そこで、他に有効ではないかと思われる特許文献1、特許文献2で開示されているような手法も考えられている。
本発明にかかる光ファイバープローブセンサーを用いた薄液膜厚計測方法は、光軸に対して傾斜するように研磨した一方端面である「楔状検出端面」有する光ファイバーから構成される光ファイバープローブセンサーに対して、前記光ファイバーの他方端面である「光源側端面」から計測光を導入し、前記楔状検出端面の先端部から薄液中に照射された前記計測光の一部が液膜気液界面で反射されて楔状検出端面に再入光する際の光強度が、楔状検出端面の先端部と液膜気液界面との距離、ならびに楔状検出端面により決定されることに基づいて、薄液膜の厚さを逐次かつ連続的に計測することを特徴とする。
好ましくは、光源系、光学系、光電変換系を較正時と同一の設定で調整し、較正時と同一の入力光強度と戻り光強度が得られれば、戻り光強度と入力光強度との強度比は入力光強度に依存しない光ファイバープローブセンサー固有の値となるとし、前記固有の値を用いつつ、前記薄液膜の気液界面で反射されて光ファイバープローブセンサーに再入射する戻り受光強度と入力光強度との比を表す液膜厚さの関数を求め、前記関数を利用して、前記壁面に沿った薄液膜の特性を逐次かつ連続的に計測するとよい。
周知のごとく、光ファイバー2とは、極細の信号線で高速信号が長距離に伝送出来るため、デジタル通信を中心に多くの通信用途に使用されているものである。この光ファイバー2はコアと呼ばれる芯とその外側のクラッドと呼ばれる部分から構成されている。光ファイバー2を構成するクラッドよりもコアの屈折率を高くすることで、全反射や屈折により光を中心部のコアにだけ伝播させる構造になっている。コアとクラッドはともに光に対して透過率が非常に高い石英ガラスまたはプラスティックで構成されている。
まず、
(i)光ファイバー2の先端が水に接している場合は、水とコアとの屈折率に大きな差がないため、光ファイバー2の端部でコアの内側に反射してくる光の強度は小さいものとなる(伝送光Piの0.5%程度)。
きな差が存在するために、光ファイバー2の端部でコアの内側に反射してくる光の強度Pbは大きなものとなる(伝送光Piの4%程度)。
以上述べたコア内の反射光の強度を光電変換して、電圧変化として気泡情報、言い換えれば薄膜に関する情報を得るのが、本発明の基本原理である。
その結果の一つとして、図1に示す如く、光軸に対して傾斜する端面3(以下、楔状検出端面3)を有する光ファイバー2を、「薄液膜Wの厚み(図2に示すt)」と「薄液膜Wの移動速度(図2に示すv)」を計測するためのプローブセンサー1として用いることができるとの知見を得た。
この楔角θ1に関しては、30°から35°程度が最もS/N比が良いが、好ましくは、光ファイバー2のコアの屈折率と計測対象とする液の屈折率、ならびに使用する光の波長により決定するのがよい。
光ファイバー2による計測においては、図2に示すように、光ファイバー2の楔状検出端面3を、この端面3の先端が固体壁面Cと同一平面に位置し、かつ光ファイバー2中心軸が固体壁面Cに直交するように固体壁面Cに外部から挿入し、光ファイバー2を入射光導波路として楔状検出端面3に光ファイバー2の他端から入射光を供給し、かつ楔状検出端面3先端部に導波入射光を集中させて固体壁面C上の薄液膜W中に照射し、薄液膜Wの気液界面にて反射された光を楔状検出端面3で再受光し、再受光強度が楔状検出端面3先端と気液界面との距離によって決定されること、および先端が気液界面に接するときに最大値を取ること、ならびに入射光強度により受光強度を正規化することにより、図3を得ることが可能となる。
光ファイバープローブセンサー1の楔状検出端面3が集光と受光の光学素子となることから、複雑な光学回路を組むことなく薄液膜Wの厚さを計測でき、優れた実用性を有する。加えて、後述のように、実測と3次元光線追跡シミュレーションとを併用して光ファイバープローブセンサー1を較正する。これにより、光ファイバープローブセンサー1を簡便かつ精緻に較正するとともに、実用的かつ汎用性の高いセンサー1の基本ユニットが出来上がることになる。
まず、光ファイバープローブセンサー1への入力光強度と楔状検出端面3からの反射光強度との関係を考えてみる。
(1-1)楔状検出端面3が気相中にある場合
光ファイバープローブセンサー1への入力光強度をii、楔状検出端面3からの反射光強度をisr@gasとする。光学原理を基にした3次元光線追跡シミュレーションの結果から、強度比r1@gasは、
r1@gas = isr@gas/ii = Constant = c1@gasとなる。
(1-2)楔状検出端面3が液相中にある場合
光ファイバープローブセンサー1への入力光強度をii、楔状検出端面3からの反射光強度をisr@liquidとする。幾何光学を基にした3次元光線追跡シミュレーションの結果から、強度比r1@liquidは、
r1@liquid = isr@liquid/ii = Constant = c1@liquidとなる。
ここに、c1@liquidは入力光強度に依存せず、製作した個々の光ファイバープローブセンサー1の形状や楔状検出端面3性状とこの楔状検出端面3を覆う液相の屈折率とで決まる個々の光ファイバープローブセンサー1に固有の値c1@liquidとなる。
(2-1)楔状検出端面3が気相中にある場合
楔状検出端面3から系外に放射される光強度をise@gasとすれば、
ise@gas = ii - isr@gas
ここで両辺をiiで割って強度比r2@gasは、
r2@gas = ise@gas/ii= 1 - isr@gas/ii = 1 - c1@gas = Constantとなり、
r2@gasもiiに依存せず、製作した個々の光ファイバープローブセンサー1の形状や楔状検出端面3性状と楔状検出端面3を覆う気相の屈折率とで決まる個々の光ファイバープローブセンサー1に固有の値となる。
楔状検出端面3から系外に放射される光強度をise@liquidとすれば、
ise@liquid = ii - isr@liquid
同様に強度比r2@liquidは、
r2@liquid = ise@liquid/ii= 1 - isr@liquid/ii = 1 - c1@liquid = Constant = c2@liquidとなり、
r2@liquidもiiに依存せず、製作した個々の光ファイバープローブセンサー1の形状や楔状検出端面3の性状と楔状検出端面3を覆う液相の屈折率とで決まる個々の光ファイバープローブセンサー1に固有の値となる。
(3-1)楔状検出端面3が気相中にある場合
楔状検出端面3に再入射する光強度をisri@gasとする。isri@gasは界面と楔状検出端面3先端との距離lと楔状検出端面3の短径dの関数であるf1@gas(l, d)ならびに製作した個々の光ファイバープローブセンサー1の形状や楔状検出端面3性状と界面の反射率等の光学特性で決まる係数α1@gas(cOP) (光ファイバープローブセンサー1と気液界面の光学特性と光ファイバープローブセンサー1が決まれば一定値)により、
isri@gas= f1@gas(l, d)×α1@gas(cOP)×ise@gasと表すことができ、
isri@gas = f1@gas(l, d) α1@gas(cOP)×(ii - isr@gas)となる。
さらに、強度比r3@gasは、
r3@gas = isri@gas/ii = f1@gas(l, d)× α1@gas(cOP)×(1 - isr@gas/ii)
すなわち、r3@gas = f1@gas(l, d)× α1@gas(cOP)×(1 - c1@gas)となり、
入力光強度iiに依存せず、c1@gas、係数α1@gas(cOP)およびf1@gas(l, d)により決まる。加えて、光ファイバープローブセンサー1が決まれば、f1@gas(l, d)はlのみの関数となる。製作した各々光ファイバープローブセンサー1に固有のc1@gas、係数α1@gas(cOP)およびf1@gas(l)を求めておけば、強度比r3@gasを計測することにより、界面と楔状検出端面3先端との距離lを計測することができる。
楔状検出端面3に再入射する光強度をisri@liquidとする。isri@liquidは界面と楔状検出端面3先端との距離lとdの関数であるf1@liquid(l, d) ならびに製作した個々の光ファイバープローブセンサー1の形状や楔状検出端面3性状と界面の反射率等の光学特性で決まる係数α1@liquid(cOP) (光ファイバープローブセンサー1と気液界面の光学特性と光
ファイバープローブセンサー1が決まれば一定値)により、
isri@liquid = f1@liquid(l, d)×α1@liquid(cOP)×ise@liquidと表すことができ、
isri@liquid = f1@liquid(l, d)×α1@liquid(cOP)×(ii - isr@liquid)となる。
r3@liquid = isri@liquid/ii = f1@liquid(l, d)× α1@liquid(cOP)×(1 - isr@liquid/ii)
すなわち、r3@liquid = f1@liquid(l, d)× α1@liquid(cOP)×(1 - c1@liquid)
入力光強度iiに依存せず、c1@liquid、係数α1@liquid(cOP)およびf1@liquid(l, d)により決まる。加えて、光ファイバープローブセンサー1が決まれば、f1@liquid(l, d)はlのみの関数となる。製作した各々光ファイバープローブセンサー1に固有のc1@liquid、係数α1@liquid(cOP)およびf1@liquid(l)を求めておけば、強度比r3@liquidを計測することにより、界面と楔状検出端面3の先端との距離lを計測することができる。
ここで計測できるのは、液膜の液流速と液膜厚さの振幅変化の伝播速度とが合成された値として計測される(図2で示すv)。
較正済の光ファイバープローブセンサーユニットを適切な距離を取って機器内壁に実装し、2点間のr3@liquidあるいはr3@gasの相互相関から時間差を求め(例えば、同じ波形が来るまでの時間差を相関関数を使って求め)、光ファイバープローブセンサー1,1間距離をこの時間差で除すことによって算出される。
[第1段階の較正方法]
(1-1)個々の光ファイバープローブセンサー1の形状を精密に計測する。
(1-2)入力光強度Iiと楔状検出端面3からの反射光強度Isr@gasを計測する。
(1-3)個々の光ファイバープローブセンサー1に固有の値C1@gas = Isr@gas/Iiを決定する。
同様に、楔状検出端面3が液相中にある状態で、
(1-4)楔状検出端面3からの反射光強度Isr@liquidを計測する。
(1-5)個々の光ファイバープローブセンサー1に固有の値C1@liquid = Isr@liquid/Iiを決定する。
なお、ここで光源系、光学系、光電変換系の各設定値ならびに計測したIi、Isr@gas、Isr@liquidを各々Ii-Init、Isr-Init@gas、Isr-Init@liquidとして記録する。
なお、較正後に光ファイバープローブセンサー1を計測に供する際、光源系と光電変換系の各設定値とし、光学系をC1@gasおよびC1@liquidとなるように慎重に調整する。
楔状検出端面3を有する光ファイバープローブセンサー1では、楔状検出端面3から図5に示すように光が系外に放射される。放射光Aが強く、放射光Bは非常に弱い。楔状検出端面3の保護ならびに実使用時における利便性を確保するために、光ファイバープローブセンサー1の最大径より僅かに内径の大きなステンレス細管5等(以下、細管5)に光ファイバープローブセンサー1を挿入する。
(2-1)放射光Bの影響を確認する。図6のように細管5の中心軸と光ファイバープローブセンサー1の中心軸とを一致させて微動装置を用いて、光ファイバープローブセンサー1を細管5に挿入する。この細管5の端面3Aは中心軸に垂直かつ鏡面加工する。この加工精度が液膜厚さの計測精度に影響する。
(2-2)第1段階較正と同一の光源系、光学系、光電変換系の設定で、光ファイバープローブセンサー1の楔状検出端面3が気相中にある状態において楔状検出端面3で反射される戻り光量Isr@gas-in-tubeを実測する。
(2-3)図7に一例を示す較正装置を用いて、上記2-2と同様に光ファイバープローブセンサー1の楔状検出端面3が液相中にある状態(細管5に液を充填)において楔状検出端面3で反射される戻り光量Isr@liquid-in-tubeを実測する。
(2-4)図8に一例を示す較正装置で表面反射鏡を液中に位置させ、かつ細管5内にも液を充填する。図8に示すように光ファイバープローブセンサー1が挿入された細管5の下端を表面反射鏡に垂直に密着させる。次に、表面反射鏡表面と楔状検出端面3の先端P1との距離Lstartを十分に取って光ファイバープローブセンサー1の移動始点とする。戻り光強度Isr-total@liquid-in-tube(X)測定する。なお、LstartはIsr-total@liquid-in-tube(X)/Isr-total@liquid-in-tube(Lstart) = 1 ± 0.001が得られる位置とする。
(2-5)Isr-total@liquid-in-tube(X)は、X = 0で最大値Isr-total-MaX@liquid-in-tubeとなる。
(2-6)細管5内の液を抜き、十分に乾燥後、(2-4)と同様の手順を気相中で行う。2-4と同一の距離Lstartから戻り光強度Isr-total@gas-in-tube(X)とXを測定する。Isr-total@gas-in-tube(X)は、X = 0で最大値Isr-total-MaX@gas-in-tubeとなる。Isr-total-MaX@gas-in-tubeとなったことを確認して、図9の(d)の位置(テ-パ-の直上)で固化後に体積変化の無い接着剤で光ファイバープローブセンサー1を細管5の内壁に固定する。この時、中心軸がずれないようにする。接着剤が固化すれば、光ファイバープローブセンサーユニットが完成する。
Isr-total@liquid-in-tube(X) = Isri@liquid-in-tube(X) + Isr@liquid-in-tubeとなる。さらに、
Isr-total@liquid-in-tube(X) = F1@liquid(X) Α1@liquid(COP)×(Ii - Isr@liquid-in-tube) + Isr@liquid-in-tubeと表すことができる。さらに、強度比R3@gasは、
R3@liquid(X) = Isr-total@liquid-in-tube(X)/Ii = F1@liquid(X) Α1@liquid(COP)×(1 - Isr@liquid-in-tube/Ii) + Isr@liquid-in-tube/Ii、すなわち、
R3@liquid(X) = F1@liquid(X) Α1@liquid(COP)×(1 - C1@liquid-in-tube) + C1@liquid-in-tube
ここに、気液界面が光ファイバープローブセンサー1の先端径に比べて十分に大きければ、気液界面をフラットな面とみなせる。したがって、Α1@liquid(COP)は気液界面の反射率Rfrと楔状検出端面3の表面特性SOFPで決まる係数Α1@liquid(Rfr, SOFP)となる。気液界面に接触すると同時にメニスカスが発生することから係数Α1@liquid(Rfr, SOFP)を実測することは難しいが、3次元光線追跡シミュレーションを使って簡単に求めることができ、また液相が決まれば、各光ファイバープローブセンサー1に固有な既知の係数Α2@liquidと扱うことができる。
(2-8)計測されたIsr-total@liquid-in-tube(X)からR3@liquid(X) = F1@liquid(X) Α2@liquid×(1 - C1@liquid-in-tube) + C1@liquid-in-tubeとなるので、R3@liquid(X)とXとの関係を求める。あるいは、R’3@liquid(X/DOFP)とX/DOFPとの関係を求めてもよい。ここに、DOFPは楔状検出端面3の短径である。
(2-9)上記2-8と同様に、計測されたIsr-total@gas-in-tube(X)から
R3@gas(X) = F1@gas(X) Α2@gas×(1 - C1@gas-in-tube) + C1@gas-in-tubeとなるので、R3@gas(X)とXとの関係を求める。あるいは、R’3@gas(X/DOFP)とX/DOFPとの関係を求めてもよい。
(2-10)以上の第2段階の較正により、光ファイバープローブセンサー1の楔状検出端面3が気相あるいは液相で覆われる際の較正関数と特性係数
・液相中
較正関数-1: R3@liquid(X)あるいはR’3@liquid(X/DOFP)
特性係数-2: Α2@liquidおよびC1@liquid-in-tube
・気相中
較正関数-3: R3@gas(X)あるいはR’3@gas(X/DOFP)
特性係数-4: Α2@gasおよびC1@gas-in-tube
が決定される。
・液相中
較正関数-5: X= Γ@liquid(R3@liquid)あるいはX/DOFP = Γ’@liquid(R’3@liquid)
・気相中
較正関数-6: X= Γ@gas(R3@gas)あるいはX/DOFP = Γ’@gas(R’3@liquid)
に変換する。
(3-1)較正済の光ファイバープローブセンサーユニットを計測対象の機器やプラントに実装するための治具(例えば、図10)に装着する。治具への光ファイバープローブセンサーユニットの装着においては、細管5の端面3(すなわち楔状検出端面3先端)が実装用治具4の表面と同一面上にあること、加えて治具の表面が機器やプラントの内壁と同一面上にあるように実装しなければならない。
(3-2)光ファイバープローブセンサー1の較正に使用したのと同一性能の光源系、光学系および光電変換系を用いる。光ファイバープローブセンサー1をセットして、較正時と同一の設定で光源系、光学系および光電変換系を調整する。Iiを測定して、較正時と同じであることを確認する。
(3-3)Isr@gas-in-tubeを測定し、較正時のC1@gas-in-tubeと同一の値となるように光学系を精密に調整する。これらの設定と調整により、較正段階2で得た特性関数-5、特性係数-2、特性関数-6および特性係数-4を使用できる。
(3-4)楔状検出端面3の先端が気相中か液相中かを適宜判断して、実装した光ファイバープローブセンサー1により実測したIsr-total@liquid-in-tubeあるいはIsr-total@gas-in-tubeと3-2で実測したIiからR3@liquid あるいはR3@gasを求めて、特性関数-5あるいは特性関数-6によりXを算出すれば、このXが液膜厚さとなる。
以上、今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。
2 光ファイバー
3 楔状検出端面
4 実装用治具
5 細管
Claims (4)
- 光軸に対して傾斜するように研磨した一方端面である「楔状検出端面」有する光ファイバーから構成される光ファイバープローブセンサーに対して、前記光ファイバーの他方端面である「光源側端面」から計測光を導入し、
前記楔状検出端面の先端部から薄液中に照射された前記計測光の一部が液膜気液界面で反射されて楔状検出端面に再入光する際の光強度が、楔状検出端面の先端部と液膜気液界面との距離、ならびに楔状検出端面により決定されることに基づいて、薄液膜の厚さを逐次かつ連続的に計測する
ことを特徴とする光ファイバープローブセンサーを用いた薄液膜厚計測方法。 - 薄液膜が存在する壁面に対して、前記光ファイバープローブセンサーを適切な間隔をあけて複数本配置し、各光ファイバープローブセンサーの検出信号の相互相関と設置間隔とから、前記壁面に沿った薄液膜の速度を逐次かつ連続的に計測する
ことを特徴とする光ファイバープローブセンサーを用いた薄液膜速度計測方法。 - 光源系、光学系、光電変換系を較正時と同一の設定で調整し、較正時と同一の入力光強度と戻り光強度が得られれば、戻り光強度と入力光強度との強度比は入力光強度に依存しない光ファイバープローブセンサー固有の値となるとし、
前記固有の値を用いつつ、前記薄液膜の気液界面で反射されて光ファイバープローブセンサーに再入射する戻り受光強度と入力光強度との比を表す液膜厚さの関数を求め、前記関数を利用して、前記壁面に沿った薄液膜の特性を逐次かつ連続的に計測する
ことを特徴とする請求項1に記載の光ファイバープローブセンサーを用いた薄液膜厚計測方法。 - 前記光源系、光学系、光電変換系を較正時と同一の設定で調整し、較正時と同一の入力光強度と戻り光強度が得られれば、戻り光強度と入力光強度との強度比は入力光強度に依存しない光ファイバープローブセンサー固有の値となるとし、
前記固有の値を用いつつ、請求項1~3のいずれかに記載された光ファイバープローブセンサーを較正する
ことを特徴とする光ファイバープローブセンサーの較正方法。
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