JP2022021939A - ポンプ洗浄管理装置、真空ポンプ、ポンプ洗浄管理方法およびポンプ洗浄管理プログラム - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、実施の形態における真空ポンプ12が組み込まれた真空処理装置1の全体図である。真空処理装置1は、例えば、エッチング処理装置や成膜処理装置である。真空処理装置1は、図1に示すように、プロセスチャンバ11、真空ポンプ12、排気ホース13およびバックポンプ14を備える。プロセスチャンバ11内のガスは、真空ポンプ12により排気される。そして、プロセスチャンバ11内にプロセスガスが供給された状態で、エッチング処理等の各種プロセスが行われる。
図2は、真空ポンプ12の構成を示す断面図である。本実施の形態における真空ポンプ12は磁気軸受式のターボ分子ポンプである。真空ポンプ12は、ロータシャフト30、ポンプロータ31、ロータ翼33およびロータ円筒部35を有する回転体3と、ベース21、ポンプケーシング22、ステータ翼23およびステータ25を有する回転支持部2とを備える。
図3は、真空ポンプ12から排気ホース13およびバックポンプ14を取り外した状態の真空処理装置1およびポンプ洗浄管理装置15を示す図である。真空ポンプ12から排気ホース13が取り外されることによって、真空ポンプ12の排気口28が露出している。真空処理装置1におけるプロセスが終了した後、真空ポンプ12の洗浄管理のために排気ホース13が取り外される。洗浄管理として、ユーザは、図3に示すように、デジタルカメラCAを用いて、排気口28の画像を撮影する。
次に、ポンプ洗浄管理装置15の構成について説明する。本実施の形態においては、ポンプ洗浄管理装置15が、機械学習モデルを生成する学習工程と、機械学習モデルを利用して反応生成物の堆積量の評価値を取得する評価工程とを行う装置として説明する。しかし、学習工程および評価工程を行う装置は別の装置であってもよい。予め別の装置において学習工程が行われ、学習済みの機械学習モデルを他の装置に実装させて評価工程を行ってもよい。
次に、ポンプ洗浄管理装置15において実行される学習処理について、図7を参照しながら説明する。図7で示すフローチャートは、図6に示す学習部71により実行される学習処理のフローチャートである。
次に、ポンプ洗浄管理装置15において実行される評価処理について、図8を参照しながら説明する。図8で示すフローチャートは、図6に示す評価値取得部72および情報提示部73により実行される評価処理のフローチャートである。
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。上記の実施の形態では、排気口28が特定箇所の例である。また、下記の他の実施の形態において、撮像素子CBが撮像部の例である。
上記実施の形態においては、図3で示したように、真空ポンプ12から排気ホース13が取り外されることによって、排気口28の画像が撮影された。他の実施の形態として、撮像素子を排気口28の近傍に備え付ける構成としてもよい。図9で示す真空ポンプ12には、撮像素子CBが排気口28の外側面に取り付けられている。また、撮像素子CBが取り付けられた部分は、排気口28に透明窓TWが設けられている。これにより、排気口28の外側面に取り付けられた撮像素子CBは、常時排気口28の内部の画像を撮影可能である。この実施の形態によれば、排気ホース13を取り外すことなく、排気口28の画像を取得することができる。さらに、透明窓TWおよび撮像素子CBを別の場所に設けることにより、排気口28以外の場所(真空ポンプ12の内部の別の場所)の画像を撮影することが可能である。この場合であれば、排気口28以外の場所で撮影された教師画像データ62により機械学習モデル65を生成し、排気口28以外の場所で撮影された撮影画像データ64に基づいて洗浄に関する評価値が得られる。
上述した複数の例示的な実施の形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。
本発明の一態様に係るポンプ洗浄管理装置は、真空ポンプの内部の特定箇所を撮影した撮影画像データを機械学習モデルに与え、前記真空ポンプにおける反応生成物の堆積量を示す評価値を前記機械学習モデルから取得する評価値取得部と、
前記評価値取得部が取得した前記評価値に基づいて、前記真空ポンプの洗浄に関する情報を提示する情報提示部と、
を備え、
前記機械学習モデルは、前記真空ポンプの前記特定箇所を撮影して得られた教師画像データ、および、前記教師画像データが取得されたときの前記真空ポンプ内の反応生成物の量を示す堆積量データの対応関係を教師データとして学習される。
前記特定箇所は、前記真空ポンプの排気口であってもよい。
第1項または第2項に記載のポンプ洗浄管理装置であって、
前記洗浄に関する情報は、前記真空ポンプの洗浄の必要性を示すカテゴリーであってもよい。
第1項~第3項のいずれか一項に記載のポンプ洗浄管理装置であって、
前記堆積量データは、前記教師画像データが取得された前記真空ポンプの洗浄前後の質量差から得られてもよい。
第1項~第4項のいずれか一項に記載のポンプ洗浄管理装置であって、
前記真空ポンプに設けられた前記真空ポンプの内部を視認可能な透明窓と、
前記透明窓の外部に取り付けられた撮像部と、を備え、
前記撮像部により前記撮影画像データが取得されてもよい。
本発明の他の態様に係る真空ポンプは、第5項に記載の前記透明窓および前記撮像部を備える。
本発明の他の態様に係るポンプ洗浄管理方法は、
真空ポンプの特定箇所を撮影して得られた教師画像データ、および、前記教師画像データが取得されたときの前記真空ポンプ内の反応生成物の量を示す堆積量データの対応関係を教師データとして学習を行い、機械学習モデルを生成するステップと、
前記真空ポンプの内部の特定箇所を撮影した撮影画像データを前記機械学習モデルに与え、前記真空ポンプにおける反応生成物の堆積量を示す評価値を前記機械学習モデルから取得するステップと、
取得された前記評価値に基づいて、前記真空ポンプの洗浄に関する情報を提示するステップとを含む。
本発明の他の態様に係るポンプ洗浄管理プログラムは、
コンピュータに、
真空ポンプの特定箇所を撮影して得られた教師画像データ、および、前記教師画像データが取得されたときの前記真空ポンプ内の反応生成物の量を示す堆積量データの対応関係を教師データとして学習を行い、機械学習モデルを生成する処理、
前記真空ポンプの内部の特定箇所を撮影した撮影画像データを前記機械学習モデルに与え、前記真空ポンプにおける反応生成物の堆積量を示す評価値を前記機械学習モデルから取得する処理、
取得された前記評価値に基づいて、前記真空ポンプの洗浄に関する情報を提示する処理を実行させる。
Claims (8)
- 真空ポンプの内部の特定箇所を撮影した撮影画像データを機械学習モデルに与え、前記真空ポンプにおける反応生成物の堆積量を示す評価値を前記機械学習モデルから取得する評価値取得部と、
前記評価値取得部が取得した前記評価値に基づいて、前記真空ポンプの洗浄に関する情報を提示する情報提示部と、
を備え、
前記機械学習モデルは、前記真空ポンプの前記特定箇所を撮影して得られた教師画像データ、および、前記教師画像データが取得されたときの前記真空ポンプ内の反応生成物の量を示す堆積量データの対応関係を教師データとして学習される、ポンプ洗浄管理装置。 - 前記特定箇所は、前記真空ポンプの排気口である、請求項1に記載のポンプ洗浄管理装置。
- 前記洗浄に関する情報は、前記真空ポンプの洗浄の必要性を示すカテゴリーである、請求項1または請求項2に記載のポンプ洗浄管理装置。
- 前記堆積量データは、前記教師画像データが取得された前記真空ポンプの洗浄前後の質量差から得られる、請求項1~請求項3のいずれか一項に記載のポンプ洗浄管理装置。
- 前記真空ポンプに設けられた前記真空ポンプの内部を視認可能な透明窓と、
前記透明窓の外部に取り付けられた撮像部と、を備え、
前記撮像部により前記撮影画像データが取得される、請求項1~請求項4のいずれか一項に記載のポンプ洗浄管理装置。 - 請求項5に記載の前記透明窓および前記撮像部を備える、真空ポンプ。
- 真空ポンプの特定箇所を撮影して得られた教師画像データ、および、前記教師画像データが取得されたときの前記真空ポンプ内の反応生成物の量を示す堆積量データの対応関係を教師データとして学習を行い、機械学習モデルを生成するステップと、
前記真空ポンプの内部の特定箇所を撮影した撮影画像データを前記機械学習モデルに与え、前記真空ポンプにおける反応生成物の堆積量を示す評価値を前記機械学習モデルから取得するステップと、
取得された前記評価値に基づいて、前記真空ポンプの洗浄に関する情報を提示するステップと、を含む、ポンプ洗浄管理方法。 - コンピュータに、
真空ポンプの特定箇所を撮影して得られた教師画像データ、および、前記教師画像データが取得されたときの前記真空ポンプ内の反応生成物の量を示す堆積量データの対応関係を教師データとして学習を行い、機械学習モデルを生成する処理、
前記真空ポンプの内部の特定箇所を撮影した撮影画像データを前記機械学習モデルに与え、前記真空ポンプにおける反応生成物の堆積量を示す評価値を前記機械学習モデルから取得する処理、
取得された前記評価値に基づいて、前記真空ポンプの洗浄に関する情報を提示する処理、を実行させる、ポンプ洗浄管理プログラム。
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JP2004060486A (ja) * | 2002-07-26 | 2004-02-26 | Boc Edwards Technologies Ltd | 真空ポンプ |
JP2018193933A (ja) * | 2017-05-18 | 2018-12-06 | 株式会社荏原製作所 | 情報処理装置、基準データ決定装置、情報処理方法、基準データ決定方法及びプログラム |
JP2019188273A (ja) * | 2018-04-19 | 2019-10-31 | 株式会社明電舎 | 散気管の洗浄方法及び膜分離装置 |
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JPH078590U (ja) * | 1993-07-05 | 1995-02-07 | セイコー精機株式会社 | ターボ分子ポンプ |
JP2004060486A (ja) * | 2002-07-26 | 2004-02-26 | Boc Edwards Technologies Ltd | 真空ポンプ |
JP2018193933A (ja) * | 2017-05-18 | 2018-12-06 | 株式会社荏原製作所 | 情報処理装置、基準データ決定装置、情報処理方法、基準データ決定方法及びプログラム |
JP2019188273A (ja) * | 2018-04-19 | 2019-10-31 | 株式会社明電舎 | 散気管の洗浄方法及び膜分離装置 |
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