JP2021181526A - イソシアヌル酸誘導体、ポリマー、ポジ型感光性樹脂組成物、絶縁膜およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
上記のイソシアヌル酸誘導体は、R2の重合性官能基が反応することにより、イソシアヌル酸骨格の窒素原子に保護基R1が結合した構造を有するポリマーを形成できる。イソシアヌル酸骨格の窒素原子に保護基R1が結合した構造としては、下記のX1およびX2が挙げられる。
化合物(α):上記一般式(I)において、R2が重合性官能基として炭素−炭素二重結合(エチレン性不飽和基)を有するイソシアヌル酸誘導体;
化合物(β):1分子中に少なくとも2個のSiH基を有するポリシロキサン化合物。
化合物(α)は、上記の一般式(I)におけるR2が、重合性官能基として炭素−炭素二重結合(エチレン性不飽和基)を有するイソシアヌル酸誘導体である。SiH基との反応性を有するエチレン性不飽和基としては、ビニル基、アリル基、メタリル基、アクリル基、メタクリル基、2−ヒドロキシ−3−(アリルオキシ)プロピル基、2−アリルフェニル基、3−アリルフェニル基、4−アリルフェニル基、2−(アリルオキシ)フェニル基、3−(アリルオキシ)フェニル基、4−(アリルオキシ)フェニル基、2−(アリルオキシ)エチル基、2,2−ビス(アリルオキシメチル)ブチル基、3−アリルオキシ−2,2−ビス(アリルオキシメチル)プロピル基およびビニルエーテル基等が挙げられる。
化合物(β)は、1分子中に少なくとも2個のSiH基を有するポリシロキサン化合物であり、例えば、WO96/15194号に記載の化合物で、1分子中に少なくとも2個のSiH基を有するもの等が使用できる。化合物(β)の具体例としては、直鎖構造を有するヒドロシリル基含有ポリシロキサン、分子末端にヒドロシリル基を有するポリシロキサン、およびヒドロシリル基を含有する環状ポリシロキサンが挙げられる。環状ポリシロキサンは多環構造でもよく、多環は多面体構造を有していてもよい。耐熱性および機械強度の高い絶縁膜を形成するためには、化合物(β)として、1分子中に少なくとも2個のSiH基を有する環状ポリシロキサン化合物を用いることが好ましい。化合物(β)は、好ましくは1分子中に3個以上のSiH基を含む。耐熱性および耐光性の観点から、Si原子上に存在する基は、水素原子およびメチル基のいずれかであることが好ましい。
ヒドロシリル化反応によるポリマーの調製において、上記の化合物(α)および化合物(β)に加えて、他の出発物質を用いてもよい。例えば、出発物質として、上記の化合物(α)以外のエチレン性不飽和基含有化合物を用いてもよい。
ヒドロシリル化反応の順序および方法は特に限定されない。合成工程を簡便とする観点からは、全ての出発物質を1ポットに仕込んでヒドロシリル化反応を行い、最後に未反応の化合物を除去する方法が好ましい。2段階以上に分けてヒドロシリル化反応を行ってもよい。例えば、低分子量体の生成を抑制する観点からは、複数のエチレン性不飽和基を含む化合物(例えば、一般式(Ia)で表されるイソシアヌル酸誘導体、および化合物(γ))と複数のSiH基を含む化合物(例えば化合物(β))とを、一方を過剰量としてヒドロシリル化反応を行い、必要に応じて未反応の化合物を除去後に、1分子中にヒドロシリル化反応に関与する官能基を1個のみ有する化合物(例えば、一般式(Ib)で表されるイソシアヌル酸誘導体、および化合物(δ))添加してヒドロシリル化反応を行う方法が好ましい。
上記の構造Xを有するポリマーは、酸の作用により保護基R1が脱離して、酸性基であるNH基が生成し、アルカリ可溶性が増大するため、ポジ型の感光性樹脂として適用可能である。本発明の一実施形態は、(A)上記の構造Xを有するポリマーと、(B)光酸発生剤とを含むポジ型感光性組成物である。感光性組成物は、(A)成分および(B)成分に加えて、(C)成分として光増感剤を含んでいてもよく、(D)成分として架橋剤を含んでいてもよい。
感光性組成物は、(B)成分として光酸発生剤を含有する。露光により光酸発生剤に活性エネルギー線が照射されると酸が発生する。活性エネルギー線としては、可視光、紫外線、赤外線、X線、α線、β線、およびγ線等が挙げられる。光酸発生剤から発生した酸の作用により、上記(A)成分の保護基R1が脱離し、アルカリ溶解性が増大する。
感光性組成物は、増感剤を含んでいてもよい。増感剤を用いることにより、パターニング時の露光感度が向上する。ポジ型感光性組成物の増感剤としては、ナフタレン系化合物、アントラセン系化合物およびチオキサントン系化合物等が挙げられ、中でも光増感効果に優れることから、アントラセン系増感剤が好ましい。アントラセン系増感剤の具体例としては、アントラセン、2−エチル−9,10−ジメトキシアントラセン、9,10−ジメチルアントラセン、9,10−ジブトキシアントラセン(DBA)、9,10−ジプロポキシアントラセン、9,10−ジエトキシアントラセン、9,10−ビス(オクタノイルオキシ)アントラセン、1,4−ジメトキシアントラセン、9−メチルアントラセン、2−エチルアントラセン、2−tert−ブチルアントラセン、2,6−ジ−tert−ブチルアントラセン、9,10−ジフェニル−2,6−ジ−tert−ブチルアントラセン等が挙げられる。中でも、感光性組成物との相溶性の観点から、9,10−ジブトキシアントラセン、9,10−ジプロポキシアントラセン、9,10−ジエトキシアントラセン、9,10−ビス(オクタノイルオキシ)アントラセン等が好ましい。
感光性組成物は、架橋剤として、上記の(A)成分の架橋性官能基と反応(結合)して架橋構造を導入可能な官能基を有する化合物を含んでいてもよい。架橋剤としては、上記(A)成分の架橋性反応基と反応可能な官能基を1分子中に2以上含む化合物が好ましい。
感光性組成物は、上記の(A)成分との反応性を示さず、単独で熱硬化可能な重合性化合物(熱硬化性樹脂)を含んでいてもよい。熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、オキセタン樹脂、イソシアネート樹脂、ブロックイソシアネート樹脂、ビスマレイミド樹脂、ビスアリルナジイミド樹脂、アクリル樹脂、アリル硬化樹脂、不飽和ポリエステル樹脂等が挙げられる。熱硬化性樹脂は、高分子鎖の側鎖または末端に、アリル基、ビニル基、アルコキシシリル基、ヒドロシリル基等の反応性基を有する側鎖反応性基型熱硬化性ポリマーであってもよい。
上記の(A)成分および(B)成分、ならびに必要に応じて(C)成分、(D)成分および(E)成分を、溶媒中に溶解または分散させることにより、感光性組成物が得られる。感光性組成物は、各成分を製膜直前に混合調製してもよく、全成分を予め混合調製した一液の状態で貯蔵しておいてもよい。
感光性組成物は、上記(A)〜(E)以外の樹脂成分や添加剤等を含有していてもよい。例えば、感光性組成物は、特性改質等の目的で、種々の熱可塑性樹脂を含んでいてもよい。熱可塑性樹脂としては、例えば、アクリル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂シクロオレフィン系樹脂、オレフィン−マレイミド系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミド樹脂、シリコーン樹脂、フッ素樹脂、天然ゴムおよびEPDM等のゴム状樹脂が挙げられる。熱可塑性樹脂は、エポキシ基、アミノ基、ラジカル重合性不飽和基、カルボキシ基、イソシアネート基、ヒドロキシ基およびアルコキシシリル基等の架橋性基を有していてもよい。
構造Xを有するポリマーを含む溶液を各種基材にコーティングして塗膜を形成することにより、絶縁膜が形成される。また、上記のポジ型感光性組成物を各種基材にコーティングして塗膜を形成し、所定形状のマスクを介して露光を行い、アルカリ現像により露光部を溶解および除去することにより、パターン膜を形成できる。現像後にポストベイクを行うことにより、パターン硬化膜が得られる。
感光性組成物を基材上に塗布する方法は、均一に塗布が可能である方法であれば特に限定されず、スピンコーティング、スリットコーティング、スクリーンコーティング等の一般的なコーティング法を使用できる。塗膜の厚みは特に限定されない。パターン膜が永久レジストである場合は、信頼性の観点から、厚みは0.05〜100μmが好ましく、0.1〜80μmがより好ましく、0.2〜50μmがさらに好ましい。
露光前に、溶媒を乾燥するために加熱(プリベイク)を行ってもよい。加熱温度は適宜設定され得るが、好ましくは50〜200℃、より好ましくは60〜150℃である。さらに、露光前に真空脱揮を行ってもよい。真空脱揮は加熱と同時に行われてもよい。熱硬化性の成分(例えば、上記の(D)成分および/または(E)成分)を含む感光性組成物は、加熱により硬化が進むと現像性が低下する場合がある。そのため、プリベイクにおける加熱温度は120℃以下が好ましい。
露光の光源は、感光性組成物に含まれる光酸発生剤および増感剤の感度波長に応じて選択すればよい。通常は、200〜450nmの範囲の波長を含む光源(例えば、高圧水銀ランプ、超高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、ハイパワーメタルハライドランプ、キセノンランプ、カーボンアークランプまたは発光ダイオード等)が用いられる。
露光後、現像前に、酸と成分(A)との反応促進等を目的として、ポストエクスポージャーベイク(PEB)を行ってもよい。ポストエクスポージャーベイクにおける加熱温度は、40〜120℃が好ましく、50〜110℃がより好ましく、60〜100℃がさらに好ましい。
露光後の塗膜に、浸漬法またはスプレー法等によりアルカリ現像液を接触させ、露光部の塗膜を溶解および除去することによりパターン膜が得られる。露光部では、光酸発生剤への活性エネルギー線の照射により発生した酸の作用により、(A)成分のアルカリ溶解性が増大するため、アルカリ現像により塗膜が溶解する。
現像により露光部を溶解および除去した後、ポストベイクを行い、残存した非露光部の膜の組成物の硬化を行ってもよい。ポストベイク条件は適宜に設定され得る。ポストベイク温度は、好ましくは100〜400℃、より好ましくは120〜350℃である。
本実施形態の感光性組成物は、アルカリ現像性透明レジストとして使用可能である。本実施形態の感光性組成物は、ベースポリマーである(A)成分のアルカリ可溶性発現構造(保護基により保護された酸性基)として、イソシアヌル酸骨格の構造Xを含むため、保護基を有するフェノール構造を主たるアルカリ可溶性発現構造として含むポリマーを用いた場合に比べて、可視光短波長領域(波長400nm付近)での光吸収が少なく、透明性に優れている。また、イソシアヌル酸骨格を有するポリマーは、フェノール系ポリマーに比べて耐熱性に優れ、加熱耐久試験による光透過率の変化が小さい。
<合成例1>
フラスコに、ジアリルイソシアヌレート(DAIC):100g、テトラヒドロフラン(THF):400g、およびピリジン:13.2gを投入し、撹拌した後、70℃に加熱した。そこに、二炭酸ジ−tert−ブチル:120gとTHF:60gとを混合した溶液を滴下し、反応完結後に溶剤を除去した。ヘキサンで再結晶を行い、イソシアヌル酸骨格の窒素原子にtert−ブトキシカルボニル基(Boc)が結合し、2つのアリル基を有する下記の化合物1を得た(収量は148g)。
フラスコに、DAIC:10g、THF:40g、および炭酸カリウム33gを投入し、室温で撹拌した。そこに、60gの臭化tert−ブチルを2回に分けて添加して反応させ、反応完結後に分液を行い、溶剤を除去した。ヘキサンで再結晶を行い、イソシアヌル酸骨格の窒素原子にtert−ブチル基が結合し、2つのアリル基を有する下記の化合物2を得た(収量は11g)。
フラスコに、モノアリルイソシアヌレート(MAIC):10g、テトラヒドロフラン(THF):30g、およびピリジン:1.8gを投入し、撹拌した後、70℃に加熱した。そこに、二炭酸ジ−tert−ブチル:36gとTHF:18gとを混合した溶液を滴下し、反応完結後に溶剤を除去した。得られた固体をトルエンに溶解して、イソシアヌル酸骨格の2つの窒素原子にBocが結合し、1つのアリル基を有する下記の化合物3のトルエン溶液を得た(収量は22g)。
フラスコに、ジアリルビスフェノールS:5g、およびジオキサン:20gを投入し、撹拌した。そこに、ヘキサメチルジシラザン2.5gを添加し、反応完了後に溶剤を除去した。得られた固体をトルエンに溶解して、トリメチルシリル基で保護されたビスフェノールS構造を有する下記の化合物4のトルエン溶液を得た(収量は6.5g)。
<実施例1>
フラスコに、1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン(D4H):3.84g、およびD4Hと同量のトルエンを投入し、気相部を窒素置換した後、内温を105℃に加熱し攪拌した。そこに、上記の化合物1:6.16g、および白金触媒溶液(白金ビニルシロキサン錯体のキシレン溶液:白金含有量3重量%):5.2mgを、化合物1の4倍量のジオキサンに溶解させた溶液を滴下し、反応完結後、溶媒を減圧留去した。
化合物1およびD4Hの仕込み量を表1に示すように変更したこと以外は、実施例1と同様にしてポリマーを調製した。
フラスコに、D4H:4.68g、およびD4Hと同量のトルエンを投入し、気相部を窒素置換した後、内温を105℃に加熱し攪拌した。そこに、上記の化合物1:4.92g、ジアリルモノメチルイソシアヌレート(DAMMIC):0.40g、および白金触媒溶液:5.3mgを、化合物1とDAMMICの合計の4倍量のジオキサンに溶解させた溶液を滴下し、反応完結後、溶媒を減圧留去した。
化合物1、D4HおよびDAMMICの仕込み量を表1に示すように変更したこと以外は、実施例5と同様にしてポリマーを調製した。
化合物1に代えて化合物2を用い、仕込み量を表1に示すように変更したこと以外は、実施例1と同様にしてポリマーを調製した。
フラスコに、D4H:3.72g、およびD4Hと同量のトルエンを投入し、気相部を窒素置換した後、内温を105℃に加熱し攪拌した。そこに、化合物1:4.35g、および白金触媒溶液:4.2mgを、化合物1の4倍量のジオキサンに溶解させた溶液を滴下した。反応完結後に、アリルグリシジルエーテル(AGE):1.93gを、AGEの2倍量のトルエンに溶解させた溶液を滴下し、反応完結後に溶媒を減圧留去した。
AGEに代えて、3−[(アリルオキシ)メチル]−3−エチルオキセタン(AL−EOX)を用い、仕込み量を表1に示すように変更したこと以外は、実施例13と同様にしてポリマーを調製した。
フラスコに、D4H:3.73g、およびD4Hと同量のトルエンを投入し、気相部を窒素置換した後、内温を105℃に加熱し攪拌した。そこに、DAMMIC:3.15g、および白金触媒溶液:3.7mgを、DAMMICの4倍量のジオキサンに溶解させた溶液を滴下した。反応完結後に、化合物3:3.12gを、化合物3の2倍量のトルエンに溶解させた溶液を滴下し、反応完結後に溶媒を減圧留去した。
フラスコに、D4H:4.65g、およびD4Hと同量のトルエンを投入し、気相部を窒素置換した後、内温を105℃に加熱し攪拌した。そこに、上記の化合物4:3.85g、1,3,5,7−テトラビニル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン(D4Vi):1.50g、および白金触媒溶液:2.2mgを、38.5gのトルエンに溶解させた溶液を滴下し、反応完結後、溶媒を減圧留去した。
<組成物の調製>
実施例1〜15および比較例1で得られたポリマー:100重量部、光酸発生剤(ADEKA製「アデカアークルズ SP−606」):1重量部、光増感剤(9,10−ジブトキシアントラセン):1重量部、および溶媒としてのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート:400重量部を混合して、ポジ型感光性組成物を調製した。実施例16では、実施例1で得られたポリマー、光酸発生剤、光増感剤および溶媒に加えて、架橋剤としてトリアリルイソシアヌレート(TAIC)3重量部、および0.05重量部の白金を含む白金触媒溶液を混合してポジ型感光性組成物を調製した。
ポジ型感光性組成物を、乾燥後の膜厚が3μmとなるようにガラス基板(50mm×50mm)上にスピンコーティングし、100℃に加熱したホットプレート上で2分間加熱した。次に、高圧水銀ランプを備える平行光照射装置(三永電機製作所製「UV‐K160HC」)により、10μmホールパターンのフォトマスク越しに、積算光量10〜120mJ/cm2の範囲で露光を行い、60℃で1分間加熱した後、アルカリ現像液(TMAH2.38%水溶液)に1分間浸漬して現像処理を行い、パターニング性評価用サンプルを作製した。
露光を行わなかったこと以外は、上記と同様にしてガラス基板上に絶縁膜を作製した。この試料を、220℃のオーブンで30分加熱した。さらに240℃で1時間加熱した後に、可視紫外分光計により透過スペクトルを測定し、波長400nmにおける光透過率を求めた。
上記と同様に絶縁膜を作製した。ただし、240℃1時間の加熱は実施しなかった。絶縁膜を、60℃に加熱したジメチルスルホキシド/2−アミノエタノール(重量比率で30/70)混合液に5分間浸漬し、220℃10分加熱して膜中の残存溶媒を除去した後に、浸漬前後の絶縁膜の膜厚から、膜厚維持率(%)=100×(浸漬後の膜厚/浸漬前の膜厚)を算出した。
Claims (18)
- 前記一般式(I)におけるR1が、第三級アルキル基、アシル基、第三級アルコキシカルボニル基、C1−6アルコキシアルキル基、第三級アルコキシカルボニルアルキル基、トリ(C1−6アルキル)シリル基、または環状エーテル基である、請求項1に記載のイソシアヌル酸誘導体。
- 前記一般式(I)におけるR2がアリル基である、請求項1または2に記載のイソシアヌル酸誘導体。
- 前記一般式(I)におけるR3が、R1と同一である、請求項1〜3のいずれか1項に記載のイソシアヌル酸誘導体。
- 前記一般式(I)におけるR3が、R2と同一である、請求項1〜3のいずれか1項に記載のイソシアヌル酸誘導体。
- 前記一般式(X1)および前記一般式(X2)におけるR1が、第三級アルキル基、アシル基、第三級アルコキシカルボニル基、C1−6アルコキシアルキル基、第三級アルコキシカルボニルアルキル基、トリ(C1−6アルキル)シリル基、または環状エーテル基である、請求項6に記載のポリマー。
- ポリシロキサン骨格を含む、請求項6または7に記載のポリマー。
- 酸の存在下で、前記一般式(X1)および前記一般式(X2)におけるR1が脱離して生成するNH基の量が、0.1mmol/g以上である、請求項6〜8のいずれか1項に記載のポリマー。
- 重量平均分子量が、1,000〜200,000である、請求項6〜9のいずれか1項に記載のポリマー。
- 加熱により架橋構造を形成可能な架橋性官能基を含む、請求項6〜10のいずれか1項に記載のポリマー。
- 前記架橋性官能基が、エポキシ基およびオキセタン基からなる群から選択される1種以上である、請求項11に記載のポリマー。
- 請求項6〜12のいずれか1項に記載のポリマー;および光酸発生剤を含有する、ポジ型感光性組成物。
- さらに、光増感剤を含有する、請求項13に記載のポジ型感光性組成物。
- さらに、前記ポリマーと反応可能な官能基を1分子中に2以上含む化合物を含有する、請求項13または14に記載のポジ型感光性組成物。
- さらに、熱硬化性樹脂を含有する、請求項13〜15のいずれか1項に記載のポジ型感光性組成物。
- 請求項6〜12のいずれか1項に記載のポリマーを含む絶縁膜。
- 請求項13〜16のいずれか1項に記載のポジ型感光性組成物を基材上に塗布し、露光およびアルカリ現像によりパターニングを実施する、パターン絶縁膜の製造方法。
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