JP2021158153A - ウェハの再研削方法 - Google Patents
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Abstract
Description
オリフラOFの長さまたはオリフラOFの周方向位置が得られたので、上述した関係式より偏心量δが演算される(ステップS730)。
Claims (6)
- オリフラ付きウェハまたはノッチ付きウェハの再研削方法において、
前記ノッチ付きまたはオリフラ付きウェハの中心位置をノッチまたはオリフラが形成されていない位置で測定し、前記ノッチ付きまたはオリフラ付きウェハのノッチ形成部またはオリフラ形成部の位置を測定し、これらウェハの中心位置と前記ノッチ形成部またはオリフラ形成部の位置を記憶し、記憶されたウェハの中心位置と前記ノッチ形成部またはオリフラ形成部の位置とに基づいて、ウェハのエッジ部を再研削する新たな研削中心を演算して記憶することを特徴とするウェハの再研削方法。 - 前記研削中心は、前記ウェハの中心から反ノッチまたは反オリフラ側に変位した位置であることを特徴とする請求項1に記載のウェハの再研削方法。
- 研削前のウェハがオリフラ付きウェハであって、前記ウェハのオリフラ長を2L、前記ウェハの半径をRとしたときに、前記研削中心の前記ウェハの中心からの偏心量δが、0<δ≦(R−(R2−L2)1/2)/2を満足することを特徴とする請求項2に記載のウェハの再研削方法。
- 研削前のウェハがノッチ付きウェハであって、前記ウェハのノッチ深さがd、前記ウェハの半径をRとしたときに、前記研削中心の前記ウェハの中心からの偏心量δが、0<δ≦d/2を満足することを特徴とする請求項2に記載のウェハの再研削方法。
- 前記演算または記憶されたウェハの新たな研削中心から、この新たな研削中心を中心とする最大内接円を求め、求められた内接円と前記ウェハの外周面との間の距離に基づいて、ウェハの周方向位置に応じて研削時の研削速度を変化させることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載のウェハの再研削方法。
- 再研削前のウェハがオリフラ付きウェハであれば、前記ウェハの研削開始位置をオリフラの一方の端部とし、前記研削速度がオリフラの両端部で遅く、ウェハの反オリフラ側で最も速くなるように変化させることを特徴とする請求項5に記載のウェハの再研削方法。
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