JP2021134104A - 単結晶成長方法および該方法に用いられる治具 - Google Patents
単結晶成長方法および該方法に用いられる治具 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021134104A JP2021134104A JP2020029820A JP2020029820A JP2021134104A JP 2021134104 A JP2021134104 A JP 2021134104A JP 2020029820 A JP2020029820 A JP 2020029820A JP 2020029820 A JP2020029820 A JP 2020029820A JP 2021134104 A JP2021134104 A JP 2021134104A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- single crystal
- melt
- container
- silicon
- crystal growth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000002109 crystal growth method Methods 0.000 title claims description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 40
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 189
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 87
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 87
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 87
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims abstract description 66
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 56
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 claims description 58
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 31
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 27
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 27
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 claims description 6
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 claims description 5
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 claims description 2
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 28
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 13
- 230000008569 process Effects 0.000 description 12
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 10
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 10
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 8
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 description 7
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 description 7
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 6
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 3
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 206010027476 Metastases Diseases 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000006193 liquid solution Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000009401 metastasis Effects 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 231100000614 poison Toxicity 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 1
- 230000008707 rearrangement Effects 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 1
- 239000003440 toxic substance Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
Description
中でもE P I ウェーハの基盤として用いられるシリコン単結晶基板では、高濃度のヒ素(As)、リン(P)やホウ素(B)などの不純物を大量にドープした単結晶が用いられる場合がある。
更に、特許文献3は、段落(0010)において、直胴部の育成中に、該シリコン単結晶を回転速度ωrpm[但し、ω≧24−(φ/25)]で回転させながら、引き上げられたシリコン単結晶の抵抗率が0.01Ω・cm以下となるようにドーパントを前記融液に添加するドーパント添加工程を含み、前記ドーパント添加工程では、シリコン単結晶の回転速度を、前記ドーパントを前記融液に添加する前のシリコン単結晶の回転速度よりも大きくすることを特徴とする。このように、ω≧24−(φ/25)以上の回転速度でシリコン単結晶を回転させながらドーパントを融液 に添加すれば、引き上げた結晶が有転位化することを抑制しつつ、高濃度のドーパントを 含有したシリコン単結晶を製造することができることが記載されており、更に、段落(0011)において、n型のドーパント、特に砒素やリンを高濃度で融液に 添加すると、引き上げたシリコン単結晶が特に有転位化し易いことが記載されている。
特許文献2では、ドーパント添加工程では、シリコン単結晶の回転速度を、前記ドーパントを融液に添加する前のシリコン単結晶の回転速度よりも大きくすることを記載している。直胴部の前半部が形成されるまでは、ドーパントが低濃度に添加状態か、ドーパントが無添加の状態とし、シリコン単結晶の直胴部の前半部が形成された以降は、ドーパントが所望する高濃度に添加された状態となるように、融液にドーパントを供給することが記載されており、初期状態からの高濃度ドープすると結晶成長し難いために、徐々にドーパントを加えていく工夫がなされている。
更に、特許文献3にも、結晶成長の進行と共に結晶回転数を調整しながらドーパントを投入することが記載されている。
ここで、種結晶成長時や結晶の口径を徐々に広げる肩部や、直胴部の前半で結晶が崩れる原因として、ドーパントを投入する時のドーパントの昇華が、溶融より上部の比較的低温の炉内部品に蒸着し、その固形物が落下することで、種結晶、肩部、直胴部初期の成長中の結晶成長界面に落下し、結晶の崩れが生じることを記載し、後にその対策を説明する。
また、特許文献3に記載された方法でも成長中に不純物を供給する方法は、ルツボ 壁へのドーパント付着やその落下により、溶融と結晶成長界面にドーパントが付着し、結晶が崩れるリスクも否定できない。
本発明の第2の側面によれば、単結晶成長方法が提供され、該方法は、
上述の治具を種結晶の下方に装着し、で前記ワイヤケーブルに取り付けて単結晶成長炉内に導入し、上記治具を、多結晶シリコンを溶解した融液に浸漬することによりドーパントを収納した容器を融液に浸け、容器ごと溶解させて前記不純物材料を前記融液にドープさせる工程と、
前記ドープさせる工程に引き続き前記単結晶成長炉を閉じたままで前記種結晶を前記融液に浸漬して成長させ、単結晶を取得する工程と、
を備える。
当該容器の上部に、シリコンウェーハの中心に穴を設けて種結晶に固着させたシリコンウェーハをさらに備える場合は、容器から昇華し、上部チャンバ方向へ向かう不純物ドーパントを上記シリコンウェーハで捉え、昇華したドーパントも再びシリコンウェーハと共に溶解し、昇華物が上部炉内部品に蒸着することがなく、高濃度ドープを実現する。
さらに、本発明の第3の側面によれば、上述の単結晶成長方法により得られる単結晶が提供される。-
本発明のさらに他の実施形態によれば、高濃度の不純物を含む低抵抗率の単結晶を取得することができる。
(1)治具
(i)第1実施形態
本発明に係る単結晶成長方法の実施形態について説明する前に、該方法に用いる治具について図面を参照しながら説明する。
シリコンよりも融点が低いゲルマニューム(Ge)溶接部で容器10が先に溶解し、切り離れるため容器10の切り離しにも都合が良い。
また、溌液性ルツボを用いると結晶直径対ルツボ内径比の口径比率が大きく取れるため、従来の単結晶製造方法よりも大口径の結晶成長に適している。
この効果は、蒸発しやすいドーパント物質を用いる単結晶成長において、蒸発する溶融表面の割合が小さくなり、且つその蒸発を抑えられた分、不純物ドーパントは結晶に取り込まれるので、より低抵抗率の結晶が得られる。
容器10が溶融によりルツボ90内に消失するタイミングでワイヤケーブルCを継続して引き下ろし、溶融の温度設定を行った後、種結晶を融液100に浸漬する。
(ii)第2実施形態
図3は、本発明に係る治具の第2実施形態の概略を説明するための斜視図の一例である。同図に示すように、本実施形態の治具は、図1に示した治具の構成に加え、種結晶S1を(ワイヤケーブルCの移動方向に)水平な方向で取り囲むシリコンウェーハWをさらに備える。
シリコンウェーハWは、種結晶S1の周辺形状に対応した形状・サイズの取り付け穴が中央に設けられ、この取り付け穴が種結晶S1で塞がれることにより種結晶S1の周囲に配置される。
種結晶S1が取り付け穴を塞ぐ態様に特に制限はないが、例えば溶接により取り付け穴の内壁を種結晶S1に固着させてもよいし、また、図4に示すように、種結晶S3の上部に緩やかな斜度の角錐形状を形成し、該角錐部分と取り付け穴とを位置合わせして上方からシリコンウェーハWを降ろすことにより、シリコンウェーハWを種結晶S3に係止させることとしてもよい。
第2実施形態の治具のその他の構成は、図1に示した第1実施形態の構成と実質的に同一であるので、詳細説明は省略する。なお、図3および図4にはシードチャックSCの模式図を加えた。
本実施形態の治具は、周辺から種結晶S1,S3を覆うシリコンウェーハWをさらに備えるので、容器10の溶融工程において、蒸発・昇華するドーパント物質が種結晶S1,S3を超えて結晶成長炉内に入り込むことを阻止する。これにより、結晶成長炉の内面がドーパント物質等で汚染されることなく、結晶成長炉のライフタイムを伸ばすだけでなく、フロー管などに固着したシリコンが溶融して成長中の単結晶に滴下するような事態を防止することができる。
(i)第1実施形態
次いで、図1および図2に示す治具を用いた単結晶成長方法について、本発明に係る単結晶成長方法の第1実施形態として説明する。
図4は、本実施形態による単結晶成長方法の概略工程を示す図の一例である。
まず、不純物材料IPを充填した容器10を備える治具を準備し、図1および図2に示すように、ワイヤケーブルCの先端にシードチャックを装着し、そこに取り付けられた種結晶Sの下端に溶接やフック構造でドーパントの入った容器を取り付ける。通常この作業は下部チャンバからずらした位置で作業し、取り付け後、ワイヤーを巻き上げて上部チャンバー(単結晶収納部)に続けて、単結晶成長炉に入れる(ステップS10)。ここで、単結晶成長炉内のルツボ90には、原料多結晶の完全溶融により得られた融液が収容されている。
原料多結晶がルツボ内で溶解を完了すると、上部チャンバー(単結晶収納部)に待機させていた、種結晶下端に取り付けた容器10を徐々に下降させ融液に接触させる。容器10の底近傍の側壁には、微細穴が空いており、昇華したドーパントは融液内に放出すると共に容器も溶解する。さらに徐々に容器を下降させ、容器毎溶解完了させる。容器10の溶解は、チャンバに設けられた観察窓から監視し、容器10の溶解が完了した時点で、ヒータの温度を下げ、温度設定を行う。この時、炉内圧力は、できるだけ常圧に近い200〜400Tоrrの低真空に設定する。
この容器を溶解するに当たって、炉内の溶融液面の温度を監視している温度センサーにより、溶解温度を管理し、必要以上に温度を高めることにより、ドーパントの過剰な昇華を抑えることができる。
単結晶成長方法の他の一例につき、図5の概略工程フロー図を参照しながら説明する。
上部から下部(融液をルツボ内に保持する部分)に流していた不活性ガスを下部に流すようにガス流ルートを切替え、単結晶成長装置の上部(単結晶収納部)と下部(融液を保持したまま)とをゲートバルブによって分断し、上部を常圧に戻し、上部を開放した後、ドーパント容器種結晶取り付けチャックに容器を取り付ける。上部を結晶成長位置に戻し、上部をガス置換し、下部と同一の圧力にした後、ゲートバルブを開くと同時にガス流を上部から下部に流すようにガス流を切り替えた後、ドーパントが入った容器を吊るしているワイヤーを徐々に下げることにより融液に近づけ、融液につける。容器中のドーパントは融点が低いため、昇華が起こり、出口が融液内に浸かっているU字管から融液内に放出される。この状況を観察窓から観察しながら操作を続け、ドーパントの昇華が完了したら、空になった石英容器をゲートバルブに当たらない上部まで引き上げ、再びゲートバルブを締め、上部、下部を雰囲気的に絶縁する。同時にガス流は下部に供給され、下部の圧力は常に一定になるようにする。
次いで種結晶(SEED)を取り付け、再び通常の結晶成長が行える位置に上部を結晶成長位置に戻し、上部の減圧、ガス置換を行った後、容器に入れられたドーパントを融液近傍に下ろし、狙いの不純物が収容された治具を融液に浸漬させ、ドーパントの昇華ガスを融液内に送出し、この治具から不純物を融液内に混入させるという手法が用いられてきた。具体的には、治具をワイヤケーブルの先端に取り付けて単結晶成長炉の上部(単結晶収納部)に導入する(ステップS120)。
続いて、反応ガスを流入しながら温度調整しつつ回転させながら種結晶を徐々に引き上げて結晶成長させる(ステップS210)。
さらに本手法を用いれば、溶融をルツボ内に保持する時間も短縮できるため、ルツボの内面の溶解も最小限化できるため、ルツボが溶解することでの汚染を低減することができる。
このように、本実施形態によれば、高濃度の不純物を含む低抵抗の単結晶を短時間でかつ安全に取得することができる。
次に、図3に示す治具を用いた単結晶成長方法について、本発明に係る単結晶成長方法の第2実施形態として説明する。
図3に示す治具において、シリコンウェーハWが溶接などにより種結晶S1に固着されている場合は、上述した第2実施形態の方法と実質的に同一である。
この一方、図4に示すように、種結晶S3上部の角錐の傾斜を用いてシリコンウェーハWが傾斜上で種結晶Sに係止される場合は、上述の第1実施形態の工程に加え、シリコンウェーハWを取り付ける工程が必要となる。
より具体的には、種結晶S3上部とウェーハWの取り付け穴との間で位置合わせを行い、シリコンウェーハWを下ろして種結晶S上部で取り付け穴を塞ぐことにより、シリコンウェーハWを配置する工程が必要である。このシリコンウェーハWの配置工程は、原料シリコンの溶解からシードチャックSCへの取り付けまでの間の任意のタイミングで行えばよい。シリコンウェーハW自体は、単結晶の成長中に裏面に付着したドーパントと共に融解して融液となる。
本実施形態において、シリコンウェーハWの配置・除去の工程を除くその他の工程は、上述した第1実施形態の結晶成長方法と実質的に同一である。
本実施形態によれば、周辺から種結晶S1,S3を覆うシリコンウェーハWを用いるので、容器10の溶融工程において、蒸発・昇華するドーパント物質が種結晶S1,S3を超えて結晶成長炉内に入り込むことが阻止される。これにより、結晶成長炉の内面がドーパント物質等で汚染されることなく、結晶成長炉のライフタイムが伸びることに加え、フロー管などに固着したシリコンが溶融して成長中の単結晶に滴下するような事態を防止することもできる。
以上、添付の図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明したが、これらは発明の容易な理解のためになされたものであり、これらをもって本発明の特許請求の範囲を限定するものではない。上述の実施の形態に付与した番号は、記載上の便宜を図るためのものに過ぎず、特に実施形態の優劣を示すものではない。また、工程フロー図では論理的な順序を示したが、特定の状況においては、記載されたステップを異なる順序で実行することも複数のステップを同時に実行することも可能である。
90…(溌液性)ルツボ
100…(シリコン)融液
C…ワイヤケーブル
IP…不純物
S…種結晶
Claims (10)
- 種結晶を吊り下げるためのワイヤケーブルに種結晶を介して取り付け可能であって、不純物材料を収容する容器を備える治具。
- 前記容器の材質は、シリコンまたは、シリコンよりも融点が低く、且つ、シリコンデバイスに影響が出ない4価の元素を含む請求項1に記載の治具。
- 前記材質は、シリコンまたはゲルマニュームを含むことを特徴とする請求項2に記載の治具。
- 前記容器は、実質的に円筒状の形状を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の治具。
- 前記不純物材料は、ヒ素(As)、アンチモン(Sb)およびリン(P)の少なくともいずれかを含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の治具。
- 中央に穴が設けられ該穴で前記種結晶を囲むように配置されるシリコンウェーハをさらに備えることを特徴とする請求項1乃至4に記載の治具。
- 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の治具を種結晶の下方に装着し前記ワイヤケーブルに取り付けて単結晶成長炉内に導入し、前記治具を多結晶シリコンの融液に浸漬することによりドーパントを終了した容器を融液に漬け容器ごと溶解させて前記不純物材料を前記融液にドープさせる工程と、
前記ドープさせる工程に引き続き前記単結晶成長炉を閉じたままで前記種結晶を前記融液に浸漬して成長させ、単結晶を取得する工程と、
を備える単結晶成長方法。 - 前記治具は、中央に穴が設けられ該穴で前記種結晶を囲むように配置されるシリコンウェーハをさらに備え、
種結晶で前記穴が塞がれるように前記種結晶の周辺に前記シリコンウェーハを配置する工程と、
前記容器を前記種結晶の下方で前記ワイヤケーブルに取り付けて単結晶成長炉内に導入し、前記容器を多結晶シリコンの融液に浸漬することにより前記容器を融液に漬け容器ごと溶解させて前記不純物材料を前記融液にドープさせる工程と、
前記ドープさせる工程に引き続き前記単結晶成長炉を閉じたままで前記種結晶を前記融液に浸漬して成長させ、単結晶を取得する工程と、
を備える請求項7に記載の単結晶成長方法。 - 前記融液は、溌液性ルツボに収容されることを特徴とする請求項7または8に記載の単結晶成長方法。
- 請求項7乃至9記載の単結晶成長方法により得られる単結晶。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020029820A JP6829853B1 (ja) | 2020-02-25 | 2020-02-25 | 単結晶成長方法および該方法に用いられる治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020029820A JP6829853B1 (ja) | 2020-02-25 | 2020-02-25 | 単結晶成長方法および該方法に用いられる治具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6829853B1 JP6829853B1 (ja) | 2021-02-17 |
JP2021134104A true JP2021134104A (ja) | 2021-09-13 |
Family
ID=74562323
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020029820A Active JP6829853B1 (ja) | 2020-02-25 | 2020-02-25 | 単結晶成長方法および該方法に用いられる治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6829853B1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114574947B (zh) * | 2022-03-04 | 2023-06-02 | 中锗科技有限公司 | 一种n型重掺锗单晶生长磷元素掺杂装置及方法 |
CN115449895A (zh) * | 2022-08-31 | 2022-12-09 | 双良硅材料(包头)有限公司 | 一种补掺母合金装置 |
-
2020
- 2020-02-25 JP JP2020029820A patent/JP6829853B1/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6829853B1 (ja) | 2021-02-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102859050B (zh) | 制造半导体单晶的方法 | |
JP4100228B2 (ja) | 炭化珪素単結晶とその製造方法 | |
JP6829853B1 (ja) | 単結晶成長方法および該方法に用いられる治具 | |
KR100486877B1 (ko) | 저융점 도판트 주입관이 설치된 실리콘 단결정 성장 장치및 저융점 도판트 주입 방법 | |
US20050183657A1 (en) | Silicon carbide single crystal and a method for its production | |
TWI582277B (zh) | GaAs single crystal and GaAs single crystal wafer | |
US7909930B2 (en) | Method for producing a silicon single crystal and a silicon single crystal | |
US20140033968A1 (en) | Controlled Doping Device For Single Crystal Semiconductor Material and Related Methods | |
US5406905A (en) | Cast dopant for crystal growing | |
US8840721B2 (en) | Method of manufacturing silicon single crystal | |
JP2009149452A (ja) | 半導体結晶成長方法 | |
JP2017222551A (ja) | シリコン単結晶の製造方法 | |
JP2004196591A (ja) | 化合物半導体単結晶の製造方法および結晶成長装置 | |
US9920449B2 (en) | Production method of SiC single crystal | |
KR100777337B1 (ko) | 실리콘 단결정 잉고트의 제조방법 | |
US6824609B2 (en) | Liquid phase growth method and liquid phase growth apparatus | |
JP2010064936A (ja) | 半導体結晶の製造方法 | |
EP1498518A1 (en) | Silicon carbide single crystal and method for preparation thereof | |
US5145550A (en) | Process and apparatus for growing single crystals of III-V compound semiconductor | |
KR100777335B1 (ko) | 실리콘 단결정 잉고트의 제조방법 | |
JP2009190914A (ja) | 半導体結晶製造方法 | |
JP3900816B2 (ja) | シリコンウェーハの製造方法 | |
US10815586B2 (en) | Gallium-arsenide-based compound semiconductor crystal and wafer group | |
WO2003068696A1 (fr) | Procede de production d'un monocristal de semiconducteur compose | |
JP2004269335A (ja) | 単結晶の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200225 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20200225 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20200318 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200414 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200515 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200609 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200811 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200908 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201105 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210105 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210107 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6829853 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |