JP2021126609A - Pure water generator - Google Patents

Pure water generator Download PDF

Info

Publication number
JP2021126609A
JP2021126609A JP2020022081A JP2020022081A JP2021126609A JP 2021126609 A JP2021126609 A JP 2021126609A JP 2020022081 A JP2020022081 A JP 2020022081A JP 2020022081 A JP2020022081 A JP 2020022081A JP 2021126609 A JP2021126609 A JP 2021126609A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pure water
water
unit
fresh water
precision filter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2020022081A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
純 諏訪野
純 諏訪野
吉田 幹
幹 吉田
Original Assignee
株式会社ディスコ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社ディスコ filed Critical 株式会社ディスコ
Priority to JP2020022081A priority Critical patent/JP2021126609A/en
Publication of JP2021126609A publication Critical patent/JP2021126609A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C02TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02FTREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F9/00Multistage treatment of water, waste water, or sewage
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D35/00Other filtering devices; Auxiliary devices for filtration; Filter housing constructions
    • B01D35/02Filters adapted for location in special places, e.g. pipe-lines, pumps, stop-cocks
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C02TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02FTREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/30Treatment of water, waste water, or sewage by irradiation
    • C02F1/32Treatment of water, waste water, or sewage by irradiation with ultra-violet light
    • C02F1/325Irradiation devices or lamp constructions
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C02TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02FTREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/44Treatment of water, waste water, or sewage by dialysis, osmosis or reverse osmosis
    • C02F1/444Treatment of water, waste water, or sewage by dialysis, osmosis or reverse osmosis by ultrafiltration or microfiltration
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C02TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02FTREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/001Processes for the treatment of water whereby the filtration technique is of importance
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C02TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02FTREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/30Treatment of water, waste water, or sewage by irradiation
    • C02F1/32Treatment of water, waste water, or sewage by irradiation with ultra-violet light
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C02TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02FTREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/42Treatment of water, waste water, or sewage by ion-exchange
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C02TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02FTREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F2103/00Nature of the water, waste water, sewage or sludge to be treated
    • C02F2103/02Non-contaminated water, e.g. for industrial water supply
    • C02F2103/04Non-contaminated water, e.g. for industrial water supply for obtaining ultra-pure water
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C02TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02FTREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F2301/00General aspects of water treatment
    • C02F2301/08Multistage treatments, e.g. repetition of the same process step under different conditions

Abstract

【課題】精密フィルターを配設して純水を生成する場合でも、フィルターの交換が頻繁でない純水生成装置の提供。
【解決手段】排水から純水を生成する純水生成装置2は、排水タンク3から送り出された排水を濾過する濾過部と、生成された第一の清水を貯水する清水タンクと、該タンクから送り出された第一の清水の有機物を破壊する紫外線照射部6bと、該照射部から送り出された第一の清水を濾過し第二の清水を生成する精密フィルター部6cと、該フィルター部から送り出された第二の清水を純水にするイオン交換樹脂部と、該イオン交換樹脂部により精製された純水を外部装置に供給する純水供給部7を含み、精密フィルター部6cには、第二の清水を送り出す方向から該フィルター部に対しエアー又は水を供給する流体供給手段9と、純水を生成する際に第一の清水を受け入れる方向から第二の清水を排出して排水タンク3に戻す戻し手段10が接続される。
【選択図】図5
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pure water generator in which the filter is not frequently replaced even when a precision filter is arranged to generate pure water.
SOLUTION: A pure water generator 2 for generating pure water from wastewater has a filtration unit for filtering the wastewater sent out from a drainage tank 3, a fresh water tank for storing the first fresh water generated, and the tank. An ultraviolet irradiation unit 6b that destroys the organic matter of the first fresh water that has been sent out, a precision filter unit 6c that filters the first fresh water that has been sent out from the irradiation unit and produces a second fresh water, and a precision filter unit 6c that is sent out from the filter unit. The precision filter unit 6c includes an ion exchange resin unit that turns the second fresh water into pure water and a pure water supply unit 7 that supplies pure water purified by the ion exchange resin unit to an external device. A fluid supply means 9 that supplies air or water to the filter unit from the direction of sending out the second fresh water, and a drainage tank 3 that discharges the second fresh water from the direction of receiving the first fresh water when producing pure water. The return means 10 is connected.
[Selection diagram] Fig. 5

Description

本発明は、排水から純水を生成する純水生成装置に関する。 The present invention relates to a pure water generator that generates pure water from waste water.
IC、LSI等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、研削装置によって裏面が研削され所望の厚みに形成された後、ダイシング装置によって個々のデバイスチップに分割され携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。 A wafer in which a plurality of devices such as ICs and LSIs are partitioned by a planned division line and formed on the front surface is divided into individual device chips by a dicing device after the back surface is ground by a grinding device to form a desired thickness and carried. Used for electrical equipment such as telephones and personal computers.
研削装置、及びダイシング装置は、加工水として純水が使用されることから、本出願人によって、加工装置から排出される排水を純水に精製して再利用すべく循環させる装置が提案されている(特許文献1を参照)。 Since pure water is used as processing water for the grinding device and the dicing device, the applicant has proposed a device for purifying the wastewater discharged from the processing device into pure water and circulating it for reuse. (See Patent Document 1).
特許文献1に記載された装置は、排水を貯水する排水タンクと、該排水タンクから送り出された排水を濾過する濾過部と、該濾過部によって生成された清水を貯水する清水タンクと、該清水タンクから送り出された清水に紫外線を照射して有機物を破壊する紫外線照射部と、該紫外線照射部から送り出された清水を純水に精製するイオン交換樹脂部と、該イオン交換樹脂部によって精製された純水を濾過する精密フィルター部と、該精密フィルター部から送り出された純水を加工装置に供給する純水供給部と、を少なくとも含み、構成されている。 The apparatus described in Patent Document 1 includes a drainage tank that stores wastewater, a filtration unit that filters the wastewater sent from the drainage tank, a freshwater tank that stores fresh water generated by the filtration unit, and the fresh water. The fresh water sent from the tank is irradiated with ultraviolet rays to destroy organic substances, the ion exchange resin part that purifies the fresh water sent from the ultraviolet irradiation part into pure water, and the ion exchange resin part that purifies the water. It includes at least a precision filter unit for filtering the pure water and a pure water supply unit for supplying the pure water sent from the precision filter unit to the processing apparatus.
特開2009−214193号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2009-214193
上記した純水生成装置によれば、一度加工装置に供給され使用された後の排水が、濾過部を経て清水とされ、さらに紫外線照射部、イオン交換樹脂、及び精密フィルターによって濾過されて純水が生成されて、再び加工装置に供給されて使用される。しかし、紫外線照射部を清水が通過する際に紫外線によって破壊された有機物が、イオン交換樹脂部の後に配設された精密フィルターによって濾過されるため、該精密フィルターが目詰まりを起こしやすく、頻繁に交換が必要になって生産性が悪いと共に、該精密フィルターが高価であることから、不経済であるという問題がある。 According to the above-mentioned pure water generator, the wastewater once supplied to the processing apparatus and used is made into fresh water through the filtration part, and further filtered by the ultraviolet irradiation part, the ion exchange resin, and the precision filter to make pure water. Is generated and supplied to the processing equipment again for use. However, when fresh water passes through the ultraviolet irradiation part, the organic matter destroyed by the ultraviolet rays is filtered by the precision filter arranged after the ion exchange resin part, so that the precision filter is likely to be clogged and is frequently clogged. There is a problem that it is uneconomical because the precision filter is expensive because it needs to be replaced and the productivity is low.
本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、精密フィルターを配設して純水を生成する場合であっても、該精密フィルターを頻繁に交換する必要のない純水生成装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above facts, and its main technical problem is that even when a precision filter is arranged to generate pure water, the precision filter does not need to be replaced frequently. The purpose is to provide a water generator.
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、排水から純水を生成する純水生成装置であって、排水を貯水する排水タンクと、該排水タンクから送り出された排水を濾過する濾過部と、該濾過部によって生成された第一の清水を貯水する清水タンクと、該清水タンクから送り出された第一の清水に紫外線を照射して有機物を破壊する紫外線照射部と、該紫外線照射部から送り出された第一の清水から有機物を濾過し第二の清水を生成する精密フィルター部と、該精密フィルター部から送り出された第二の清水を純水に精製するイオン交換樹脂部と、該イオン交換樹脂部によって精製された純水を外部装置に供給する純水供給部と、を少なくとも含み、該精密フィルター部には、純水を生成する際に第二の清水を送り出す方向から該精密フィルター部に対してエアー又は水を供給する流体供給手段と、該流体供給手段によって供給されるエアー又は水の作用により純水を生成する際に該第一の清水を受け入れる方向から該第二の清水を排出して該排水タンクに戻す戻し手段と、が少なくとも接続される純水生成装置が提供される。 In order to solve the above-mentioned main technical problem, according to the present invention, it is a pure water generator that generates pure water from wastewater, and is a drainage tank that stores wastewater and a filtration that filters the wastewater sent out from the drainage tank. A fresh water tank that stores the first fresh water generated by the filtering section, an ultraviolet irradiation section that irradiates the first fresh water sent out from the fresh water tank with ultraviolet rays to destroy organic substances, and the ultraviolet irradiation. A precision filter part that filters organic substances from the first fresh water sent out from the unit to generate a second fresh water, and an ion exchange resin part that purifies the second fresh water sent out from the precision filter part into pure water. The precision filter unit includes at least a pure water supply unit that supplies pure water purified by the ion exchange resin unit to an external device, and the precision filter unit receives the second fresh water from the direction of being sent out when producing pure water. The second from the direction of receiving the first fresh water when producing pure water by the action of the fluid supply means for supplying air or water to the precision filter unit and the action of air or water supplied by the fluid supply means. A pure water generator is provided, which is connected with at least a means for returning the fresh water to the drainage tank.
より好ましくは、純水を生成する際に該イオン交換樹脂部から送り出された純水を更に濾過する補助精密フィルター部が配設される。 More preferably, an auxiliary precision filter unit for further filtering the pure water sent out from the ion exchange resin unit when producing pure water is provided.
本発明の純水生成装置は、排水を貯水する排水タンクと、該排水タンクから送り出された排水を濾過する濾過部と、該濾過部によって生成された第一の清水を貯水する清水タンクと、該清水タンクから送り出された第一の清水に紫外線を照射して有機物を破壊する紫外線照射部と、該紫外線照射部から送り出された第一の清水から有機物を濾過し第二の清水を生成する精密フィルター部と、該精密フィルター部から送り出された第二の清水を純水に精製するイオン交換樹脂部と、該イオン交換樹脂部によって精製された純水を外部装置に供給する純水供給部と、を少なくとも含み、該精密フィルター部には、純水を生成する際に第二の清水を送り出す方向から該精密フィルター部に対してエアー又は水を供給する流体供給手段と、該流体供給手段によって供給されるエアー又は水の作用により純水を生成する際に該第一の清水を受け入れる方向から該第二の清水を排出して該排水タンクに戻す戻し手段と、が少なくとも接続されていることから、該精密フィルターを洗浄することができ、精密フィルター部を構成する高価なフィルターを頻繁に交換する必要がなく、不経済であるという問題が解消する。 The pure water generator of the present invention includes a drainage tank that stores wastewater, a filtration unit that filters the wastewater sent from the drainage tank, and a freshwater tank that stores the first fresh water generated by the filtration unit. The first fresh water sent out from the fresh water tank is irradiated with ultraviolet rays to destroy the organic matter, and the organic matter is filtered from the first fresh water sent out from the ultraviolet irradiation part to generate the second fresh water. A precision filter unit, an ion exchange resin unit that purifies the second fresh water sent out from the precision filter unit into pure water, and a pure water supply unit that supplies the pure water purified by the ion exchange resin unit to an external device. And, in the precision filter section, a fluid supply means for supplying air or water to the precision filter section from the direction in which a second fresh water is sent out when pure water is generated, and the fluid supply means. At least connected is a means for returning the second fresh water to the drain tank from the direction of receiving the first fresh water when pure water is generated by the action of air or water supplied by. Therefore, the precision filter can be cleaned, and it is not necessary to frequently replace the expensive filter constituting the precision filter unit, which solves the problem of uneconomical use.
本実施形態の純水生成装置、及び該純水生成装置が適用されたダイシング装置の全体斜視図である。It is an overall perspective view of the pure water generator of this embodiment, and the dicing apparatus to which the pure water generator is applied. 図1に記載された純水生成装置の内部の概略を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the outline of the inside of the pure water generation apparatus shown in FIG. 図2に示す純水生成装置の各構成要素、及び各構成要素を接続する配管の構成を分解して示す斜視図である。It is a perspective view which shows each component of the pure water generation apparatus shown in FIG. 2 and the structure of the pipe connecting each component by disassembling. 排水から純水を生成する際の精密フィルター部内の流れを示す概略断面図である。It is a schematic cross-sectional view which shows the flow in the precision filter part at the time of generating pure water from wastewater. 精密フィルター部の再生処理を実施する際の純水、及び第二の清水の流れを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the flow of pure water and the second fresh water at the time of carrying out the regeneration process of a precision filter part. 精密フィルター部の再生処理を実施する際の精密フィルター部内の流れを示す概略断面図である。It is schematic cross-sectional view which shows the flow in the precision filter part at the time of carrying out the regeneration process of a precision filter part.
以下、本発明に基づいて構成される純水生成装置に係る実施形態について、添付図面を参照しながら、詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments relating to a pure water generator configured based on the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
図1には、本実施形態の純水生成装置2と、純水生成装置2によって加工水が循環されて供給されるダイシング装置1の斜視図が示されている。なお、本実施形態の純水生成装置2は、以下に示すダイシング装置1にのみ適用されるものではなく、加工水を利用する装置、例えば、研削装置、研磨装置等にも適用が可能である。 FIG. 1 shows a perspective view of the pure water generation device 2 of the present embodiment and the dicing device 1 in which the processed water is circulated and supplied by the pure water generation device 2. The pure water generating device 2 of the present embodiment is not only applied to the dicing device 1 shown below, but can also be applied to a device using processing water, for example, a grinding device, a polishing device, or the like. ..
ダイシング装置1の概略について説明すると、ダイシング装置1は、略直方体形状のハウジング1Aを備え、被加工物(例えば半導体のウエーハ)を複数収容するカセット1aからウエーハを搬出する搬出入手段1bと、ウエーハを保持する保持手段1cと、保持手段1c上に載置され保持されたウエーハに切削加工を施す切削手段1dと、切削加工が施されたウエーハを保持手段1cから洗浄領域に搬送するための搬送手段1eと、を備えている。 Explaining the outline of the dicing device 1, the dicing device 1 includes a housing 1A having a substantially rectangular shape, and a loading / unloading means 1b for carrying out a wafer from a cassette 1a accommodating a plurality of workpieces (for example, a semiconductor wafer), and a wafer. The holding means 1c for holding the wafer, the cutting means 1d for cutting the wafer placed and held on the holding means 1c, and the transport for transporting the machined wafer from the holding means 1c to the cleaning area. The means 1e and the like are provided.
カセット1aから搬出入手段1bにより搬出されたウエーハは、保持手段1c上に搬送されて載置され吸引保持される。保持手段1cに保持されたウエーハは、加工位置を検出する所定のアライメントが施されることによりウエーハ上の切削位置が検出され、次いで、切削手段1dの下方に位置付けられて、該切削位置の位置情報に基づき、切削加工が施され、個々のチップに分割される。切削加工が施されたウエーハは、搬送手段1eによって洗浄領域に搬送されて洗浄・乾燥処理が施され、搬出入手段1bによって洗浄領域から搬出されカセット1aの所定の位置に戻される。 The wafer carried out from the cassette 1a by the carry-in / out means 1b is carried on the holding means 1c, placed on the wafer, and sucked and held. The wafer held by the holding means 1c is aligned to detect the machining position to detect the cutting position on the wafer, and then is positioned below the cutting means 1d to determine the position of the cutting position. Based on the information, it is machined and divided into individual chips. The cut wafer is conveyed to the cleaning area by the conveying means 1e to be washed and dried, and is carried out from the cleaning area by the carry-in / out means 1b and returned to a predetermined position of the cassette 1a.
本実施形態においては、図1に示すように、ダイシング装置1に隣接して純水生成装置2が配設されている。純水生成装置2はカバー部材2Aによって覆われ、操作パネル、モニタ等を含む制御手段8を備えている。純水生成装置2において生成された純水は、純水供給路60を介してダイシング装置1に対して加工水として供給される。該加工水は、ダイシング装置1の加工領域及び洗浄領域に供給され、切削屑等の不純物を含む状態となり、ダイシング装置1内で回収され、排水路50を介して純水生成装置2に戻される。排水路50を介して戻された排水は、純水生成装置2において純水に精製され、加工水として再利用される。 In the present embodiment, as shown in FIG. 1, a pure water generating device 2 is arranged adjacent to the dicing device 1. The pure water generator 2 is covered with a cover member 2A, and includes a control means 8 including an operation panel, a monitor, and the like. The pure water generated in the pure water generation device 2 is supplied as processing water to the dicing device 1 via the pure water supply path 60. The processed water is supplied to the processing area and the cleaning area of the dicing device 1, becomes a state containing impurities such as cutting chips, is recovered in the dicing device 1, and is returned to the pure water generation device 2 via the drainage channel 50. .. The wastewater returned through the drainage channel 50 is purified into pure water in the pure water generator 2 and reused as processed water.
ここで、図2、図3を参照しながら、本実施形態の純水生成装置2の構成をより具体的に説明する。なお、図2は、本実施形態の純水生成装置2の全体斜視図であって、説明の都合上、純水生成装置2の全体を覆うカバー部材2Aを取り外し、純水生成装置2内部の各構成間を連通する配管を適宜省略した状態を示している。また、図3は、図2に示す純水生成装置2の各構成要素を分解した状態の斜視図を示し、純水生成装置2の各構成要素が配管で連通された状態を示している。なお各配管は実際にはフレキシブルパイプで構成される。 Here, the configuration of the pure water generator 2 of the present embodiment will be described more specifically with reference to FIGS. 2 and 3. Note that FIG. 2 is an overall perspective view of the pure water generator 2 of the present embodiment. For convenience of explanation, the cover member 2A covering the entire pure water generator 2 is removed, and the inside of the pure water generator 2 is removed. The state in which the piping communicating between the configurations is appropriately omitted is shown. Further, FIG. 3 shows a perspective view of each component of the pure water generation device 2 shown in FIG. 2 in a disassembled state, and shows a state in which each component of the pure water generation device 2 is communicated with a pipe. Each pipe is actually composed of a flexible pipe.
図2に示すように、純水生成装置2は、ダイシング装置1から排水路50を介して導入される排水を一旦収容する排水タンク3と、排水タンク3に収容された排水を送給する送給ポンプ3aと、送給ポンプ3aによって排水タンク3から送られた排水から切削屑等を取り除き濾過する濾過部4と、濾過部4によって濾過された第一の清水を貯水する清水タンク5と、清水タンク5から送り出された第一の清水を、さらに純水化処理する純水生成部6と、純水生成部6によって生成された純水をダイシング装置1に供給する純水供給部7と、を備えている。なお、純水生成装置2の作動は制御手段8をオペレータが操作して指示することにより制御される。図3を参照しながら、純水を生成する際の排水の流れ(図中矢印W1で示す)をより具体的に説明する。 As shown in FIG. 2, the pure water generation device 2 supplies a drainage tank 3 that temporarily stores the drainage that is introduced from the dicing device 1 through the drainage channel 50 and a drainage tank 3 that feeds the drainage that is stored in the drainage tank 3. A supply pump 3a, a filtration unit 4 that removes cutting chips and the like from the drainage sent from the drainage tank 3 by the supply pump 3a and filters it, and a fresh water tank 5 that stores the first fresh water filtered by the filtration unit 4. A pure water generation unit 6 that further purifies the first fresh water sent out from the fresh water tank 5, and a pure water supply unit 7 that supplies the pure water generated by the pure water generation unit 6 to the dicing device 1. , Is equipped. The operation of the pure water generator 2 is controlled by the operator operating and instructing the control means 8. The flow of wastewater (indicated by arrow W1 in the figure) when generating pure water will be described more specifically with reference to FIG.
ダイシング装置1の加工が開始されると、純水生成装置2の処理が開始され、加工後の排水が、排水路50を介して排水タンク3に送られる。これと共に、送給ポンプ3aが作動され、排水タンク3から吸い上げられた排水は配管51を介して濾過部4に送給される。濾過部4は、第1の濾過フィルター4aと、第2の濾過フィルター4bとを備え、濾過後の第一の清水を受ける清水受けパン4c上に設置されている。送給ポンプ3aと、第1の濾過フィルター4a、及び第2の濾過フィルター4bとを接続する配管51上には、電磁駆動される流路切換弁52が配設されている。図に示すように、流路切換弁52がOFFで、ばねにより左方(1側)に付勢されている場合は、送給ポンプ3aによって送給された排水が、配管51の分岐路51aを通り第1の濾過フィルター4aに導かれ、流路切換弁52が通電(ON)され右方(0側)に付勢されると、送給ポンプ3aによって送給された排水が分岐路51bを通り第2の濾過フィルター4bに導かれる。 When the processing of the dicing device 1 is started, the processing of the pure water generating device 2 is started, and the processed drainage is sent to the drainage tank 3 via the drainage channel 50. At the same time, the feed pump 3a is operated, and the wastewater sucked up from the drainage tank 3 is fed to the filtration unit 4 via the pipe 51. The filtration unit 4 includes a first filtration filter 4a and a second filtration filter 4b, and is installed on a fresh water receiving pan 4c that receives the first fresh water after filtration. An electromagnetically driven flow path switching valve 52 is provided on the pipe 51 connecting the feed pump 3a, the first filtration filter 4a, and the second filtration filter 4b. As shown in the figure, when the flow path switching valve 52 is OFF and is urged to the left (1 side) by the spring, the drainage fed by the feed pump 3a is discharged from the branch path 51a of the pipe 51. When the flow path switching valve 52 is energized (ON) and urged to the right (0 side) through the first filtration filter 4a, the drainage supplied by the feed pump 3a is discharged to the branch path 51b. Is guided to the second filtration filter 4b.
第1の濾過フィルター4a、又は第2の濾過フィルター4bに導かれた排水は、切削屑等が濾過されて第一の清水に精製され、清水受けパン4cに流出する。配管51上には、分岐管を介して制御手段8に接続された圧力計S1が接続されており、配管51内の圧力を監視する。排水の濾過が一方の濾過フィルター(4a又は4b)によって継続して実施されると、濾過フィルターに切削屑等が堆積してやがて目詰まりを起こし、圧力計S1の圧力が上昇する。これを検出した制御手段8は、接続されている該一方の濾過フィルターの濾過機能が失われたと判断し、制御手段8の表示モニタに使用中の該一方の濾過フィルターの交換を指示する表示を行うと共に、上記電磁開閉弁52を切り換えて、排水の流れを、目詰まりを起こしていない他方の濾過フィルターへ切り替える。これによりオペレータは、制御手段8の指示によって、純水生成装置2の作動を継続しながら目詰まりを起こしている側の濾過フィルターの交換を実施することができる。 The wastewater guided to the first filtration filter 4a or the second filtration filter 4b is filtered for cutting chips and the like, purified into the first fresh water, and flows out to the fresh water receiving pan 4c. A pressure gauge S1 connected to the control means 8 via a branch pipe is connected on the pipe 51 to monitor the pressure in the pipe 51. When the filtration of the waste water is continuously carried out by one of the filtration filters (4a or 4b), cutting chips and the like are accumulated on the filtration filter, which eventually causes clogging, and the pressure of the pressure gauge S1 rises. Upon detecting this, the control means 8 determines that the filtration function of the one connected filtration filter has been lost, and displays a display instructing the display monitor of the control means 8 to replace the one of the filtration filters in use. At the same time, the electromagnetic on-off valve 52 is switched to switch the drainage flow to the other filtration filter that is not clogged. As a result, the operator can replace the filtration filter on the clogged side while continuing the operation of the pure water generating device 2 according to the instruction of the control means 8.
第1の濾過フィルター4a、又は第2の濾過フィルター4bによって濾過され、清水受けパン4cに流出した第一の清水は、配管53を介して清水タンク5に導入される。清水タンク5に貯留された第一の清水は、送給ポンプ5aによって送給され配管54を流れて純水生成部6に送られる。 The first fresh water filtered by the first filtration filter 4a or the second filtration filter 4b and flowing out to the fresh water receiving pan 4c is introduced into the fresh water tank 5 via the pipe 53. The first fresh water stored in the fresh water tank 5 is fed by the feed pump 5a, flows through the pipe 54, and is sent to the pure water generation unit 6.
図示の実施形態における純水生成部6は、支持台6aと、支持台6aの奥側に立設された紫外線照射部6bと、紫外線照射部6bの一方の側に隣接して配置された精密フィルター部6cと、手前側に立設されイオン交換樹脂を内蔵した一対の第1のイオン交換手段6d1及び第2のイオン交換手段6d2からなるイオン交換樹脂部6dと、紫外線照射部6bの他方の側に隣接して配置された補助精密フィルター部6fと、紫外線照射部6b、精密フィルター部6c、及び補助精密フィルター部6f側と、イオン交換樹脂部6d側と、を仕切る仕切り板6gを備えている。 The pure water generation unit 6 in the illustrated embodiment is precisely arranged adjacent to one side of the support base 6a, the ultraviolet irradiation unit 6b erected on the back side of the support base 6a, and the ultraviolet irradiation unit 6b. An ion exchange resin portion 6d composed of a filter portion 6c, a pair of first ion exchange means 6d1 and a second ion exchange means 6d2 erected on the front side and incorporating an ion exchange resin, and the other of the ultraviolet irradiation unit 6b. A partition plate 6g for partitioning an auxiliary precision filter unit 6f arranged adjacent to the side, an ultraviolet irradiation unit 6b, a precision filter unit 6c, an auxiliary precision filter unit 6f side, and an ion exchange resin unit 6d side is provided. There is.
清水タンク5から送給ポンプ5aによって送給され配管54を介して送られた第一の清水は、まず、紫外線照射部6bに導入される。ここで紫外線(UV)が照射されることによって第一の清水が殺菌されると共に、第一の清水中に残っている有機物が破壊される。紫外線照射手段6bから送り出された第一の清水は、配管55を介して精密フィルター部6cに導入される。なお、配管55には電磁開閉弁V1が配設されており、排水から純水を生成する際には開放されている。また、配管55には、排水タンク3に連結され電磁開閉弁V2が配設された配管63が接続されている。さらに、精密フィルター部6cには、イオン交換樹脂部6dに接続され電磁開閉弁V3を備えた配管56が接続され、配管56には後述する流体供給手段9に接続され電磁開閉弁V4を備えた配管61が接続されている。 The first fresh water fed from the fresh water tank 5 by the feed pump 5a and sent through the pipe 54 is first introduced into the ultraviolet irradiation unit 6b. Here, by irradiating with ultraviolet rays (UV), the first fresh water is sterilized and the organic substances remaining in the first fresh water are destroyed. The first fresh water sent out from the ultraviolet irradiation means 6b is introduced into the precision filter unit 6c via the pipe 55. An electromagnetic on-off valve V1 is provided in the pipe 55 and is open when pure water is generated from the waste water. Further, a pipe 63 connected to the drainage tank 3 and provided with an electromagnetic on-off valve V2 is connected to the pipe 55. Further, the precision filter portion 6c is connected to a pipe 56 connected to the ion exchange resin portion 6d and provided with an electromagnetic on-off valve V3, and the pipe 56 is connected to a fluid supply means 9 described later and provided with an electromagnetic on-off valve V4. The pipe 61 is connected.
精密フィルター部6cでは、図4に示すように、配管55経て第一の清水が流れ、フィルター体Fによって有機物等が取り除かれ、第二の清水として配管56に排出される。なお、この際、配管63上の電磁開閉弁V2及び配管61上の電磁開閉弁V4は閉止されているため、配管63、配管61への流れは生じない。 In the precision filter unit 6c, as shown in FIG. 4, the first fresh water flows through the pipe 55, organic substances and the like are removed by the filter body F, and the second fresh water is discharged to the pipe 56. At this time, since the electromagnetic on-off valve V2 on the pipe 63 and the electromagnetic on-off valve V4 on the pipe 61 are closed, no flow to the pipe 63 and the pipe 61 occurs.
図3に戻り説明を続けると、精密フィルター部6cを経て濾過された第二の清水は、純水を生成する際に開放される電磁開閉弁V3及び配管56を介して、イオン交換樹脂部6dを構成する第1のイオン交換手段6d1又は第2のイオン交換手段6d2に導入される。ここで、配管56上に配設された流路切換弁57がOFFで、ばねにより左方(1側)に付勢されている場合は、配管56から分岐された配管56aを介して第二の清水が第1のイオン交換手段6d1に導かれ、流路切換弁57が通電(ON)され右方(0側)に付勢されると配管56から分岐された配管56bを介して第2のイオン交換手段6d2に導かれる。この流路切換弁57の作用により、必要に応じて、純水生成装置2の作動を継続した状態でイオン交換樹脂部6を構成するイオン交換手段のいずれかを適宜交換することができる。 Returning to FIG. 3 and continuing the explanation, the second fresh water filtered through the precision filter section 6c passes through the electromagnetic on-off valve V3 and the pipe 56 that are opened when pure water is generated, and the ion exchange resin section 6d. Is introduced into the first ion exchange means 6d1 or the second ion exchange means 6d2 constituting the above. Here, when the flow path switching valve 57 arranged on the pipe 56 is OFF and is urged to the left (1 side) by the spring, the second pipe 56a branched from the pipe 56 is used. When the fresh water of the above is guided to the first ion exchange means 6d1 and the flow path switching valve 57 is energized (ON) and urged to the right (0 side), the second is via the pipe 56b branched from the pipe 56. It is guided to the ion exchange means 6d2 of. By the action of the flow path switching valve 57, any of the ion exchange means constituting the ion exchange resin unit 6 can be appropriately replaced while the operation of the pure water generation device 2 is continued, if necessary.
第1のイオン交換手段6d1、又は第2のイオン交換手段6d2に導入された第二の清水は、イオン交換樹脂の作用により第二の清水中に含まれるイオンが取り除かれて加工水として使用可能な純水に精製される。なお、このようにして第二の清水がイオン交換されて精製された純水には、第1のイオン交換手段6d1及び第2のイオン交換手段6d2を構成するイオン交換樹脂の樹脂屑等の微細な物質が混入してしまう場合がある。このため、図示の実施形態においては上述したように第1のイオン交換手段6d1及び第2のイオン交換手段6d2によって第二の清水がイオン交換されて精製された純水を、配管58を介してさらに補助精密フィルター部6fに導入し、この補助精密フィルター6fによって純水に混入されているイオン交換樹脂の樹脂屑等の微細な物質を捕捉し、ダイシング装置1において加工水としてより好ましい状態となる。なお、イオン交換樹脂部6dにおいて発生する微細な物質の純水への混入が殆どみられないような場合は、補助精密フィルター部6fを省略してもよい。 The second fresh water introduced into the first ion exchange means 6d1 or the second ion exchange means 6d2 can be used as processing water by removing the ions contained in the second fresh water by the action of the ion exchange resin. Purified into pure water. The pure water purified by ion exchange of the second fresh water in this way contains fine particles such as resin scraps of the ion exchange resin constituting the first ion exchange means 6d1 and the second ion exchange means 6d2. Substances may be mixed. Therefore, in the illustrated embodiment, as described above, pure water purified by ion exchange of the second fresh water by the first ion exchange means 6d1 and the second ion exchange means 6d2 is passed through the pipe 58. Further, it is introduced into the auxiliary precision filter unit 6f, and the auxiliary precision filter 6f captures fine substances such as resin debris of the ion exchange resin mixed in the pure water, and the dicing device 1 becomes a more preferable state as the processing water. .. If the fine substances generated in the ion exchange resin portion 6d are hardly mixed in the pure water, the auxiliary precision filter portion 6f may be omitted.
配管58には、分岐配管を介して第1のイオン交換手段6d1、又は第2のイオン交換手段6d2から補助精密フィルター部6fに送給される純水の圧力、及び比抵抗の値を検出する制御手段8に接続された圧力、比抵抗値検出手段S2が配設されており、この圧力検出手段S2の検出信号は制御手段8に送られる。圧力検出手段S2からの検出信号が所定圧力値以上に達したならば、制御手段8は補助精密フィルター部6fに樹脂屑等の微細な物質が堆積してフィルターとしての機能が失われたと判断し、制御手段8に設けられた表示モニタに表示し、オペレータは補助精密フィルター部6fを交換することができる。また、比抵抗値が所定値以下に低下したならば、使用中のイオン交換手段の機能が低下していると判断されるので、流路切換弁57を作動して当該イオン交換手段の使用を停止して交換する。なお、補助精密フィルター部6fは、上流側に濾過部4、精密フィルター部6cが配設されており、また、イオン交換手段からの樹脂屑等の発生は限定的であることから、頻繁に交換が必要になるという問題は生じない。 The pipe 58 detects the pressure of pure water and the value of the specific resistance sent from the first ion exchange means 6d1 or the second ion exchange means 6d2 to the auxiliary precision filter unit 6f via the branch pipe. The pressure and resistivity value detecting means S2 connected to the control means 8 are arranged, and the detection signal of the pressure detecting means S2 is sent to the control means 8. When the detection signal from the pressure detecting means S2 reaches a predetermined pressure value or more, the control means 8 determines that fine substances such as resin dust are deposited on the auxiliary precision filter unit 6f and the function as a filter is lost. , The display is displayed on the display monitor provided in the control means 8, and the operator can replace the auxiliary precision filter unit 6f. If the specific resistance value drops below a predetermined value, it is determined that the function of the ion exchange means in use has deteriorated. Therefore, the flow path switching valve 57 is operated to use the ion exchange means. Stop and replace. The auxiliary precision filter section 6f is frequently replaced because the filter section 4 and the precision filter section 6c are arranged on the upstream side, and the generation of resin dust and the like from the ion exchange means is limited. There is no problem of needing.
純水生成部6によって精製された純水は、補助精密フィルター部6fに接続された配管59を介して、外部の装置(本実施形態ではダイシング装置1)に供給する純水供給部7に送られる。純水供給部7は、温度コントローラを備えた純水貯水タンク7aと純水供給路60とを備え、純水貯水タンク7aに貯水された純水は、該温度コントローラによって所定の温度(例えば23℃)に調整されて純水供給路60を介して排出される。 The pure water purified by the pure water generation unit 6 is sent to the pure water supply unit 7 supplied to an external device (dicing device 1 in this embodiment) via the pipe 59 connected to the auxiliary precision filter unit 6f. Be done. The pure water supply unit 7 includes a pure water storage tank 7a provided with a temperature controller and a pure water supply path 60, and the pure water stored in the pure water storage tank 7a has a predetermined temperature (for example, 23) by the temperature controller. It is adjusted to (° C.) and discharged through the pure water supply path 60.
本実施形態の純水生成装置2は、さらに、精密フィルター部6cに対し、純水を生成する際に第二の清水を送り出す方向、すなわち配管56側から精密フィルター部6cに対してエアー又は水を供給する流体供給手段9と、流体供給手段9によって供給されたエアー又は水によって純水を生成する際に第一の清水を受け入れる方向、すなわち、配管55側から第二の清水を排出して排水タンク3に戻す配管63及び電磁開閉弁V2を含む戻し手段10と、を備えている。 Further, the pure water generation device 2 of the present embodiment sends air or water to the precision filter unit 6c from the direction of sending out the second fresh water when generating pure water, that is, from the pipe 56 side to the precision filter unit 6c. The direction in which the first fresh water is received when pure water is generated by the fluid supply means 9 and the air or water supplied by the fluid supply means 9, that is, the second fresh water is discharged from the pipe 55 side. It is provided with a return means 10 including a pipe 63 for returning to the drainage tank 3 and an electromagnetic on-off valve V2.
流体供給手段9は、図3に示すように、送給ポンプ9aと、送給ポンプ9aと電磁開閉弁V4を介して配管56に接続された配管61と、を備えている。精密フィルター部6cに供給する流体を水とする場合は、送給ポンプ9aに対して電磁開閉弁V5を介して純水供給部7の純水貯水タンク7aを接続する配管62を備える。また、該流体をエアーとする場合は、配管62に替えて、送給ポンプ9aに接続され電磁開閉弁V6を介して純水生成装置2の外部に開放されてエアー(Air)を取り入れる配管64を備える。なお、上記した配管62及び電磁開閉弁V5、並びに配管64及び電磁開閉弁V6は、両方を備えるようにしてもよい。 As shown in FIG. 3, the fluid supply means 9 includes a feed pump 9a, a feed pump 9a, and a pipe 61 connected to the pipe 56 via an electromagnetic on-off valve V4. When the fluid supplied to the precision filter unit 6c is water, a pipe 62 for connecting the pure water storage tank 7a of the pure water supply unit 7 to the feed pump 9a via the electromagnetic on-off valve V5 is provided. When the fluid is air, the pipe 64 is connected to the feed pump 9a and is opened to the outside of the pure water generator 2 via the electromagnetic on-off valve V6 to take in the air (Air) instead of the pipe 62. To be equipped. The above-mentioned pipe 62 and the electromagnetic on-off valve V5, and the pipe 64 and the electromagnetic on-off valve V6 may be provided with both.
純水生成装置2は上記したとおりの構成を備えており、ダイシング装置1において加工水として使用され排出された排水は、純水生成装置2によって純水に精製されて再利用される。その際、純水生成装置2の作動時間の経過と共に、精密フィルター部6cは目詰まりを起こし、最終的には精密フィルターとして機能しなくなることから、本実施形態では、目詰まりを起こす前に、精密フィルター部6cの目詰まりを解消する再生処理を実施する。 The pure water generator 2 has the above-described configuration, and the wastewater used and discharged as the processing water in the dicing apparatus 1 is purified into pure water by the pure water generator 2 and reused. At that time, as the operating time of the pure water generator 2 elapses, the precision filter unit 6c becomes clogged and eventually does not function as a precision filter. Therefore, in the present embodiment, before the clogging occurs, A regeneration process for clearing the clogging of the precision filter unit 6c is performed.
該再生処理は、純水を生成する際に第二の清水を送り出す方向から精密フィルター部6cに対して流体(水又はエアー)を供給し、精密フィルター部6cを再生する。図5、図6を参照しながら、その再生手順と、流体供給手段9、及び戻し手段10の作用について、以下に説明する。なお、以下の説明では、該流体を水とした場合の例に基づいて説明し、各配管における流れの方向をW2で示す。 In the regeneration process, a fluid (water or air) is supplied to the precision filter unit 6c from the direction in which the second fresh water is sent out when pure water is generated, and the precision filter unit 6c is regenerated. The regeneration procedure and the operations of the fluid supply means 9 and the return means 10 will be described below with reference to FIGS. 5 and 6. In the following description, the description will be based on an example in which the fluid is water, and the flow direction in each pipe is indicated by W2.
制御手段8は、例えば、純水生成装置2の作動時間を計測し、精密フィルター部6cが目詰まりを起こして純水の生成に支障をきたす前のタイミングで、精密フィルター部6cの再生処理を実行するようにオペレータに促す。再生処理を実施する場合は、オペレータが純水生成装置2による純水の生成を停止した上で、精密フィルター部6cの再生を指示する。これにより、図5に示す配管55に配設された電磁開閉弁V1と、配管56に配設された電磁開閉弁V3が閉止されると共に、純水が生成されている際に閉止されている配管63上の電磁開閉弁V2、配管61上の電磁開閉弁V4、及び配管62上の配管V5を開とする。そして、送給ポンプ9aを作動することで、純水貯水タンク7aから純水が吸い上げられて、図6に示すように、配管62及び配管61を介して、純水が生成されている際には、第二の清水を送り出す側である配管56が接続された側から精密フィルター部6cの内部に導入される。精密フィルター部6cの内部に導入された純水は、純水を生成している際に排水が流れる方向とは逆方向にフィルター体Fを流れ、フィルター体Fに捕集されている不純物を除去して、精密フィルター部6cによって一旦は濾過された第二の清水と共に逆流して、該不純物と一緒に、図5に示すように、本実施形態において戻し手段10を構成する電磁開閉弁V2を含む配管63側に排出される(矢印W2を参照)。配管63に排出された不純物を含む第二の清水は排水タンク3に戻される。この結果、精密フィルター部6cを構成するフィルター体Fから不純物が除去されて目詰まりが解消され。再生された状態となる。なお、排水タンク3に戻された不純物を含む第二の清水は、純水生成装置2が排水から純水を生成する際に、ダイシング装置1から流れてきた加工水と共に濾過部4に導入されて不純物が除かれて洗浄される。 The control means 8 measures, for example, the operating time of the pure water generation device 2, and regenerates the precision filter unit 6c at a timing before the precision filter unit 6c is clogged and interferes with the generation of pure water. Encourage the operator to do it. When carrying out the regeneration process, the operator stops the generation of pure water by the pure water generator 2 and then instructs the precision filter unit 6c to regenerate. As a result, the electromagnetic on-off valve V1 arranged in the pipe 55 shown in FIG. 5 and the electromagnetic on-off valve V3 arranged in the pipe 56 are closed and closed when pure water is being generated. The electromagnetic on-off valve V2 on the pipe 63, the electromagnetic on-off valve V4 on the pipe 61, and the pipe V5 on the pipe 62 are opened. Then, by operating the feed pump 9a, pure water is sucked up from the pure water storage tank 7a, and as shown in FIG. 6, when pure water is generated through the pipe 62 and the pipe 61. Is introduced into the precision filter portion 6c from the side to which the pipe 56, which is the side that sends out the second fresh water, is connected. The pure water introduced into the precision filter unit 6c flows through the filter body F in the direction opposite to the direction in which the waste water flows when the pure water is generated, and removes impurities collected in the filter body F. Then, it flows back together with the second fresh water once filtered by the precision filter unit 6c, and together with the impurities, as shown in FIG. 5, the electromagnetic on-off valve V2 constituting the return means 10 in the present embodiment is provided. It is discharged to the including pipe 63 side (see arrow W2). The second fresh water containing impurities discharged to the pipe 63 is returned to the drainage tank 3. As a result, impurities are removed from the filter body F constituting the precision filter unit 6c, and clogging is eliminated. It will be in the regenerated state. The second fresh water containing impurities returned to the drainage tank 3 is introduced into the filtration unit 4 together with the processed water flowing from the dicing device 1 when the pure water generation device 2 generates pure water from the wastewater. Impurities are removed and washed.
なお、上記した実施形態では、精密フィルター部6cの再生処理を実施する際に、流体供給手段9によって純水貯水タンク7aから純水を吸い上げて、精密フィルター部6cに対して水(純水)を供給したが、送給ポンプ9aに接続された配管64と電磁開閉弁V6を介して外界からエアーを取り入れ、純水を生成する際に第二の清水を送り出す方向から精密フィルター部6cに対してエアーを導入するようにしてもよい。該エアーによっても配管55、及び精密フィルター部6cに残存する第二の清水を逆流させることができ、フィルター体Fに捕集された不純物を除去して排水タンク3に戻すことができる。 In the above-described embodiment, when the precision filter unit 6c is regenerated, pure water is sucked up from the pure water storage tank 7a by the fluid supply means 9, and water (pure water) is applied to the precision filter unit 6c. Was supplied, but air was taken in from the outside world through the pipe 64 connected to the feed pump 9a and the electromagnetic on-off valve V6, and when pure water was generated, the second fresh water was sent out to the precision filter section 6c. Air may be introduced. The air can also cause the second fresh water remaining in the pipe 55 and the precision filter portion 6c to flow back, and the impurities collected in the filter body F can be removed and returned to the drainage tank 3.
また、上記した実施形態では、精密フィルター部6cの再生処理を純水生成装置2の作動時間に応じて所定の時間間隔で実施するようにしたが、本発明はこれに限定されず、例えば、精密フィルター部6cに対して第一の清水を供給する配管54上に、制御手段8に接続された圧力計を配設し、圧力の上昇を検知することで、再生処理を実施すべきタイミングをオペレータに指示するようにしてもよい。 Further, in the above-described embodiment, the regeneration process of the precision filter unit 6c is performed at predetermined time intervals according to the operating time of the pure water generator 2, but the present invention is not limited to this, and for example, A pressure gauge connected to the control means 8 is arranged on the pipe 54 that supplies the first fresh water to the precision filter unit 6c, and the increase in pressure is detected to determine the timing at which the regeneration process should be performed. You may instruct the operator.
上記した実施形態によれば、高価な精密フィルター部6cを再生処理することが可能に構成されていることで、精密フィルター部6cを繰り返し使用することができ、頻繁に交換することが抑制され、不経済であるという問題が解消する。 According to the above-described embodiment, since the expensive precision filter unit 6c can be regenerated, the precision filter unit 6c can be used repeatedly, and frequent replacement is suppressed. The problem of uneconomical is solved.
1:ダイシング装置
1a:カセット
1b:搬出入手段
1c:保持手段
1d:切削手段
1e:搬送手段
2:純水生成装置
2A:カバー部材
3:排水タンク
3a:送給ポンプ
4:濾過部
5:清水タンク
6:純水生成部
6a支持台
6b:紫外線照射部
6c:精密フィルター部
6d:イオン交換樹脂部
6d1:第一のイオン交換樹脂手段
6d2:第二のイオン交換樹脂手段
7:純水供給部
7a:純水貯水タンク
8:制御手段
9:流体供給手段
9a:送給ポンプ
10:戻し手段
50:排水路
51、53、54、55、56、58、59:配管
61、62、63、64:配管
52:流路切換弁
56、57:流路切換弁
60:純水供給路
V1〜V6:電磁開閉弁
1: Dying device 1a: Cassette 1b: Carrying in / out means 1c: Holding means 1d: Cutting means 1e: Transport means 2: Pure water generator 2A: Cover member 3: Drainage tank 3a: Feeding pump 4: Filtration part 5: Fresh water Tank 6: Pure water generation unit 6a Support base 6b: Ultraviolet irradiation unit 6c: Precision filter unit 6d: Ion exchange resin unit 6d1: First ion exchange resin means 6d2: Second ion exchange resin means 7: Pure water supply unit 7a: Pure water storage tank 8: Control means 9: Fluid supply means 9a: Feed pump 10: Return means 50: Drainage channels 51, 53, 54, 55, 56, 58, 59: Piping 61, 62, 63, 64 : Filtration 52: Flow path switching valve 56, 57: Flow path switching valve 60: Pure water supply path V1 to V6: Electromagnetic on-off valve

Claims (2)

  1. 排水から純水を生成する純水生成装置であって、
    排水を貯水する排水タンクと、該排水タンクから送り出された排水を濾過する濾過部と、該濾過部によって生成された第一の清水を貯水する清水タンクと、該清水タンクから送り出された第一の清水に紫外線を照射して有機物を破壊する紫外線照射部と、該紫外線照射部から送り出された第一の清水から有機物を濾過し第二の清水を生成する精密フィルター部と、該精密フィルター部から送り出された第二の清水を純水に精製するイオン交換樹脂部と、該イオン交換樹脂部によって精製された純水を外部装置に供給する純水供給部と、を少なくとも含み、
    該精密フィルター部には、純水を生成する際に第二の清水を送り出す方向から該精密フィルター部に対してエアー又は水を供給する流体供給手段と、該流体供給手段によって供給されるエアー又は水の作用により純水を生成する際に該第一の清水を受け入れる方向から該第二の清水を排出して該排水タンクに戻す戻し手段と、が少なくとも接続される純水生成装置。
    A pure water generator that generates pure water from wastewater.
    A drainage tank for storing wastewater, a filtration unit for filtering the wastewater sent from the drainage tank, a freshwater tank for storing the first fresh water generated by the filtration part, and a first freshwater tank sent out from the freshwater tank. An ultraviolet irradiation unit that irradiates fresh water with ultraviolet rays to destroy organic substances, a precision filter unit that filters organic substances from the first fresh water sent out from the ultraviolet irradiation unit to generate a second fresh water, and the precision filter unit. It includes at least an ion exchange resin unit that purifies the second fresh water sent out from the water into pure water and a pure water supply unit that supplies the pure water purified by the ion exchange resin unit to an external device.
    The precision filter unit is provided with a fluid supply means for supplying air or water to the precision filter unit from the direction in which a second fresh water is sent out when pure water is generated, and air or air supplied by the fluid supply means. A pure water generator to which at least a means for returning the second fresh water to the drainage tank from the direction of receiving the first fresh water when the pure water is generated by the action of water is connected.
  2. 純水を生成する際に該イオン交換樹脂部から送り出された純水を更に濾過する補助精密フィルター部が配設される請求項1に記載の純水生成装置。 The pure water generation device according to claim 1, wherein an auxiliary precision filter unit for further filtering the pure water sent out from the ion exchange resin unit when generating pure water is provided.
JP2020022081A 2020-02-13 2020-02-13 Pure water generator Pending JP2021126609A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020022081A JP2021126609A (en) 2020-02-13 2020-02-13 Pure water generator

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020022081A JP2021126609A (en) 2020-02-13 2020-02-13 Pure water generator
CN202110053632.4A CN113248070A (en) 2020-02-13 2021-01-15 Pure water generating device
KR1020210015271A KR20210103412A (en) 2020-02-13 2021-02-03 Pure water generating apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2021126609A true JP2021126609A (en) 2021-09-02

Family

ID=77181432

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020022081A Pending JP2021126609A (en) 2020-02-13 2020-02-13 Pure water generator

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP2021126609A (en)
KR (1) KR20210103412A (en)
CN (1) CN113248070A (en)

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009214193A (en) 2008-03-07 2009-09-24 Disco Abrasive Syst Ltd Processing waste liquid treatment device

Also Published As

Publication number Publication date
KR20210103412A (en) 2021-08-23
CN113248070A (en) 2021-08-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5086123B2 (en) Processing waste liquid treatment equipment
TWI422457B (en) Processing waste liquid treatment device
JP6927814B2 (en) Dry polishing equipment
JP2021126609A (en) Pure water generator
JP2966240B2 (en) Electric discharge machine
JP2013121637A (en) Work waste liquid treatment device
TWI422459B (en) Processing waste treatment device (2)
KR20210012908A (en) Waste liquid treatment apparatus
JP2019209417A (en) Pure water recycle system
KR20210012907A (en) Waste liquid treatment apparatus
JP5770004B2 (en) Processing waste liquid treatment equipment
JP5086124B2 (en) Processing waste liquid treatment equipment
JP2004255346A (en) Piping flushing method and flushing system
JP5086125B2 (en) Processing waste liquid treatment equipment
JP5248938B2 (en) Sewage treatment equipment
JP6408316B2 (en) Processing equipment
JP3484567B2 (en) Foreign matter removal method and foreign matter removal device in liquid circulation system
JP5681029B2 (en) Processing waste liquid treatment equipment
JP2021030362A (en) Processing waste liquid treatment apparatus
JP4195149B2 (en) Liquid regeneration device for cleaning
JP5356768B2 (en) Waste liquid treatment equipment
JP2020151685A (en) Sludge removal device
CN113368589A (en) Display system
JPH06304842A (en) Coolant supplier
JPH0627018U (en) Machining fluid treatment device for electric discharge machine