JP2021055588A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021055588A JP2021055588A JP2019177839A JP2019177839A JP2021055588A JP 2021055588 A JP2021055588 A JP 2021055588A JP 2019177839 A JP2019177839 A JP 2019177839A JP 2019177839 A JP2019177839 A JP 2019177839A JP 2021055588 A JP2021055588 A JP 2021055588A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- gas
- straight line
- arc
- end point
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 26
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 106
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 31
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 10
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 10
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
- Y02T10/00—Road transport of goods or passengers
- Y02T10/10—Internal combustion engine [ICE] based vehicles
- Y02T10/12—Improving ICE efficiencies
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
Description
−第1の実施の形態−
図1は、真空ポンプの一例を示す図であり、ターボ分子ポンプ1の断面図である。複数の回転翼段2Aおよびロータ円筒部2Bを備えるポンプロータ2は、磁気軸受11a,11b,11cによって磁気浮上支持されるシャフト5に締結されている。シャフト5はモータ12によって回転駆動される。なお、磁気軸受11a〜11cが作動していない状態では、シャフト5はメカニカルベアリング3a,3bによって支持される。
図5は変形例1を説明する図であり、排気ポート7がベース6の外周面ではなく底面に設けられている場合を示す。この場合には、同軸関係にある流路62,71の中心軸J1は、ロータ中心軸J0に対してねじれの位置の関係になっている。
図8は、変形例2を示す図である。変形例2では、ベース6に形成されたパージガス用の流路64は、流出口がロータ円筒部2Bの内周面側に形成されている。図2には、変形例2における流路64も破線で示した。図2から分かるように、パージガスはロータ円筒部2Bの内周面へ向けて矢印R7の方向に流出される。J4は流路64の中心軸である。
図9,10は、変形例3を説明する図である。変形例3では、ターボ分子ポンプ1の吸気口に取り付けられるL型のチャンバ9の構造について説明する。このようなL型のチャンバ9は、例えば、装置側のチャンバ内の構造物に対するポンプロータ2からの放射熱の影響を防止する場合に用いられる。通常、吸気ポート91のフランジ90は、ゲートバルブ等を介して装置側のチャンバに接続される。
図11〜13は、第2の実施の形態を説明する図である。図11はターボ分子ポンプ100のロータ中心軸J0に沿った断面図である。図12は図11のC1−C1断面図であり、図12はC2−C2断面図である。第2の実施の形態のターボ分子ポンプ100は、質量分析装置等の排気に用いられる。質量分析装置では圧力領域の異なる真空室が複数設けられており、複数の吸気口を有するターボ分子ポンプ100を用いることで、複数の真空室を一台のターボ分子ポンプ100で排気することができる。
Claims (5)
- 回転するロータと、
前記ロータに対するガス流入路と、
前記ロータにより排気されたガスを排出するガス排出路と、を備え、
ロータ中心軸に直交する平面において、前記ガス排出路の流路中心軸を前記平面に投影した第1投影直線、および、前記第1投影直線と2点で交わり前記ロータ中心軸を中心とする第1仮想円を仮定したときに、
前記第1仮想円は、前記第1投影直線により長い第1円弧と短い第2円弧とに2分割され、
前記ロータは、前記第1円弧の第1端点から第2端点の方向に回転しており、
前記ガス排出路の排出方向は、前記第1円弧の第1端点から前記第1投影直線に沿って前記第1仮想円の外側に向かう方向である、真空ポンプ。 - 請求項1に記載の真空ポンプにおいて、
前記ガス流入路は前記ロータの外周側からガスを流入させる構成であって、
ロータ中心軸に直交する平面において、前記ガス流入路の流路中心軸を前記平面に投影した第2投影直線、および、前記第2投影直線と2点で交わり前記ロータ中心軸を中心とする第2仮想円を仮定したときに、
前記第2仮想円は、前記第2投影直線により長い第3円弧と短い第4円弧とに2分割され、
前記ロータの回転方向は、前記第3円弧の第1端点から第2端点の方向であって、
前記ガス流入路の流入方向は、前記第2投影直線に沿って前記第2仮想円の外側から前記第3円弧の第2端点へ向かう方向である、真空ポンプ。 - 請求項1に記載の真空ポンプにおいて、
前記ガス流入路は前記ロータの内周側からガスを流入させる構成であって、
ロータ中心軸に直交する平面において、前記ガス流入路の流路中心軸を前記平面に投影した第3投影直線、および、前記第3投影直線と2点で交わり前記ロータ中心軸を中心とする第3仮想円を仮定したときに、
前記第3仮想円は、前記第3投影直線により長い第5円弧と短い第6円弧とに2分割され、
前記ロータの回転方向は、前記第5円弧の第1端点から第2端点の方向であって、
前記ガス流入路の流入方向は、前記第3投影直線に沿って前記第3仮想円の内側から前記第5円弧の第1端点へ向かう方向である、真空ポンプ。 - 請求項2に記載の真空ポンプにおいて、
前記ガス流入路は、前記ロータが固定される回転軸が収容される空間に前記ガスを導入する通路であって、前記ロータの外周側から前記回転軸が収容される空間に向けてガスを流入させる、真空ポンプ。 - 請求項2に記載の真空ポンプにおいて、
前記ロータに形成された円筒ロータと、
排気用隙間を介して前記円筒ロータの外周側に配置される円筒ステータと、を備え、
前記円筒ステータの排気上流側には、前記円筒ステータを外周側から内周側へと貫通して前記排気用隙間に連通する前記ガス流入路が形成されている、真空ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019177839A JP7342574B2 (ja) | 2019-09-27 | 2019-09-27 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019177839A JP7342574B2 (ja) | 2019-09-27 | 2019-09-27 | 真空ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021055588A true JP2021055588A (ja) | 2021-04-08 |
JP7342574B2 JP7342574B2 (ja) | 2023-09-12 |
Family
ID=75270240
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019177839A Active JP7342574B2 (ja) | 2019-09-27 | 2019-09-27 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7342574B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1492846A (en) * | 1922-05-11 | 1924-05-06 | Mullard Radio Valve Co Ltd | Vacuum pump |
JP2001248587A (ja) * | 1999-12-28 | 2001-09-14 | Kashiyama Kogyo Kk | 複合型真空ポンプ |
JP2014111939A (ja) * | 2012-12-04 | 2014-06-19 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | 真空ポンプ |
JP2018520295A (ja) * | 2015-07-17 | 2018-07-26 | ガードナー デンヴァー ドイチュラント ゲーエムベーハーGardner Denver Deutschland Gmbh | 放散塔内に吸引管が配置されたサイドチャネル機構(コンプレッサ、真空ポンプ又はブロワ) |
-
2019
- 2019-09-27 JP JP2019177839A patent/JP7342574B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1492846A (en) * | 1922-05-11 | 1924-05-06 | Mullard Radio Valve Co Ltd | Vacuum pump |
JP2001248587A (ja) * | 1999-12-28 | 2001-09-14 | Kashiyama Kogyo Kk | 複合型真空ポンプ |
JP2014111939A (ja) * | 2012-12-04 | 2014-06-19 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | 真空ポンプ |
JP2018520295A (ja) * | 2015-07-17 | 2018-07-26 | ガードナー デンヴァー ドイチュラント ゲーエムベーハーGardner Denver Deutschland Gmbh | 放散塔内に吸引管が配置されたサイドチャネル機構(コンプレッサ、真空ポンプ又はブロワ) |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7342574B2 (ja) | 2023-09-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2808554B1 (en) | Centrifugal compressor | |
US9309892B2 (en) | Vacuum pump | |
US20180128280A1 (en) | Rotor and vacuum pump equipped with same | |
JP6331491B2 (ja) | 真空ポンプ | |
JP5718907B2 (ja) | 軸方向力均衡手段を有する再生式真空ポンプ | |
EP3163030B1 (en) | On-off valve device and rotary machine | |
KR20190051963A (ko) | 진공 펌프, 및 진공 펌프에 구비되는 고정원판 | |
JP5670095B2 (ja) | 真空ポンプ | |
US8105013B2 (en) | Vacuum pump | |
JP7342574B2 (ja) | 真空ポンプ | |
KR20160029733A (ko) | 진공 펌프 | |
US20190101018A1 (en) | Turbocharger | |
JP6414401B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
WO2021149742A1 (ja) | 真空ポンプおよびステータコラム | |
WO2018043072A1 (ja) | 真空ポンプ、および真空ポンプに備わる回転円筒体 | |
JP2016114004A (ja) | 遠心ポンプ | |
EP3705698A1 (en) | Turbine and turbocharger | |
JPH10141277A (ja) | 複流形気体摩擦ポンプ | |
JP2019218941A (ja) | 遠心圧縮機、ターボチャージャ | |
JP7424007B2 (ja) | 真空ポンプ | |
JP7247824B2 (ja) | 排気システムおよび真空ポンプ | |
JP2015045324A (ja) | 軸流圧縮機の静翼構造 | |
JP2000064985A (ja) | 送風機 | |
JP2000110771A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP2002021789A (ja) | ターボ形圧縮機 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20210331 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20210715 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20210817 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220128 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20221125 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221129 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230404 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230530 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230801 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230814 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7342574 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |