JP2020205410A - 内部 パワーモジュールにおける基板構造およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】パワーモジュールにおける基板構造およびその製造方法を提供する。【解決手段】パワーモジュールにおける基板構造は、その表面上に少なくとも1つの凹部11を備える金属ベース1と、凹部11上に形成された金属パターン層3と、金属ベース1と金属パターン層3との間に介在する絶縁フィルム2と、を備える。絶縁フィルム2は、凹部11を適合する形状である。【効果】この設計により、熱は凹部11を通って金属ベース1内に急速に放散され、パワーモジュールの過熱を防止することができる。【選択図】図2
Description
本発明は、パワーモジュールにおける基板構造およびその製造方法に関する。
パワーモジュールにおける金属基板のための現在の構造は、金属ベース100(銅またはアルミニウムなど)と、金属ベース上に形成された絶縁フィルム200と、絶縁フィルム200上に形成された金属パターン層300と、を備える。パワーチップ400は、金属基板上に設けられ、はんだ材料(図示せず)によって金属パターン層300に接続されている。パワーモジュールの性能の信頼性を高めるために、パワーチップの頻繁なスイッチオンおよびスイッチオフの間に発生する熱を、放散させる必要がある。
パワーモジュールの熱性能を改善する1つの方法は、パワーチップと金属ベースとの間の熱抵抗を下げることである。金属パターン層とはんだ材料の両方が高い熱伝導率を有するため、パワーモジュールの熱性能に影響する主な要因は、絶縁フィルムである。従来の解決策の一つは、絶縁フィルムを使用する代わりに、金属ベースと金属パターン層との間にDBC(ダイレクトボンド銅)層を形成することである。DBCが、より高い熱伝導率(20W/m・K−180W/m・K)を有するためである。しかしながら、DBCの膨張率が銅の膨張率と異なるために製造中に生じる変形は言うまでもなく、DBC材料のコストが高く、結果的にDBCの厚さが300mmを超えるため、この解決策は理想的ではない。
パワーモジュールの熱伝導率を改善するために、パワーモジュールにおける基板構造を提案する。本発明の別の態様は、前述の基板構造を製造する方法を提供することである。
本発明の一態様によれば、パワーモジュールにおける基板構造は、その表面上に少なくとも1つの凹部を備える金属ベースと、凹部上に形成された金属パターン層と、金属ベースと金属パターン層との間に介在する絶縁フィルムと、を備える。絶縁フィルムは凹部に適合する形状である。
本発明の別の態様によれば、パワーモジュールにおける基板構造の製造方法は、金属ベースを供給するステップと、金属ベースの表面上に少なくとも1つの第1凹部を予め成形するステップと、金属ベースの表面上に絶縁フィルムを形成するステップであって、絶縁フィルムは第1凹部に適合する形状であるステップと、絶縁フィルム上に金属層を形成するステップであって、金属層は、第1凹部に対応する第1領域と、第2領域と、を備え、第1領域は少なくとも1つのプレス部分を備えるステップと、プレス部分をプレスするステップであって、金属層の上面の上に少なくとも1つの第2凹部を形成し、それによって、金属層の他方の表面を第1凹部に適合する形状にするステップと、金属層を平坦化するステップと、金属層をエッチングして前記第2領域を除去するステップと、を含む。
本発明の別の態様によれば、パワーモジュールにおける基板構造の製造方法は、金属ベースを供給するステップと、金属ベースの表面上に少なくとも1つの凹部を予め成形するステップと、金属ベースの表面上に絶縁フィルムを形成するステップであって、絶縁フィルムは凹部に適合する形状であるステップと、絶縁フィルム上に金属層を形成するステップであって、金属層は、第1領域および第2領域を備え、第1領域は凹部に対応する凸部を備え、凸部を凹部と位置合わせするステップと、金属層を絶縁フィルムにプレスするステップと、金属層をエッチングして第2領域を除去するステップと、を含む。
この設計により、熱流領域の増加に伴って、熱抵抗が低減される。熱は、凹部を通って金属ベース内に急速に放散される。
ここで図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。図2〜図10は、本発明の実施形態による基板構造および基板構造を製造するプロセスの断面図を示す。
図2に示すように、パワーモジュールにおける基板構造は、その上面の上に凹部11を備える金属ベース1と、凹部11上に形成された金属パターン層3と、を備える。金属パターン層3上には、パワーチップ5が設けられている。それぞれの凹部の幅は、パワーチップの幅に近い。基板構造は、金属ベース1と金属パターン層3との間に介在する絶縁フィルム2を更に備える。絶縁フィルム2は凹部11に適合する形状である。金属パターン層3は、パワーチップ、電源および他の電気素子との間の電気接続を供給する。パワーモジュールの電源を入れた後には、パワーチップによって熱が発生するため、加熱が防止されるべきである。
好適には、熱伝導性が高いことを理由として、金属ベース1および金属パターン層3の両方が銅製である。また、金属ベース1および金属パターン層3を形成するために、アルミニウムを用いる場合もある。したがって、パワーチップと金属ベースとの間の放熱に影響を及ぼす主な要因は、絶縁フィルム2の熱伝導率である。絶縁フィルム2は、ほとんどの場合、(シリコン樹脂のような)樹脂製である。代替的な実施形態において、絶縁フィルムとして、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化アルミニウムまたは酸化シリコンを使用することもできる。
凹部11により、絶縁フィルム2が成形される。また、絶縁フィルム2と金属ベース1との間の接触面積が増加する。熱抵抗は接触面積に反比例するために、熱抵抗が低減される。そして、絶縁フィルム2と金属ベース1との間の界面を介して、熱が速やかに放散される。
この実施形態において、湾曲する凹部が使用されている。しかしながら、当業者は、三角形または台形のような他の形状を有する凹部もまた、接触面積を増加させるために使用され得ることを理解するであろう。別の実施形態においては、図3を参照すると、台形の凹部13が使用されている。
ここで図4〜図6を参照すると、本発明の基板構造を製造するために使用される例示的なプロセスフローが示される。まず、第1凹部11を備えて予め成形された金属ベース1が供給される。そして、金属ベースの上面の上に絶縁フィルム2が形成される。本実施形態において、絶縁フィルムは酸化アルミニウムペーストで形成されている。酸化アルミニウムペーストは、凹部11に適合する形状である。次のステップにおいて、絶縁フィルム2上に金属層3を形成する。金属層3は、第1凹部に対応する第1領域31と、(図5に示す)第2領域32と、を備える。第1領域は、本発明の一実施形態において、2つのプレス部分を備える。他の実施形態においては、第1領域が他の数のプレス部分を備えてもよい。金属層3を形成するために、従来のメタライゼーションプロセスを使用することができる。
プレス部分は、真空中180℃で3時間プレスされ、第1領域31の金属の変形によって、金属層の上面の上に少なくとも2つの第2凹部311を形成し、それによって、金属層の他方の表面を第1凹部11に適合する形状にすることができる。100℃から200℃までの他の温度も可能である。プレスは2〜3時間持続することができた。パワーモジュールには平坦な表面が必要であるため、金属層の上面は、第2凹部を除去するために研磨される。図6を参照すると、第1領域31を覆い、第2領域32を露出させるために、金属層上にマスク4が形成されている。次に、金属層がエッチングされて、第2領域32を除去する。その後、マスクが除去される。したがって、金属パターン層3が、ひいては本発明の基板構造が形成される。
図7は、本発明の代替的な実施形態を示す。第2凹部311は、研磨される代わりに、導電性ペースト33で充填されている。Agペーストのような熱伝導率の高い金属ペーストを用いることができた。この場合、第2凹部のみにAgペーストが充填されているため、Agペーストのドーズ量が比較的少ない。したがって、この構造において、製造コストと熱効果のバランスがとれている。図8を参照すると、次いで、続くエッチングプロセスにおいて第1領域を保護するために、マスク4が形成されている。第2領域32が除去された後、金属パターン層が形成される。
絶縁フィルム2と金属ベース1との間の接触面積をさらに増加し、金属ベース1の厚さを低減するために、図9に示す好適な実施形態において、複数の連続するディンプル12を備える凹部が使用される。連続するディンプルは、複数のプレス部分を複数のプレスヘッドでプレスすることにより形成されている。
本発明の代替的な実施形態において、本発明の基板構造は、(凸部3011を有する)金属層301を、絶縁フィルム201を間に挟んで、予め成形された金属ベース101に押し付けることによって、形成することができる。図10を参照すると、金属ベース101は、予め成形された凹部1011を備える。そして、絶縁フィルム201は金属ベース101上に形成されている。絶縁フィルム201は、凹部1011に適合する形状である。(絶縁フィルムの変形部は、符号2011として記されている。)そして、凸部3011が変形部2011と位置合わせされ、金属層301が絶縁フィルムに(上述のプレス条件下で)プレスされる。同様のエッチングプロセスの後、基板構造が形成される。
凹部の形状、位置、および数は、プレス部分の数および位置、ならびに、圧力、温度、持続時間およびプレスヘッドの形状などのプレスパラメータに依存する。当業者は、上記の複数の条件の、適切な組み合わせを選択することができる。
好適な実施形態について、いくつかの代替的な構造要素および処理ステップが提案されている。したがって、特定の実施形態を参照して本発明を説明してきたが、この説明は本発明を例示するものであり、本発明を限定するものとして解釈されるべきではない。当業者は、添付の特許請求の範囲によって定義される本発明の真の精神および範囲から逸脱することなく、多様な変更および適用を想起する可能性がある。
Claims (18)
- パワーモジュールにおける基板構造であって、
その表面上に少なくとも1つの凹部を備える金属ベースと、
前記凹部上に形成された金属パターン層と、
前記金属ベースと前記金属パターン層との間に介在する絶縁フィルムと、を備え、
前記絶縁フィルムが前記凹部に適合する形状である、基板構造。 - 前記凹部の幅は、前記金属パターン層上に設けられたパワーチップの幅に近い、請求項1に記載の基板構造。
- 前記凹部の断面は扇形、三角形または台形である、請求項1に記載の基板構造。
- 前記凹部は、複数の連続するディンプルから構成されている、請求項1に記載の基板構造。
- 前記金属ベースは銅またはアルミニウムであり、および/または、前記金属パターン層は銅またはアルミニウムである、請求項1〜4のいずれか一項に記載の基板構造。
- 前記絶縁フィルムは、シリコン樹脂、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、または酸化シリコンのうちの1つから作製されている、請求項1〜4のいずれか一項に記載の基板構造。
- パワーモジュールにおける基板構造の製造方法であって、
金属ベースを供給するステップと、前記金属ベースの表面上に少なくとも1つの第1凹部を予め成形するステップと、
前記金属ベースの表面上に絶縁フィルムを形成するステップであって、前記絶縁フィルムは前記第1凹部に適合する形状であるステップと、
前記絶縁フィルム上に金属層を形成するステップであって、前記金属層は、前記第1凹部に対応する第1領域と、第2領域と、を備え、前記第1領域は少なくとも1つのプレス部分を備えるステップと、
前記プレス部をプレスするステップであって、前記金属層の上面の上に少なくとも1つの第2凹部を形成し、それによって、前記金属層の他方の表面を前記第1凹部に適合する形状にするステップと、
前記金属層を平坦化するステップと、
前記金属層をエッチングして前記第2領域を除去するステップと、を含む、方法。 - 前記金属層を研磨によって平坦化する、請求項7に記載の方法。
- 前記金属層を、前記第2凹部を導電性ペーストで充填することによって平坦化する、請求項7に記載の方法。
- 前記プレスするステップは、真空中で進行する、請求項7に記載の方法。
- 前記プレスするステップは、100℃〜200℃で進行し、2〜3時間持続する、請求項7に記載の方法。
- 前記第1凹部の幅は、前記金属層上に設けられたパワーチップの幅に近い、請求項7に記載の方法。
- 前記第1領域は複数のプレス部分を備え、前記プレス部分をプレスすることによって、複数の連続するディンプルを形成する、請求項7に記載の方法。
- パワーモジュールにおける基板構造の製造方法であって、
金属ベースを供給するステップと、前記金属ベースの表面上に少なくとも1つの凹部を予め成形するステップと、
前記金属ベースの表面上に絶縁フィルムを形成するステップであって、前記絶縁フィルムは前記凹部に適合する形状であるステップと、
前記絶縁フィルム上に金属層を形成するステップであって、前記金属層は第1領域および第2領域を備え、前記第1領域は前記凹部に対応する凸部を備え、前記凸部を前記凹部と位置合わせするステップと、
前記金属層を前記絶縁フィルムにプレスするステップと、
前記金属層をエッチングして前記第2領域を除去するステップと、を含む方法。 - 前記プレスするステップは、真空中で進行する、請求項14に記載の方法。
- 前記プレスするステップは、100℃〜200℃で進行し、2〜3時間持続する、請求項14に記載の方法。
- 前記凹部の幅は、前記金属層上に設けられたパワーチップの幅に近い、請求項14に記載の方法。
- 前記凹部は、複数の連続するディンプルを備える、請求項14に記載の方法。
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