JP2020060427A - Control device, flow rate sensitivity correction method and program - Google Patents

Control device, flow rate sensitivity correction method and program Download PDF

Info

Publication number
JP2020060427A
JP2020060427A JP2018191133A JP2018191133A JP2020060427A JP 2020060427 A JP2020060427 A JP 2020060427A JP 2018191133 A JP2018191133 A JP 2018191133A JP 2018191133 A JP2018191133 A JP 2018191133A JP 2020060427 A JP2020060427 A JP 2020060427A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure
flow rate
tank
work
control
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2018191133A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
古瀬 昭男
Akio Furuse
昭男 古瀬
敏充 古瀬
Toshimitsu Furuse
敏充 古瀬
Original Assignee
株式会社コスモ計器
Cosmo Instruments Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社コスモ計器, Cosmo Instruments Co Ltd filed Critical 株式会社コスモ計器
Priority to JP2018191133A priority Critical patent/JP2020060427A/en
Publication of JP2020060427A publication Critical patent/JP2020060427A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/26Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors
    • G01M3/32Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators
    • G01M3/3236Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators by monitoring the interior space of the containers
    • G01M3/3254Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators by monitoring the interior space of the containers using a flow detector
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F25/00Testing or calibrating apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level, or for metering by volume
    • G01F25/0007Testing or calibrating apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level, or for metering by volume for measuring volume flow
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00Control of flow
    • G05D7/06Control of flow characterised by the use of electric means
    • G05D7/0617Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials

Abstract

To provide a control device which can abbreviate a calibration if necessary.SOLUTION: A control device includes: a tank pressure control unit for controlling pressure in a tank to tank pressure P; a workpiece pressure measurement unit for measuring workpiece pressure Pby releasing a conduit for connecting the tank and a workpiece; a control pressure calculation unit for acquiring an inner volume x of the workpiece from the tank pressure P, the workpiece pressure Pand an inner volume Vof the tank, and acquiring control pressure P' of the tank corresponding to preset test pressure P' of the workpiece; a convergence determination unit for determining whether or not the pressure in the workpiece is converged within a prescribed range with the test pressure P' as a center when setting the tank pressure to the control pressure P', and releasing the conduit; and a mass flow sensor correction unit for calculating a flow rate correction coefficient K being a coefficient for correcting a mass flow sensor arranged at the conduit for connecting the tank and the workpiece on the basis of the control pressure P' and the test pressure P' when the pressure in the workpiece is converged within the prescribed range, and correcting the mass flow sensor on the basis of the flow rate correction coefficient K.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、マスフローセンサの流量感度を補正する制御装置、流量感度補正方法、プログラムに関する。   The present invention relates to a control device, a flow rate sensitivity correction method, and a program for correcting the flow rate sensitivity of a mass flow sensor.
流量式リークテストシステムの従来例として、例えば非特許文献1がある。図1を参照して従来のストレージタンク方式の漏れ流量計測システムの構成を説明する。同図に示すように、従来のストレージタンク方式の漏れ流量計測システム9は、空圧源905と、空圧源905とタンク920を接続する第1管路に接続された電空変換器910と、第1管路を開閉可能に接続され、電空変換器910よりもタンク920側に位置する第1閉止弁915と、タンク920と、タンク920とワーク935を接続する第2管路に接続されたマスフローセンサ925と、第2管路を開閉可能に接続され、マスフローセンサ925よりもワーク935側に位置する第2閉止弁930と、ワーク935と、タンク920とフローマスタ960を接続する第3管路を開閉可能に接続された第3閉止弁940と、タンク920に接続された圧力センサ945と、タンク920内の気体を排気するための第4閉止弁950と、第2閉止弁930よりもワーク935側の第2管路と、第3閉止弁940よりもフローマスタ960側の第3管路とを接続する第4管路と、第4管路よりもフローマスタ側の第3管路を開閉可能に接続された第5閉止弁955と、フローマスター960と、システム全体を制御する制御装置965を含む。同図における破線は制御装置965の制御信号を伝送する制御線である。   As a conventional example of a flow rate type leak test system, there is, for example, Non-Patent Document 1. The configuration of a conventional storage tank type leak flow rate measuring system will be described with reference to FIG. As shown in the figure, the conventional storage tank type leak flow rate measurement system 9 includes an air pressure source 905 and an electropneumatic converter 910 connected to a first pipeline connecting the air pressure source 905 and the tank 920. , A first closing valve 915 connected to the first pipeline so as to be openable and closable and located on the tank 920 side of the electro-pneumatic converter 910, and a second pipeline connecting the tank 920 and the work 935. A second shut-off valve 930, which is connected to the opened mass flow sensor 925 such that the second pipeline can be opened and closed, and is located closer to the work 935 than the mass flow sensor 925, the work 935, the tank 920, and the flow master 960. A third shut-off valve 940 connected so as to be able to open and close the three pipelines, a pressure sensor 945 connected to the tank 920, and a fourth shut-off valve 950 for exhausting gas in the tank 920. A fourth pipeline connecting the second pipeline on the workpiece 935 side of the second shutoff valve 930 and a third pipeline on the flow master 960 side of the third shutoff valve 940, and a flow more than the fourth pipeline. It includes a fifth shut-off valve 955 connected to the third pipe line on the master side so as to be openable and closable, a flow master 960, and a control device 965 that controls the entire system. A broken line in the figure is a control line for transmitting a control signal of the control device 965.
図2を参照して、従来の漏れ流量計測システム9の制御圧設定動作を説明する。まず、制御装置965は、第1閉止弁915を開き、タンク920内の圧力がタンク圧Pになるよう電空変換器910を制御し、タンク920内の圧力を計測する(S9651)。次に制御装置965は、第1閉止弁915を閉じ、第3閉止弁940を開き、ワーク935内の圧力であるワーク圧Pを計測する(S9652)。 The control pressure setting operation of the conventional leak flow rate measuring system 9 will be described with reference to FIG. First, the control device 965 opens the first stop valve 915, controls the electropneumatic converter 910 so that the pressure in the tank 920 becomes the tank pressure P 1 , and measures the pressure in the tank 920 (S9651). Next, the control device 965 closes the first stop valve 915, opens the third stop valve 940, and measures the work pressure P 2 that is the pressure inside the work 935 (S9652).
ここで、大気圧(ワーク935内の圧力の初期値)をP、タンク920の内容積(既知)をV、ワーク935の内容積(未知)をxとすれば、ステップS9651におけるタンク圧P、ステップS9652で計測されたワーク圧Pに基づき、ボイルの法則により、 Here, if the atmospheric pressure (initial value of the pressure in the work 935) is P 0 , the inner volume (known) of the tank 920 is V 1 , and the inner volume (unknown) of the work 935 is x, the tank pressure in step S9651. P 1 , based on the work pressure P 2 measured in step S9652, according to Boyle's law,
が成り立つ。制御装置965は、式(2)に基づき、タンク圧Pとワーク圧Pとタンクの内容積Vからワーク935の内容積xを求め、予め設定したワーク935のテスト圧P’に対応するタンク920の制御圧P’を、以下の式(3)により求める(S9653)。 Holds. The control device 965 obtains the inner volume x of the work 935 from the tank pressure P 1 , the work pressure P 2, and the inner volume V 1 of the tank based on the equation (2), and sets the preset test pressure P 2 ′ of the work 935. The control pressure P 1 ′ of the corresponding tank 920 is obtained by the following equation (3) (S9653).
式(3)は、制御圧P’を求めるための数式である。制御装置965は、タンク圧を制御圧P’に設定してタンク920とワーク935を接続する管路の開放を行った場合に、ワーク935内の圧力がテスト圧P’を中心とする所定の範囲(P’±ΔP’、ΔP’は任意の値)に収束するか否かを判定する(S9654)。ワーク935内の圧力が所定の範囲(P’±ΔP’)となる場合(S9654−条件分岐Y)、処理を終了し(エンド)、ワーク935内の圧力が所定の範囲(P’±ΔP’)とならない場合(S9654−条件分岐N)ステップS9651に戻り、制御装置965は再度ステップS9651、S9652、S9653を実行し、再度制御圧P’を求め、ワーク935内の圧力が、所定の範囲(P’±ΔP’)となるか否かを検証する(S9654)。条件分岐Nのループに入っている限り、ステップS9651〜S9654が繰り返し実行される。 Expression (3) is an expression for obtaining the control pressure P 1 ′. When the control device 965 sets the tank pressure to the control pressure P 1 ′ and opens the pipeline connecting the tank 920 and the work 935, the pressure inside the work 935 is centered around the test pressure P 2 ′. It is determined whether or not it converges to a predetermined range (P 2 '± ΔP 2 ', ΔP 2 'is an arbitrary value) (S9654). When the pressure in the work 935 is in the predetermined range (P 2 '± ΔP 2 ') (S9654-conditional branch Y), the process is ended (end), and the pressure in the work 935 is in the predetermined range (P 2 '). (± ΔP 2 ′) is not satisfied (S9654-conditional branch N), the flow returns to step S9651, the control device 965 executes steps S9651, S9652, and S9653 again to obtain the control pressure P 1 ′ again, and the pressure in the work 935 is determined. , And it is verified whether it is within a predetermined range (P 2 '± ΔP 2 ') (S9654). As long as the loop of conditional branch N is entered, steps S9651 to S9654 are repeatedly executed.
なお、式(3)は絶対圧における表現であるが、P=P+P11,P=P+P22,P’=P+P11’,P’=P+P22’とゲージ圧表現で表せば、 In addition, although the expression (3) is an expression in absolute pressure, P 1 = P 0 + P 11 , P 2 = P 0 + P 22 , P 1 ′ = P 0 + P 11 ′, P 2 ′ = P 0 + P 22 ′. If expressed with a gauge pressure expression,
と表される。 Is expressed as
次に、図3を参照して従来の漏れ流量計測システム9の流量感度校正動作について説明する。校正動作の開始にあたり、ワーク935として漏れのないワークが使用されるものとする。またフローマスター960として漏れ流量値Fのフローマスターが使用されるものとする。
まず、制御装置965は、第3閉止弁940を閉じ、第2閉止弁930を開いてマスフローセンサ925の計測値である流量Sを検出する(S9656)。次に、制御装置965は、第5閉止弁955を開いてマスフローセンサ925の計測値である流量Tを検出する(S9657)。ワーク935を漏れのないワークであるとみなし、T−S≒Fとなれば、マスフローセンサ925の読み値を真値であるとみなすことができる。従って制御装置965は、α=F/(T−S)として校正係数αを取得し、校正係数αによりマスフローセンサ925を校正する(S9658)。校正係数αによりマスフローセンサ925を校正することにより、マスフローセンサ925の読み値を流量の真値として扱うことができる。
Next, the flow rate sensitivity calibration operation of the conventional leak flow rate measuring system 9 will be described with reference to FIG. At the start of the calibration operation, it is assumed that a leak-free work is used as the work 935. Further, a flow master having a leak flow rate value F is used as the flow master 960.
First, the control device 965 closes the third shutoff valve 940 and opens the second shutoff valve 930 to detect the flow rate S which is the measurement value of the mass flow sensor 925 (S9656). Next, the control device 965 opens the fifth shutoff valve 955 and detects the flow rate T which is the measured value of the mass flow sensor 925 (S9657). If the work 935 is regarded as a leak-free work and T−S≈F, the reading value of the mass flow sensor 925 can be regarded as a true value. Therefore, the control device 965 obtains the calibration coefficient α with α = F / (T−S), and calibrates the mass flow sensor 925 with the calibration coefficient α (S9658). By calibrating the mass flow sensor 925 with the calibration coefficient α, the reading value of the mass flow sensor 925 can be treated as the true value of the flow rate.
従来の漏れ流量計測システムは、ワーク935の種類が変わるたびに図3の流量感度校正動作が必須となるため、煩雑かつ高コストになっていた。   In the conventional leak flow rate measuring system, the flow rate sensitivity calibration operation of FIG. 3 is indispensable every time the type of the work 935 is changed, so that it is complicated and costly.
そこで本発明では、校正を場合により省略できる制御装置を提供することを目的とする。   Therefore, it is an object of the present invention to provide a control device that can omit calibration in some cases.
本発明の制御装置は、タンク圧制御部と、ワーク圧計測部と、制御圧計算部と、収束判定部と、マスフローセンサ補正部を含む。   The control device of the present invention includes a tank pressure control unit, a work pressure measurement unit, a control pressure calculation unit, a convergence determination unit, and a mass flow sensor correction unit.
タンク圧制御部は、タンク内の圧力をタンク圧Pに制御する。ワーク圧計測部は、タンクとワークを接続する管路を開放してワーク内の圧力であるワーク圧Pを計測する。制御圧計算部は、タンク圧Pとワーク圧Pとタンクの内容積Vからワークの内容積xを求め、予め設定したワークのテスト圧P’に対応するタンクの制御圧P’を求める。収束判定部は、タンク圧を制御圧P’に設定して管路の開放を行った場合に、ワーク内の圧力がテスト圧P’を中心とする所定の範囲に収束するか否かを判定する。マスフローセンサ補正部は、ワーク内の圧力が所定の範囲に収束する場合に、制御圧P’とテスト圧P’に基づいて、タンクとワークを接続する管路に設けられたマスフローセンサを補正するための係数である流量補正係数Kを算出し、当該流量補正係数Kに基づいてマスフローセンサを補正する。 The tank pressure control unit controls the pressure in the tank to the tank pressure P 1 . The work pressure measuring unit opens the pipe line connecting the tank and the work and measures the work pressure P 2 which is the pressure inside the work. The control pressure calculation unit obtains the inner volume x of the work from the tank pressure P 1 , the work pressure P 2, and the inner volume V 1 of the tank, and the control pressure P 1 of the tank corresponding to the preset test pressure P 2 ′ of the work. Ask for. The convergence determination unit determines whether the pressure in the work converges to a predetermined range around the test pressure P 2 ′ when the tank pressure is set to the control pressure P 1 ′ and the pipeline is opened. To judge. The mass flow sensor correction unit, based on the control pressure P 1 ′ and the test pressure P 2 ′, when the pressure inside the work converges to a predetermined range, a mass flow sensor provided in the conduit connecting the tank and the work. A flow rate correction coefficient K, which is a coefficient for correction, is calculated, and the mass flow sensor is corrected based on the flow rate correction coefficient K.
本発明の制御装置によれば、校正を場合により省略できる。   According to the control device of the present invention, the calibration can be omitted in some cases.
従来の漏れ流量計測システムの構成を示す空圧回路図。The pneumatic circuit diagram which shows the structure of the conventional leak flow rate measuring system. 従来の制御装置の制御圧設定動作を示すフローチャート。The flowchart which shows the control pressure setting operation of the conventional control apparatus. 従来の制御装置の流量感度校正動作を示すフローチャート。The flowchart which shows the flow rate sensitivity calibration operation | movement of the conventional control apparatus. 実施例1の漏れ流量計測システムの構成を示す空圧回路図。1 is a pneumatic circuit diagram showing the configuration of a leak flow rate measurement system of Example 1. FIG. 実施例1の制御装置の構成を示すブロック図。3 is a block diagram showing a configuration of a control device of Embodiment 1. FIG. 実施例1の制御装置の制御圧設定動作を示すフローチャート。3 is a flowchart showing a control pressure setting operation of the control device of the first embodiment. 実施例1の制御装置の流量感度校正動作を示すフローチャート。3 is a flowchart showing a flow rate sensitivity calibration operation of the control device of the first embodiment. 実施例2の漏れ流量計測システムの構成を示す空圧回路図。6 is a pneumatic circuit diagram showing a configuration of a leak flow rate measuring system according to a second embodiment. FIG. 実施例2の制御装置の構成を示すブロック図。6 is a block diagram showing the configuration of a control device of Example 2. FIG. 実施例2の制御装置の流量補正係数Kの算出動作を示すフローチャート。6 is a flowchart showing a calculation operation of a flow rate correction coefficient K of the control device of the second embodiment. 実施例2の制御装置の流量感度校正動作を示すフローチャート。9 is a flowchart showing a flow rate sensitivity calibration operation of the control device of the second embodiment.
以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。なお、同じ機能を有する構成部には同じ番号を付し、重複説明を省略する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail. It should be noted that components having the same function are denoted by the same reference numeral, and redundant description will be omitted.
以下、図4を参照して実施例1の漏れ流量計測システムの構成を説明する。同図に示すように、本実施例の漏れ流量計測システム1は、従来の漏れ流量計測システム9と同様の空圧源905、電空変換器910、第1閉止弁915、タンク920、マスフローセンサ925、第2閉止弁930、ワーク935、第3閉止弁940、圧力センサ945、第4閉止弁950、第5閉止弁955、フローマスター960を含み、従来の制御装置965と異なる制御を実行する制御装置165を含む。同図における破線は制御装置165の制御信号を伝送する制御線である。   Hereinafter, the configuration of the leak flow rate measuring system according to the first embodiment will be described with reference to FIG. As shown in the figure, the leak flow rate measurement system 1 of the present embodiment is similar to the conventional leak flow rate measurement system 9 in that it includes an air pressure source 905, an electropneumatic converter 910, a first stop valve 915, a tank 920, and a mass flow sensor. 925, the second closing valve 930, the work 935, the third closing valve 940, the pressure sensor 945, the fourth closing valve 950, the fifth closing valve 955, and the flow master 960, and performs control different from the conventional control device 965. A control device 165 is included. A broken line in the figure is a control line for transmitting a control signal of the control device 165.
以下、図5を参照して本実施例の制御装置165の構成を説明する。同図に示すように本実施例の制御装置165は、タンク圧制御部1651と、ワーク圧計測部1652と、制御圧計算部1653と、収束判定部1654と、マスフローセンサ補正部1655と、第1流量検出部1656と、第2流量検出部1657と、マスフローセンサ校正部1658を含む。   The configuration of the control device 165 of this embodiment will be described below with reference to FIG. As shown in the figure, the control device 165 of this embodiment includes a tank pressure control unit 1651, a work pressure measurement unit 1652, a control pressure calculation unit 1653, a convergence determination unit 1654, a mass flow sensor correction unit 1655, and It includes a first flow rate detection unit 1656, a second flow rate detection unit 1657, and a mass flow sensor calibration unit 1658.
以下、図6を参照して本実施例の制御装置165の制御圧設定動作を説明する。まず、タンク圧制御部1651は、第1閉止弁915を開き、タンク920内の圧力がタンク圧Pになるよう電空変換器910を制御し、タンク920内の圧力を計測する(S1651)。ワーク圧計測部1652は、第1閉止弁915を閉じ、第3閉止弁940を開くことにより、タンク920とワーク935を接続する管路を開放してワーク935内の圧力であるワーク圧Pを計測する(S1652)。制御圧計算部1653は、タンク圧Pとワーク圧Pとタンク920の内容積Vからワーク935の内容積xを求め、予め設定したワーク935のテスト圧P’に対応するタンク920の制御圧P’を求める(S1653)。収束判定部1654は、タンク圧を制御圧P’に設定して管路の開放を行った場合に、ワーク935内の圧力がテスト圧P’を中心とする所定の範囲(P’±ΔP’)に収束するか否かを判定する(S1654)。 Hereinafter, the control pressure setting operation of the control device 165 of the present embodiment will be described with reference to FIG. First, the tank pressure control unit 1651 opens the first stop valve 915, controls the electropneumatic converter 910 so that the pressure in the tank 920 becomes the tank pressure P 1 , and measures the pressure in the tank 920 (S1651). . The work pressure measuring unit 1652 closes the first shutoff valve 915 and opens the third shutoff valve 940 to open the pipeline connecting the tank 920 and the work 935, and thus the work pressure P 2 which is the pressure in the work 935. Is measured (S1652). The control pressure calculation unit 1653 obtains the inner volume x of the work 935 from the tank pressure P 1 , the work pressure P 2, and the inner volume V 1 of the tank 920, and the tank 920 corresponding to the preset test pressure P 2 ′ of the work 935. The control pressure P 1 'of is obtained (S1653). Convergence determination unit 1654 'in the case of performing the opening of the set to the conduit, the pressure in the work 935 is tested pressure P 2' a tank pressure control pressure P 1 given range centered on (P 2 ' It is determined whether or not it converges to ± ΔP 2 ′) (S1654).
ワーク935内の圧力が所定の範囲(P’±ΔP’)に収束する場合(S1654−条件分岐Y)、マスフローセンサ補正部1655は、制御圧P’とテスト圧P’に基づいて、タンク920とワーク935を接続する管路に設けられたマスフローセンサ925を補正するための係数である流量補正係数Kを、後述する式(6−a)により算出し、当該流量補正係数Kに基づいてマスフローセンサ925を補正する(S1655)。 When the pressure in the work 935 converges within a predetermined range (P 2 '± ΔP 2 ') (S1654-conditional branch Y), the mass flow sensor correction unit 1655 determines that the control pressure P 1 'and the test pressure P 2 '. Then, a flow rate correction coefficient K, which is a coefficient for correcting the mass flow sensor 925 provided in the conduit connecting the tank 920 and the work 935, is calculated by the equation (6-a) described later, and the flow rate correction coefficient K is calculated. The mass flow sensor 925 is corrected based on the above (S1655).
ワーク935内の圧力が所定の範囲(P’±ΔP’)とならない場合(S1654−条件分岐N)ステップS1651に戻り、制御装置165は再度ステップS1651、S1652、S1653を実行し、再度制御圧P’を求める。条件分岐Nのループに入っている限り、ステップS1651〜S1654が繰り返し実行される。
<流量補正係数Kの求め方>
漏れ流量計測のマスフローセンサにおいて、漏れた流量と同じ流量が入力側から供給されたときは、マスフローセンサは正しい漏れ流量を表示するが、漏れた流量と同じ流量が供給されない場合、マスフローセンサは正しい漏れ流量を表示しない。例えば1次側に内容積Vのタンク、2次側に内容積Vのワークを設け、タンクとワークをつなぐ管路に流量計(マスフローセンサ)を設けた場合、当該管路を開閉する閉止弁を開き、タンク内の圧力とワーク内の圧力が等圧になった後、マスフローセンサはワーク側の漏れ流量を表示するが、1次側タンク内の圧力は漏れ流量の影響を受けて一定ではなく、ワークの漏れ流量に比例してその内圧が変化し、漏れ流量が一定であっても漏れ流量感度が変化することになる。
When the pressure in the work 935 does not fall within the predetermined range (P 2 '± ΔP 2 ') (S1654-conditional branch N), the process returns to step S1651, and the control device 165 executes steps S1651, S1652, S1653 again, and controls again. Find the pressure P 1 ′. As long as the loop of the conditional branch N is entered, steps S1651 to S1654 are repeatedly executed.
<How to obtain the flow rate correction coefficient K>
In the mass flow sensor for leak flow measurement, when the same flow rate as the leaked flow rate is supplied from the input side, the mass flow sensor displays the correct leak flow rate, but when the same flow rate as the leaked flow rate is not supplied, the mass flow sensor is correct. Does not display the leak flow rate. For example, when a tank having an internal volume V T is provided on the primary side, a work having an internal volume V W is provided on the secondary side, and a flow meter (mass flow sensor) is provided in a pipe line connecting the tank and the work, the pipe line is opened and closed. After the shut-off valve is opened and the pressure in the tank and the pressure in the work become equal, the mass flow sensor displays the leak flow rate on the work side, but the pressure in the primary side tank is affected by the leak flow rate. Instead of being constant, the internal pressure of the work changes in proportion to the leak flow rate, and the leak flow sensitivity changes even if the leak flow rate is constant.
そこで、マスフローセンサ925の計測値(表示値)をQ’とし、補正後の流量をQとすれば、流量感度の補正式を以下のように表すことができる。   Therefore, if the measured value (display value) of the mass flow sensor 925 is Q'and the corrected flow rate is Q, the correction equation of the flow rate sensitivity can be expressed as follows.
式(4)におけるVを上述のVとし、式(4)におけるVを上述のxとし、xを式(2)によりP、P、Pを用いた表現に変形すれば式(4)は以下のように変形される。 If V T in equation (4) is V 1 described above, V W in equation (4) is x described above, and x is transformed into an expression using P 1 , P 2 , and P 0 by equation (2), Expression (4) is modified as follows.
よって計測値(表示値)Q’を正しい流量Qに補正するための流量補正係数Kは、 Therefore, the flow rate correction coefficient K for correcting the measured value (display value) Q ′ to the correct flow rate Q is
と表される。式(6)は、制御圧P’、テスト圧P’に基づく式としてもよい。その場合、以下のように表される。 It is expressed as The formula (6) may be a formula based on the control pressure P 1 ′ and the test pressure P 2 ′. In that case, it is expressed as follows.
式(5)、式(6)をゲージ圧表現で表せば、 If the formula (5) and the formula (6) are expressed by a gauge pressure expression,
となる。様々な種類のワークを用いて、実測感度係数Kと、圧力を用いた式(6’)により導出した流量補正係数Kと、内容積を用いた式(4)により導出した流量補正係数Kを比較した結果を下表に示す。 Becomes Using various types of workpieces, the measured sensitivity coefficient K, the flow rate correction coefficient K derived by the equation (6 ′) using pressure, and the flow rate correction coefficient K derived by the equation (4) using the internal volume are used. The comparison results are shown in the table below.

表1に示すように、実測感度係数の値と式(6’)を用いて導出した流量補正係数の値は近似しており、ワークが剛体の場合にはこの傾向が顕著になる。よって、式(6’)を用いて導出した流量補正係数の値を実測感度係数の値の代用として用いることが可能である。

As shown in Table 1, the value of the measured sensitivity coefficient and the value of the flow rate correction coefficient derived using the equation (6 ′) are close to each other, and this tendency becomes remarkable when the work is a rigid body. Therefore, it is possible to use the value of the flow rate correction coefficient derived using the equation (6 ′) as a substitute for the value of the actual measurement sensitivity coefficient.
以下、図7を参照して本実施例の制御装置165の流量感度校正動作を説明する。第1流量検出部1656は、第3閉止弁940を閉じ、第2閉止弁930を開くことにより、タンク920とワーク935を接続する第2管路を開放し、当該管路に設けられたマスフローセンサ925の、流量補正係数Kによる補正済みの計測値である流量Bを検出する(S1656)。第2流量検出部1657は、第5閉止弁955を開いて、タンク920とワーク935と漏れ流量値Fのフローマスタ960を接続する管路(第2管路、第4管路、第3管路の一部)を開放し、当該管路に設けられたマスフローセンサ925の流量補正係数Kによる補正済みの計測値である流量Cを検出する(S1657)。マスフローセンサ校正部1658は、漏れ流量値Fと、流量Cと流量Bの差分(C−B)が等しくなるように校正係数αを取得し、校正係数αに基づいてマスフローセンサ925を校正する(S1658)。すなわち、マスフローセンサ校正部1658は、校正係数αを   Hereinafter, the flow rate sensitivity calibration operation of the control device 165 of the present embodiment will be described with reference to FIG. 7. The first flow rate detection unit 1656 closes the third shutoff valve 940 and opens the second shutoff valve 930 to open the second pipeline that connects the tank 920 and the work 935, and the mass flow provided in the pipeline. The flow rate B, which is the measurement value corrected by the flow rate correction coefficient K of the sensor 925, is detected (S1656). The second flow rate detecting unit 1657 opens the fifth shutoff valve 955 to connect the tank 920, the work 935, and the flow master 960 of the leakage flow rate value F (second pipe line, fourth pipe line, third pipe line). A part of the passage) is opened, and the flow rate C, which is the measured value corrected by the flow rate correction coefficient K of the mass flow sensor 925 provided in the pipeline, is detected (S1657). The mass flow sensor calibration unit 1658 acquires a calibration coefficient α so that the leak flow rate value F and the difference (CB) between the flow rate C and the flow rate B are equal, and calibrates the mass flow sensor 925 based on the calibration coefficient α ( S1658). That is, the mass flow sensor calibration unit 1658 calculates the calibration coefficient α by
と計算する。 And calculate.
図7に示したステップS1656〜S1658は、場合により省略可能である。例えばあるワークにおいてステップS1651〜S1655を実行することにより、流量補正係数Kを算出してマスフローセンサ925を補正した場合、補正後かつ校正前の状態においてF≒C−B(∴α≒1)となっていることを簡易的に目視確認できれば、ステップS1656〜S1658の校正作業は割愛可能である。校正作業は、専門分野の知識を持つ者がマニュアルに従って正しく行わなければならない作業であるため、煩雑かつコストが高い。本実施例の制御装置165を用いれば、上記の煩雑な校正作業を多くの場合に割愛できるため、ユーザの利便性が高まる。ただし、F≠C−B(∴α≠1)となる場合には、ステップS1656〜S1658の校正作業を行う必要がある。   Steps S1656 to S1658 shown in FIG. 7 can be omitted in some cases. For example, when the flow rate correction coefficient K is calculated and the mass flow sensor 925 is corrected by executing steps S1651 to S1655 in a certain work, F ≈ C−B (∴α ≈ 1) in the state after correction and before calibration. If it is possible to simply visually confirm that the calibration is done, the calibration work in steps S1656 to S1658 can be omitted. Calibration work is complicated and costly because it must be done correctly by a person with specialized knowledge according to the manual. If the control device 165 of the present embodiment is used, the complicated calibration work described above can be omitted in many cases, and the convenience of the user is enhanced. However, when F ≠ CB (∴α ≠ 1), it is necessary to perform the calibration work in steps S1656 to S1658.
以下、図8を参照して実施例2の漏れ流量計測システムの構成を説明する。同図に示すように、本実施例の漏れ流量計測システム2は、空圧源805と、空圧源805のワークおよびタンク側に接続されたオイルミストセパレータ810と、オイルミストセパレータ810のワークおよびタンク側に接続された調圧弁815と、調圧弁815のワークおよびタンク側に接続されたテスト圧計820と、テスト圧計820のワークおよびタンク側に接続された電磁弁825と、電磁弁825からワーク、タンクのそれぞれに向かって二股に延伸する管路のうち一方の(タンクにつながる)管路である第1管路に接続された電磁弁830と、電磁弁825から二股に分かれる管路のうち他方の(ワークにつながる)管路である第2管路に接続された電磁弁835と、電磁弁830、835よりもワークおよびタンク側にあり第1管路と第2管路を接続する第3管路において、当該第3管路の第1管路側に接続されたマスフローセンサ840と、当該第3管路の第2管路側に接続された電磁弁845と、第3管路よりもタンク側で第1管路から分岐する第4管路の終端に接続される電磁弁850と、第3管路よりもワーク側で第2管路から分岐する第5管路の終端に接続される電磁弁855と、第3管路よりもタンク側で、第1管路に接続される弁860と、第3管路よりもワーク側で、第2管路に接続される弁865と、弁860よりもタンク側で、第1管路に接続されるテスト圧計870と、弁865よりもワーク側で、第2管路から分岐する第6管路の終端に接続されるフローマスター875と、第1管路の終端に接続されるタンク880と、第2管路の終端に接続されるワーク885と、上記の一般的な等圧タンク方式の空圧回路の各構成を制御可能な制御装置265を含む。なお同図において制御線の表示を省略した。   Hereinafter, the configuration of the leak flow rate measuring system according to the second embodiment will be described with reference to FIG. As shown in the figure, the leak flow rate measuring system 2 of the present embodiment includes an air pressure source 805, an oil mist separator 810 connected to the work of the air pressure source 805 and the tank side, and a work of the oil mist separator 810. The pressure regulating valve 815 connected to the tank side, the workpiece of the pressure regulating valve 815 and the test pressure gauge 820 connected to the tank side, the workpiece of the test pressure gauge 820 and the solenoid valve 825 connected to the tank side, and the solenoid valve 825 to the workpiece. , A solenoid valve 830 connected to the first pipeline which is one pipeline (connected to the tank) of the pipelines extending bifurcated toward each of the tanks, and a pipeline split into two branches from the solenoid valve 825. The solenoid valve 835 connected to the second pipeline that is the other pipeline (which connects to the workpiece) and the solenoid valves 830 and 835 that are closer to the workpiece and the tank. In the third pipeline connecting the first pipeline and the second pipeline, the mass flow sensor 840 connected to the first pipeline side of the third pipeline and the second pipeline side of the third pipeline are connected. Solenoid valve 845, a solenoid valve 850 connected to the end of a fourth pipeline branched from the first pipeline on the tank side of the third pipeline, and a second pipeline on the work side of the third pipeline. An electromagnetic valve 855 connected to the end of the fifth pipeline branched from the valve, a tank side of the third pipeline, a valve 860 connected to the first pipeline, and a work side of the third pipeline, A valve 865 connected to the second pipeline, a test pressure gauge 870 connected to the first pipeline on the tank side of the valve 860, and a work side of the valve 865 on the sixth side branched from the second pipeline. The flow master 875 connected to the end of the pipeline, the tank 880 connected to the end of the first pipeline, and the end of the second pipeline. To include a workpiece 885 to be connected, the pneumatic circuit controllable control unit 265 to each component of the general isobaric tank system described above. The display of the control line is omitted in the figure.
以下、図9を参照して本実施例の制御装置265の構成を説明する。同図に示すように本実施例の制御装置265は、テスト圧制御部2651と、ワーク圧計測部2652と、マスフローセンサ補正部2655と、第1流量検出部2656と、第2流量検出部2657と、マスフローセンサ校正部2658を含む。   The configuration of the control device 265 of this embodiment will be described below with reference to FIG. As shown in the figure, the control device 265 of this embodiment includes a test pressure control unit 2651, a work pressure measurement unit 2652, a mass flow sensor correction unit 2655, a first flow rate detection unit 2656, and a second flow rate detection unit 2657. And a mass flow sensor calibration unit 2658.
以下、図10を参照して本実施例の制御装置265の流量補正係数Kの算出動作を説明する。まず、テスト圧制御部2651は、電磁弁825、830、弁860を開き、タンク880内の圧力をテスト圧Pになるよう、調圧弁815を制御し、タンク880内の圧力を計測する(S2651)。ワーク圧計測部2652は、電磁弁825を閉じ、電磁弁835、弁865を開き、タンク880とワーク885を接続する管路を開放してワーク885内の圧力であるワーク圧Pを計測する(S2652)。 Hereinafter, the calculation operation of the flow rate correction coefficient K of the control device 265 of the present embodiment will be described with reference to FIG. First, the test pressure control unit 2651 opens the solenoid valves 825, 830 and the valve 860, controls the pressure regulating valve 815 so that the pressure inside the tank 880 becomes the test pressure P 1 , and measures the pressure inside the tank 880 ( S2651). The work pressure measuring unit 2652 closes the solenoid valve 825, opens the solenoid valves 835 and 865, opens the pipeline connecting the tank 880 and the work 885, and measures the work pressure P 2 that is the pressure inside the work 885. (S2652).
マスフローセンサ補正部2655は、テスト圧Pとワーク圧Pに基づいて、タンク880とワーク885を接続する第3管路に設けられたマスフローセンサ840を補正するための係数である流量補正係数Kを、式(6)により算出し、当該流量補正係数Kに基づいてマスフローセンサ840を補正する(S2655)。 The mass flow sensor correction unit 2655 is a flow rate correction coefficient that is a coefficient for correcting the mass flow sensor 840 provided in the third pipeline connecting the tank 880 and the work 885 based on the test pressure P 1 and the work pressure P 2. K is calculated by the equation (6), and the mass flow sensor 840 is corrected based on the flow rate correction coefficient K (S2655).
制御装置265は、通常の流量計測では、テスト圧Pをタンク880とワーク885に同時に加圧し、電磁弁830、835を閉じ、電磁弁845を開く。マスフローセンサ840は、上記のステップで求めた流量補正係数Kにより補正された流量を表示する。 In a normal flow rate measurement, the control device 265 simultaneously pressurizes the test pressure P 1 to the tank 880 and the work 885, closes the solenoid valves 830 and 835, and opens the solenoid valve 845. The mass flow sensor 840 displays the flow rate corrected by the flow rate correction coefficient K obtained in the above step.
以下、図11を参照して本実施例の制御装置265の流量感度校正動作を説明する。第1流量検出部2656は、電磁弁830、835を閉じ、電磁弁845を開くことにより、タンク880とワーク885を接続する第3管路を開放し、当該管路に設けられたマスフローセンサ840の、流量補正係数Kによる補正済みの計測値である流量Bを検出する(S2656)。第2流量検出部2657は、フローマスター875の弁を開いて、タンク880とワーク885と漏れ流量値Fのフローマスター875を接続する管路を開放し、マスフローセンサ840の流量補正係数Kによる補正済みの計測値である流量Cを検出する(S2657)。マスフローセンサ校正部2658は、漏れ流量値Fと、流量Cと流量Bの差分(C−B)が等しくなるように校正係数αを取得し、マスフローセンサ840を校正する(S2658)。   The flow rate sensitivity calibration operation of the control device 265 of this embodiment will be described below with reference to FIG. The first flow rate detection unit 2656 closes the electromagnetic valves 830 and 835 and opens the electromagnetic valve 845 to open the third pipe line connecting the tank 880 and the work 885, and the mass flow sensor 840 provided in the pipe line. The flow rate B, which is the measured value corrected by the flow rate correction coefficient K, is detected (S2656). The second flow rate detection unit 2657 opens the valve of the flow master 875, opens the pipe line connecting the tank 880, the work 885, and the flow master 875 of the leak flow rate value F, and corrects by the flow rate correction coefficient K of the mass flow sensor 840. The flow rate C, which is the measured value that has already been measured, is detected (S2657). The mass flow sensor calibration unit 2658 acquires the calibration coefficient α so that the leak flow rate value F and the difference (CB) between the flow rate C and the flow rate B are equal, and calibrates the mass flow sensor 840 (S2658).
実施例1と同様に、マスフローセンサ校正部2658は、校正係数αを   As in the first embodiment, the mass flow sensor calibration unit 2658 calculates the calibration coefficient α.
と計算する。 And calculate.
実施例2の制御装置265によれば、等圧タンク方式の漏れ流量計測システムにおいても実施例1と同様の効果(校正作業の適宜省略)が得られる。
<補記>
本発明の装置は、例えば単一のハードウェアエンティティとして、キーボードなどが接続可能な入力部、液晶ディスプレイなどが接続可能な出力部、ハードウェアエンティティの外部に通信可能な通信装置(例えば通信ケーブル)が接続可能な通信部、CPU(Central Processing Unit、キャッシュメモリやレジスタなどを備えていてもよい)、メモリであるRAMやROM、ハードディスクである外部記憶装置並びにこれらの入力部、出力部、通信部、CPU、RAM、ROM、外部記憶装置の間のデータのやり取りが可能なように接続するバスを有している。また必要に応じて、ハードウェアエンティティに、CD−ROMなどの記録媒体を読み書きできる装置(ドライブ)などを設けることとしてもよい。このようなハードウェア資源を備えた物理的実体としては、汎用コンピュータなどがある。
According to the control device 265 of the second embodiment, the same effect (correction omission of the calibration work) as that of the first embodiment can be obtained even in the leak pressure measurement system of the constant pressure tank system.
<Additional notes>
The device of the present invention is, for example, as a single hardware entity, an input unit to which a keyboard or the like can be connected, an output unit to which a liquid crystal display or the like can be connected, and a communication device (for example, a communication cable) capable of communicating with the outside of the hardware entity. Connectable communication unit, CPU (Central Processing Unit, may include a cache memory or register, etc.), RAM or ROM as memory, external storage device as hard disk, and their input unit, output unit, communication unit , A CPU, a RAM, a ROM, and a bus connected so that data can be exchanged among external storage devices. If necessary, the hardware entity may be provided with a device (drive) capable of reading and writing a recording medium such as a CD-ROM. A physical entity having such hardware resources includes a general-purpose computer.
ハードウェアエンティティの外部記憶装置には、上述の機能を実現するために必要となるプログラムおよびこのプログラムの処理において必要となるデータなどが記憶されている(外部記憶装置に限らず、例えばプログラムを読み出し専用記憶装置であるROMに記憶させておくこととしてもよい)。また、これらのプログラムの処理によって得られるデータなどは、RAMや外部記憶装置などに適宜に記憶される。   The external storage device of the hardware entity stores a program necessary for realizing the above-described functions and data necessary for processing of this program (not limited to the external storage device, for example, the program is read). It may be stored in a ROM that is a dedicated storage device). In addition, data and the like obtained by the processing of these programs are appropriately stored in the RAM, the external storage device, or the like.
ハードウェアエンティティでは、外部記憶装置(あるいはROMなど)に記憶された各プログラムとこの各プログラムの処理に必要なデータが必要に応じてメモリに読み込まれて、適宜にCPUで解釈実行・処理される。その結果、CPUが所定の機能(上記、…部、…手段などと表した各構成要件)を実現する。   In the hardware entity, each program stored in an external storage device (or ROM, etc.) and data necessary for the processing of each program are read into the memory as necessary, and interpreted and executed / processed by the CPU as appropriate. . As a result, the CPU realizes a predetermined function (each constituent element represented by the above, ... Unit, ... Means, etc.).
本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更が可能である。また、上記実施形態において説明した処理は、記載の順に従って時系列に実行されるのみならず、処理を実行する装置の処理能力あるいは必要に応じて並列的にあるいは個別に実行されるとしてもよい。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be modified as appropriate without departing from the spirit of the present invention. Further, the processes described in the above embodiments are not only executed in time series in the order described, but may be executed in parallel or individually according to the processing capability of the device that executes the processes or as necessary. .
既述のように、上記実施形態において説明したハードウェアエンティティ(本発明の装置)における処理機能をコンピュータによって実現する場合、ハードウェアエンティティが有すべき機能の処理内容はプログラムによって記述される。そして、このプログラムをコンピュータで実行することにより、上記ハードウェアエンティティにおける処理機能がコンピュータ上で実現される。   As described above, when the processing functions of the hardware entity (the device of the present invention) described in the above embodiments are realized by a computer, the processing contents of the functions that the hardware entity should have are described by a program. Then, by executing this program on the computer, the processing functions of the hardware entity are realized on the computer.
この処理内容を記述したプログラムは、コンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録しておくことができる。コンピュータで読み取り可能な記録媒体としては、例えば、磁気記録装置、光ディスク、光磁気記録媒体、半導体メモリ等どのようなものでもよい。具体的には、例えば、磁気記録装置として、ハードディスク装置、フレキシブルディスク、磁気テープ等を、光ディスクとして、DVD(Digital Versatile Disc)、DVD−RAM(Random Access Memory)、CD−ROM(Compact Disc Read Only Memory)、CD−R(Recordable)/RW(ReWritable)等を、光磁気記録媒体として、MO(Magneto-Optical disc)等を、半導体メモリとしてEEP−ROM(Electronically Erasable and Programmable-Read Only Memory)等を用いることができる。   The program describing the processing contents can be recorded in a computer-readable recording medium. The computer-readable recording medium may be any recording medium such as a magnetic recording device, an optical disc, a magneto-optical recording medium, or a semiconductor memory. Specifically, for example, a hard disk device, a flexible disk, a magnetic tape or the like is used as a magnetic recording device, and a DVD (Digital Versatile Disc), a DVD-RAM (Random Access Memory), or a CD-ROM (Compact Disc Read Only) is used as an optical disc. Memory), CD-R (Recordable) / RW (ReWritable), etc., as magneto-optical recording medium, MO (Magneto-Optical disc), etc., as semiconductor memory, EEP-ROM (Electronically Erasable and Programmable-Read Only Memory), etc. Can be used.
また、このプログラムの流通は、例えば、そのプログラムを記録したDVD、CD−ROM等の可搬型記録媒体を販売、譲渡、貸与等することによって行う。さらに、このプログラムをサーバコンピュータの記憶装置に格納しておき、ネットワークを介して、サーバコンピュータから他のコンピュータにそのプログラムを転送することにより、このプログラムを流通させる構成としてもよい。   The distribution of this program is performed by selling, transferring, or lending a portable recording medium such as a DVD or a CD-ROM in which the program is recorded. Further, the program may be stored in a storage device of a server computer and transferred from the server computer to another computer via a network to distribute the program.
このようなプログラムを実行するコンピュータは、例えば、まず、可搬型記録媒体に記録されたプログラムもしくはサーバコンピュータから転送されたプログラムを、一旦、自己の記憶装置に格納する。そして、処理の実行時、このコンピュータは、自己の記録媒体に格納されたプログラムを読み取り、読み取ったプログラムに従った処理を実行する。また、このプログラムの別の実行形態として、コンピュータが可搬型記録媒体から直接プログラムを読み取り、そのプログラムに従った処理を実行することとしてもよく、さらに、このコンピュータにサーバコンピュータからプログラムが転送されるたびに、逐次、受け取ったプログラムに従った処理を実行することとしてもよい。また、サーバコンピュータから、このコンピュータへのプログラムの転送は行わず、その実行指示と結果取得のみによって処理機能を実現する、いわゆるASP(Application Service Provider)型のサービスによって、上述の処理を実行する構成としてもよい。なお、本形態におけるプログラムには、電子計算機による処理の用に供する情報であってプログラムに準ずるもの(コンピュータに対する直接の指令ではないがコンピュータの処理を規定する性質を有するデータ等)を含むものとする。   A computer that executes such a program first stores, for example, the program recorded on a portable recording medium or the program transferred from the server computer in its own storage device. Then, when executing the processing, this computer reads the program stored in its own recording medium and executes the processing according to the read program. As another execution form of this program, a computer may directly read the program from a portable recording medium and execute processing according to the program, and the program is transferred from the server computer to this computer. Each time, the processing according to the received program may be sequentially executed. Further, the above-described processing is executed by a so-called ASP (Application Service Provider) type service that realizes a processing function only by executing the execution instruction and acquiring the result without transferring the program from the server computer to the computer. May be It should be noted that the program in this embodiment includes information that is used for processing by an electronic computer and that conforms to the program (data that is not a direct command to a computer but has the property of defining computer processing).
また、この形態では、コンピュータ上で所定のプログラムを実行させることにより、ハードウェアエンティティを構成することとしたが、これらの処理内容の少なくとも一部をハードウェア的に実現することとしてもよい。   Further, in this embodiment, the hardware entity is configured by executing a predetermined program on the computer, but at least a part of these processing contents may be implemented by hardware.

Claims (9)

  1. タンク内の圧力をタンク圧Pに制御するタンク圧制御部と、
    前記タンクとワークを接続する管路を開放して前記ワーク内の圧力であるワーク圧Pを計測するワーク圧計測部と、
    前記タンク圧Pと前記ワーク圧Pと前記タンクの内容積Vから前記ワークの内容積xを求め、予め設定した前記ワークのテスト圧P’に対応するタンクの制御圧P’を求める制御圧計算部と、
    前記タンク圧を前記制御圧P’に設定して前記管路の開放を行った場合に、前記ワーク内の圧力が前記テスト圧P’を中心とする所定の範囲に収束するか否かを判定する収束判定部と、
    前記ワーク内の圧力が前記所定の範囲に収束する場合に、前記制御圧P’と前記テスト圧P’に基づいて、前記タンクと前記ワークを接続する管路に設けられたマスフローセンサを補正するための係数である流量補正係数Kを算出し、当該流量補正係数Kに基づいて前記マスフローセンサを補正するマスフローセンサ補正部を含む
    制御装置。
    A tank pressure control unit for controlling the pressure in the tank to a tank pressure P 1 ;
    A work pressure measuring unit for measuring a work pressure P 2 which is a pressure in the work by opening a pipeline connecting the tank and the work;
    The inner volume x of the work is obtained from the tank pressure P 1 , the work pressure P 2, and the inner volume V 1 of the tank, and the tank control pressure P 1 ′ corresponding to a preset test pressure P 2 ′ of the work. A control pressure calculation unit for obtaining
    Whether the pressure in the work converges to a predetermined range around the test pressure P 2 ′ when the tank pressure is set to the control pressure P 1 ′ and the pipeline is opened. A convergence determination unit for determining
    When the pressure in the work converges to the predetermined range, a mass flow sensor provided in a pipe line connecting the tank and the work is set based on the control pressure P 1 ′ and the test pressure P 2 ′. A control device including a mass flow sensor correction unit that calculates a flow rate correction coefficient K that is a coefficient for correction and corrects the mass flow sensor based on the flow rate correction coefficient K.
  2. 請求項1に記載の制御装置であって、
    前記マスフローセンサ補正部は、
    を前記ワーク内の圧力の初期値とし、前記流量補正係数Kを

    として算出する
    制御装置。
    The control device according to claim 1, wherein
    The mass flow sensor correction unit,
    Let P 0 be the initial value of the pressure in the work, and set the flow rate correction coefficient K to

    Control device to calculate as.
  3. 請求項1または2に記載の制御装置であって、
    前記タンクと前記ワークを接続する管路を開放し、当該管路に設けられた前記マスフローセンサの前記流量補正係数Kによる補正済みの計測値である流量Bを検出する第1流量検出部と、
    前記タンクと前記ワークと漏れ流量値Fのフローマスタを接続する管路を開放し、当該管路に設けられた前記マスフローセンサの前記流量補正係数Kによる補正済みの計測値である流量Cを検出する第2流量検出部と、
    前記漏れ流量値Fと、流量Cと流量Bの差分が等しくなるように校正係数αを取得し、前記マスフローセンサを校正するマスフローセンサ校正部を含む
    制御装置。
    The control device according to claim 1 or 2, wherein
    A first flow rate detector that opens a pipeline connecting the tank and the work, and detects a flow rate B that is a measured value corrected by the flow rate correction coefficient K of the mass flow sensor provided in the pipeline;
    The conduit connecting the tank, the work, and the flow master of the leakage flow rate value F is opened, and the flow rate C, which is the measured value corrected by the flow rate correction coefficient K of the mass flow sensor provided in the pipeline, is detected. A second flow rate detecting unit,
    A control device including a mass flow sensor calibration unit that acquires a calibration coefficient α so that the difference between the flow rate C and the flow rate B becomes equal to the leak flow rate value F and calibrates the mass flow sensor.
  4. タンク内の圧力をタンク圧Pに制御するタンク圧制御ステップと、
    前記タンクとワークを接続する管路を開放して前記ワーク内の圧力であるワーク圧Pを計測するワーク圧計測ステップと、
    前記タンク圧Pと前記ワーク圧Pと前記タンクの内容積Vから前記ワークの内容積xを求め、予め設定した前記ワークのテスト圧P’に対応するタンクの制御圧P’を求める制御圧計算ステップと、
    前記タンク圧を前記制御圧P’に設定して前記管路の開放を行った場合に、前記ワーク内の圧力が前記テスト圧P’を中心とする所定の範囲に収束するか否かを判定する収束判定ステップと、
    前記ワーク内の圧力が前記所定の範囲に収束する場合に、前記制御圧P’と前記テスト圧P’に基づいて、前記タンクと前記ワークを接続する管路に設けられたマスフローセンサを補正するための係数である流量補正係数Kを算出し、当該流量補正係数Kに基づいて前記マスフローセンサを補正するマスフローセンサ補正ステップを含む
    流量感度補正方法。
    A tank pressure control step of controlling the pressure in the tank to the tank pressure P 1 .
    A work pressure measuring step of measuring a work pressure P 2 which is a pressure in the work by opening a pipeline connecting the tank and the work;
    The inner volume x of the work is obtained from the tank pressure P 1 , the work pressure P 2, and the inner volume V 1 of the tank, and the tank control pressure P 1 ′ corresponding to a preset test pressure P 2 ′ of the work. A control pressure calculation step for obtaining
    Whether the pressure in the work converges to a predetermined range around the test pressure P 2 ′ when the tank pressure is set to the control pressure P 1 ′ and the pipeline is opened. A convergence determination step for determining
    When the pressure in the work converges to the predetermined range, a mass flow sensor provided in a pipe line connecting the tank and the work is set based on the control pressure P 1 ′ and the test pressure P 2 ′. A flow rate sensitivity correction method including a mass flow sensor correction step of calculating a flow rate correction coefficient K which is a coefficient for correction, and correcting the mass flow sensor based on the flow rate correction coefficient K.
  5. 請求項4に記載の流量感度補正方法であって、
    前記マスフローセンサ補正ステップは、
    を前記ワーク内の圧力の初期値とし、前記流量補正係数Kを

    として算出する
    流量感度補正方法。
    The flow rate sensitivity correction method according to claim 4,
    The mass flow sensor correction step,
    Let P 0 be the initial value of the pressure in the work, and set the flow rate correction coefficient K to

    Flow rate sensitivity correction method.
  6. 請求項4または5の何れかに記載の流量感度補正方法であって、
    ストレージタンク方式の漏れ流量計測システムに対して前記各ステップを実行する
    流量感度補正方法。
    The flow rate sensitivity correction method according to claim 4,
    A flow sensitivity correction method that executes the above steps for a storage tank type leak flow measurement system.
  7. 等圧タンク方式の漏れ流量計測システムに対する流量感度補正方法であって、
    タンク内の圧力をテスト圧Pに制御するテスト圧制御ステップと、
    前記タンクとワークを接続する管路を開放して前記ワーク内の圧力であるワーク圧Pを計測するワーク圧計測ステップと、
    前記テスト圧Pと前記ワーク圧Pに基づいて、前記タンクと前記ワークを接続する管路に設けられたマスフローセンサを補正するための係数である流量補正係数Kを算出し、当該流量補正係数Kに基づいて前記マスフローセンサを補正するマスフローセンサ補正ステップを含む
    流量感度補正方法。
    A flow sensitivity correction method for a leak pressure measurement system of an equal pressure tank system,
    A test pressure control step of controlling the pressure in the tank to the test pressure P 1 ,
    A work pressure measuring step of measuring a work pressure P 2 which is a pressure in the work by opening a pipeline connecting the tank and the work;
    Based on the test pressure P 1 and the work pressure P 2 , a flow rate correction coefficient K, which is a coefficient for correcting a mass flow sensor provided in a pipe connecting the tank and the work, is calculated, and the flow rate correction is performed. A flow rate sensitivity correction method comprising a mass flow sensor correction step of correcting the mass flow sensor based on a coefficient K.
  8. 請求項4から7の何れかに記載の流量感度補正方法であって、
    前記タンクと前記ワークを接続する管路を開放し、当該管路に設けられた前記マスフローセンサの前記流量補正係数Kによる補正済みの計測値である流量Bを検出する第1流量検出ステップと、
    前記タンクと前記ワークと漏れ流量値Fのフローマスタを接続する管路を開放し、当該管路に設けられた前記マスフローセンサの前記流量補正係数Kによる補正済みの計測値である流量Cを検出する第2流量検出ステップと、
    前記漏れ流量値Fと、流量Cと流量Bの差分が等しくなるように校正係数αを取得し、前記マスフローセンサを校正するマスフローセンサ校正ステップを含む
    流量感度補正方法。
    The flow rate sensitivity correction method according to any one of claims 4 to 7,
    A first flow rate detecting step of opening a pipeline connecting the tank and the work, and detecting a flow rate B which is a measured value corrected by the flow rate correction coefficient K of the mass flow sensor provided in the pipeline;
    The conduit connecting the tank, the work, and the flow master of the leakage flow rate value F is opened, and the flow rate C, which is the measured value corrected by the flow rate correction coefficient K of the mass flow sensor provided in the pipeline, is detected. A second flow rate detecting step
    A flow rate sensitivity correction method comprising a mass flow sensor calibration step of calibrating the mass flow sensor by acquiring a calibration coefficient α so that the difference between the flow rate C and the flow rate B becomes equal to the leak flow rate value F.
  9. コンピュータを請求項1から3の何れかに記載の制御装置として機能させるプログラム。   A program that causes a computer to function as the control device according to claim 1.
JP2018191133A 2018-10-09 2018-10-09 Control device, flow rate sensitivity correction method and program Pending JP2020060427A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018191133A JP2020060427A (en) 2018-10-09 2018-10-09 Control device, flow rate sensitivity correction method and program

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018191133A JP2020060427A (en) 2018-10-09 2018-10-09 Control device, flow rate sensitivity correction method and program
CN201910438231.3A CN111024334A (en) 2018-10-09 2019-05-24 Control device, flow sensitivity correction method, and storage medium

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2020060427A true JP2020060427A (en) 2020-04-16

Family

ID=70203558

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018191133A Pending JP2020060427A (en) 2018-10-09 2018-10-09 Control device, flow rate sensitivity correction method and program

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP2020060427A (en)
CN (1) CN111024334A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111841938A (en) * 2020-06-22 2020-10-30 江苏大学 Low-cost spray pressure and flow integrated intelligent detection device and method

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0377040A (en) * 1989-08-19 1991-04-02 Toyoda Gosei Co Ltd Leakage inspection instrument for airtight product
EP0647842A1 (en) * 1993-10-08 1995-04-12 Elpatronic Ag Procedure and apparatus for leak detection of a container, especially of a plastic bottle
CN1719219A (en) * 2005-07-22 2006-01-11 南京工业职业技术学院 Method of fast detecting micro leakage of container
JP4866682B2 (en) * 2005-09-01 2012-02-01 株式会社フジキン Abnormality detection method for fluid supply system using flow control device with pressure sensor
CN101368833B (en) * 2008-09-25 2011-06-29 武汉理工大学 Testing bench used for detecting air leakage of automobile air conditioner ventiduct
CN201532292U (en) * 2009-09-11 2010-07-21 彭光正 Pneumatic circuit of multifunctional gas-tightness detector
CN101788374B (en) * 2010-02-02 2011-05-25 浙江大学 Device for detecting leaking performance of gas meter motor valve
US8887586B2 (en) * 2010-10-29 2014-11-18 Agilent Technologies, Inc. Head space sampling device and method for detecting leaks in same
US9038440B2 (en) * 2012-05-01 2015-05-26 Audyssey Laboratories, Inc. Speaker leak test system and method
CN104266805B (en) * 2014-10-28 2016-12-07 中国核工业华兴建设有限公司 Constant-voltage method detection nuclear power station gas-tight door bubble-tight detection device and detection method thereof
CN105865556B (en) * 2016-03-10 2019-05-21 国网江西省电力科学研究院 The detection method of sulfur hexafluoride gas leakage rate in a kind of GIS device
CN107976223B (en) * 2017-11-16 2019-07-16 哈尔滨工业大学 A kind of high-precision leakage amount detector
CN108195591B (en) * 2017-12-29 2020-01-31 潍柴动力股份有限公司 air inlet mass flow correction method and system

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111841938A (en) * 2020-06-22 2020-10-30 江苏大学 Low-cost spray pressure and flow integrated intelligent detection device and method

Also Published As

Publication number Publication date
CN111024334A (en) 2020-04-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4684135B2 (en) Leakage inspection method and leak inspection apparatus for piping
TW200938824A (en) Method for detecting fault in leakage inspector, leakage inspector
JP4673918B2 (en) Leak inspection method and leak inspection apparatus using the same
JPH11118657A (en) Drift correction value calculator and leakage detector equipped with calculator
JP2020060427A (en) Control device, flow rate sensitivity correction method and program
US20180073911A1 (en) Method of inspecting gas supply system, method of calibrating flow controller, and method of calibrating secondary reference device
KR101606497B1 (en) Calibration Method for Mass Flow Meter with Imbedded Flow Function
JPWO2017104643A1 (en) Leak inspection apparatus and method
JP2010127417A (en) Cavitation diagnosis device
JP2006275906A (en) Leakage inspection method and system
WO2010134622A1 (en) Leak inspection method and leak inspection device
JP2012255687A (en) Pressure leakage measuring method
JP2004177275A (en) Method of leak test and device for leak test
JP4087773B2 (en) Leak inspection device calibration method, leak inspection device
JPH1137883A (en) Method for measuring leak amount
JP5749378B1 (en) Flow rate measuring method and flow rate measuring device
JP6370113B2 (en) Pressure gauge inspection method
JP2005274528A (en) Leak inspection device
JP2018072262A (en) Leak tester, leakage coefficient calculation method and program
JP6931596B2 (en) Leak inspection method Leak inspection equipment, program
JP2020134244A (en) Characteristic information acquisition system and characteristic information acquisition method for laminar flow type flowmeter
JP2020085485A (en) Pressure gauge inspection method and pressure gauge inspection device
JP2018124162A (en) Leak inspection method and leak inspection device
JP2020027028A (en) Leak inspection system, and program
JPH11304632A (en) Computing device for drift correction value for leak inspection and leak inspection apparatus using it

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20210413