JP2020029389A - 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法および製造装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 原料注入配管
3 送液ポンプ
4,6,8,16,19 液体原料配管
5,11,17 圧力損失部
7 マスフローコントローラ
9 気化器
10,22 気体原料配管
12 バーナ
13 不活性ガス供給配管
14 安全弁
15 アキュームレータ
18 中間容器
20 弁
21 キャリアガス供給配管
23 酸素供給配管
101 液体原料
102 原料ガス
103 シリカ微粒子
104 原料タンク1内のガス
105 キャリアガス
106 酸素ガス
Claims (11)
- 内圧P1の原料タンク中で貯蔵する有機シロキサンの液体原料をマスフローコントローラで所定の流量に制御して内圧P2の配管を通して気化器に送液し、前記気化器において前記液体原料を気化させて気体原料としてバーナに供給し、前記バーナで気体原料を燃焼させて生成したシリカ微粒子を堆積させて多孔質ガラス母材を形成する光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法であって、
P1≦P2であることを特徴とする、光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法。 - 前記原料タンク内の前記液体原料を、送液ポンプを用いて前記マスフローコントローラに送液する工程を備え、前記マスフローコントローラに供給する液体原料の圧力をP3とするとき、
P1≦P2<P3
であることを特徴とする、請求項1記載の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法。 - 前記送液する工程において、前記送液ポンプは前記液体原料の圧力を一旦P4に昇圧し、圧力損失部を介してP3に減圧しつつ前記マスフローコントローラに前記液体原料を供給し、
P1≦P2<P3<P4
とすることを特徴とする請求項2記載の製造方法。 - P3≦0.6P4であることを特徴とする請求項3に記載の製造方法。
- 前記送液ポンプによってP4に昇圧した液体原料の一部または全部を原料タンクに戻し、残りをマスフローコントローラに供給することを特徴とする請求項3または4記載の製造方法。
- P1≦0.1MPaであることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の製造方法。
- P1≦0.05MPaであることを特徴とする請求項6に記載の製造方法。
- 前記液体原料が流れる配管を前記液体原料の凝固点以上の温度に維持するよう加熱・保温することを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記液体原料がオクタメチルシクロテトラシロキサン(OMCTS)であることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の製造方法。
- 液体状態の有機シロキサンである液体原料を貯蔵し、残空間を不活性ガスで満たした原料タンクと、
前記原料タンクから前記液体原料を送液する送液ポンプと、
前記送液ポンプにより送液される前記液体原料の一部または全部を前記原料タンクに戻す循環配管と、
前記循環配管から分岐された第1供給配管と、
前記第1供給配管の下流に設けられる圧力損失部と、
前記圧力損失部の下流に設けられる第2供給配管と、
前記第2供給配管を介して前記圧力損失部の下流に設けられ、前記液体原料の流量を所定の流量値に制御するマスフローコントローラと、
前記マスフローコントローラの下流に設けられる第3供給配管と、
前記第3供給配管を介して前記マスフローコントローラの下流に設けられ、液体原料を気化する気化器と、
前記気化器により気化された原料ガスを燃焼させて、シリカ微粒子を堆積させるバーナを備え、
前記原料タンクの内圧をP1、前記循環配管の内圧をP4、前記第2供給配管の内圧をP3、前記第3供給配管の内圧をP2としたとき、P1≦P2<P3<P4であることを特徴とする、光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置。 - 前記液体原料が前記循環配管、前記第1供給配管、前記第2供給配管、及び前記第3供給配管を、前記液体原料の凝固点以上の温度に維持するよう加熱・保温する加熱・保温手段を備えることを特徴とする請求項10に記載の製造装置。
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