JP2020004850A - シート貼付装置および貼付方法 - Google Patents

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孝之 丸山
Takayuki Maruyama
孝之 丸山
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リンテック株式会社
Lintec Corp
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Abstract

【課題】接触型の切断手段によって被着体を第1接着シートと共に切断して複数の個片体を形成する工程を実施したとしても、被着体の外周部に位置する外周部個片体が第2接着シートから脱落することを防止することができるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。【解決手段】シート貼付装置10は、一方の面が被着体WFに貼付された第1接着シートAS1の他方の面であって、被着体WFの外縁部に対応する外縁対応部ARに凹凸RHを形成する凹凸形成手段44と、凹凸RHを形成した外縁対応部ARに第2接着シートAS2を貼付する第2接着シート貼付手段30とを備えている。【選択図】図1

Description

本発明は、シート貼付装置および貼付方法に関する。
従来、一方の面が被着体に貼付された第1接着シートの他方の面に第2接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特開2005−317712号公報
特許文献1に記載されたような従来のシート貼付装置で接着シート(第1接着シート)にダイシングテープ(第2接着シート)を貼付した状態で、例えば、刃物やワイヤ等の接触型の切断手段によって半導体ウェハ(被着体)を第1接着シートと共に切断し、複数のチップ(個片体)を形成する工程を実施すると、被着体の外周部に位置する外周部個片体が第2接着シートから脱落するという不都合が生じる場合がある。
本発明の目的は、接触型の切断手段によって被着体を第1接着シートと共に切断して複数の個片体を形成する工程を実施したとしても、被着体の外周部に位置する外周部個片体が第2接着シートから脱落することを防止することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
本発明によれば、一方の面が被着体に貼付された第1接着シートの他方の面の外縁対応部に凹凸を形成し、当該凹凸を形成した外縁対応部に第2接着シートを貼付するので、第2接着シートの接着剤層が第1接着シートの凹凸に入り込み、第1接着シートに対する第2接着シートの接着力が高まる。このため、接触型の切断手段によって被着体を第1接着シートと共に切断して複数の個片体を形成する工程を実施したとしても、被着体の外周部に位置する外周部個片体が第2接着シートから脱落することを防止することができる。
また、搬送手段が凹凸形成手段を備えれば、凹凸形成手段を独立して設ける必要がなくなり、装置の構造を簡素化することができる。
本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の説明図。
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
図1において、シート貼付装置10は、第1接着シートAS1の一方の面を被着体としての半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」ともいう)WFに貼付する第1接着シート貼付手段20と、一方の面がウエハWFに貼付された第1接着シートAS1の他方の面に第2接着シートAS2を貼付する第2接着シート貼付手段30と、第1接着シートAS1が貼付されたウエハWFを保持し、当該第1接着シートAS1が貼付されたウエハWFを第1接着シート貼付手段20から第2接着シート貼付手段30に搬送する搬送手段40とを備えている。
第1接着シート貼付手段20は、原接着シートBSの一方の面に第1剥離シートRL1が仮着され、原接着シートBSの他方の面に第2剥離シートRL2が仮着された原反RS1を繰り出す繰出手段21と、原反RS1に閉ループ状の切込CUを形成し、第2剥離シートRL2および原接着シートBSにおける切込CUの内側に、それぞれ所定形状の不要内側剥離シートRLAと第1接着シートAS1とを形成するとともに、第2剥離シートRL2および原接着シートBSにおける切込CUの外側に、それぞれ不要外側剥離シートRLBと不要接着シート部分ASAとを形成する切断手段22と、不要内側剥離シートRLAと不要外側剥離シートRLBとに接着テープや接着剤等の接続部材CMを取付ける図示しない接続部材取付手段と、切込CUが形成された原反RS1から、不要内側剥離シートRLA、不要外側剥離シートRLB、不要接着シート部分ASAおよび接続部材CMからなる不要原反部分RSAを剥離する不要原反部分剥離手段23と、ウエハWFに第1接着シートAS1を貼付するとともに、当該第1接着シートAS1から第1剥離シートRL1を剥離して回収する貼付回収手段24と、ウエハWFを支持して搬送する第1搬送手段25とを備えている。
繰出手段21は、原反RS1を支持する支持ローラ21Aと、駆動機器としての回動モータ21Bによって駆動され、ピンチローラ21Cとで原反RS1を挟み込む駆動ローラ21Dとを備えている。
切断手段22は、駆動機器としての回動モータ22Aによって駆動されるローラ本体22Bと、ローラ本体22Bの外周面に設けられた切断刃22Cと、図示しない機構によりローラ本体22Bと同期回転するプラテンローラ22Dとを備えている。
不要原反部分剥離手段23は、原反RS1を案内するガイドローラ23Aと、剥離縁23Bで原反RS1を折り返して当該原反RS1から不要原反部分RSAを剥離する剥離部材としての剥離板23Cと、駆動機器としての回動モータ23Dによって駆動され、ピンチローラ23Eとで不要原反部分RSAを挟み込む駆動ローラ23Fと、図示しない駆動機器によって駆動され、ピンチローラ23Eとの間に存在する不要原反部分RSAに常に所定の張力を付与して回収する回収ローラ23Gとを備えている。
貼付回収手段24は、駆動機器としてのリニアモータ24Aのスライダ24Bに支持されたフレーム24Cと、フレーム24Cに支持された駆動機器としての回動モータ24Dによって駆動され、ピンチローラ24Eとで第1剥離シートRL1を挟み込む駆動ローラ24Fと、図示しない駆動機器によって駆動され、ピンチローラ24Eとの間に存在する第1剥離シートRL1に常に所定の張力を付与して回収する回収ローラ24Gとを備えている。
第1搬送手段25は、駆動機器としてのリニアモータ25Aのスライダ25Bに支持された駆動機器としての直動モータ25Cと、直動モータ25Cの出力軸25Dに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段(保持手段)によって吸着保持が可能な保持面25Eを有する支持部材としてのテーブル25Fとを備えている。
第2接着シート貼付手段30は、第3剥離シートRL3の一方の面に第2接着シートAS2が仮着された原反RS2を支持する支持ローラ31と、原反RS2を案内するガイドローラ32と、第3剥離シートRL3から第2接着シートAS2を剥離縁33Aで折り返して剥離する剥離部材としての剥離板33と、駆動機器としての回動モータ34Aによって駆動され、ピンチローラ34Bとで第3剥離シートRL3を挟み込む駆動ローラ34と、図示しない駆動機器によって駆動され、ピンチローラ34Bとの間に存在する第3剥離シートRL3に常に所定の張力を付与して回収する回収ローラ35と、ウエハWFに貼付された第1接着シートAS1およびフレーム部材としてのリングフレームRFに第2接着シートAS2を押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ36と、ウエハWFおよびリングフレームRFを支持して搬送する第2搬送手段37とを備え、凹凸RHを形成した外縁対応部ARに第2接着シートAS2を貼付する構成となっている。
第2搬送手段37は、駆動機器としてのリニアモータ37Aのスライダ37Bに支持された駆動機器としての直動モータ37Cと、直動モータ37Cの出力軸37Dに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段(保持手段)によって吸着保持が可能な保持面37E、37Fを有する支持部材としてのテーブル37Gとを備えている。
搬送手段40は、駆動機器としてのリニアモータ41のスライダ41Aに支持された駆動機器としての直動モータ42と、直動モータ42の出力軸42Aに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段(保持手段)によって吸着保持が可能な保持面43Aを有する保持手段43と、一方の面がウエハWFに貼付された第1接着シートAS1の他方の面であって、ウエハWFの外縁部に対応する外縁対応部ARに凹凸RHを形成する凹凸形成手段44とを備えている。
凹凸形成手段44は、第1接着シートAS1に圧着されることで、当該第1接着シートAS1の外縁対応部ARに凹凸RHを転写(形成)可能な凹凸形成面44Aを備えている。なお、凹凸形成面44Aは、保持面43Aの一部を構成し、当該保持面43Aに吸着保持力を付与する図示しない減圧手段によって、当該保持面43Aと同時に吸着保持が可能となっている。
以上のシート貼付装置10の動作を説明する。
先ず、各部材が初期位置で待機する図1中実線で示すシート貼付装置10に対し、当該シート貼付装置10の使用者(以下、単に「使用者」という)が原反RS1、RS2を同図のようにセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、第1接着シート貼付手段20が回動モータ21B、22A、23D、24Dおよび図示しない接続部材取付手段を駆動し、原反RS1を繰り出しながら当該原反RS1に切込CUを形成しつつ、不要内側剥離シートRLAと不要外側剥離シートRLBとに接続部材CMを取付ける。そして、剥離板23Cの剥離縁23Bで原反RS1から不要原反部分RSAが剥離され、図1中実線で示すように、第1剥離シートRL1に仮着された先頭の第1接着シートAS1がテーブル25Fの上方の所定位置に到達すると、第1接着シート貼付手段20が回動モータ21B、22A、23D、24Dおよび図示しない接続部材取付手段の駆動を停止する。また、第2接着シート貼付手段30が回動モータ34Aを駆動し、原反RS2を繰り出し、図1中実線で示すように、先頭の第2接着シートAS2の繰出方向先端部が剥離板33の剥離縁33Aで所定量剥離されると、回動モータ34Aの駆動を停止する。
次いで、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない移送手段が、図1中実線で示すように、ウエハWFをテーブル25F上の所定の位置に載置するとともに、リングフレームRFをテーブル37G上の所定の位置に載置すると、第1接着シート貼付手段20および第2接着シート貼付手段30が図示しない減圧手段を駆動し、保持面25E、37FでのウエハWFおよびリングフレームRFの吸着保持を開始する。その後、第1接着シート貼付手段20が直動モータ25Cを駆動し、図1中二点鎖線で示すように、テーブル25Fを上昇させてウエハWFを第1接着シートAS1に接近させた後、第1接着シート貼付手段20が回動モータ24Dおよびリニアモータ24Aを駆動し、第1剥離シートRL1を回収ローラ24G方向へ送りつつ、フレーム24Cを左方に移動させる。これにより、第2接着シートAS2が駆動ローラ24FによってウエハWFに押圧され、当該ウエハWFの上面に第1接着シートAS1が貼付されるとともに、当該第1接着シートAS1から第1剥離シートRL1が剥離され、貼合体WK1が形成される。第1接着シートAS1から第1剥離シートRL1が完全に剥離されると、第1接着シート貼付手段20が回動モータ24Dおよびリニアモータ24Aの駆動を停止する。
次に、第1接着シート貼付手段20が直動モータ25Cを駆動し、テーブル25Fを初期位置に復帰させると、第1接着シート貼付手段20が回動モータ24Dの回転をロックさせた状態で、回動モータ21B、22A、23D、図示しない接続部材取付手段およびリニアモータ24Aを駆動し、フレーム24Cを初期位置方向に移動させる。すると、上記と同様に、原反RS1に切込CUが形成されつつ、不要内側剥離シートRLAと不要外側剥離シートRLBとに接続部材CMが取付けられ、次の第2接着シートAS2がテーブル25Fの上方の所定位置に到達すると、第1接着シート貼付手段20が回動モータ21B、22A、23D、図示しない接続部材取付手段およびリニアモータ24Aの駆動を停止する。そして、第1接着シート貼付手段20がリニアモータ25Aを駆動し、図1中二点鎖線で示すように、テーブル25Fを保持手段43の下方の所定位置に移動させると、搬送手段40が直動モータ42を駆動し、保持手段43を下降させて保持面43Aを第1接着シートAS1に当接させる。これにより、凹凸形成面44Aが第1接着シートAS1の外縁対応部ARに圧着され、当該外縁対応部ARに凹凸RHが転写(形成)される。次いで、搬送手段40が図示しない減圧手段を駆動し、凹凸形成面44Aを含む保持面43Aでの第1接着シートAS1の吸着保持を開始する。この際、第1接着シートAS1の外縁対応部ARを凹凸形成面44Aで吸引するため、より確実に外縁対応部ARに凹凸RHを形成することができる。
その後、第1接着シート貼付手段20が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面25Eでの貼合体WK1の吸着保持を解除した後、搬送手段40が直動モータ42を駆動し、貼合体WK1を保持面25Eから離間させると、第1接着シート貼付手段20がリニアモータ25Aを駆動し、テーブル25Fを初期位置に復帰させる。次に、搬送手段40がリニアモータ41および直動モータ42を駆動し、図1中二点鎖線で示すように、保持面43Aで吸着保持した貼合体WK1をテーブル37G上の所定の位置に載置する。そして、第2接着シート貼付手段30が図示しない減圧手段を駆動し、保持面37Eでの貼合体WK1の吸着保持を開始すると、搬送手段40が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面43Aでの貼合体WK1の吸着保持を解除した後、直動モータ42およびリニアモータ41を駆動し、保持手段43を初期位置に復帰させる。
次いで、第2接着シート貼付手段30がリニアモータ37Aを駆動し、テーブル37Gを右方に移動させ、当該テーブル37Gが所定の位置に到達すると、第2接着シート貼付手段30が回動モータ34Aを駆動し、リングフレームRFおよび貼合体WK1の移動速度に合わせて原反RS2を繰り出す。これにより、第2接着シートAS2が剥離板33の剥離縁33Aで第3剥離シートRL3から剥離され、当該第2接着シートAS2が押圧ローラ36によってリングフレームRFおよび第1接着シートAS1の上面に押圧され、一体物WK2が形成される。この際、第1接着シートAS1の外縁対応部ARに凹凸RHが形成されているため、当該凹凸RHに第2接着シートAS2の接着剤層が入り込み、第1接着シートAS1に対する第2接着シートAS2の接着力が高まる。その後、次の第2接着シートAS2の繰出方向先端部が剥離板33の剥離縁33Aで所定量剥離されると、第2接着シート貼付手段30が回動モータ34Aの駆動を停止する。
テーブル37Gが押圧ローラ36の右方の所定位置に到達すると、第2接着シート貼付手段30がリニアモータ37Aの駆動を停止した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面37E、37FでのウエハWFおよびリングフレームRFの吸着保持を解除する。次に、使用者または図示しない移送手段が一体物WK2を次工程に搬送すると、第2接着シート貼付手段30がリニアモータ37Aを駆動し、テーブル37Gを初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
以上のような実施形態によれば、一方の面がウエハWFに貼付された第1接着シートAS1の他方の面の外縁対応部ARに凹凸RHを形成し、当該凹凸RHを形成した外縁対応部ARに第2接着シートAS2を貼付するので、第2接着シートAS2の接着剤層が第1接着シートAS1の凹凸RHに入り込み、第1接着シートAS1に対する第2接着シートAS2の接着力が高まる。このため、接触型の切断手段によってウエハWFを第1接着シートAS1と共に切断して複数の個片体を形成する工程を実施したとしても、ウエハWFの外周部に位置する外周部個片体が第2接着シートAS2から脱落することを防止することができる。
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
例えば、予め、ウエハWFの一方の面に第1接着シートAS1が貼付されている場合、シート貼付装置10は、凹凸形成手段44と、第2接着シート貼付手段30とで構成してもよい。この場合、テーブル37Gで支持した貼合体WK1の第1接着シートAS1の外縁対応部ARに凹凸形成手段44の凹凸形成面44Aを圧着することで、当該外縁対応部ARに凹凸RHを形成した後、当該凹凸RHを形成した外縁対応部ARに上述と同様に、第2接着シート貼付手段30で第2接着シートAS2を貼付すればよい。
第1接着シート貼付手段20は、テーブル25Fを上昇させてウエハWFを第1接着シートAS1に接近させた際、ウエハWFを第1接着シートAS1に当接させてもよいし、当接させなくてもよいし、原接着シートBSをウエハWFの上面に貼付した後に、当該原接着シートBSを切断手段で所定形状に切断してもよいし、切断手段22を採用せずに、第1、第2剥離シートRL1、RL2に仮着された原接着シートBSに閉ループ状の切込CUが設けられた原反を繰り出してもよいし、第2接着シート貼付手段30と同様の構成とし、例えば、枚葉の第1剥離シートRL1が仮着された第1接着シートAS1が所定間隔を隔てて帯状の第2剥離シートRL2上に仮着された原反を繰り出し、第1剥離シートRL1が仮着された第1接着シートAS1をウエハWFに貼付してもよいし、第2剥離シートRL2が仮着されていない原反RS1を採用してもよいし、接続部材取付手段として、第2接着シート貼付手段30と同等の構成のものを採用したり、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で接続部材CMを保持し、当該保持部材で保持した接続部材CMを不要内側剥離シートRLAと不要外側剥離シートRLBとに貼付するものを採用したりしてもよい。
第2接着シート貼付手段30は、第3剥離シートRL3に仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が第2接着シートAS2とされた原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が第3剥離シートRL3に仮着された原反を採用し、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段で形成し、その切込で仕切られた所定の領域を第2接着シートAS2としてもよいし、第2接着シートAS2を第3剥離シートRL3から剥離する際、原反RS2に所定の張力が付与されるように回動モータ34Aのトルク制御を行ってもよいし、原反RS2を巻回すことなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、第3剥離シートRL3を巻回すことなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、第3剥離シートRL3を回収しなくてもよいし、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で第2接着シートAS2を保持し、当該保持部材で保持した第2接着シートAS2を第1接着シートAS1とリングフレームRFとに貼付してもよい。
第2接着シート貼付手段30は、ウエハWFや第1接着シートAS1と同形状の第2接着シートAS2を第1接着シートAS1に貼付するものであってもよく、ウエハWFとリングフレームRFを一体化するものでなくてもよい。この場合、第1搬送手段25は、テーブル25Fが第2接着シート貼付手段30の下方まで移動可能な長さとなるようにリニアモータ25Aを構成し、保持面25Eで保持した貼合体WK1に第2接着シート貼付手段30でウエハWFや第1接着シートAS1と同形状の第2接着シートAS2を第1接着シートAS1に貼付してもよく、この場合、第2接着シート貼付手段30に第2搬送手段37が備わっていなくてもよい。
第2搬送手段37は、テーブル37Gが第1接着シート貼付手段20の下方まで移動可能な長さとなるようにリニアモータ37Aを構成し、保持面37Eで保持したウエハWFに第1接着シート貼付手段20で第1接着シートAS1を貼付してもよい。この場合、第1接着シート貼付手段20に第1搬送手段25が備わっていなくてもよい。
搬送手段40は、上記以外の駆動機器で貼合体WK1を搬送してもよいし、ウエハWFの第1接着シートAS1が貼付された面の反対側の面を保持して搬送してもよい。
凹凸形成手段44は、搬送手段40の保持手段43から独立した別体の構成としてもよく、この場合、テーブル25Fに支持された貼合体WK1の第1接着シートAS1の外縁対応部ARに、保持手段43から独立した別体の凹凸形成手段44の凹凸形成面44Aを圧着して当該外縁対応部ARに凹凸RHを形成した後、当該凹凸RHを形成した貼合体WK1を保持手段43で吸着保持してテーブル37Gに搬送してもよいし、テーブル25Fに支持された貼合体WK1を保持手段43で吸着保持してテーブル37Gに搬送した後、当該貼合体WK1の外縁対応部ARに、保持手段43から独立した別体の凹凸形成手段44の凹凸形成面44Aを圧着して当該外縁対応部ARに凹凸RHを形成してもよい。
凹凸形成手段44は、表面が凹凸形状とされたローラや、ブラシ、剣山、砥石、やすり、サンドペーパ等を第1接着シートAS1の外縁対応部ARに当接させて凹凸RHを形成してもよいし、当該外縁対応部ARに粘着シートを貼付したり剥がしたりして凹凸RHを形成してもよい。
フレーム部材は、リングフレームRF以外に、環状でない(外周が繋がっていない)ものや、円形、楕円形、三角形以上の多角形、その他の形状であってもよい。
また、本発明における接着シートAS1、AS2および被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートAS1、AS2は、ウエハWFよりも大きい形状であってもよいし、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートAS1、AS2が採用された場合は、当該接着シートAS1、AS2を加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートAS1、AS2は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等3層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートAS1、AS2を機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、第1接着シート貼付手段は、第1接着シートの一方の面を被着体に貼付可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(他の手段および工程についての説明は省略する)。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的または間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、当該ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、ローラの表面やローラ自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、ローラの表面やローラ自体を変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断してもよい。
10 シート貼付装置
20 第1接着シート貼付手段
30 第2接着シート貼付手段
40 搬送手段
44 凹凸形成手段
AR 外縁対応部
AS1 第1接着シート
AS2 第2接着シート
RH 凹凸
WF ウエハ(被着体)

Claims (3)

  1. 一方の面が被着体に貼付された第1接着シートの他方の面であって、前記被着体の外縁部に対応する外縁対応部に凹凸を形成する凹凸形成手段と、
    前記凹凸を形成した前記外縁対応部に第2接着シートを貼付する第2接着シート貼付手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。
  2. 第1接着シートの一方の面を被着体に貼付する第1接着シート貼付手段と、
    一方の面が前記被着体に貼付された前記第1接着シートの他方の面に第2接着シートを貼付する第2接着シート貼付手段と、
    前記第1接着シートが貼付された被着体を保持し、当該第1接着シートが貼付された被着体を前記第1接着シート貼付手段から前記第2接着シート貼付手段に搬送する搬送手段とを備え、
    前記搬送手段は、一方の面が前記被着体に貼付された前記第1接着シートの他方の面であって、前記被着体の外縁部に対応する外縁対応部に凹凸を形成する凹凸形成手段を備え、
    前記第2接着シート貼付手段は、前記凹凸を形成した前記外縁対応部に前記第2接着シートを貼付することを特徴とするシート貼付装置。
  3. 一方の面が被着体に貼付された第1接着シートの他方の面であって、前記被着体の外縁部に対応する外縁対応部に凹凸を形成する凹凸形成工程と、
    前記凹凸を形成した前記外縁対応部に第2接着シートを貼付する第2接着シート貼付工程とを実施することを特徴とするシート貼付方法。
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