JP2019220503A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 電極を備えた載置台と、
   前記電極に当接した給電ピンと、
   前記給電ピンの周囲に設けられた筒状絶縁部品と、
   前記載置台と前記筒状絶縁部品とを互いに接着する接着層と、
   前記筒状絶縁部品の前記接着層側の面に設けられた第１のプライマーと、
   を有することを特徴とする静電チャック。
2. 前記載置台の前記接着層側の面に設けられた第２のプライマーを有することを特徴とする請求項１に記載の静電チャック。
3. 前記筒状絶縁部品の外側に設けられた金属部品を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の静電チャック。
4. 前記金属部品はヒータであることを特徴とする請求項３に記載の静電チャック。
5. 前記金属部品はベースプレートであることを特徴とする請求項３に記載の静電チャック。
6. 前記金属部品の上に前記接着層が設けられていることを特徴とする請求項３乃至５のいずれか１項に記載の静電チャック。
7. 給電ピンの周囲に設けられた筒状絶縁部品に第１のプライマーを塗布する工程と、
   接着剤を用いて、前記筒状絶縁部品の前記第１のプライマーを塗布した面に、電極を備えた載置台を、前記電極に前記給電ピンを当接させながら接着する工程と、
   を有することを特徴とする静電チャックの製造方法。
8. 前記接着剤を用いて前記載置台を接着する工程は、
   スクリーン印刷により、前記筒状絶縁部品の前記第１のプライマーを塗布した面に前記接着剤の層を形成する工程を有することを特徴とする請求項７に記載の静電チャックの製造方法。
9. 前記接着剤を用いて前記載置台を接着する工程は、
   前記載置台の前記筒状絶縁部品に接着される面に第２のプライマーを塗布する工程を有することを特徴とする請求項７又は８に記載の静電チャックの製造方法。