JP2019180168A - 振動アクチュエータ及び振動呈示装置 - Google Patents

振動アクチュエータ及び振動呈示装置 Download PDF

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Abstract

【課題】タッチパネルに取り付けた場合でも、タッチパネルの操作時にユーザに強いフィーリングを付与するとともに、薄型化を可能にする。【解決手段】2のN倍個(Nは自然数)のコア極部及びコア極部の外周にそれぞれ巻回されるコイルを有する固定体と、コア極部毎に、コア極部毎の軸方向で離れて配置されるマグネット部を有する可動体と、固定体に対して可動体を可動自在に支持する弾性支持部と、を有し、マグネット部は、それぞれ向かい合うコア極部側に配置される磁極を有し、可動体は、コイルが通電されることにより励磁されるコア極部とマグネット部との間の吸引力または反発力により、2のN倍個のコア極部が並ぶ方向及びコイルの軸方向の双方向に直交する方向に振動する。【選択図】図7

Description

本発明は、振動アクチュエータ及びこれを備える振動呈示装置に関する。
従来、感知パネルであるタッチパネルの操作の際に、タッチパネルに表示された表示画面をユーザの指腹等が接触した際に振動アクチュエータにより指腹に振動を付与する構成が知られている(特許文献1及び特許文献2参照)。
特許文献1には、タッチパネルの裏面に、振動伝達部を介して振動アクチュエータが取り付けられた携帯端末装置が開示されている。この振動アクチュエータは、振動伝達部に固定されるハウジング内に、可動子が、タッチパネルに対して垂直に配置されたガイドシャフトに沿って往復移動可能に配置されている。振動アクチュエータでは、タッチパネルへの操作に対応して可動子をハウジングに衝突させることで、振動伝達部を介してタッチパネルに接触する指腹に振動を付与する。
また、特許文献2では、タッチパネルへの操作に対応して振動を付与する振動呈示装置が開示されている。この振動呈示装置では、振動を呈示する振動部である振動パネルと振動パネルを支持する筐体との間に、振動を発生させるボイスコイルモータと、振動パネルと配置されて所定の力で圧縮される支持部と、振動部の振動に制動作用を付与するダンパと、支持部及びダンパに圧縮力を付与するばねと、が並行して介設されている。
特開2015−070729号公報 特開2016−163854号公報
ところで、従来のように、タッチパネルに触れて操作する際に振動を付与する装置では、伝達する振動を発生させる際、或いは、振動を伝達する経路の途中での減衰があり、強い振動をユーザに伝達する、つまり、強いフィーリングでユーザにフィードバックすることが難しい。例えば、特許文献1では、可動体はガイドシャフトを摺動するため、摺動アクチュエータにより振動伝達部に伝達される振動が減衰し、特許文献2では、筐体に対して振動パネルを振動させる際に、筐体及び振動パネル間の支持部、ダンパ及びばねにより、振動パネルの振動が減衰する。
さらに、特許文献2のように、タッチパネルに接続される振動パネルが直接駆動する場合では、十分な剛性を確保しつつ、強い振動を発生させようとすると、複数の振動発生装置を設ける必要が生じ、製作コストがかかる、という問題がある。また、タッチパネルの裏側のスペースは一般に狭いため、複数の振動発生装置を配置しくにい。
よって、ユーザがタッチパネルを操作する時に、操作する際に接触する指腹に、十分な振動を付与して強いフィーリングを付与でき、且つ薄型化が可能な振動アクチュエータが望まれている。
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、タッチパネルに取り付けた場合でも、タッチパネルの操作時にユーザに強いフィーリングを付与できるとともに、薄型化可能な振動アクチュエータおよびこれを備える振動呈示装置を提供することを目的とする。
本発明の振動アクチュエータは、
2のN倍個(Nは自然数)のコア極部及び前記コア極部の外周にそれぞれ巻回されるコイルを有する固定体と、
前記コア極部毎に、前記コア極部毎の軸方向で離れて配置されるマグネット部を有する可動体と、
前記固定体に対して前記可動体を可動自在に支持する弾性支持部と、
を有し、
前記マグネット部は、それぞれ向かい合う前記コア極部側に配置される磁極を有し、
前記可動体は、前記コイルが通電されることにより励磁される前記コア極部と前記マグネット部との間の吸引力または反発力により、前記2のN倍個のコア極部が並ぶ方向及び前記コイルの軸方向の双方向に直交する方向に振動する構成を採る。
本発明の振動呈示装置は、
上記構成の振動アクチュエータと、
前記振動アクチュエータを実装したタッチパネルと、
を有する構成を採る。
本発明によれば、タッチパネルに取り付けた場合でも、タッチパネルの操作時にユーザに強いフィーリングを付与できるとともに、薄型化を実現できる。
本発明の実施の形態1に係る振動アクチュエータの平面側外観斜視図である。 本発明の実施の形態1に係る振動アクチュエータの底面側外観斜視図である。 本発明の実施の形態1に係る振動アクチュエータの平面図である。 本発明の実施の形態1に係る振動アクチュエータの右側面図である。 本発明の実施の形態1に係る振動アクチュエータの要部分解斜視図である。 本発明の実施の形態1に係る振動アクチュエータの分解斜視図である。 図3のA―A線矢視部分断面図である。 本発明の実施の形態1に係る振動アクチュエータの磁気回路構成を示す図である。 本発明の実施の形態1に係る振動アクチュエータの動作の説明に供する図である。 本発明の実施の形態1に係る振動アクチュエータを有するタッチパネル装置の斜視図である。 本発明の実施の形態1に係る振動アクチュエータを有するタッチパネル装置の右側面図である。 本発明の実施の形態2に係る振動アクチュエータの底面側外観斜視図である。 本発明の実施の形態2に係る振動アクチュエータの平面側外観斜視図である。 本発明の実施の形態2に係る振動アクチュエータを有するタッチパネル装置の斜視図である。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
本実施の形態では、直交座標系(X,Y,Z)を使用して説明する。後述する図においても共通の直交座標系(X,Y,Z)で示している。以下において、振動アクチュエータ10の幅、奥行き、高さは、それぞれ、X方向、Y方向、Z方向の長さである。また、Z方向プラス側を「上側」、Z方向マイナス側を「下側」として説明する。
<振動アクチュエータ10の全体構成>
図1は、本発明の実施の形態1に係る振動アクチュエータ10の平面側外観斜視図であり、図2は、本発明の実施の形態1に係る振動アクチュエータ10の底面側外観斜視図である。また、図3は、本発明の実施の形態1に係る振動アクチュエータ10の平面図であり、図4は、本発明の実施の形態1に係る振動アクチュエータ10の右側面図である。また、図5は、本発明の実施の形態1に係る振動アクチュエータの要部分解斜視図であり、図6は本発明の実施の形態1に係る振動アクチュエータの分解斜視図である。
図1〜図4に示す振動アクチュエータ10は、振動発生源として電子機器に実装されて、電子機器の振動機能を実現する。振動アクチュエータ10は、電子機器に実装されて、ユーザに振動を呈示する振動呈示装置として機能する。電子機器としては、例えば、タッチパネル装置100(図10及び図11参照)を有するカーナビゲーション装置等が挙げられる。なお、タッチパネル装置100は、振動呈示装置の一例であり、本実施の形態では、手や指等でユーザが触れることのできるパネルとしてのタッチパネルを有する。このタッチパネルは、ユーザが触れることのできる画像等を表示する表記機能を有するパネルであってもよいし、表示機能がなく、単にユーザが触れて操作可能な操作部を有する構成であってもよい。
本実施の形態における振動アクチュエータ10は、画像を表示するタッチパネル60(図10及び図11参照)に実装され、画面上での接触操作に対応して振動をユーザに伝達して体感させることで、タッチパネルを触れたユーザに直感的な操作を可能とするタッチパネル装置100に適用される。なお、タッチパネル装置100のタッチパネル60は、タッチパネル60上におけるユーザによる接触操作を受け付けて、その接触位置を出力する接触位置出力部を有する。振動アクチュエータ10は、タッチパネル60に接合され、制御部(図示省略)からの駆動信号を受けて、タッチパネル60から出力された接触位置に対応した振動を発生して駆動し、タッチパネル60に伝達して、タッチパネル60を直接振動させる。
振動アクチュエータ10は、コイル24が巻回されたコア極部222を含むコア22を有する固定体20と、コア極部222にコア極部222の軸方向で離れて配置されたマグネット部33(34、35)を有する可動体30と、固定体20に対して可動体30を振動方向に可動可能に弾性支持する弾性支持部40と、を有する。
振動アクチュエータ10は、コア22およびコイル24とマグネット部33(34、35)との協働により可動体30を振動させる。具体的には、通電されるコイル24および通電されるコイル24により励磁されるコア22のコア極部222と、マグネット部33(34、35)との間に発生する吸引力または反発力により可動体30は振動する。
振動アクチュエータ10は、Z方向を厚み方向とした扁平形状の振動体である。振動アクチュエータ10は、可動体30を、固定体20に対して、Z方向、つまり、厚み方向を振動方向として振動させ、厚み方向で離れて配置される表裏面のうちの一方の面を他方の面に対してZ方向に振動させる。
本実施の形態の振動アクチュエータ10では、平板状に形成された弾性支持部40の一端側を固定体20に固定し、他端側を可動体30に固定することで、可動体30を固定体20に対して振動方向(Z方向であり、ここでは上下方向)に移動可能に支持している。具体的には、弾性支持部40は、振動方向と直交する方向、ここでは、奥行き方向(Y方向)で離れた両端部のうちの一方の端部で固定体20に固定され、他方の端部で可動体30を固定している。
<固定体20>
固定体20は、図5に示すように、コア22およびコイル24を有するコアユニット21とベースプレート28と減衰材27とを有する。
ベースプレート28は、扁平状の部材であり、振動アクチュエータ10の底面を形成する。ベースプレート28は、コアユニット21が取り付けられる一辺部281と、一辺部281から離れた位置に弾性支持部40を固定する他辺部282とを有する。
ベースプレート28は、本実施の形態では、板金を加工して、一辺部281と他辺部282とが奥行き方向で離れて位置するよう構成されている。一辺部281と他辺部282の間には、一辺部281と他辺部282より高さの低い底面部283を有する凹状部が設けられている。凹状部内、つまり底面部283の表面側の空間は、底面部283の弾性支持部40により支持される可動体30の可動領域を確保するための空間である。
コアユニット21は、複数のコア極部222を有するコア22、基板23、コア極部222のそれぞれの外周を巻回するコイル24、及びボビン25を有する。
コアユニット21は、図2及び図3に示すように、ベースプレート28の一辺部281に、コア極部222を他辺部282側に向けて固定されている。
本実施の形態では、止着部材であるねじ26(図6参照)により、コアユニット21は一辺部281に強固に固定される。
図7は、図3のA―A線矢視部分断面図である。
図7に示すように、コア22のコア本体221が一辺部281に固定され、コア22のコア極部222は、ボビン25を介して外周にコイル24が巻回された状態で、一辺部281から底面部283に突出するように、配置される。
一辺部281と底面部283との間には横方向に延在する切欠部が形成され、この切欠部に入り込むようにコア22及びコイル24が配設されている。
コア22は磁性体であり、コア本体221から一様に突出してコア極部222が設けられている。コア22は、例えば、ケイ素鋼板、パーマロイ、フェライト等により形成される。コア22は、本実施の形態では、コア本体221から4つのコア極部222が一様に突出している。
コア22は、具体的には、図6に示すように、Z方向と直交する方向、ここでは横方向(X方向)に延在する矩形板状のコア本体221において横方向(X方向に相当)に延在する一辺部からコア極部222が櫛歯状に突出するように設けられている。コア極部222の先端面222a(図7参照)は、励磁されて磁極面となる面であり、図1及び図3に示すように、横方向に一様に並ぶように配置される。
コア22のコア極部222の外周には、コイル24が巻回されたボビン25が外挿されている。すなわち、コア極部222の周囲には、それぞれ、ボビン25を介してコイル24が巻回される。また、ボビン25は、コイル24が巻回された状態で、コア極部222に取り付けられて、コア極部222の外周にコイル24を位置させるので、コイル24の変形やほつれが抑制され、作業性及び取付性が向上する。
なお、ボビン25は、例えば、樹脂材料により形成される。これにより、金属製の他の部材(例えば、コア22)との電気的絶縁を確保することができるので、信頼性が向上する。樹脂材料には、高流動の樹脂を用いることにより成形性が良くなり、ボビン25の強度を確保しつつ肉厚を薄くすることができる。
コア極部222は、振動方向、ここではZ方向と直交する方向(ここでは、X、−X方向)に隣り合うように配置される。
コア極部222は、コア極部222の周囲に巻回されるコイル24に電流が供給させることにより励磁され、先端面は磁極面222aとなる。
コア極部222は、Z方向と直交する方向(X方向)に並び、それぞれに巻回されるコイル24への通電により、互いに異なる磁極で励磁され、先端面222aは互いN極、S極、N極、S極、或いは、S極、N極、S極、N極等の互い違いに異なる極性を有する。これにより、磁気回路効率を上げることができる。
コア22は、本実施の形態では、4つのコア極部222を有するので、互いに隣り合うコア極部222にそれぞれ巻回されるコイル24は、隣り合うコア極部222を交互に異なる磁極で励磁するように、異なる方向で巻回されている。
なお、コア22は、コア極部222を少なくとも2つ以上で2の倍数、つまり、2のN倍(Nは自然数)個備えることが好ましい。これにより、コイル24への通電時において、隣り合うコア極部222を異なる磁極となるように励磁できる磁気回路を構成することができ、磁気回路効率を高めて、より効率の良い振動出力を実現できる。
コイル24は、駆動時に通電されるものであり、外周で巻回されるコア22及びマグネット部33(34、35)とともに振動の発生源となる磁気回路を構成する。
本実施の形態のコアユニット21では、4つのコア極部222のそれぞれを囲むコイル24は、電気的に接続されている。4つのコイル24は、1本のコイル線により形成されており、隣り合うコイル24どうしは、通電された際に、隣り合うコイル24のそれぞれの内側に芯としてそれぞれ配置されるコア極部222の励磁される極性が異なるように巻回されている。複数のコイル24−1〜24−4(図3参照)において、通電された際に、少なくとも2つの隣り合うコイル24のそれぞれが囲むコア極部222の先端面222aを異なる磁極となるように着磁する。例えば、コイル24−1〜24−4(図3参照)において隣り合うコイル24(24−1〜24−4)どうしを、それぞれ右巻き、左巻き等の異なる巻回する向きで形成する。
コイル24の両端部は、コア22に積層された基板23の端子に接続される。コイル24には、基板23を介して通電が行われる。
基板23は、コイル24に電力供給して振動アクチュエータ10を駆動する回路が実装された基板である。基板23は、外部電源に接続される基板、例えば、フレキシブル回路基板(FPC:Flexible printed circuits)等で構成されてもよい。基板23、コア22のコア本体221上に設けられ、コアユニット21において、ボビン25に巻回されるコイル24の端部に接続される。基板23は、例えば、駆動信号が供給されることでコイル24に電力を供給して振動アクチュエータ10を駆動する。
減衰材27は、弾性支持部40から固定体20へ伝達する振動を減衰する。減衰材27は、具体的には、弾性支持部40とベースプレート28の他辺部282との間に介設され、駆動時における弾性支持部40からの振動を減衰する。
減衰材27は、弾性支持部40及び他辺部282の間にねじ43を介して固定されている。
減衰材27は、例えば、エラストマー、ゴム、樹脂、又は多孔質弾性体(例えば、スポンジ)などの軟質材料により形成される。
<可動体30>
可動体30は、コアユニット21に振動方向(Z方向)と直交する方向で対向するように配置され、振動方向に往復振動する。
可動体30は、マグネット部33、バックヨーク36、及びマグネットホルダ37を有する。
マグネット部33は、コアユニット21のコア極部222の先端面222aと、コア極部222の軸方向で所定間隔を空けて離れて配置される。所定間隔とは、通電されるコイル24及びコア22と、マグネット部33(34、35)との磁気吸引力または磁気反発力により、コアユニット21の一側面を形成するコア極部222の先端面222aに対して、可動体30が振動方向(Z方向)に移動可能な領域である。本実施の形態では、可動体30は、他端部404側を支点に揺動する弾性支持部40の一端部402に設けられているので、所定間隔は、可動体30が弾性支持部40の他端部404側を支点として揺動してもコアユニット21に接触しない間隔でもある。
マグネット部33は、本実施の形態では、2つのマグネット34、35により構成され、バックヨーク36に固定され、バックヨーク36とともにマグネットホルダ37に保持されている。バックヨーク36は、コア22、コイル24及びマグネット部33とともに磁気回路を構成する。
マグネット部33(34、35)は、コア22のコア極部222に対して、2つのマグネット34、35が、振動方向(ここではZ方向であり、可動体30の厚み方向に相当)に2つの異なる極性の磁極面が並ぶように配置されている。すなわち、マグネット部33は、一つのコア極部222に対して、可動体30が振動する方向である振動方向に並べて配置され、且つ、コア極部222側に着磁された互いに異なる磁極を有する第1マグネット34及び第2マグネット35を有する。なお、マグネット34、35は、例えば、Nd焼結マグネット等により構成されてもよい。
マグネット34、35は、2のN倍個のコア極部222に対向して配置されている。マグネット34、35は、例えば、上段にマグネット34がN極の磁極面をコア極部222側に向けて配置され、下段にマグネット35のS極の磁極面がコア22のコア極部222側に向けて配置されている。なお、上段でS極の磁極面をコア極部222に向けて配置し、下段でN極の磁極面をコア極部222に向けて配置してもよい。
振動方向で並ぶマグネット34、35は、マグネット34、35の振動方向の中心が、コア極部222の厚み方向の中心、つまり、コア極部222における振動方向の長さの中心と対向するように配置される。
マグネット34、35は、それぞれ対向するコア極部222の横方向(X方向)の長さに対応した長さを有し、本実施の形態では、マグネット34、35は、振動方向と直交する方向に延在する略同一の帯形状を有している。
マグネット34、35は、コア22と対向する対向面である磁極面が、横方向(X方向で)で隣り合う磁極面同士で磁極が異なるように配置されている。すなわち、マグネット34、35を有するマグネット部33は、X方向に沿って隣り合うように複数配置され、マグネット部33のそれぞれが、異なる磁極に励磁されるコア極部222のそれぞれに向かい合うように配置されている。X方向に沿って隣り合うマグネット部33どうしでは、それぞれの上側のマグネット34同士と、下側のマグネット35同士とでそれぞれ磁極が異なるように設けられている。
例えば、図5に示すマグネット34は、右から、S極、N極、S極、N極となるように配置され、マグネット35は、右から、N極、S極、N極、S極となるように配置される。
また、マグネット34、35は、振動方向、ここでは、上下で隙間を空けて配置されている。上下で離れたマグネット34、35は、それぞれの磁気吸引力を発生し、コア22のコア極部222の先端面222aを吸引する。マグネット34、35のそれぞれが発生する磁気吸引力により、コア極部222は、上下両方に向かって吸引されることで相殺されて釣り合い、マグネット34、35の間の隙間に対応する位置を基準位置として、水平な状態で保持される。言い換えれば、基準位置は、コア極部222における振動方向の中心位置と、マグネット34、35における振動方向の中心位置とが略同一平面上(同一平面も含む)或いは略同一軸線上(同一軸線も含む)に位置する位置である。また、コイル24への非通電時において、マグネット34、35が対するコア極部222の先端面222aと、隙間とが、コア極部222の軸方向(コイル24の軸に相当)で向かい合う位置に位置する。
このようにマグネット34,35は、磁極面に対向するコア22のコア極部222の先端面222aを吸引して、極性の異なるマグネット34、35間の隙間と対向する位置で保持する磁気ばねとして機能する。このマグネット34、35の間の隙間の高さは、コア22の厚み(Z方向の長さ)、具体的には、コア極部222の厚み(Z方向の長さ)よりも短くすることが好ましい。
マグネット34,35は、弾性支持部40のばね反力で、基準位置(基準状態における位置)に保持されるので、コア22とマグネット34,35の磁気吸引力により、電流に起因した発生推力とは逆方向の力を抑制でき、出力低下を防ぐことができ、強いフィーリングの発生が可能となる。
マグネットホルダ37は、マグネット34、35を保持して、弾性支持部40に固定する。マグネットホルダ37は、コア極部222と対向する面を有し、この面にマグネット34、35が固定されている。
マグネットホルダ37は、金属、樹脂等、どのような材料で形成されてもよいが、マグネット34、35から放射される磁束に影響を与えないように、非磁性体であることが好ましい。
<弾性支持部40>
弾性支持部40は、固定体20に対して可動体30を可動自在に支持する。
弾性支持部40は、ベースプレート28に固定され、振動方向に変形する弾性を有する。弾性支持部40は、本実施の形態では、可動体30の振動方向と交差する方向に向けて配置される矩形状の板ばねであり、マグネット34、35の着磁方向に(ここでは、Y方向)に延在する。
弾性支持部40の一端部402には、コア22に対向するマグネット部33が固定され、他端部404には、減衰材27を介してベースプレート28が固定されている。具体的には、一端部402は、その裏面で、マグネット部33及びバックヨーク36を保持するマグネットホルダ37に、ねじ42等の止着材を介して固定されている。なお、図1の振動アクチュエータでは、この一端部402の表面に緩衝材39が取り付けられている。マ緩衝材39は、マグネットホルダ37と振動方向で重なる位置に配置され、他部材に接続して、当該他部材に可動体20を取り付けるものである。この緩衝材39は、図2〜図9では便宜上、図示を省略する。
弾性支持部40の一端部402及び他端部404は、ここでは平行な辺部分であり、それぞれX方向に沿って設けられている。
弾性支持部40は、基端側(他端部404側)でベースプレート28に固定され、先端側(一端部402側)にコア22に対向するマグネット34、35が固定され、且つ、振動方向(上下方向)に弾性変形可能に配置されている。
本実施の形態では、弾性支持部40は、ベースプレート28の他辺部282から一辺部281に向かってY方向(ここでは略水平)に延在し、ベースプレート28の一辺部281側の自由端である一端部402に可動体30が固定されている。すなわち、弾性支持部40は、可動体30を片持ち梁構造により支持しているため、振動方向で可動体30を弾性支持する必要が無く、その分の高さを薄くして薄型の構造にできる。また、弾性支持部40としての板ばねが単純な矩形板状であるので、弾性支持部40を加工して形成する際の影響が出にくく、弾性変形の態様にばらつきにくい性能を有する弾性支持部40にすることができる。また、略水平に延在する弾性支持部40により可動体30は片持ち支持されるので、安定した状態で上下方向に振動可能に支持される。
図8は、振動アクチュエータ10の磁気回路を示す図である。図9A〜図9Cは、可動体30の動作を示す側面図である。なお、図8及び図9で示すコイル24は、便宜上、図3のA−A線断面図で示したコイル24−2(図3参照)である。つまり、図9A〜図9Cは、それぞれ、非通電時における可動体30の状態(基準状態)、コイル24−2(24)にマグネット34、35側から見て反時計回りに通電したときの可動体30の状態、コイル24−2(24)にマグネット34、35側から見て時計回りに通電したときの可動体30の状態を示している。その他のコイル24−1,24−3、24−4とマグネット34、35とは、コイル24−2とマグネット34、35と極性のみ異なり、同様の磁気回路構成により可動体30を同じ方向に移動させるように構成されている。よって、コイル24−2とマグネット34、35との組の磁気回路構成のみ詳細に説明し、その他の磁気回路構成の説明は省略する。
具体的には、コイル24−2に、マグネット34、35側から見て反時計回りに通電したときには、コイル24−4は同じ方向で通電され、コイル24−1、24−3は時計回りに通電される。また、コイル24−2にマグネット34、35側から見て時計回りに通電したときには、コイル24−4は同じ方向で通電され、コイル24−1、24−3は反時計回りに通電される。すなわち、コイル24−1〜24−4と、これらに対応するマグネット34,35の組では、隣接する組と比べて、対向するコイル24側の極性と、マグネット34,35側の極性は異なるものの、同方向に可動体30を移動させる力を同様に発生する。
振動アクチュエータ10において、可動体30は、固定体20のベースプレート28の他辺部282上に減衰材27を介して他端部404が固定された、弾性支持部40の一端部402で支持された状態で配置されている。弾性支持部40は、ベースプレート28の他辺部282側から一辺部281側に向かって延在するように配置されている。加えて、マグネット34、35は、固定体20のコイル24の一端側の開口に対向するように配置されている。
可動体30は、基板23を介して電源供給部(図示略)からコイル24が通電されることにより、Z方向、つまり、ベースプレート28に対して接離する方向に往復動する。具体的には、可動体30が、弾性支持部40の他端部404を支点に揺動する。これにより、振動アクチュエータ10の振動出力が、振動アクチュエータ10を備える携帯機器のユーザに伝達される。
振動アクチュエータ10では、図8に示す磁気回路が形成される。また、振動アクチュエータ10において、コイル24は、マグネット34、35からの磁束が、内側のコア極部222を通るように、コイル24の巻回軸とマグネット34、35の着磁方向とが平行若しくは重なるように配置されている。
したがって、図8に示すように通電が行われると、コイル24に流れる電流により、コア極部222は、先端面222a側がN極となり、このN極にマグネット35が吸引され、マグネット34は反発し、マグネット34、35を備える可動体30には推力Fが発生する。これにより、弾性支持部40に弾性支持される可動体30は、他端部404側を支点に、F方向、つまりZ方向に揺動して、図9Aの状態から図9Bの状態となる。
また、コイル24の通電方向が逆方向に切り替わり、図9Cに示すように通電が行われると、逆向き(Z方向マイナス側)の推力−Fが生じる。この推力−Fにより、可動体30が揺動する。具体的には、コイル24−2(24)のコア極部222が異なる磁極、例えば、S極となり、この極に対して、マグネット34は吸引され、マグネット35は反発する。これにより、マグネット34、35を備える可動体30には、推力−Fが発生して、他端部404側を中心に推力−F方向、つまり、−Z方向に揺動する。
これを繰り返すことで、振動アクチュエータ10は、可動体30を往復揺動して振動方向(Z方向)の振動を発生する。
可動体30の振動は、コイル24に巻回されたコア極部222に対して、振動方向で隙間を空けて上下に2つのマグネット34、35が組として配置され、2つのマグネット34、35のそれぞれの吸引力および反発力により行われる。これにより、コイル24、コア極部222に対してマグネットが一つの場合の組による磁気回路と比較して、強力な振動を発生する。
また、コイル24、コア極部222、マグネット34、35及びバックヨーク36を含む組を4つ含む磁気回路を有しているので、4組のそれぞれで発生する推力F、−Fにより、強力な振動を発生できる。
振動アクチュエータ10では、コイル24が巻回されるコア22と、マグネット部33とを含む磁気発生部が可動体30の側方側に配置され、可動体30は、板ばねである弾性支持部40の一端部402で固定されている。弾性支持部40は、他端部404が固定体20に固定されていることにより、可動体30を可動自在に支持している。これにより、Z方向に磁気発生部を設けることがなく、支持構造が単純であるため設計がシンプルになり、省スペース化を図ることができ、振動アクチュエータ10の薄型化を図ることができる。
本実施の形態の振動アクチュエータ10において最大の厚み(Z方向の長さ)は、ベースプレート28の底面部283、可動体30の下側の可動領域、可動体30部分の高さ(Z方向の長さ)、可動体30の上側の可動領域を加えた長さとなり、Z方向の高さを極力低くした扁平状で振動出力に優れた振動アクチュエータとなっている。
また、本実施の形態の振動アクチュエータ10では、コア22において、隣り合うコア極部222の励磁は、異なる磁極に励磁されている。これにより、隣り合うコア極部222、222の対にて一つの磁気回路で構成することができるため、磁気回路効率が高く、強い震動を発生させることができ、ユーザに対し振動フィーリングの付与が可能となる。
ここで、振動アクチュエータ10は、基板23を介して電源供給部(図示略)からコイル24(24−1〜24−4)へ入力される交流波によって駆動される。つまり、コイル24の通電方向は周期的に切り替わり、可動体30にはZ方向プラス側の推力FとZ方向マイナス側の推力−Fが交互に作用する。これにより、マグネット34、35はコア極部222に対してZ方向プラス側と、Z方向マイナス側に揺動し、これに伴い可動体30は、弾性支持部40の他端部404を支点として、Z方向プラス側と、Z方向マイナス側に振動、より具体的には、YZ面内で円弧状に振動(回転系の駆動)する。
以下に、振動アクチュエータ10の駆動原理について、後述する振動アクチュエータ10Aの駆動原理とともに簡単に説明する。本実施の形態の振動アクチュエータ10A、10では、直線系の駆動と回転系の駆動を行う。
直線系の駆動原理を示す運動原理としては、可動体30A(図13参照)の質量m[kg]、ねじり方向のばね定数Kspとした場合、可動体30Aは、固定体20Aに対して、下記式(1)によって算出される共振周波数f[Hz]で振動する。共振周波数frと略等しい周波数の交流で振動アクチュエータ10Aを駆動することにより、効率的に大きな出力を得ることが可能となる。すなわち、定常状態において低消費電力での駆動が可能となるので、振動アクチュエータ10Aのエネルギー効率が向上する。
本実施の形態の振動アクチュエータ10Aは、基板23を介してコイル24(240−1〜240−8)に可動体30Aの共振周波数fと略等しい周波数の交流を供給してコイル24(240−1〜240−8)を介してコア22(詳細には、コア極部222)を着磁する。これにより、可動体30Aを効率良く駆動させることができる。
なお、振動アクチュエータ10Aにおける動作原理を示す運動方程式は下式(1)で表され、回路方程式は下式(2)で表される。すなわち、可動部30Aは、式(2)、(3)に基づいて往復運動を行う。
すなわち、振動アクチュエータ10Aにおける質量m[Kg]、変位x(t)[m]、推力定数K[N/A]、電流i(t)[A]、ばね定数Ksp[N/m]、減衰係数D[N/(m/s)]等は、式(2)を満たす範囲内で適宜変更できる。また、電圧e(t)[V]、抵抗R[Ω]、インダクタンスL[H]、逆起電力定数K[V/(m/s)]は、式(3)を満たす範囲内で適宜変更できる。
このように、振動アクチュエータ10A、可動体30Aの質量mと、弾性支持部40A、40Bとしての金属ばね(弾性体、本実施の形態では板ばね)と磁気ばねとを重畳したばね定数Kspにより決まる共振周波数fにおいて駆動した場合、効果的に大きな出力を得ることができる。
本実施の形態の振動アクチュエータ10Aにおいて可動体30Aを弾性支持するばねは、主に、弾性支持部40である金属ばねであり、コイル24が巻回されたコア22(コア極部222)及びマグネット34、35による磁気ばねを含む構成となっている。
また、振動アクチュエータ10における回転系の駆動原理について簡単に説明する。本実施の形態の振動アクチュエータ10では、可動体30の慣性モーメントをJ[kg・m]、弾性支持部40である板ばねのねじり方向のばね定数をKspとした場合、可動体30は、固定体20に対して、下式(4)によって算出される共振周波数f[Hz]で振動する。
可動体30は、バネ−マス系の振動モデルにおけるマス部を構成するので、コイル24に可動体30の共振周波数fに等しい周波数の交流波が入力されると、可動体30は共振状態となる。すなわち、電源供給部からコイル24に対して、可動体30の共振周波数fと略等しい周波数の交流波を入力することにより、可動体30を効率良く振動させることができる。
振動アクチュエータ10の回転系の駆動原理を示す運動方程式及び回路方程式を以下に示す。振動アクチュエータ10は、下式(5)で示す運動方程式及び下式(6)で示す回路方程式に基づいて駆動する。
すなわち、振動アクチュエータ10における可動体30の慣性モーメントJ[kg・m]、回転角度θ(t)[rad]、トルク定数K[N・m/A]、電流i(t)[A]、ばね定数Ksp[N・m/rad]、減衰係数D[N・m/(rad/s)]等は、式(2)を満たす範囲内で適宜変更できる。また、電圧e(t)[V]、抵抗R[Ω]、インダクタンスL[H]、逆起電力定数K[V/(rad/s)]は、式(3)を満たす範囲内で適宜変更できる。
このように、振動アクチュエータ10では、可動体30の慣性モーメントJと板ばね部33のバネ定数Kspにより決まる共振周波数fに対応する交流波によりコイル24への通電を行った場合に、効率的に大きな振動出力を得ることができる。
図10は、本発明の実施の形態1に係る振動アクチュエータを有するタッチパネル装置100の斜視図であり、図11は、本発明の実施の形態1に係る振動アクチュエータを有するタッチパネル装置100の右側面図である。図10及び図11に示すタッチパネル装置100は、振動呈示装置の一例である。振動アクチュエータ10は、画像を表示するタッチパネル60の裏面61に接続用の緩衝材39を介して固定される。緩衝材39は減衰材27と同様の材料により構成されてもよい。
振動アクチュエータ10のベースプレート28は、タッチパネル装置100が取り付けられる部位に固定される。
すなわち、タッチパネル60を有するタッチパネル装置100では、タッチパネル60は、タッチパネル装置100の取り付け部位に固定体20を固定した振動アクチュエータ10の可動体30に固定される。これにより、タッチパネル60自体は、可動体30と一体に駆動する。
このように、振動アクチュエータ10を実装したタッチパネル装置100によれば、タッチパネル60を直接動作させる、つまり可動体30とともにタッチパネル60を駆動させるため、強い振動でタッチパネル60を直接駆動できる。よって、タッチパネル60に表示される画像に接触して操作する際に、タッチパネル60を介したユーザに強いフィーリングをフィードバックすることができる。具体的には、タッチパネル60をユーザは指で操作する場合に、ユーザの指に対しタッチパネル60を直接可動することで、タッチパネル60における操作ボタン等を押せているという触感を付与できる。また、タッチパネル60に対して、面方向に沿う振動と異なり、タッチパネル60に接触する方向に沿って振動を発生させるため、ユーザには強いフィーリングの振動を付与できる。
特に、車載製品や産業機器において、ユーザが触れた際に、強いフィーリングをフィードバックするタッチパネル装置が搭載されるタッチディスプレイ装置や操作装置に有用なものである。
タッチパネル60は、単一の振動アクチュエータ10にて構成でき、構造的に、可動体30と駆動源であるコアユニット21及びマグネット部33を含む磁気発生部を横に配置することが可能であり、振動アクチュエータ10全体の薄型化を図ることができる。
本実施の形態の振動アクチュエータ10によれば、2のN倍個(Nは自然数)のコア極部222及びコア極部222の外周にそれぞれ巻回されるコイル24を有する固定体20と、コア極部222毎に、コア極部222毎の軸方向で離れて配置されるマグネット部33を有する可動体30と、固定体20に対して可動体30を可動自在に支持する弾性支持部(板ばね)40とを有する。
マグネット部33は、それぞれ向かい合うコア極部222側に配置される磁極を有し、可動体30は、コイル24が通電されることにより励磁されるコア極部222とマグネット部33との間の吸引力または反発力により、2のN倍個のコア極部222が並ぶ方向及びコイル24の軸方向の双方向に直交する方向に振動する。
これにより、安定した強い振動を出力できるとともに薄型化された振動アクチュエータ10を実現できる。また、タッチパネル60に取り付けた場合でも、タッチパネル60の操作時にユーザに強いフィーリングを付与できるとともに、タッチパネル60を有するタッチパネル装置100自体の薄型化を図ることができる。
なお、振動呈示装置としては、指等を接触させることにより操作を入力する操作装置に適用し、接触操作に対応して振動を発生させるようにしても良い。
(実施の形態2)
図12は、本発明の実施の形態2に係る振動アクチュエータ10Aの底面側外観斜視図であり、図13は、本発明の実施の形態2に係る振動アクチュエータ10Aの平面側外観斜視図である。なお、実施の形態2の振動アクチュエータ10Aは、図1〜図9で説明した実施の形態1に対応する振動アクチュエータ10と同様の基本的構成を有しているが、主に、固定体20Aに2つのコアユニット21A、21Bを配置し、可動体30Aに、コアユニット21A、21Bのそれぞれに対応するマグネット部33A、33Bを配置した点で異なる。以下では、振動アクチュエータ10と同一の構成要素は同様の機能を有し、同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。
図12及び図13に示す振動アクチュエータ10Aは、振動アクチュエータ10と同様に、振動発生源として電子機器に実装されて、電子機器の振動機能を実現する。例えば、タッチパネル装置100A(図14参照)に実装されてカーナビゲーション装置等に適用される。
振動アクチュエータ10Aは、コイル24が巻回されたコア22を有する実施の形態1のコアユニット21と同様に構成されるコアユニット21A、21Bを有する固定体20Aと、実施の形態1のマグネット部33と同様のマグネット部33A、33B(34、35)を有する可動体30Aと、固定体20Aに対して可動体30Aを振動方向に可動可能に弾性支持する弾性支持部40A、40Bと、を有する。
振動アクチュエータ10Aは、振動アクチュエータ10と同様に、通電されるコイル24及び通電されるコイル24により励磁されるコア22のコア極部222と、マグネット部33(34、35)との間に発生する吸引力または反発力により可動体30Aを振動させる。
振動アクチュエータ10Aは、Z方向を厚み方向とした扁平形状の振動体である。振動アクチュエータ10Aは、可動体30Aを、固定体20Aに対して、Z方向、つまり、厚み方向を振動方向として振動させる。
本実施の形態の振動アクチュエータ10Aでは、枠状に形成されたベースプレート28Aにおいて、それぞれX方向に延在し且つY方向で対向する2つの固定体側辺部287に、コアユニット21A、21Bが、互いのコア極部222が対向するように、取り付けられている。
ベースプレート28Aは、帯状であり、X方向で離れて配置される固定体端辺部286と、帯状であり、Y方向で離れて配置される2つの固定体側辺部287とで矩形枠状で形成されている。
矩形枠状のベースプレート28Aの内側には、所定間隔を空けて、コアユニット21A、21Bのコア極部222と対向するように配置されるマグネット部33A、33Bを有する可動体30Aが配置されている。
マグネット部33A、33Bは、それぞれマグネット部33と同様に構成され、一つのコア極部222に対向する2つのマグネット34、35を、X方向(振動方向)に複数(ここでは4組)ずつ備える。
マグネット部33A、33Bは、それぞれ、矩形状の枠状保持部37Aの対向する2つの側辺部370aにそれぞれ固定される。2つの側辺部370aは、バックヨークの機能を兼ねており、ここでは磁性体により形成される。
枠状保持部37Aの振動方向で開口する一方側の縁部(ここでは上面側の縁部)には、中央に開口が形成された面状の取付部材39Aが設けられている。
取付部材39Aは、可動対象に固定され、可動対象を振動させる。取付部材39Aは、緩衝材39と同様の材料により形成されてもよい。
マグネット部33A、33Bは、コアユニット21A、21Bのコア極部222とは、可動体30Aの側方、つまりY方向に並ぶように配置され、これにより薄型化を可能としている。なお、コアユニット21A、21Bと、マグネット部33A、33Bと、バックヨークの機能を有する2つの側辺部370aと、による磁気回路構成は、図8に示す実施の形態1の磁気回路構成と同様であるので説明は省略する。
2つの側辺部370aのそれぞれの両端部は、2つの端辺部370bの両端部に固定されている。2つの側辺部370aと2つの端辺部370bとにより枠状保持部37Aは構成されている。2つの端辺部370bには、弾性支持部40A、40Bのそれぞれの一端部402aが固定されている。
弾性支持部40A、40Bは、弾性支持部40と同様の機能を有し、本実施の形態では、同一であり、弾性変形する板ばねである。
弾性支持部40A、40Bは、それぞれ他端部404aをベースプレート28AのY方向で延在する2つの固定体端辺部286にそれぞれ固定し、一端部402aを可動体30Aに固定している。これにより、弾性支持部40A、40Bは、固定体20Aに対して可動体30Aを、固定体20Aのベースプレート28Aの内側で、振動方向(Z方向マイナス側、Z方向プラス側)に可動、つまり振動自在に支持している。
なお、弾性支持部40A、40Bは、平板状の板ばねでよいが、本実施の形態では、一端部402aと他端部404aとの間の部位、つまり一端部402aと他端部404a徒を繋ぐ弾性変形する部位に、Z方向プラス側或いはZ方向マイナス側に凸状となるように湾曲させた湾曲部を設けている。弾性支持部40A、40Bとしての板ばねは、湾曲部分により、撓む際の方向が決定される。なお、弾性支持部40A、40Bの一端部402aと他端部404aとを繋ぐ部位は、蛇腹形状にしてもよい。なお、湾曲する向きは、本実施の形態では、上側に取付部材39Aが設けられているため、下側に凸となる向きにすることにより、上側に凸よりも振動方向の厚みを薄くしている。
これにより、コイル24への通電時において、振動アクチュエータ10Aのマグネット部33と同様に、マグネット部33A、33Bが推力を得て移動する際に、弾性支持部40A、40Bは、それに追従して円滑に弾性変形して撓むことができ、振動方向に沿って可動体30Aが往復移動、つまり振動を円滑に行わせることができる。
また、振動アクチュエータ10Aでは、可動体30Aは、Y方向で離れる両側部(2つの側辺部370a)でそれぞれ、コアユニット21A、21Bとマグネット部33A、33Bとを有する磁気発生部により、振動方向に駆動する。これにより、より強い振動を得ることができ、より強い振動フィーリングを付与することが可能となる。
このように構成される振動アクチュエータ10Aでは、コアユニット21A、21Bにおいて、図示しない電源供給部からコイル24へ入力される交流波によりコア極部の先端面)が磁化され、可動体30A側のマグネット部33A、33Bのそれぞれのマグネット34、35に対して、効果的に磁気吸引力及び反発力を発生する。
これにより、可動体30Aのマグネット部33A、33Bは、基準位置となる位置(ここでは側面視してコア極部の中心)と、マグネット部33A、33Bにおいて上下で離間するマグネット34、35との間の隙間のZ方向の中心位置とが重なる位置を基準にして、Z方向に往復移動する。なお、この駆動原理は、上記式(1)〜(6)によって実現される実施の形態1の振動アクチュエータ10の同様の動作原理であるので説明は省略する。振動アクチュエータ10Aでは、実施の形態1と同様に、コイル24へ供給する電流の向きを変えることで、マグネット部33A、33Bを備える可動体30Aは、振動方向(Z方向)、つまり、コアとマグネット部33A、33Bとが対向する方向と弾性支持部40A、40Bが延在する方向の双方と直交する方向に往復移動(往復振動)する。
図14は、本発明の実施の形態2に係る振動アクチュエータ10Aを有するタッチパネル装置100Aの斜視図である。図14に示すタッチパネル装置は、振動呈示装置の一例である。タッチパネル装置100Aでは、振動アクチュエータ10Aは、画像を表示するタッチパネル60の裏面61に接続用の取付部材39Aを介して固定される。
振動アクチュエータ10Aのベースプレート28Aは、タッチパネル装置60が取り付けられる部位に固定される。
これにより、タッチパネル60を有するタッチパネル装置100Aでは、タッチパネル60は、タッチパネル装置100Aの取り付け部位に固定体20Aを固定した振動アクチュエータ10Aの可動体30Aに固定される。これにより、タッチパネル60自体は、固定体20Aに対して弾性支持部40A、40Bを介して弾性支持された可動体30Aと一体に振動する。
このように、振動アクチュエータ10Aを実装したタッチパネル装置100Aによれば、タッチパネル60を直接動作させるため、タッチパネル60に表示される画像に接触して操作する際に、ユーザに一層強いフィーリングをフィードバックすることができる。
[振動アクチュエータ10Aにおける変形例]
図13に示すように、振動アクチュエータ10Aでは、コアユニット21A、21Bは、それぞれ4つずつ、コイル24の通電により励磁されるコア極部を備えた電磁部240−1〜240−8を備えた構成となっている。電磁部240−1〜240−8はそれぞれ、可動体30AにおいてY方向で離れる両側辺部に沿って配置されている。
これにより、例えば、電磁部240−1〜240−8のそれぞれのコイル24の通電方向を適宜変更可能に構成することにより、可動体30Aを、X方向、Y方向、Z方向、X軸回りの捻れ方向、Y軸回りの捻れ方向、及びZ軸回りの捻れ方向に沿った姿勢にすることができる。一例として、電磁部240−1、240−2を一組とした磁気回路、電磁部240−3、240−4を一組とした磁気回路、電磁部240−5、240−6を一組とした磁気回路、及び、電磁部240−7、240−8を一組とした磁気回路とし、それぞれ独立した駆動力発生部として、可動体30Aを可動させることができる。具体的には、各電磁部の組において、それぞれ隣り合うコア極部を異なる磁性となるように励磁する。それぞれの電磁部の組のコア極部で対向するマグネット部をZ方向プラス側またはZ方向マイナス側に移動させて、可動体30Aを、X方向、Y方向、Z方向、X軸回りの捻れ方向、Y軸回りの捻れ方向、及びZ軸回りの捻れ方向に沿った姿勢にすることが可能となる。よって、振動アクチュエータ10Aを取り付けタッチパネル60の姿勢を適宜変更でき、ユーザが視認し易い姿勢あるいはユーザが操作し易い姿勢にすることができる。
本実施の形態の振動アクチュエータ10、10Aにおけるコアユニット21、21A、21Bでは、コア極部222を4つずつ有する構成としたが、少なくとも2つずつあればよい。つまり、振動アクチュエータ10、10Aにおけるコアユニット21、21A、21Bにおいて、コア極部222を、6つ以上の偶数個で有する構成とし、それに対応して実施の形態と同様に配置されるマグネット部33を備える構成としてもよい。このとき、コアユニット21、21A、22Bにおいて、隣り合うコア極部222は、異なる極性で励磁されるように、それぞれの外周にコイル24が巻回されることが好ましい。
以上、本発明の実施の形態について説明した。なお、以上の説明は本発明の好適な実施の形態の例証であり、本発明の範囲はこれに限定されない。つまり、上記装置の構成や各部分の形状についての説明は一例であり、本発明の範囲においてこれらの例に対する様々な変更や追加が可能であることは明らかである。
本発明に係る振動アクチュエータは、タッチパネルに取り付けた場合でも、タッチパネルの操作時にユーザに強いフィーリングを付与できるとともに、薄型化を実現できる効果を有し、例えば、カーナビゲーション装置等でタッチパネル自体を可動させる場合に用いるものとして有用である。
10、10A 振動アクチュエータ
20、20A 固定体
21、21A、21B コアユニット
22 コア
221 コア本体
222 コア極部
222a 先端面
23 基板
24 コイル
25 ボビン
26、42、43 ねじ
27 減衰材
28、28A ベースプレート
281 一辺部
282 他辺部
283 底面部
30、30A 可動体
33、33A、33B マグネット部
34 マグネット(第1マグネット)
35 マグネット(第2マグネット)
36 バックヨーク
37 マグネットホルダ
37A 枠状保持部
370a 側辺部
370b 端辺部
39 緩衝材
39A 取付部材
40、40A、40B 弾性支持部
402、402a 一端部
404、404a 他端部
60 タッチパネル
61 裏面
100、100A タッチパネル装置(振動呈示装置)

Claims (9)

  1. 2のN倍個(Nは自然数)のコア極部及び前記コア極部の外周にそれぞれ巻回されるコイルを有する固定体と、
    前記コア極部毎に、前記コア極部毎の軸方向で離れて配置されるマグネット部を有する可動体と、
    前記固定体に対して前記可動体を可動自在に支持する弾性支持部と、
    を有し、
    前記マグネット部は、それぞれ向かい合う前記コア極部側に配置される磁極を有し、
    前記可動体は、前記コイルが通電されることにより励磁される前記コア極部と前記マグネット部との間の吸引力または反発力により、前記2のN倍個のコア極部が並ぶ方向及び前記コイルの軸方向の双方向に直交する方向に振動する、
    振動アクチュエータ。
  2. 前記マグネット部は、一つの前記コア極部に対して、前記可動体の振動方向に並べて配置され、且つ、前記コア極部側に着磁された互いに異なる磁極を有する第1マグネット及び第2マグネットを有する、
    請求項1記載の振動アクチュエータ。
  3. 前記第1マグネット及び前記第2マグネットは、前記可動体の振動方向で隙間を空けて配置され、
    前記コイルへの非通電時において、前記第1マグネット及び前記第2マグネットが対する前記コア極部の端面と、前記隙間とが、前記コア極部の軸方向で向かい合う位置に位置する、
    請求項2記載の振動アクチュエータ。
  4. 隣り合う前記コア極部は、異なる磁極に励磁される、
    請求項1に記載の振動アクチュエータ。
  5. 隣り合う前記コア極部は、異なる磁極に励磁され、
    前記隣り合う前記コア極部のそれぞれに向かい合う前記マグネット部において、
    前記第1マグネット同士と、前記第2マグネット同士とでそれぞれ磁極が異なる、
    請求項2または3に記載の振動アクチュエータ。
  6. 前記弾性支持部は、前記可動体の振動方向と交差する方向に向けて配置される板ばねである、
    請求項1から5のいずれか一項に記載の振動アクチュエータ。
  7. 前記弾性支持部の一端部は、前記固定体に固定され、他端部が前記2のN倍個の前記コア極部に対向して配置された前記マグネット部に固定され、前記可動体の振動する方向に弾性変形可能に配置されたことを特徴とする請求項6に記載の振動アクチュエータ。
  8. 前記弾性支持部は、前記固定体に、前記弾性支持部の振動を減衰する減衰材を介して固定されている、
    請求項1から7のいずれか一項に記載の振動アクチュエータ。
  9. 請求項1から8に記載の振動アクチュエータと、
    前記振動アクチュエータを実装したタッチパネルと、
    を有する、
    振動呈示装置。
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