JP2019129264A - Sheet peeling device and sheet peeling method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、シート剥離装置およびシート剥離方法に関する。 The present invention relates to a sheet peeling apparatus and a sheet peeling method.
従来、接着シートの剥離先端部を接着シート保持部材で保持して当該接着シートを被着体から剥離し、剥離した当該接着シートの剥離後端部を先に剥離した接着シートに取り付けるシート剥離装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。 Conventionally, a sheet peeling device that holds the peeling leading end portion of an adhesive sheet with an adhesive sheet holding member, peels the adhesive sheet from the adherend, and attaches the peeled rear end portion of the peeled adhesive sheet to the previously peeled adhesive sheet Are known (see, for example, Patent Document 1).
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の保護テープ剥離装置（シート剥離装置）では、剥離した保護テープＰＴ（接着シート）を先に剥離した接着シートに取り付けるために、接着テープＡＴや接着剤等の接着部材を、ウエハＷ（被着体）に貼付された状態の接着シートに取り付けるので、当該被着体にダメージを与えてしまうという不都合がある。 However, in the conventional protective tape peeling device (sheet peeling device) described in Patent Document 1, in order to attach the peeled protective tape PT (adhesive sheet) to the previously peeled adhesive sheet, the adhesive tape AT or adhesive Since the adhesive member such as the agent is attached to the adhesive sheet in a state of being adhered to the wafer W (adhered body), there is a disadvantage that the adherend is damaged.
本発明の目的は、接着シートが貼付された被着体にダメージを与えることなく、剥離した接着シートの剥離後端部を先に剥離した接着シートに取り付けることができるシート剥離装置およびシート剥離方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a sheet peeling apparatus and a sheet peeling method capable of attaching a peeled rear end portion of a peeled adhesive sheet to a previously peeled adhesive sheet without damaging the adherend to which the adhesive sheet is stuck. Is to provide.
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。 The present invention adopts the configuration described in the claims.
本発明によれば、被着体から剥離された後の接着シートの剥離後端部を先剥離接着シートに溶着にて取り付けるので、接着シートが貼付された被着体にダメージを与えることなく、剥離した接着シートの剥離後端部を先に剥離した接着シートに取り付けることができる。
また、被着体から剥離された後の接着シートの剥離後端部を先剥離接着シートにステープラにて取り付けるので、接着シートが貼付された被着体にダメージを与えることなく、剥離した接着シートの剥離後端部を先に剥離した接着シートに取り付けることができる。
さらに、被着体から剥離された後の接着シートの剥離後端部と、前記先剥離接着シートの剥離後端部との少なくとも一方に接着部材を取り付けるので、接着シートが貼付された被着体にダメージを与えることなく、剥離した接着シートの剥離後端部を先に剥離した接着シートに取り付けることができる。
According to the present invention, since the peeling rear end portion of the adhesive sheet after peeling from the adherend is attached to the first peeling adhesive sheet by welding, the adherend to which the adhesive sheet is attached is not damaged. The peeled rear end portion of the peeled adhesive sheet can be attached to the peeled adhesive sheet.
In addition, since the peeling rear end portion of the adhesive sheet after peeling from the adherend is attached to the first peeling adhesive sheet with a stapler, the adhesive sheet peeled without causing damage to the adherend to which the adhesive sheet is attached. It is possible to attach the rear end portion of the adhesive to the adhesive sheet that has been peeled first.
Furthermore, since the adhesive member is attached to at least one of the peeling rear end portion of the adhesive sheet after peeling from the adherend and the peeling rear end portion of the first peeling adhesive sheet, the adherend to which the adhesive sheet is attached Without being damaged, the peeled rear end portion of the peeled adhesive sheet can be attached to the previously peeled adhesive sheet.
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。また、図１（Ａ）以外において、方向を示す矢印を記載していない図は、全て図１（Ａ）と同じ方向から観た図とする。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described based on the drawings.
In the present embodiment, the X axis, the Y axis, and the Z axis are orthogonal to each other, the X axis and the Y axis are axes in a predetermined plane, and the Z axis is an axis orthogonal to the predetermined plane. To do. Furthermore, in the present embodiment, when referring to a direction from the front in FIG. 1 parallel to the Y-axis and indicating a direction without specifying a figure, “upper” is “down” in the arrow direction of the Z-axis. Is the opposite direction, “left” is the arrow direction of the X axis, “right” is the opposite direction, “front” is the front direction in FIG. 1 parallel to the Y axis, and “rear” is the opposite direction. In addition to the drawings other than FIG. 1A, the drawings that do not include the direction arrows are all viewed from the same direction as FIG.
本発明のシート剥離装置ＥＡは、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの剥離先端部ＡＳＦを接着シート保持部材としての剥離用テープＰＴで保持する接着シート保持手段１０と、被着体ＷＫと剥離用テープＰＴとを相対移動させ、接着シートＡＳの剥離先端部ＡＳＦから剥離後端部ＡＳＲに向けて当該接着シートＡＳを被着体ＷＫから剥離する剥離手段２０と、剥離手段２０で被着体ＷＫから剥離した接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲを、当該剥離手段２０で先に剥離して剥離用テープＰＴで保持されている先剥離接着シートＡＳＢに取り付ける剥離後端部取付手段３０とを備え、被着体ＷＫを支持する被着体支持手段４０の下方に配置されている。 The sheet peeling apparatus EA of the present invention includes an adhesive sheet holding means 10 for holding a peeling tip ASF of an adhesive sheet AS attached to an adherend WK with a peeling tape PT as an adhesive sheet holding member, and an adherend WK. And the peeling tape PT are moved relative to each other, the peeling means 20 for peeling the adhesive sheet AS from the adherend WK from the peeling front end ASF to the peeling rear end ASR of the adhesive sheet AS, and the peeling means 20 The peeled rear end portion attaching means 30 for attaching the peeled rear end portion ASR of the adhesive sheet AS peeled off from the adherend WK to the first peeled adhesive sheet ASB held first by the peeling means 20 and held by the peeling tape PT. And disposed below the adherend support means 40 that supports the adherend WK.
接着シート保持手段１０は、駆動機器としての回動モータ１１Ａの図示しない出力軸に支持され、剥離用テープＰＴを支持する支持ローラ１１と、剥離用テープＰＴを案内するガイドローラ１２と、剥離手段２０の移動プレート２２に支持された駆動機器としての直動モータ１３と、その出力軸１３Ａに支持され、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段１４Ａによって加熱される押圧手段としての押圧部材１４と、回動モータ１５Ａの図示しない出力軸に支持され、剥離用テープＰＴを回収する回収ローラ１５とを備えている。 The adhesive sheet holding means 10 is supported by an output shaft (not shown) of a rotation motor 11A as a driving device, and supports a support roller 11 that supports the peeling tape PT, a guide roller 12 that guides the peeling tape PT, and a peeling means. A linear motion motor 13 as a driving device supported by 20 moving plates 22, and a pressing member as a pressing means supported by an output shaft 13A and heated by a heating means 14A such as a coil heater or a heating side of a heat pipe. 14 and a collection roller 15 that is supported by an output shaft (not shown) of the rotation motor 15A and collects the peeling tape PT.
剥離手段２０は、駆動機器としてのリニアモータ２１のスライダ２１Ａに支持された移動プレート２２と、剥離用テープＰＴを案内するガイドローラ２３と、移動プレート２２に支持された駆動機器としての回動モータ２４Ａと、その図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ２５とで剥離用テープＰＴを挟み込む駆動ローラ２４とを備えている。 The peeling means 20 includes a moving plate 22 supported by a slider 21A of a linear motor 21 as a driving device, a guide roller 23 for guiding the peeling tape PT, and a rotation motor as a driving device supported by the moving plate 22. 24A and a drive roller 24 supported by an output shaft (not shown) and sandwiching the peeling tape PT with the pinch roller 25.
剥離後端部取付手段３０は、被着体ＷＫから剥離された後の接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲを先剥離接着シートＡＳＢに溶着にて取り付ける溶着手段３１を備えている。
溶着手段３１は、移動プレート２２に支持されたリニアモータ３１Ａと、そのスライダ３１Ｂに支持され、受け部材３１Ｄとで接着シートＡＳ等を挟み込む押圧部材３１Ｃと、押圧部材３１Ｃに超音波を印加し、接着シート同士を溶着可能な図示しない超音波印加手段とを備えている。なお、剥離後端部取付手段３０は、接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲを剥離用テープＰＴに取り付けることも可能となっている。
The peeling rear end attachment means 30 includes welding means 31 for attaching the peeling rear end ASR of the adhesive sheet AS peeled from the adherend WK to the front peel adhesive sheet ASB by welding.
The welding unit 31 applies an ultrasonic wave to the pressing member 31C, which is supported by the linear motor 31A supported by the moving plate 22 and the slider 31B and sandwiches the adhesive sheet AS by the receiving member 31D, and the pressing member 31C. Ultrasonic wave application means (not shown) capable of welding the adhesive sheets to each other is provided. In addition, the peeling rear end part attaching means 30 can also attach the peeling rear end part ASR of the adhesive sheet AS to the peeling tape PT.
被着体支持手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１と、そのスライダ４１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない保持手段としての減圧手段によって吸着保持が可能な支持面４２Ａを有するとしての支持テーブル４２とを備えている。 The adherend support means 40 includes a linear motor 41 as a driving device and a support surface 42A supported by the slider 41A and capable of being sucked and held by a decompression means (not shown) such as a decompression pump or a vacuum ejector. As a support table 42.
以上のシート剥離装置ＥＡの剥離動作を説明する。
なお、本動作説明では、以下と同様の剥離動作によって初回の剥離動作が先に行われ、被着体ＷＫから剥離された接着シートＡＳが先剥離接着シートＡＳＢとなって剥離用テープＰＴに支持され、当該シート剥離装置ＥＡの各部材が図１（Ａ）中実線で示す初期位置で待機している。そして、当該シート剥離装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）または駆動機器やコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）中実線で示すように、接着シートＡＳが貼付された被着体ＷＫを支持テーブル４２の支持面４２Ａに当接させると、被着体支持手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面４２Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始する。
The peeling operation of the sheet peeling apparatus EA described above will be described.
In this operation description, the first peeling operation is performed first by the same peeling operation as described below, and the adhesive sheet AS peeled from the adherend WK becomes the first peeling adhesive sheet ASB and is supported by the peeling tape PT. Then, each member of the sheet peeling apparatus EA stands by at an initial position indicated by a solid line in FIG. Then, the user of the sheet peeling apparatus EA (hereinafter simply referred to as "user") or conveying means (not shown) such as a driving device or a conveyor adheres the adhesive sheet AS as shown by a solid line in FIG. When the adherend WK is brought into contact with the support surface 42A of the support table 42, the adherend support means 40 drives the pressure reducing means (not shown) to start adsorption and holding of the adherend WK on the support surface 42A. .
次いで、被着体支持手段４０がリニアモータ４１を駆動し、支持テーブル４２を右方に移動させ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳの右端部が押圧部材１４の直上に到達すると、リニアモータ４１の駆動を停止する。その後、接着シート保持手段１０が直動モータ１３および加熱手段１４Ａを駆動し、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、押圧部材１４を上昇させて剥離用テープＰＴを接着シートＡＳの剥離先端部ＡＳＦに押圧して貼付し、当該接着シートＡＳの剥離先端部ＡＳＦを剥離用テープＰＴで保持する。接着シートＡＳの剥離先端部ＡＳＦを剥離用テープＰＴで保持すると、接着シート保持手段１０が加熱手段１４Ａの駆動を停止するとともに、直動モータ１３を駆動し、押圧部材１４を初期位置に復帰させる。 Next, the adherend support means 40 drives the linear motor 41 to move the support table 42 to the right, and the right end portion of the adhesive sheet AS is the pressing member 14 as shown by the two-dot chain line in FIG. When it reaches immediately above, the drive of the linear motor 41 is stopped. After that, the adhesive sheet holding means 10 drives the linear motion motor 13 and the heating means 14A, and as shown by the two-dot chain line in FIG. 1A, the pressing member 14 is raised and the peeling tape PT is attached to the adhesive sheet AS. The peeling tip portion ASF is pressed and pasted, and the peeling tip portion ASF of the adhesive sheet AS is held by the peeling tape PT. When the peeling tip portion ASF of the adhesive sheet AS is held by the peeling tape PT, the adhesive sheet holding means 10 stops driving the heating means 14A and drives the linear motion motor 13 to return the pressing member 14 to the initial position. .
次に、接着シート保持手段１０および剥離手段２０が回動モータ１１Ａ、２４Ａおよびリニアモータ２１を駆動し、移動プレート２２を左方へ所定距離移動させつつ、適宜駆動ローラ２４および支持ローラ１１を回転させ、支持ローラ１１側から剥離用テープＰＴを所定長さ繰り出して、駆動ローラ２４の最上部を接着シートＡＳの剥離先端部ＡＳＦ下方に位置させる。これにより、図１（Ｂ）中実線で示すように、剥離用テープＰＴに所定長さの弛みができ、その弛みによって折返し部ＰＴ１が形成され、当該折返し部ＰＴ１が駆動ローラ２４によって被着体ＷＫ方向に押し付けられ、当該剥離用テープＰＴが押し付け姿勢を採るようになる。そして、剥離手段２０がリニアモータ２１および回動モータ２４Ａを駆動し、移動プレート２２を左方へ移動させるとともに、駆動ローラ２４を回転させ、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、剥離用テープＰＴの押し付け姿勢を維持しつつ、被着体ＷＫと剥離用テープＰＴとを相対移動させ、接着シートＡＳの剥離先端部ＡＳＦから剥離後端部ＡＳＲに向けて当該接着シートＡＳを被着体ＷＫから剥離する。このように、押し付け姿勢を維持しながら接着シートＡＳを被着体ＷＫから剥離することで、当該被着体ＷＫを支持面４２Ａに押し付けながら接着シートＡＳを剥離することができ、被着体ＷＫが剥離される接着シートＡＳに引っ張られてストレスがかかったり、被着体ＷＫが支持テーブル４２から落下したりすることを防止することができる。 Next, the adhesive sheet holding means 10 and the peeling means 20 drive the rotation motors 11A, 24A and the linear motor 21, and rotate the driving roller 24 and the support roller 11 as appropriate while moving the moving plate 22 to the left by a predetermined distance. Then, the peeling tape PT is fed out for a predetermined length from the support roller 11 side, and the uppermost portion of the drive roller 24 is positioned below the peeling tip portion ASF of the adhesive sheet AS. As a result, as shown by a solid line in FIG. 1B, the peeling tape PT can be loosened by a predetermined length, and the folded portion PT1 is formed by the slack, and the folded portion PT1 is adhered to the adherend by the driving roller 24. Pressed in the WK direction, the peeling tape PT takes a pressing posture. Then, the peeling means 20 drives the linear motor 21 and the rotation motor 24A, moves the moving plate 22 to the left, rotates the driving roller 24, and as shown by a two-dot chain line in FIG. While maintaining the pressing posture of the peeling tape PT, the adherend WK and the peeling tape PT are relatively moved so that the adhesive sheet AS is covered from the peeling leading end ASF to the peeling trailing end ASR. Peel from the body WK. In this way, the adhesive sheet AS can be peeled off from the adherend WK while maintaining the pressing posture, so that the adhesive sheet AS can be peeled off while pressing the adherend WK against the support surface 42A. It is possible to prevent stress from being pulled by the adhesive sheet AS to be peeled off and the adherend WK from dropping from the support table 42.
被着体ＷＫから接着シートＡＳ全体が剥離されると、使用者または図示しない搬送手段が、接着シートＡＳが剥離された被着体ＷＫを支持した後、被着体支持手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面４２Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を解除する。次いで、使用者または図示しない搬送手段が支持した被着体ＷＫを次工程に搬送する。 When the entire adhesive sheet AS is peeled off from the adherend WK, the user or a conveying means (not shown) supports the adherend WK from which the adhesive sheet AS has been peeled, and then the adherend support means 40 is not shown in pressure reduction. The driving of the means is stopped, and the suction and holding of the adherend WK on the support surface 42A is released. Next, the adherend WK supported by the user or a transport means (not shown) is transported to the next process.
一方、被着体ＷＫから接着シートＡＳ全体が剥離されると、剥離手段２０がリニアモータ２１および回動モータ２４Ａの駆動を停止した後、接着シート保持手段１０が回動モータ１５Ａを駆動し、回収ローラ１５で剥離用テープＰＴを巻き取り、剥離用テープＰＴの弛み（折返し部ＰＴ１）を解消する。その後、接着シート保持手段１０および剥離手段２０が回動モータ１１Ａ、２４Ａを駆動し、支持ローラ１１で剥離用テープＰＴを巻き取り、図１（Ｃ）中実線で示すように、接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲが駆動ローラ２４とピンチローラ２５とで挟み込まれる位置に到達すると、接着シート保持手段１０および剥離手段２０が回動モータ１１Ａ、２４Ａの駆動を停止する。次に、剥離後端部取付手段３０がリニアモータ３１Ａを駆動し、図１（Ｃ）中実線で示すように、押圧部材３１Ｃを左方へ移動させて受け部材３１Ｄとで接着シートＡＳ、先剥離接着シートＡＳＢおよび剥離用テープＰＴを挟み込んだ後、図示しない超音波印加手段を駆動し、当該接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲを先剥離接着シートＡＳＢに溶着にて取り付ける。そして、先剥離接着シートＡＳＢへの接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲの取り付けが完了すると、剥離後端部取付手段３０が図示しない超音波印加手段の駆動を停止するとともに、リニアモータ３１Ａを駆動し押圧部材３１Ｃを初期位置に復帰させる。 On the other hand, when the entire adhesive sheet AS is peeled off from the adherend WK, after the peeling means 20 stops driving the linear motor 21 and the rotation motor 24A, the adhesive sheet holding means 10 drives the rotation motor 15A, The stripping tape PT is wound up by the collection roller 15 to eliminate the slack (the folded portion PT1) of the stripping tape PT. Thereafter, the adhesive sheet holding means 10 and the peeling means 20 drive the rotation motors 11A and 24A to wind up the peeling tape PT with the support roller 11, and as shown by the solid line in FIG. When the peeled rear end ASR reaches a position where it is sandwiched between the driving roller 24 and the pinch roller 25, the adhesive sheet holding means 10 and the peeling means 20 stop driving the rotation motors 11A and 24A. Next, the peeling rear end attaching means 30 drives the linear motor 31A, and as shown by a solid line in FIG. 1C, the pressing member 31C is moved to the left, and the adhesive sheet AS and the tip are moved with the receiving member 31D. After sandwiching the peeling adhesive sheet ASB and the peeling tape PT, an ultrasonic application means (not shown) is driven to attach the peeling rear end ASR of the adhesive sheet AS to the first peeling adhesive sheet ASB by welding. Then, when the attachment of the peeled rear end portion ASR of the adhesive sheet AS to the first peelable adhesive sheet ASB is completed, the peeled rear end portion attaching means 30 stops driving the ultrasonic wave applying means (not shown) and drives the linear motor 31A. The pressing member 31C is returned to the initial position.
次いで、被着体支持手段４０がリニアモータ４１を駆動し、支持テーブル４２を初期位置に復帰させる共に、剥離手段２０がリニアモータ２１および回動モータ２４Ａを駆動し、移動プレート２２を初期位置に復帰させた後、接着シート保持手段１０および剥離手段２０が回動モータ１１Ａ、１５Ａ、２４Ａを駆動し、剥離用テープＰＴを回収ローラ１５で巻き取る。その後、図１（Ｃ）中二点鎖線で示すように、未使用の剥離用テープＰＴ部分が押圧部材１４の上方に位置すると、接着シート保持手段１０および剥離手段２０が回動モータ１１Ａ、１５Ａ、２４Ａの駆動を停止する。これにより、今回の剥離動作によって被着体ＷＫから剥離された接着シートＡＳが先剥離接着シートＡＳＢとなって剥離用テープＰＴに支持された状態となり、以降上記同様の剥離動作が繰り返される。 Next, the adherend support means 40 drives the linear motor 41 to return the support table 42 to the initial position, and the peeling means 20 drives the linear motor 21 and the rotation motor 24A to bring the movable plate 22 to the initial position. After returning, the adhesive sheet holding means 10 and the peeling means 20 drive the rotation motors 11 </ b> A, 15 </ b> A, and 24 </ b> A and take up the peeling tape PT with the collection roller 15. Thereafter, as shown by a two-dot chain line in FIG. 1 (C), when the unused peeling tape PT is positioned above the pressing member 14, the adhesive sheet holding means 10 and the peeling means 20 are rotated by the rotation motors 11A and 15A. , 24A is stopped. As a result, the adhesive sheet AS peeled from the adherend WK by the current peeling operation becomes the first peeling adhesive sheet ASB and is supported by the peeling tape PT, and thereafter the same peeling operation is repeated.
以上のようなシート剥離装置ＥＡによれば、被着体ＷＫから剥離された後の接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲを先剥離接着シートＡＳＢに溶着にて取り付けるので、接着シートＡＳが貼付された被着体ＷＫにダメージを与えることなく、剥離した接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲを先に剥離した接着シートＡＳＢに取り付けることができる。 According to the sheet peeling apparatus EA as described above, the peeled rear end portion ASR of the adhesive sheet AS after being peeled from the adherend WK is attached to the first peelable adhesive sheet ASB by welding, so that the adhesive sheet AS is attached. Without damaging the adherend WK, the peeled rear end ASR of the peeled adhesive sheet AS can be attached to the peeled adhesive sheet ASB first.
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、接着シート保持手段は、被着体に貼付された接着シートの剥離先端部を接着シート保持部材で保持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。 The means and steps in the present invention are not limited in any way as long as they can perform the operations, functions, or steps described with respect to those means and steps. The process is not limited at all. For example, if the adhesive sheet holding means can hold the peeling tip of the adhesive sheet affixed to the adherend with the adhesive sheet holding member, the adhesive sheet holding means is within the technical scope in light of the technical common sense at the beginning of the application. There is no limitation on (if any other means and steps are the same).
例えば、接着シート保持手段１０は、支持ローラ１１やガイドローラ１２等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で剥離用テープＰＴを支持したり案内したりしてもよいし、剥離用テープＰＴを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、剥離用テープＰＴを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、剥離用テープＰＴとして感圧接着性の接着テープが採用されてもよいし、感熱接着性の接着テープが採用されてもよく、剥離用テープＰＴとして感圧接着性の接着テープが採用された場合、加熱手段１４Ａは、あってもよいし、なくてもよい。
接着シート保持手段１０は、接着シート保持部材として、例えば、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等を採用し、接着シートＡＳの剥離先端部ＡＳＦを保持してもよい。
For example, the adhesive sheet holding means 10 may support or guide the peeling tape PT with a plate-like member, a shaft member or the like instead of each roller such as the support roller 11 and the guide roller 12 The tape PT may be supported, for example, in a fanfold fold without winding, or may be collected, for example, in a fanfold fold, shredded with a shredder or the like without winding the peeling tape PT. A pressure-sensitive adhesive adhesive tape may be adopted as the peeling tape PT, or a heat-sensitive adhesive adhesive tape may be adopted, and a pressure-sensitive adhesive adhesive tape is adopted as the peeling tape PT In this case, the heating means 14A may or may not be provided.
The adhesive sheet holding unit 10 is, for example, a holding unit such as a mechanical chuck or a chuck cylinder, Coulomb force, an adhesive (adhesive sheet, adhesive tape), an adhesive (adhesive sheet, adhesive tape), magnetic force, as an adhesive sheet holding member. Bernoulli adsorption, suction adsorption, driving equipment, etc. may be employed to hold the peeling tip ASF of the adhesive sheet AS.
剥離手段２０は、剥離用テープＰＴを移動させることなくまたは移動させつつ、被着体ＷＫを移動させて当該被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離してもよいし、ガイドローラ２３の代わりに板状部材やシャフト部材等で剥離用テープＰＴを案内してもよい。 The peeling means 20 may peel the adhesive sheet AS from the adherend WK by moving the adherend WK without moving or moving the peeling tape PT, or instead of the guide roller 23. The peeling tape PT may be guided by a plate member, a shaft member or the like.
剥離後端部取付手段３０は、溶着手段３１に代えて、図２（Ａ）に示すように、被着体ＷＫから剥離された後の接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲを先剥離接着シートＡＳＢにステープラＳＰにて取り付けるステープラ取付手段３２を備えていてもよい。
このようなステープラ取付手段３２は、受け部材３２Ｂとで接着シートＡＳ等を挟み込み、ステープラＳＰを取り付けるステープラ取付機器３２Ａを備え、前記実施形態において、剥離後端部取付手段３０がリニアモータ３１Ａを駆動するタイミングと同じタイミングで、ステープラ取付機器３２Ａを駆動し、ステープラＳＰを打ち付けて接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲを先剥離接着シートＡＳＢに取り付ける。
As shown in FIG. 2 (A), the peeling rear end portion attaching means 30 is a front peeling adhesive sheet in place of the welding means 31 after peeling the peeling rear end portion ASR of the adhesive sheet AS after peeling from the adherend WK. A stapler attaching means 32 attached to the ASB with the stapler SP may be provided.
Such a stapler attachment means 32 includes a stapler attachment device 32A for holding the adhesive sheet AS and the like with the receiving member 32B and attaches the stapler SP, and in the embodiment, the peeling rear end attachment means 30 drives the linear motor 31A. At the same timing, the stapler attaching device 32A is driven, the stapler SP is driven, and the peeled rear end portion ASR of the adhesive sheet AS is attached to the pre-peeled adhesive sheet ASB.
剥離後端部取付手段３０は、溶着手段３１に代えて、図２（Ｂ）に示すように、被着体ＷＫから剥離された後の接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲと、先剥離接着シートＡＳＢとの少なくとも一方に、当該接着シートＡＳと当該先剥離接着シートＡＳＢとを接着する接着部材としての両面接着シートＢＡを取り付ける接着部材取付手段３３を備えていてもよい。
このような接着部材取付手段３３は、両面接着シートＢＡを供給する供給手段３３Ａと、駆動機器であって押圧手段としての直動モータ３３Ｂと、その出力軸３３Ｃに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって供給手段３３Ａから供給された両面接着シートＢＡを吸着保持が可能な保持部材３３Ｄと、保持部材３３Ｄとで接着シートＡＳ等を挟み込む受け部材３３Ｅと、ガイドローラ２３とで接着シートＡＳ等を圧着する受けローラ３３Ｆとを備えている。なお、保持部材３３Ｄが両面接着シートＢＡを保持する面には、両面接着シートＢＡが接着しない不接着処理が施されている。なお、供給手段３３Ａとしては、例えば特開２０１６−１１７５２０号公報や、特開２０１１−１１８９０号公報等で開示された公知のシート供給装置が例示できる。
そして、前記実施形態と同様にして、被着体ＷＫから接着シートＡＳ全体が剥離され、剥離用テープＰＴの弛みを解消すると、剥離後端部取付手段３０が供給手段３３Ａおよび図示しない減圧手段を駆動し、図２（Ｂ）［Ｂ１］中実線で示すように、両面接着シートＢＡを供給手段３３Ａから供給し、当該両面接着シートＢＡを保持部材３３Ｄで吸着保持する。次いで、接着シート保持手段１０および剥離手段２０が回動モータ１１Ａ、１５Ａ、２４Ａを駆動し、回動モータ２４Ａとピンチローラ２５との挟み込みから接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲを開放し、図２（Ｂ）［Ｂ１］中実線で示すように、剥離後端部ＡＳＲを先剥離接着シートＡＳＢから離間させる。この際、剥離後端部ＡＳＲを図示しない保持手段で保持し、当該保持手段を図示しない駆動機器で移動させ、剥離後端部ＡＳＲを強制的に先剥離接着シートＡＳＢから離間させてもよい。その後、剥離後端部取付手段３０が直動モータ３３Ｂを駆動し、図２（Ｂ）［Ｂ１］中二点鎖線で示すように、両面接着シートＢＡを先剥離接着シートＡＳＢに押圧して貼付した後、図示しない減圧手段の駆動を停止して保持部材３３Ｄを初期位置に復帰させる。次に、接着シート保持手段１０および剥離手段２０が回動モータ１１Ａ、１５Ａ、２４Ａを駆動し、支持ローラ１１で剥離用テープＰＴを巻き取り、図２（Ｂ）［Ｂ２］に示すように、ガイドローラ２３と受けローラ３３Ｆとで両面接着シートＢＡを介して接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲと先剥離接着シートＡＳＢとを圧着する。剥離後端部ＡＳＲと先剥離接着シートＡＳＢとの圧着が完了すると、前記実施形態と同様にして、押圧部材１４の上方に未使用の剥離用テープＰＴ部分を配置する。
なお、接着部材取付手段３３は、接着部材としての粘着剤、糊またはホットメルト等の液状、ジェル状または半個形状の接着剤を塗布する接着部材塗布手段としてもよいし、先剥離接着シートＡＳＢから離間した剥離後端部ＡＳＲに接着部材を貼付したり塗布したりしてもよいし、剥離後端部ＡＳＲが離間した先剥離接着シートＡＳＢと、先剥離接着シートＡＳＢから離間した剥離後端部ＡＳＲとの両方に接着部材を貼付したり塗布したりしてもよいし、図２（Ｃ）に示すように、接着部材としての取付用接着シートＡＳ１を剥離後端部ＡＳＲと先剥離接着シートＡＳＢとの両方に貼付してもよい。
Peeling back end attachment means 30 is replaced with welding means 31, and as shown in FIG. 2 (B), peeling back end ASR of adhesive sheet AS after peeling from adherend WK, and first peeling adhesion The adhesive member attachment means 33 may be provided with a double-sided adhesive sheet BA as an adhesive member for adhering the adhesive sheet AS and the first-release adhesive sheet ASB to at least one of the sheet ASB.
Such adhesive member attachment means 33 is supported by a supply means 33A for supplying a double-sided adhesive sheet BA, a drive device, a linear motion motor 33B as pressing means, and an output shaft 33C thereof, and a pressure reducing pump or vacuum ejector A holding member 33D capable of adsorbing and holding the double-sided adhesive sheet BA supplied from the supply means 33A by decompression means (not shown), a receiving member 33E for holding the adhesive sheet AS etc. by the holding member 33D, and a guide roller 23 And a receiving roller 33F for pressing the adhesive sheet AS or the like. In addition, the non-adhesion process which the double-sided adhesive sheet BA does not adhere is performed on the surface where the holding member 33D holds the double-sided adhesive sheet BA. Examples of the supply means 33A include known sheet supply apparatuses disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-117520, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2011-11890, and the like.
Then, the entire adhesive sheet AS is peeled from the adherend WK and the slack of the peeling tape PT is eliminated in the same manner as in the above embodiment, and the peeling rear end portion attaching means 30 serves as the supply means 33A and the decompression means not shown. As shown by a solid line in FIG. 2B [B1], the double-sided adhesive sheet BA is supplied from the supply means 33A, and the double-sided adhesive sheet BA is held by suction by the holding member 33D. Then, the adhesive sheet holding means 10 and the peeling means 20 drive the rotary motors 11A, 15A, 24A to release the peeling rear end portion ASR of the adhesive sheet AS from the pinching of the rotary motor 24A and the pinch roller 25 2 (B) [B1] As shown by the solid line, the peeled rear end portion ASR is separated from the pre-peeled adhesive sheet ASB. At this time, the peeling rear end portion ASR may be held by holding means (not shown), and the holding means may be moved by a driving device (not shown) to forcibly separate the peeling rear end portion ASR from the first peeling adhesive sheet ASB. After that, the peeling rear end attachment means 30 drives the linear motion motor 33B, and as shown by the two-dot chain line in FIG. 2 (B) [B1], the double-sided adhesive sheet BA is pressed against the front peeling adhesive sheet ASB After that, the driving of the decompression means (not shown) is stopped, and the holding member 33D is returned to the initial position. Next, the adhesive sheet holding means 10 and the peeling means 20 drive the rotation motors 11A, 15A, 24A, and the support roller 11 winds up the peeling tape PT, as shown in FIG. 2 (B) [B2]. The guide roller 23 and the receiving roller 33F press-bond the peeled rear end portion ASR of the adhesive sheet AS and the pre-peeled adhesive sheet ASB through the double-sided adhesive sheet BA. When the pressure bonding between the peeling rear end portion ASR and the first peeling adhesive sheet ASB is completed, an unused peeling tape PT portion is disposed above the pressing member 14 in the same manner as in the embodiment.
The adhesive member attachment means 33 may be an adhesive member application means for applying a pressure-sensitive adhesive as an adhesive member, a liquid such as glue or hot melt, or a gel-like or semi-individual adhesive, or the front peeling adhesive sheet ASB The adhesive member may be stuck or applied to the peeling rear end ASR separated from the sheet, or the front peeling adhesive sheet ASB with the peeling rear end ASR separated and the peeling rear end with the front peeling adhesive sheet ASB apart An adhesive member may be stuck or applied to both of the part ASR and the adhesive sheet AS1 for attachment as an adhesive member as shown in FIG. 2 (C). It may be attached to both of the sheet ASB.
剥離後端部取付手段３０は、溶着手段３１としてコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段や、レーザ光線を照射可能なレーザ照射手段等を採用してもよく、接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲを先剥離接着シートＡＳＢに溶着可能なものであれば何を採用してもよいし、溶着手段３１で剥離後端部ＡＳＲを先剥離接着シートＡＳＢに取り付ける際、１箇所または複数個所で溶着してもよいし、ステープラ取付手段３２で剥離後端部ＡＳＲを先剥離接着シートＡＳＢに取り付ける際、１箇所または複数個所にステープラＳＰを打ち付けてもよいし、接着部材取付手段３３で剥離後端部ＡＳＲを先剥離接着シートＡＳＢに取り付ける際、１箇所または複数個所に接着部材を貼付してもよい。 The post-peeling end mounting means 30 may employ a heating means such as a coil heater or a heat pipe heating side, a laser irradiation means capable of irradiating a laser beam, or the like as the welding means 31, and after the adhesive sheet AS is peeled off. Any material can be used as long as the end ASR can be welded to the pre-peeling adhesive sheet ASB, and when the post-peeling end ASR is attached to the pre-peeling adhesive sheet ASB by the welding means 31, one or more places May be welded, or when attaching the peeled rear end ASR to the pre-peeling adhesive sheet ASB with the stapler attaching means 32, the stapler SP may be struck at one place or a plurality of places, or peeled off with the adhesive member attaching means 33 When attaching the rear end portion ASR to the pre-peeling adhesive sheet ASB, an adhesive member may be attached to one place or a plurality of places.
被着体支持手段４０は、保持手段がなくてもよいし、本発明のシート剥離装置ＥＡを構成する部材として採用してもよい。 The adherend support means 40 may not have a holding means, and may be employed as a member constituting the sheet peeling apparatus EA of the present invention.
シート剥離装置ＥＡは、初回の剥離によって被着体ＷＫから剥離する接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲを、接着シート保持手段１０で剥離用テープＰＴに貼付してもよいし、剥離後端部取付手段３０で剥離用テープＰＴに取り付けてもよい。 The sheet peeling apparatus EA may attach the peeled rear end portion ASR of the adhesive sheet AS peeled off from the adherend WK by the first peeling to the peeling tape PT by the adhesive sheet holding means 10, or the peeled rear end portion. The attaching means 30 may attach to the peeling tape PT.
本発明における接着シートＡＳ、取付用接着シートＡＳ１、両面接着シートＢＡ、剥離用テープＰＴおよび被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、取付用接着シートＡＳ１、両面接着シートＢＡまたは剥離用テープＰＴは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性のものが採用された場合は、当該接着シートＡＳ、取付用接着シートＡＳ１、両面接着シートＢＡまたは剥離用テープＰＴを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳ、取付用接着シートＡＳ１または剥離用テープＰＴは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートＢＡを含む両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。 The material, type, shape, and the like of the adhesive sheet AS, the mounting adhesive sheet AS1, the double-sided adhesive sheet BA, the peeling tape PT, and the adherend WK in the present invention are not particularly limited. For example, the adhesive sheet AS, the mounting adhesive sheet AS1, the double-sided adhesive sheet BA, or the peeling tape PT may be circular, elliptical, polygonal such as a triangle or quadrangle, and other shapes, or pressure sensitive adhesiveness. Adhesive forms such as heat-sensitive adhesive properties may be used. When a heat-sensitive adhesive material is employed, the adhesive sheet AS, the mounting adhesive sheet AS1, the double-sided adhesive sheet BA, or the peeling tape PT is heated. Bonding may be performed by an appropriate method such as providing an appropriate coil heater or a heating means such as a heating pipe heating side. Such an adhesive sheet AS, mounting adhesive sheet AS1 or peeling tape PT is, for example, a single layer having only an adhesive layer, one having an intermediate layer between the substrate and the adhesive layer, a base 3 layers or more such as having a cover layer on the upper surface of the material, and further, it may be a so-called double-sided adhesive sheet capable of peeling the substrate from the adhesive layer, including double-sided adhesive sheet BA The double-sided adhesive sheet may have a single layer or a multilayer intermediate layer, or may be a single layer or a multilayer without an intermediate layer. Examples of the adherend WK include foods, resin containers, semiconductor wafers such as silicon semiconductor wafers and compound semiconductor wafers, circuit board, information recording substrates such as optical disks, glass plates, steel plates, ceramics, wood plates, or resins. It may be a simple substance, or may be a composite formed by two or more of them, and any form of member or article can be targeted. Note that the adhesive sheet AS can be read in a functional or application manner, and can be any information such as an information description label, a decorative label, a protective sheet, a dicing tape, a die attach film, a die bonding tape, and a recording layer forming resin sheet. Sheets, films, tapes, etc. may be used.
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよい。
The drive device in the above embodiment includes a rotary motor, a linear motion motor, a linear motor, a single-axis robot, an electric machine such as an articulated robot having joints of two or three or more axes, an air cylinder, a hydraulic cylinder, a rodless An actuator such as a cylinder and a rotary cylinder can be employed, and a combination of them directly or indirectly can also be employed.
In the embodiment, in the case where a rotating member such as a roller is employed, a drive device may be provided to rotate the rotating member, or the surface of the rotating member or the rotating member itself may be deformed by rubber or resin. Alternatively, the surface of the rotating member or the rotating member itself may not be deformed, and instead of the roller, another member such as a rotating or non-rotating shaft or blade may be adopted. When a pressing member such as a pressing roller or a pressing head or a pressing member is used to press the object to be pressed, a roller, a round bar, or a blade may be used instead of or in combination with those exemplified above. Alternatively, a member such as a material, rubber, resin, or sponge may be employed, or a configuration in which pressure is applied by blowing a gas such as the air or gas may be employed. If it is used to support or hold a supported member such as a supporting (holding) means or a supporting (holding) member, a mechanical chuck may be used. And supporting members by holding means such as chuck cylinder etc., Coulomb force, adhesive (adhesive sheet, adhesive tape), adhesive (adhesive sheet, adhesive tape), magnetic force, Bernoulli adsorption, suction adsorption, drive equipment etc ) May be adopted.
ＥＡ…シート剥離装置
１０…接着シート保持手段
２０…剥離手段
３０…剥離後端部取付手段
３１…溶着手段
３２…ステープラ取付手段
３３…接着部材取付手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳＢ…先剥離接着シート
ＡＳＦ…剥離先端部
ＡＳＲ…剥離後端部
ＡＳ１…取付用接着シート（接着部材）
ＢＡ…両面接着シート（接着部材）
ＰＴ…剥離用テープ（接着シート保持部材）
ＳＰ…ステープラ
ＷＫ…被着体
EA: sheet peeling apparatus 10: adhesive sheet holding means 20: peeling means 30: peeling rear end portion attaching means 31: welding means 32: stapler attaching means 33: adhesive member attaching means AS: adhesive sheet ASB: first peeling adhesive sheet ASF ... Peeling tip ASR ... Peeling back edge AS1 ... Mounting adhesive sheet (adhesive member)
BA: Double-sided adhesive sheet (adhesive member)
PT ... peeling tape (adhesive sheet holding member)
SP ... stapler WK ... adherend
Claims (6)
前記被着体と接着シート保持部材とを相対移動させ、前記接着シートの剥離先端部から剥離後端部に向けて当該接着シートを前記被着体から剥離する剥離手段と、
前記剥離手段で前記被着体から剥離した前記接着シートの剥離後端部を、当該剥離手段で先に剥離して前記接着シート保持部材で保持されている先剥離接着シートに取り付ける剥離後端部取付手段とを備え、
前記剥離後端部取付手段は、前記被着体から剥離された後の接着シートの前記剥離後端部を前記先剥離接着シートに溶着にて取り付ける溶着手段を備えていることを特徴とするシート剥離装置。 An adhesive sheet holding means for holding the peeling tip of the adhesive sheet affixed to the adherend with an adhesive sheet holding member;
A peeling means for relatively moving the adherend and the adhesive sheet holding member, and peeling the adhesive sheet from the adherend from the peeling front end portion of the adhesive sheet toward the rear end portion;
Peeling back end part of the peeling rear end portion of the adhesive sheet peeled from the adherend by the peeling means is first peeled by the peeling means and attached to the front peeling adhesive sheet held by the adhesive sheet holding member And mounting means,
The peeling rear end portion attaching means includes welding means for attaching the peeling rear end portion of the adhesive sheet after peeling from the adherend to the front peeling adhesive sheet by welding. Peeling device.
前記被着体と接着シート保持部材とを相対移動させ、前記接着シートの剥離先端部から剥離後端部に向けて当該接着シートを前記被着体から剥離する剥離手段と、
前記剥離手段で前記被着体から剥離した前記接着シートの剥離後端部を、当該剥離手段で先に剥離して前記接着シート保持部材で保持されている先剥離接着シートに取り付ける剥離後端部取付手段とを備え、
前記剥離後端部取付手段は、前記被着体から剥離された後の接着シートの前記剥離後端部を前記先剥離接着シートにステープラにて取り付けるステープラ取付手段を備えていることを特徴とするシート剥離装置。 An adhesive sheet holding means for holding the peeling tip of the adhesive sheet affixed to the adherend with an adhesive sheet holding member;
A peeling means for relatively moving the adherend and the adhesive sheet holding member, and peeling the adhesive sheet from the adherend from the peeling front end portion of the adhesive sheet toward the rear end portion;
Peeling back end part of the peeling rear end portion of the adhesive sheet peeled from the adherend by the peeling means is first peeled by the peeling means and attached to the front peeling adhesive sheet held by the adhesive sheet holding member And mounting means,
The peeling rear end portion attaching means includes a stapler attaching means for attaching the peeling rear end portion of the adhesive sheet peeled from the adherend to the front peel adhesive sheet by a stapler. Sheet peeling device.
前記被着体と接着シート保持部材とを相対移動させ、前記接着シートの剥離先端部から剥離後端部に向けて当該接着シートを前記被着体から剥離する剥離手段と、
前記剥離手段で前記被着体から剥離した前記接着シートの剥離後端部を、当該剥離手段で先に剥離して前記接着シート保持部材で保持されている先剥離接着シートに取り付ける剥離後端部取付手段とを備え、
前記剥離後端部取付手段は、前記被着体から剥離された後の前記接着シートの剥離後端部と、前記先剥離接着シートとの少なくとも一方に、当該接着シートと当該先剥離接着シートとを接着する接着部材を取り付ける接着部材取付手段を備えていることを特徴とするシート剥離装置。 An adhesive sheet holding means for holding the peeling tip of the adhesive sheet affixed to the adherend with an adhesive sheet holding member;
A peeling means for relatively moving the adherend and the adhesive sheet holding member, and peeling the adhesive sheet from the adherend from the peeling front end portion of the adhesive sheet toward the rear end portion;
Peeling back end part of the peeling rear end portion of the adhesive sheet peeled from the adherend by the peeling means is first peeled by the peeling means and attached to the front peeling adhesive sheet held by the adhesive sheet holding member And mounting means,
The peeling rear end portion attachment means is provided on at least one of the peeling rear end portion of the adhesive sheet after peeling from the adherend and the front peeling adhesive sheet. A sheet peeling apparatus comprising: an adhesive member attaching means for attaching an adhesive member for adhering.
前記被着体と接着シート保持部材とを相対移動させ、前記接着シートの剥離先端部から剥離後端部に向けて当該接着シートを前記被着体から剥離する剥離工程と、
前記剥離工程で前記被着体から剥離した前記接着シートの剥離後端部を、当該剥離工程の１つ前の剥離工程で先に剥離して前記接着シート保持部材で保持されている先剥離接着シートに取り付ける剥離後端部取付工程とを備え、
前記剥離後端部取付工程は、前記被着体から剥離された後の接着シートの前記剥離後端部を前記先剥離接着シートに溶着にて取り付ける溶着工程を実施することを特徴とするシート剥離方法。 An adhesive sheet holding step of holding the peeling tip of the adhesive sheet affixed to the adherend with an adhesive sheet holding member;
Relative movement of the adherend and the adhesive sheet holding member, a peeling step of peeling the adhesive sheet from the adherend from the peeling leading edge of the adhesive sheet toward the peeling back edge,
The exfoliation adhesion which is exfoliated first in the exfoliation process just before the exfoliation process and exfoliated from the adhesion sheet exfoliated from the adherend in the exfoliation process and held by the adhesive sheet holding member And a peeling rear end attachment process for attaching to a sheet,
The peeling rear end portion attaching step is a sheet peeling characterized in that a welding step is performed in which the peeling rear end portion of the adhesive sheet after peeling from the adherend is attached to the front peel adhesive sheet by welding. Method.
前記被着体と接着シート保持部材とを相対移動させ、前記接着シートの剥離先端部から剥離後端部に向けて当該接着シートを前記被着体から剥離する剥離工程と、
前記剥離工程で前記被着体から剥離した前記接着シートの剥離後端部を、当該剥離工程の１つ前の剥離工程で先に剥離して前記接着シート保持部材で保持されている先剥離接着シートに取り付ける剥離後端部取付工程とを備え、
前記剥離後端部取付工程は、前記被着体から剥離された後の接着シートの前記剥離後端部を前記先剥離接着シートにステープラにて取り付けるステープラ取付工程を実施することを特徴とするシート剥離方法。 An adhesive sheet holding step of holding the peeling tip of the adhesive sheet affixed to the adherend with an adhesive sheet holding member;
Relative movement of the adherend and the adhesive sheet holding member, a peeling step of peeling the adhesive sheet from the adherend from the peeling leading edge of the adhesive sheet toward the peeling back edge,
The exfoliation adhesion which is exfoliated first in the exfoliation process just before the exfoliation process and exfoliated from the adhesion sheet exfoliated from the adherend in the exfoliation process and held by the adhesive sheet holding member And a peeling rear end attachment process for attaching to a sheet,
The peeling rear end portion attaching step is a sheet carrying out a stapler attaching step of attaching the peeling rear end portion of the adhesive sheet after peeling from the adherend to the front peel adhesive sheet by a stapler. Peeling method.
前記被着体と接着シート保持部材とを相対移動させ、前記接着シートの剥離先端部から剥離後端部に向けて当該接着シートを前記被着体から剥離する剥離工程と、
前記剥離工程で前記被着体から剥離した前記接着シートの剥離後端部を、当該剥離工程の１つ前の剥離工程で先に剥離して前記接着シート保持部材で保持されている先剥離接着シートに取り付ける剥離後端部取付工程とを備え、
前記剥離後端部取付工程は、前記被着体から剥離された後の前記接着シートの剥離後端部と、前記先剥離接着シートとの少なくとも一方に、当該接着シートと当該先剥離接着シートとを接着する接着部材を取り付ける接着部材取付工程を実施することを特徴とするシート剥離方法。 An adhesive sheet holding step of holding the peeling tip of the adhesive sheet affixed to the adherend with an adhesive sheet holding member;
Relative movement of the adherend and the adhesive sheet holding member, a peeling step of peeling the adhesive sheet from the adherend from the peeling leading edge of the adhesive sheet toward the peeling back edge,
The exfoliation adhesion which is exfoliated first in the exfoliation process just before the exfoliation process and exfoliated from the adhesion sheet exfoliated from the adherend in the exfoliation process and held by the adhesive sheet holding member And a peeling rear end attachment process for attaching to a sheet,
In the peeling rear end portion attaching step, at least one of the peeling rear end portion of the adhesive sheet after peeling from the adherend and the front peeling adhesive sheet, the adhesive sheet and the front peeling adhesive sheet The sheet peeling method characterized by implementing the adhesive member attachment process which attaches the adhesive member which adhere | attaches.
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