JP2019128278A - 走査型厚さ測定装置及び方法 - Google Patents

Abstract

【課題】走査型厚さ測定装置において、分解能を向上しつつ、測定精度を向上させる。【解決手段】実施形態の走査型厚さ測定装置は、測定対象物に放射線ビームを照射する放射線源と、測定対象物を介して放射線源に対向配置され、測定対象物を透過した放射線量を検出する複数の放射線検出器と、複数の放射線検出器が検出した放射線量に基づいて、走査測定時には複数の放射線検出器のそれぞれが検出した放射線量に基づいて測定対象物の厚さをそれぞれ算出し、所定の定点位置測定時には複数の放射線検出器の検出した放射線量の平均値に基づいて測定対象物の厚さを算出する算出部と、放射線源及び複数の放射線検出器を支持し、所定の走査方向に移動可能な筐体と、を備える。【選択図】図１

Description

本発明の実施形態は、走査型厚さ測定装置及び方法に関する。

従来、鋼板の圧延工程では、圧延された鋼板に放射線を照射し、鋼板を透過後の放射線の減衰量から厚さを測定する厚さ測定装置が使用されている（例えば、特許文献１参照）。
従来の厚さ測定装置においては、測定位置が固定の固定型厚さ測定装置と、測定位置を操作する走査型厚さ測定装置が知られている。

これらのうち、走査型厚さ測定装置としての走査型Ｘ線厚さ測定装置は、Ｘ線発生器からＸ線ビームを照射した状態で、検出部台車を板幅方向に駆動させる。測定対象となる鋼板とＸ線ビームが重なる位置になるまで検出部台車が駆動すると、Ｘ線ビームが鋼板の端部分（板エッジ）を透過し検出器の検出線量が低下するため、板エッジ（板端面）を検出することができる。

そして、板エッジを検出した後は、鋼板を透過後の放射線の減衰量から厚さを測定することとなっていた。

特開２００７−１９６２６１号公報 特開２０１７−１０６８３７号公報 特開２００２−２２８４３１号公報 特開平６−２１３６２７号公報

ところで、検出器に入射するＸ線ビーム量が多い方が実効的なノイズは少なくなるため、測定誤差を小さくできる。
しかし、走査型Ｘ線厚さ測定装置は、板幅方向の測定範囲を限定し分解能を向上するため、検出器側にスリットを取り付け入射ビームの幅を絞っていた。

従って、スリットを設けない場合と比較してＳＮ比が悪化し、分解能を上げようとすると、実効的にノイズが増大し、測定誤差が大きくなる虞があった。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、走査型Ｘ線厚さ測定装置において、分解能を向上しつつ、測定精度を向上させることが可能な走査型厚さ測定装置及び方法を提供することを目的としている。

実施形態の走査型厚さ測定装置は、測定対象物に放射線ビームを照射する放射線源と、測定対象物を介して放射線源に対向配置され、測定対象物を透過した放射線量を検出する複数の放射線検出器と、複数の放射線検出器が検出した放射線量に基づいて、走査測定時には複数の放射線検出器のそれぞれが検出した放射線量に基づいて測定対象物の厚さをそれぞれ算出し、所定の定点位置測定時には複数の放射線検出器の検出した放射線量の平均値に基づいて測定対象物の厚さを算出する算出部と、放射線源及び複数の放射線検出器を支持し、所定の走査方向に移動可能な筐体と、を備える。

図１は、実施形態の走査型厚さ測定装置の説明図である。 図２は、放射線検出器ユニットの説明図である。 図３は、走査型厚さ測定装置の動作説明図である。 図４は、第１実施形態の制御算出装置の処理フローチャートである。 図５は、第２実施形態の制御算出装置の処理フローチャートである。 図６は、第３実施形態の制御算出装置の処理フローチャートである。

次に図面を参照して好適な実施形態について説明する。
図１は、実施形態の走査型厚さ測定装置の説明図である。
走査型厚さ測定装置１０は、正面視Ｕ字形状であり図示しない駆動装置によって走査方向ＳＣに沿って移動可能に構成された筐体１１と、筐体１１の下部に収納され、測定対象物である鋼板１２に放射線ビームとしてＸ線ビーム１３を照射するＸ線源であるＸ線発生器１４と、鋼板１２を介してＸ線発生器１４と対向配置され、鋼板１２を透過したＸ線量を検出する複数（図１では、５本）の放射線検出器１５−１〜１５−５を備えた放射線検出器ユニット１６と、放射線検出器ユニット１６の放射線検出器１５−１〜１５−５から出力された放射線量検出信号に基づいて鋼板１２の所定箇所の厚さを算出するとともに、筐体１１の走査時の駆動制御を行う制御算出装置１７と、を備えている。

図２は、放射線検出器ユニットの説明図である。
図２（ａ）は、放射線検出器ユニット１６の平面図であり、図２（ｂ）は、放射線検出器ユニット１６の正面図である。

図２の例においては、放射線検出器ユニット１６は、５本の円筒形状を有する放射線検出器１５−１〜１５−５を備えている。
図２（ａ）に示すように、５本の放射線検出器１５−１〜１５−５は、平面視した場合に走査方向ＳＣに沿って千鳥足状に配置されている。

これは、各放射線検出器１５−１〜１５−５の測定位置Ｐのピッチを各放射線検出器１５−１〜１５−５を直線状に並べて配置する場合より詰めて、走査方向ＳＣにおける分解能を向上するためである。このような構成を採ることにより、例えば、走査方向ＳＣにおいて、分解能を約１ｍｍとして厚さを測定することが可能となる。

［１］第１実施形態
次に第１実施形態の動作を説明する。
図３は、厚さ測定装置の動作説明図である。
図４は、第１実施形態の制御算出装置の処理フローチャートである。

図３においては、鋼板１２の幅方向（短辺方向）の中心部の厚さを測定する場合を例として、放射線検出器の個数ｎ＝５の場合、すなわち、放射線検出器１５−１〜１５−５を備えている場合について説明する。
まず、制御算出装置１７は、Ｘ線発生器１４を制御してＸ線ビーム１３を発生させ、鋼板１２に照射させ、筐体１１を走査方向ＳＣに駆動しつつ、放射線検出器ユニット１６を構成している放射線検出器１５−１〜１５−５にＸ線検出を行わせる（ステップＳ１１）。

この場合において、制御算出装置１７においては、Ｘ線発生器１４と放射線検出器１５−１〜１５−５との間に鋼板１２が存在しない場合における入射したＸ線量に応じた放射線（Ｘ線）量検出信号ＤＳ１〜ＤＳ５が既に入力済み（キャリブレーション済）となっているものとする。
これにより放射線検出器１５−１〜１５−５は、入射したＸ線量に応じた放射線（Ｘ線）量検出信号ＤＳ１〜ＤＳ５を制御算出装置１７に出力する。

制御算出装置１７は、入力された放射線量検出信号ＤＳ１〜ＤＳ５に基づいて、各放射線検出器１５−１〜１５−５についてＸ線減衰量を算出し、予め記憶しておいたＸ線減衰量−鋼板厚さテーブルを参照して、鋼板１２の厚さ（いわゆる板厚）を計算する（ステップＳ１２）。
続いて制御算出装置１７は、現在の算出設定が所定の定点位置（例えば、鋼板１２の中心位置）の厚さを検出する定点検出であるか否かを判別する（ステップＳ１３）。

ステップＳ１３の判別において、制御算出装置１７は、現在の算出設定が定点検出である場合には（ステップＳ１３；Ｙｅｓ）、放射線量検出信号ＤＳ１〜ＤＳ５に基づいて算出した５つの板厚算出値の平均値を板厚として算出し（ステップＳ１４）、算出した板厚（平均値）を板厚データ、表示データあるいはプリントデータとして出力する板厚出力処理を行って（ステップＳ１５）、処理を終了する。

一方、ステップＳ１３の判別において、制御算出装置１７は、現在の算出設定が定点検出ではない場合には（ステップＳ１３；Ｎｏ）、放射線量検出信号ＤＳ１〜ＤＳ５に基づいて算出した５つの板厚算出値をそのまま板厚データ、表示データあるいはプリントデータとして出力する板厚出力処理を行って（ステップＳ１５）、処理を終了する。

以上の説明のように、第１実施形態によれば、走査型厚さ測定装置において、Ｘ線ビーム内に複数の放射線検出器を配置して測定を行っているので、分解能を向上しつつ、各放射線検出器に入射されるＸ線量をスリットなどにより制限する必要がなく、所定のＳＮ比を確保でき、測定精度を向上させることができる。

［２］第２実施形態
次に第２実施形態について説明する。
本第２実施形態が第１実施形態と異なる点は、定点測定を行い板厚算出値の平均値を算出する場合に、各放射線検出器の測定結果が異常であるか否かを判定し、異常と判定された放射線検出器の測定結果（板厚算出値）を除外して板厚算出値の平均値を求めることで、測定精度を向上している点である。

図５は、第２実施形態の制御算出装置の処理フローチャートである。
まず、制御算出装置１７は、Ｘ線発生器１４を制御してＸ線ビーム１３を発生させ、鋼板１２に照射させ、筐体１１を走査方向ＳＣに駆動しつつ、放射線検出器ユニット１６を構成している放射線検出器１５−１〜１５−５にＸ線検出を行わせる（ステップＳ２１）。

この場合において、制御算出装置１７においては、Ｘ線発生器１４と放射線検出器１５−１〜１５−５との間に鋼板１２が存在しない場合における入射したＸ線量に応じた放射線（Ｘ線）量検出信号ＤＳ１〜ＤＳ５が既に入力済み（キャリブレーション済）となっているものとする。
これにより放射線検出器１５−１〜１５−５は、入射したＸ線量に応じた放射線（Ｘ線）量検出信号ＤＳ１〜ＤＳ５を制御算出装置１７に出力する。

制御算出装置１７は、入力された放射線量検出信号ＤＳ１〜ＤＳ５に基づいて、各放射線検出器１５−１〜１５−５についてＸ線減衰量を算出し、予め記憶しておいたＸ線減衰量−鋼板厚さテーブルを参照して、鋼板１２の厚さ（いわゆる板厚）を計算する（ステップＳ２２）。

続いて制御算出装置１７は、現在の算出設定が所定の定点位置（例えば、鋼板１２の中心位置）の厚さを検出する定点検出であるか否かを判別する（ステップＳ２３）。

ステップＳ２３の判別において、制御算出装置１７は、現在の算出設定が定点検出である場合には（ステップＳ２３；Ｙｅｓ）、放射線検出器の異常検出に用いるカウンタｃの値を初期値である１とする（ステップＳ２４）。

図５において、理解の容易のため、放射線検出器１５−１を第１検出器、放射線検出器１５−２を第２検出器、放射線検出器１５−３を第３検出器、放射線検出器１５−４を第４検出器、放射線検出器１５−５を第５検出器と呼ぶものとし、放射線検出器の台数ｎ＝５であるものとする。

続いて制御算出装置１７は、第ｃ検出器（１回目においては、第１検出器である放射線検出器１５−１）の板厚検出結果以外の第２検出器〜第５検出器である放射線検出器１５−２〜放射線検出器１５−５の板厚検出結果の平均値を計算する（ステップＳ２５）。

次に制御算出装置１７は、第ｃ検出器（１回目においては、第１検出器である放射線検出器１５−１）に対応する板厚検出結果が他の（正常とみなされる）放射線検出器１５−２〜１５−５の板厚検出結果の平均値の±０．２％以内であるか否かを判別する（ステップＳ２６）。
この場合において、±０．２％の値は、Ｘ線発生器１４の正常なＸ線発生量の変動誤差を大きく超える値として設定されている。

ステップＳ２６の判別において、第ｃ検出器に対応する板厚検出結果が他の（正常とみなされる）放射線検出器の板厚検出結果の平均値の±０．２％以内である場合には（ステップＳ２６；Ｙｅｓ）、当該第ｃ検出器は正常であると判定できるので、処理をステップＳ２８に移行する。

ステップＳ２６の判別において、第ｃ検出器に対応する板厚検出結果が他の（正常とみなされる）放射線検出器の板厚検出結果の平均値の±０．２％を超える場合には（ステップＳ２６；Ｎｏ）、当該第ｃ検出器は異常であると判定する（ステップＳ２７）。

続いて制御算出装置１７は、カウンタｃの値に１を加え（ステップＳ２８）、カウンタｃの値が、放射線検出器の台数ｎ（本第２実施形態ではｎ＝５）を超えているか否かを判別する（ステップＳ２９）。

この場合には、ｃ＝２であり、ｃ＜ｎであるので（ステップＳ２９；Ｎｏ）、制御算出装置１７は、処理を再びステップＳ２５に移行し、今度は第２検出器である放射線検出器１５−２ついて同様の処理（ステップＳ２５〜ステップＳ２９）を行う。
さらに制御算出装置１７は、第３検出器（放射線検出器１５−３）〜第５検出器（放射線検出器１５−５）についても同様の処理（ステップＳ２５〜ステップＳ２９）を行う。

そして、第５検出器（＝第ｎ検出器）の処理のステップＳ２９の判別においては、ｃ＝６となるのでステップＳ２９の判別において、ｃ＞ｎとなり（ステップＳ２９；Ｙｅｓ）、制御算出装置１７は、処理をステップＳ３０に移行する。

そして、制御算出装置１７は、ステップＳ２７において、異常と判定した放射線検出器の板厚検出結果のみに基づいて板厚算出値の平均値を板厚として算出し（ステップＳ３０）、算出した板厚（平均値）を板厚データ、表示データあるいはプリントデータとして出力する板厚出力処理を行って（ステップＳ３１）、処理を終了する。

一方、ステップＳ２３の判別において、制御算出装置１７は、現在の算出設定が定点検出ではない場合には（ステップＳ２３；Ｎｏ）、放射線量検出信号ＤＳ１〜ＤＳ５に基づいて算出した５つの板厚算出値をそのまま板厚データ、表示データあるいはプリントデータとして出力する板厚出力処理を行って（ステップＳ３１）、処理を終了する。

以上の説明のように、第２実施形態によれば、走査型厚さ測定装置において、第１実施形態の効果に加えて、他の放射線検出器の検出結果と比較して、異常と判断できる放射線検出器の検出結果を定点測定に用いることはないので、より測定精度及び信頼性を向上することが可能となる。

［３］第３実施形態
次に第３実施形態について説明する。
本第３実施形態が上記各実施形態と異なる点は、測定対象物である鋼板の実効的に同一の検出対象位置を同一の放射線検出器あるいは異なる放射線を複数回測定した場合に、複数回の測定結果を平均することにより、より測定精度を高める点である。

図６は、第３実施形態の制御算出装置の処理フローチャートである。
この場合において、測定対象物である鋼板１２は、走査方向と交差する方向に搬送されており、制御算出装置１７には、予め鋼板１２の搬送速度が入力されており、制御算出装置１７は、入力された搬送速度に基づいて、鋼板１２上における放射線検出器１５−１〜１５−５の検出対象位置（鋼板１２を長方形状とみなした場合の短辺方向位置及び長辺方向位置）を算出して検出できるようにされているものとする。

まず、制御算出装置１７は、Ｘ線発生器１４を制御してＸ線ビーム１３を発生させ、鋼板１２に照射させ、筐体１１を走査方向ＳＣに駆動しつつ、放射線検出器ユニット１６を構成している放射線検出器１５−１〜１５−５にＸ線検出を行わせる（ステップＳ４１）。

この場合において、制御算出装置１７においては、Ｘ線発生器１４と放射線検出器１５−１〜１５−５との間に鋼板１２が存在しない場合における入射したＸ線量に応じた放射線（Ｘ線）量検出信号ＤＳ１〜ＤＳ５が既に入力済み（キャリブレーション済）となっているものとする。

これにより放射線検出器１５−１〜１５−５は、入射したＸ線量に応じた放射線（Ｘ線）量検出信号ＤＳ１〜ＤＳ５を制御算出装置１７に出力する。

制御算出装置１７は、入力された放射線量検出信号ＤＳ１〜ＤＳ５に基づいて、各放射線検出器１５−１〜１５−５についてＸ線減衰量を算出し、予め記憶しておいたＸ線減衰量−鋼板厚さテーブルを参照して、鋼板１２の厚さ（いわゆる板厚）を計算し、検出タイミング及び鋼板１２の搬送速度に基づいて鋼板１２上における放射線検出器１５−１〜１５−５のそれぞれの検出対象位置を算出して検出し、板厚と検出対象位置とを対応づけた板厚保持テーブルＴＢに保持する（ステップＳ４２）。

ここで、板厚保持テーブルＴＢは、例えば、制御算出装置１７が備える図示しないハードディスク、ＳＳＤ等の外部記憶装置上に構成される。
続いて制御算出装置１７は、現在の算出設定が所定の定点位置（例えば、鋼板１２の中心位置）の厚さを検出する定点検出であるか否かを判別する（ステップＳ４３）。

ステップＳ４３の判別において、制御算出装置１７は、現在の算出設定が定点検出である場合には（ステップＳ４３；Ｙｅｓ）、板厚保持テーブルＴＢを参照し、最も初めに板厚を検出した測定対象位置を抽出する（ステップＳ４４）。

次に制御算出装置１７は、放射線検出器を特定するためのカウンタｃの値を初期値である１とする（ステップＳ４５）。
図６においても、理解の容易のため、放射線検出器１５−１を第１検出器、放射線検出器１５−２を第２検出器、放射線検出器１５−３を第３検出器、放射線検出器１５−４を第４検出器、放射線検出器１５−５を第５検出器と呼ぶものとし、放射線検出器の台数ｎ＝５であるものとする。

続いて制御算出装置１７は、第ｃ検出器（１回目においては、第１検出器である放射線検出器１５−１）について、抽出した測定対象位置に対応する板厚値の測定値があるか否かを判別する（ステップＳ４６）。

ステップＳ４６の判別において、第ｃ検出器に対応する板厚値の測定値（＝板厚検出結果）がある場合には（ステップＳ４６；Ｙｅｓ）、制御算出装置１７は、板厚保持テーブルＴＢから当該板厚値の測定値（＝当該板厚検出結果）を抽出し、平均値算出のために記憶しておき（ステップＳ４７）、処理をステップＳ４８に移行する。

ステップＳ４６の判別において、第ｃ検出器に対応する板厚値の測定値（＝板厚検出結果）が無い場合には、（ステップＳ４６；Ｎｏ）、制御算出装置１７は、カウンタｃの値に１を加え（ステップＳ４８）、カウンタｃの値が、放射線検出器の台数ｎ（本第３実施形態ではｎ＝５）を超えているか否かを判別する（ステップＳ４９）。

この場合には、ｃ＝２であり、ｃ＜ｎであるので（ステップＳ４９；Ｎｏ）、制御算出装置１７は、処理を再びステップＳ４６に移行し、今度は第２検出器である放射線検出器１５−２ついて同様の処理（ステップＳ４６〜ステップＳ４９）を行う。
さらに制御算出装置１７は、第３検出器（放射線検出器１５−３）〜第５検出器（放射線検出器１５−５）についても同様の処理（ステップＳ４６〜ステップＳ４９）を行う。

そして、第５検出器（＝第ｎ検出器）の処理のステップＳ４９の判別においては、ｃ＝６となるのでステップＳ４９の判別において、ｃ＞ｎとなり（ステップＳ４９；Ｙｅｓ）、制御算出装置１７は、処理をステップＳ５０に移行する。

そして、制御算出装置１７は、ステップＳ４７において、測定済みの放射線検出器の板厚検出結果のみに基づいて板厚算出値の平均値を板厚として算出し（ステップＳ５０）、算出した板厚（平均値）を板厚データ、表示データあるいはプリントデータとして出力する板厚出力処理を行って（ステップＳ５１）、処理を終了する。

一方、ステップＳ４３の判別において、制御算出装置１７は、現在の算出設定が定点検出ではない場合には（ステップＳ４３；Ｎｏ）、放射線量検出信号ＤＳ１〜ＤＳ５に基づいて算出した５つの板厚算出値をそのまま厚データ、表示データあるいはプリントデータとして出力する板厚出力処理を行って（ステップＳ５１）、処理を終了する。

以上の説明のように、第３実施形態によれば、走査型厚さ測定装置において、第１実施形態の効果に加えて、同一の検出対象位置について複数の検出結果が得られた場合には、それらの平均値を最終の検出結果とするので、より測定精度及び信頼性を向上することが可能となる。

本実施形態の制御算出装置１７は、ＣＰＵなどの制御装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）やＲＡＭなどの記憶装置と、ＨＤＤ、ＣＤドライブ装置などの外部記憶装置と、ディスプレイ装置などの表示装置と、キーボードやマウスなどの入力装置を備えており、通常のコンピュータを利用したハードウェア構成となっている。

本実施形態の厚さ測定装置（制御算出装置１７）で実行されるプログラムは、インストール可能な形式又は実行可能な形式のファイルでＣＤ−ＲＯＭ、ＵＳＢメモリ等の半導体記憶装置、ＣＤ−Ｒ、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ Ｄｉｓｋ）等のコンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録されて提供される。

また、本実施形態の厚さ測定装置（制御算出装置１７）で実行されるプログラムを、インターネット等のネットワークに接続されたコンピュータ上に格納し、ネットワーク経由でダウンロードさせることにより提供するように構成しても良い。また、本実施形態の厚さ測定装置（制御算出装置１７）で実行されるプログラムをインターネット等のネットワーク経由で提供または配布するように構成しても良い。
また、本実施形態の厚さ測定装置（制御算出装置１７）のプログラムを、ＲＯＭ等に予め組み込んで提供するように構成してもよい。

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１０ 走査型厚さ測定装置
１１ 筐体
１２ 鋼板
１３ Ｘ線ビーム
１４ Ｘ線発生器
１５−１〜１５−５ 放射線検出器
１６ 放射線検出器ユニット
１７ 制御算出装置
ｃ カウンタ
ＤＳ１〜ＤＳ５ 放射線量検出信号
Ｐ 測定位置
ＳＣ 走査方向
ＴＢ 板厚保持テーブル

Claims (7)

1. 測定対象物に放射線ビームを照射する放射線源と、
   前記測定対象物を介して前記放射線源に対向配置され、前記測定対象物を透過した放射線量を検出する複数の放射線検出器と、
   前記複数の放射線検出器が検出した放射線量に基づいて、走査測定時には前記複数の放射線検出器のそれぞれが検出した放射線量に基づいて前記測定対象物の厚さをそれぞれ算出し、所定の定点位置測定時には前記複数の放射線検出器の検出した放射線量の平均値に基づいて前記測定対象物の厚さを算出する算出部と、
   前記放射線源及び前記複数の放射線検出器を支持し、所定の走査方向に移動可能な筐体と、
   を備えた走査型厚さ測定装置。
2. 前記算出部は、前記複数の放射線検出器のうち、いずれか一の放射線検出器の検出した放射線量に基づいて算出した前記測定対象物の厚さが、前記一の放射線検出器以外の放射線検出器であって正常と判定された放射線検出器の検出した放射線量の平均値に対応する板厚に対し、±０．２％以上の差がある場合には、当該一の放射線検出器の検出した放射線量を異常であるとして平均値算出から除外する、
   請求項１記載の走査型厚さ測定装置。
3. 前記測定対象物は、前記走査方向と交差する方向に搬送されており、
   前記算出部は、入力された前記測定対象物の搬送速度に基づいて、前記測定対象物上における各前記放射線検出器の検出対象位置を検出し、前記検出対象位置に対応づけて各放射線検出器が検出した放射線量に基づいて算出した測定対象物の厚さを記憶部に記憶させ、実効的に同一の前記検出対象位置に対応する複数の測定対象物の厚さの平均値を前記検出対象位置の前記測定対象物の厚さとして算出する、
   請求項１又は請求項２記載の走査型厚さ測定装置。
4. 前記複数の放射線検出器は、走査方向に沿って千鳥足状に検出面が配置されている、
   請求項１乃至請求項３のいずれか一項記載の走査型厚さ測定装置。
5. 前記複数の放射線検出器は、一の前記放射線ビーム内に位置するように配置されている、
   請求項１乃至請求項４のいずれか一項記載の走査型厚さ測定装置。
6. 前記放射線は、Ｘ線あるいはγ線である、
   請求項１乃至請求項５のいずれか一項記載の走査型厚さ測定装置。
7. 測定対象物に放射線ビームを照射する放射線源と、前記測定対象物を介して前記放射線源に対向配置され、前記測定対象物を透過した放射線量を検出する複数の放射線検出器と、前記放射線源及び前記複数の放射線検出器を支持し、所定の走査方向に移動可能な筐体と、を備えた走査型厚さ測定装置で実行される方法であって、
   前記複数の放射線検出器により放射線量を検出させる過程と、
   当該測定が走査測定あるいは定点位置測定のいずれであるか判定する過程と、
   走査測定と判定された場合には前記複数の放射線検出器のそれぞれが検出した放射線量に基づいて前記測定対象物の厚さをそれぞれ算出し、定点位置測定と判定された場合には前記複数の放射線検出器の検出した放射線量の平均値に基づいて前記測定対象物の厚さを算出する過程と、
   を備えた方法。

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