JP2019114497A - Conductive paste and method for producing conductive pattern forming substrate - Google Patents

Conductive paste and method for producing conductive pattern forming substrate Download PDF

Info

Publication number
JP2019114497A
JP2019114497A JP2017248898A JP2017248898A JP2019114497A JP 2019114497 A JP2019114497 A JP 2019114497A JP 2017248898 A JP2017248898 A JP 2017248898A JP 2017248898 A JP2017248898 A JP 2017248898A JP 2019114497 A JP2019114497 A JP 2019114497A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
conductive
conductive pattern
conductive paste
less
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2017248898A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6962179B2 (en
Inventor
大樹 橋本
Daiki Hashimoto
大樹 橋本
年矢 兒玉
Toshiya Kodama
年矢 兒玉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toray Industries Inc
Original Assignee
Toray Industries Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toray Industries Inc filed Critical Toray Industries Inc
Priority to JP2017248898A priority Critical patent/JP6962179B2/en
Publication of JP2019114497A publication Critical patent/JP2019114497A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6962179B2 publication Critical patent/JP6962179B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Conductive Materials (AREA)
  • Non-Insulated Conductors (AREA)
  • Manufacturing Of Electric Cables (AREA)
  • Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)

Abstract

To provide a photosensitive conductive paste that allows formation of a fine pattern not easily noticeable, and expresses high conductivity.SOLUTION: A conductive paste contains a conductive particle (A), a compound (B) having an unsaturated double bond, a photopolymerization initiator (C) and C.I. solvent black 3 (D). The content of the C.I. solvent black 3 (D) is 0.5-15 pts.wt. relative to 100 pts.wt. of the conductive particle (A).SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、導電ペーストおよびそれを用いた導電パターン形成基板とその製造方法、電極付きタッチパネルに関するものである。   The present invention relates to a conductive paste, a conductive pattern forming substrate using the same, a method of manufacturing the same, and a touch panel with an electrode.

近年、入力手段としてタッチパネルが広く用いられている。タッチパネルは、液晶パネルなどの表示部と、特定の位置に入力された情報を検出するタッチパネルセンサー等から構成される。タッチパネルの方式は、入力位置の検出方法により、抵抗膜方式、静電容量方式、光学方式、電磁誘導方式、超音波方式などに大別される。中でも、光学的に明るいこと、意匠性に優れること、構造が簡易であることおよび機能的に優れること等の理由により、静電容量方式のタッチパネルが広く用いられている。静電容量方式のタッチパネルセンサーは、第一電極と絶縁層を介して直行する第二電極を有し、タッチパネル面の電極に電圧をかけて、指などの導電体が触れた際の静電容量変化を検知することにより得られた接触位置を信号として出力する。静電容量方式に用いられるタッチパネルセンサーとしては、例えば、一対の対向する透明基板上に電極および外部接続端子を形成した構造や、一枚の透明基板の両面に電極および外部接続端子をそれぞれ形成した構造などが知られている。タッチパネルセンサーに用いられる配線電極としては、配線電極を見えにくくする観点から透明配線電極が用いられることが一般的であったが、近年、高感度化や画面の大型化・高精細化により、金属材料を用いた配線電極が広まっており、より微細なパターンが求められている。   In recent years, touch panels have been widely used as input means. The touch panel includes a display unit such as a liquid crystal panel, and a touch panel sensor that detects information input to a specific position. The touch panel methods are roughly classified into a resistive film method, a capacitance method, an optical method, an electromagnetic induction method, an ultrasonic method, and the like according to a detection method of an input position. Among them, a capacitive touch panel is widely used for reasons of optically bright, excellent in design, simple in structure, and excellent in function. The capacitive touch panel sensor has a second electrode which is orthogonal to the first electrode and the insulating layer, applies a voltage to the electrode on the touch panel surface, and the capacitance when a conductor such as a finger touches the electrode. The contact position obtained by detecting the change is output as a signal. As a touch panel sensor used in the capacitance method, for example, a structure in which an electrode and an external connection terminal are formed on a pair of opposing transparent substrates, and an electrode and an external connection terminal are formed on both surfaces of one transparent substrate. The structure etc. are known. As wiring electrodes used for touch panel sensors, transparent wiring electrodes were generally used from the viewpoint of making the wiring electrodes difficult to see, but in recent years, metal has been used by increasing sensitivity and increasing screen size and definition. Wiring electrodes made of materials are in widespread use, and finer patterns are required.

金属材料を用いた配線電極を有するタッチパネルセンサーは、配線電極の金属光沢により配線電極が視認される課題があった。配線電極を視認されにくくする方法としては、金属の黒化処理により反射を抑制することが考えられる。金属黒化処理液としては、例えば、テルルが溶解された塩酸溶液が提案されている(例えば、特許文献1参照)。また、導電回路パターンの反射率を低減するために、に黒色材料を含有する感光性導電樹脂組成物が提案されている(例えば、特許文献2参照)。   A touch panel sensor having a wiring electrode using a metal material has a problem that the wiring electrode is visually recognized due to the metallic gloss of the wiring electrode. As a method of making the wiring electrodes less visible, it is conceivable to suppress reflection by blackening treatment of metal. As a metal blackening treatment liquid, for example, a hydrochloric acid solution in which tellurium is dissolved is proposed (see, for example, Patent Document 1). Moreover, in order to reduce the reflectance of a conductive circuit pattern, the photosensitive conductive resin composition containing a black material is proposed (for example, refer patent document 2).

特開2006−233327号公報JP, 2006-233327, A 特開2014−170111号公報JP 2014-170111 A

しかしながら、特許文献1に記載される金属黒化技術をタッチパネルセンサーに適用すると、金属の酸化により配線電極の導電性が低下する課題があった。また、特許文献2に記載される技術は、顔料系の黒色材料は金属粒子同士の接触を阻害し、導電性を低下させること、染料系の黒色材料は発色が不十分で、金属光沢を十分に抑制することが困難であることなどの課題があった。本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、視認されにくい微細パターン形成が可能で、高い導電性を発現する導電ペーストを提供することを目的とする。   However, when the metal blackening technology described in Patent Document 1 is applied to a touch panel sensor, there is a problem that the conductivity of the wiring electrode is reduced due to the oxidation of metal. Further, in the technology described in Patent Document 2, the black pigment material inhibits contact between metal particles and reduces the conductivity, and the black pigment material does not sufficiently develop color and has sufficient metallic gloss. Problems such as difficulty in suppressing This invention is made in view of the said situation, and an object of this invention is to provide the electrically conductive paste which can form fine pattern which is hard to be recognized visually, and expresses high conductivity.

上記課題を解決するため、本発明は、主として以下の構成を有する。
導電性粒子(A)、不飽和二重結合を有する化合物(B)、光重合開始剤(C)およびC.I.ソルベントブラック3(D)を含有し、前記C.I.ソルベントブラック3(D)の含有量が前記導電性粒子(A)100重量部に対して0.5〜15重量部である導電ペースト。
In order to solve the above-mentioned subject, the present invention mainly has the following composition.
Conductive particles (A), compounds having unsaturated double bonds (B), photopolymerization initiators (C) and C.I. I. Solvent black 3 (D); I. The electrically conductive paste whose content of solvent black 3 (D) is 0.5-15 weight parts with respect to 100 weight parts of said conductive particles (A).

本発明の導電ペーストによれば、視認されにくく、導電性に優れた微細パターンの導電パターンを形成することができる。   According to the conductive paste of the present invention, it is possible to form a conductive pattern of a fine pattern which is hard to be recognized visually and which is excellent in conductivity.

実施例および比較例における微細パターン加工性、導電性、視認性(視認されにくさ)評価用導電パターンを示す概略図である。It is the schematic which shows the electroconductive pattern for fine pattern processability in the Example and a comparative example, electroconductivity, visibility (inconspicuousness) evaluation.

本発明の導電ペーストは、導電性粒子(A)、不飽和二重結合を有する化合物(B)、光重合開始剤(C)およびC.I.ソルベントブラック3(D)を含有する。本発明の導電ペーストにより得られる導電パターンは、有機成分と無機成分との複合物となっており、導電性粒子(A)同士が、熱キュア時の硬化収縮によって互いに接触することにより導電性が発現するものである。不飽和二重結合を有する化合物(B)および光重合開始剤(C)により、フォトリソグラフィー法を用いた微細パターン形成が可能となる。さらに、黒色染料であるC.I.ソルベントブラック3(D)により、導電パターンの反射を抑制し、導電パターンを視認されにくくすることができる。さらに、黒色染料の中でも、C.I.ソルベントブラック3(D)は熱キュア時の導電性粒子(A)同士の接触阻害しにくいことから、C.I.ソルベントブラック3(D)を選択することにより、導電性を向上させることができる。   The conductive paste of the present invention comprises conductive particles (A), a compound (B) having an unsaturated double bond, a photopolymerization initiator (C) and C.I. I. Contains Solvent Black 3 (D). The conductive pattern obtained by the conductive paste of the present invention is a composite of an organic component and an inorganic component, and the conductive particles (A) are brought into contact with each other by curing shrinkage during heat curing. It is expressed. The compound (B) having an unsaturated double bond and the photopolymerization initiator (C) enable fine pattern formation using a photolithography method. Furthermore, C.I. I. By the solvent black 3 (D), the reflection of the conductive pattern can be suppressed and the conductive pattern can be made less visible. Furthermore, among the black dyes, C.I. I. Solvent Black 3 (D) is less likely to inhibit contact between conductive particles (A) during heat curing; I. The conductivity can be improved by selecting the solvent black 3 (D).

(導電性粒子(A))
本発明における「導電性」とは、20℃における電気抵抗率が500μΩ・cm以下であることをいう。導電性粒子(A)としては、例えば、金、銀、銅、白金、鉛、錫、ニッケル、ビスマス、亜鉛、パラジウム、アルミニウム、タングステン、モリブデン、クロム、チタン、インジウムやこれらの合金などの粒子が挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。これらの中でも、導電性をより向上させる観点から、金、銀、銅、白金、鉛、錫、ニッケル、アルミニウムの粒子が好ましく、銀の粒子がより好ましい。
(Conductive particles (A))
In the present invention, “conductive” means that the electrical resistivity at 20 ° C. is 500 μΩ · cm or less. Examples of the conductive particles (A) include particles of gold, silver, copper, platinum, lead, tin, nickel, bismuth, zinc, palladium, aluminum, tungsten, molybdenum, chromium, titanium, indium, and alloys thereof. It can be mentioned. Two or more of these may be contained. Among these, particles of gold, silver, copper, platinum, lead, tin, nickel and aluminum are preferable, and particles of silver are more preferable, from the viewpoint of further improving the conductivity.

導電性粒子(A)の一次粒子径は、微細パターン加工性をより向上させる観点から、0.1μm以上が好ましい。一方、導電性粒子(A)の一次粒子径は、導電性をより向上させる観点から、1.0μm以下が好ましく、0.4μm以下がより好ましい。ここで、導電性粒子(A)の一次粒子径とは、無作為に選択した100個の導電性粒子(A)の一次粒子の粒子径の数平均値をいう。導電ペーストから導電性粒子(A)を採取し、電子顕微鏡を用いて倍率25000倍で観察し、無作為に選択した100個の導電性粒子(A)の一次粒子について、それぞれ長径と短径を測定してその平均値を一次粒子径とし、その数平均値から導電性粒子(A)の一次粒子径を算出することができる。なお、導電ペーストから導電性粒子(A)を採取する方法としては、例えば、有機溶剤により樹脂成分を溶解し、沈降した導電性粒子(A)を回収し、ボックスオーブンを用いて70℃で10分間乾燥する方法が挙げられる。   The primary particle diameter of the conductive particles (A) is preferably 0.1 μm or more from the viewpoint of further improving the fine pattern processability. On the other hand, the primary particle diameter of the conductive particles (A) is preferably 1.0 μm or less, more preferably 0.4 μm or less, from the viewpoint of further improving the conductivity. Here, the primary particle diameter of the conductive particles (A) means the number average value of the particle diameters of the primary particles of 100 conductive particles (A) randomly selected. The conductive particles (A) are collected from the conductive paste, observed at a magnification of 25000 using an electron microscope, and the major axis and the minor axis of the primary particles of 100 randomly selected conductive particles (A). The average value is measured as the primary particle diameter, and the primary particle diameter of the conductive particles (A) can be calculated from the number average value. As a method of collecting the conductive particles (A) from the conductive paste, for example, the resin component is dissolved with an organic solvent, the precipitated conductive particles (A) are collected, and 10 at 70 ° C. using a box oven. The method of drying for a minute is mentioned.

本発明の導電ペースト中における導電性粒子(A)の含有量は、導電性をより向上させる観点から、全固形分中60重量%以上が好ましく、65重量%以上がより好ましく、70重量%以上がさらに好ましい。一方、導電性粒子(A)の含有量は、微細パターン加工性をより向上させる観点から、全固形分中95重量%以下が好ましく、90重量%以下がより好ましく、85重量%以下がさらに好ましい。ここで全固形分とは、導電ペーストの溶剤を除く全構成成分をいう。   From the viewpoint of further improving the conductivity, the content of the conductive particles (A) in the conductive paste of the present invention is preferably 60% by weight or more, more preferably 65% by weight or more, and 70% by weight or more in the total solid content. Is more preferred. On the other hand, the content of the conductive particles (A) is preferably 95% by weight or less, more preferably 90% by weight or less, and still more preferably 85% by weight or less in terms of improving the fine pattern processability. . Here, the total solid content refers to all components except for the solvent of the conductive paste.

(不飽和二重結合を有する化合物(B))
本発明における不飽和二重結合を有する化合物(B)としては、例えば、スチレン類、アクリル系モノマー、アクリル系重合体、不飽和二重結合を有するカルボキシル化合物とエポキシ化合物との反応生成物であるエポキシカルボキシレート化合物、1−ビニル−2−ピロリドンなどが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。
(Compound (B) having an unsaturated double bond)
Examples of the compound (B) having an unsaturated double bond in the present invention include styrenes, acrylic monomers, acrylic polymers, and reaction products of carboxyl compounds having unsaturated double bonds and epoxy compounds. Epoxy carboxylate compounds, 1-vinyl-2-pyrrolidone and the like can be mentioned. Two or more of these may be contained.

スチレン類としては、例えば、スチレン、p−メチルスチレン、o−メチルスチレン、m−メチルスチレン、α−メチルスチレン、クロロメチルスチレン、ヒドロキシメチルスチレン等が挙げられる。   Examples of styrenes include styrene, p-methylstyrene, o-methylstyrene, m-methylstyrene, α-methylstyrene, chloromethylstyrene, hydroxymethylstyrene and the like.

アクリル系モノマーとしては、例えば、メチルアクリレート、エチルアクリレート、2−エチルヘキシルアクリレート、n−ブチルアクリレート、iso−ブチルアクリレート、iso−プロパンアクリレート、グリシジルアクリレート、ブトキシトリエチレングリコールアクリレート、ジシクロペンタニルアクリレート、ジシクロペンテニルアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、イソボルニルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、イソデキシルアクリレート、イソオクチルアクリレート、ラウリルアクリレート、2−メトキシエチルアクリレート、メトキシエチレングリコールアクリレート、メトキシジエチレングリコールアクリレート、オクタフロロペンチルアクリレート、フェノキシエチルアクリレート、ステアリルアクリレート、トリフロロエチルアクリレート、アミノエチルアクリレート、フェニルアクリレート、フェノキシエチルアクリレート、1−ナフチルアクリレート、2−ナフチルアクリレート、チオフェノールアクリレート、ベンジルメルカプタンアクリレート、アリル化シクロヘキシルジアクリレート、メトキシ化シクロヘキシルジアクリレート、1,4−ブタンジオールジアクリレート、1,3−ブチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、トリグリセロールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、アクリルアミド、N−メトキシメチルアクリルアミド、N−エトキシメチルアクリルアミド、N−n−ブトキシメチルアクリルアミド、N−イソブトキシメチルアクリルアミド、エポキシ基を不飽和酸で開環させた水酸基を有するエチレングリコールジグリシジルエーテルのアクリル酸付加物、ジエチレングリコールジグリシジルエーテルのアクリル酸付加物、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテルのアクリル酸付加物、グリセリンジグリシジルエーテルのアクリル酸付加物、ビスフェノールAジグリシジルエーテルのアクリル酸付加物、ビスフェノールFのアクリル酸付加物、クレゾールノボラックのアクリル酸付加物等のエポキシアクリレートモノマー、γ−アクリロキシプロピルトリメトキシシランやそれらのアクリル基をメタクリル基に置換した化合物等が挙げられる。   Examples of acrylic monomers include methyl acrylate, ethyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, n-butyl acrylate, iso-butyl acrylate, iso-propane acrylate, glycidyl acrylate, butoxytriethylene glycol acrylate, dicyclopentanyl acrylate, Cyclopentenyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, isobornyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, isodexyl acrylate, isooctyl acrylate, lauryl acrylate, 2-methoxyethyl acrylate, methoxy ethylene glycol acrylate, methoxy diethylene glycol acrylate, octafluoro Pentyl acrylate, phenoxyethyl acrylate , Stearyl acrylate, trifluoroethyl acrylate, aminoethyl acrylate, phenyl acrylate, phenoxyethyl acrylate, 1-naphthyl acrylate, 2-naphthyl acrylate, thiophenol acrylate, benzyl mercaptan acrylate, allylated cyclohexyl diacrylate, methoxylated cyclohexyl diacrylate, 1,4-butanediol diacrylate, 1,3-butylene glycol diacrylate, ethylene glycol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, propylene glycol diacrylate, polypropylene Glycol diacrylate Triglycerol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, ditrimethylolpropane tetraacrylate, dipentaerythritol monohydroxy pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, acrylamide, N-methoxymethyl acrylamide, N-ethoxymethyl acrylamide, Nn-butoxy Methyl acrylamide, N-isobutoxy methyl acrylamide, acrylic acid adduct of ethylene glycol diglycidyl ether having hydroxyl group with ring opening of epoxy group with unsaturated acid, acrylic acid adduct of diethylene glycol diglycidyl ether, neopentyl glycol diglycidyl Acrylic acid adduct of ether, Acrylic acid adduct of glycerin diglycidyl ether, bisphenol A Epoxy acrylate monomers such as acrylic acid adducts of diglycidyl ether, acrylic acid adducts of bisphenol F, acrylic acid adducts of cresol novolac, γ-acryloxypropyltrimethoxysilane and compounds in which their acrylic groups are substituted with methacryl groups Etc.

アクリル系重合体とは、アクリル系モノマーを含むモノマーの重合体または共重合体をいう。アクリル系重合体は、カルボキシル基を有することが好ましく、前述のアクリル系モノマーと、不飽和酸またはその酸無水物との共重合体がより好ましい。不飽和酸またはその酸無水物としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、酢酸ビニルやこれらの酸無水物などが挙げられる。不飽和酸の共重合比により、アクリル系共重合体の酸価を調整することができる。   The acrylic polymer refers to a polymer or copolymer of a monomer containing an acrylic monomer. It is preferable that an acryl-type polymer has a carboxyl group, and the copolymer of the above-mentioned acryl-type monomer, and unsaturated acid or its acid anhydride is more preferable. Examples of unsaturated acids or their acid anhydrides include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetate and acid anhydrides thereof. The acid value of the acrylic copolymer can be adjusted by the copolymerization ratio of the unsaturated acid.

エポキシカルボキシレート化合物の原料であるエポキシ化合物としては、例えば、メチルグリシジルエーテル、エチルグリシジルエーテル、ブチルグリシジルエーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、トリプロピレングリコールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、ビスフェノールAジグリシジルエーテル、水添ビスフェノールAジグリシジルエーテル、ビスフェノールFジグリシジルエーテル、ビスフェノールSジグリシジルエーテル、ビスフェノールフルオレンジグリシジルエーテル、ビフェノールジグリシジルエーテル、テトラメチルビフェノールグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルなどのグリシジルエーテル;3’,4’−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレートなどの脂環式エポキシ樹脂;tert−ブチルグリシジルアミンなどのグリシジルアミン;グリシジルエステルなどが挙げられる。また、エポキシカルボキシレートの原料である不飽和二重結合を有するカルボキシル化合物としては、例えば、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、桂皮酸、α−シアノ桂皮酸などが挙げられる。   As an epoxy compound which is a raw material of an epoxy carboxylate compound, for example, methyl glycidyl ether, ethyl glycidyl ether, butyl glycidyl ether, ethylene glycol diglycidyl ether, diethylene glycol diglycidyl ether, propylene glycol diglycidyl ether, tripropylene glycol diglycidyl ether , Neopentyl glycol diglycidyl ether, bisphenol A diglycidyl ether, hydrogenated bisphenol A diglycidyl ether, bisphenol F diglycidyl ether, bisphenol S diglycidyl ether, bisphenol fluorene glycidyl ether, biphenol diglycidyl ether, tetramethyl biphenol glycidyl ether , Trimethylol prop Glycidyl ethers such as triglycidyl ether; alicyclic epoxy resins such as 3 ', 4'-epoxycyclohexylmethyl-3,4-epoxycyclohexanecarboxylate; glycidyl amines such as tert-butyl glycidyl amine; glycidyl esters etc. . Moreover, as a carboxyl compound which has an unsaturated double bond which is a raw material of an epoxy carboxylate, (meth) acrylic acid, crotonic acid, cinnamic acid, (alpha)-cyano cinnamic acid etc. are mentioned, for example.

不飽和二重結合を有する化合物(B)は、ウレタン結合を有することが好ましい。不飽和二重結合を有する化合物(B)にウレタン結合を導入する方法としては、例えば、水酸基を有するアクリル系重合体やエポキシカルボキシレート化合物の場合、これらの水酸基にジイソシアネート化合物を反応させる方法が挙げられる。ジイソシアネート化合物としては、例えば、ヘキサメチレンジイソシアネート、テトラメチルキシレンジイソシアネート、ナフタレン−1,5−ジイソシアネート、トリデンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、アリルシアンジイソシアネート、ノルボルナンジイソシアネートなどが挙げられる。これらを2種以上用いてもよい。   The compound (B) having an unsaturated double bond preferably has a urethane bond. As a method of introducing a urethane bond into the compound (B) having an unsaturated double bond, for example, in the case of an acrylic polymer having a hydroxyl group or an epoxy carboxylate compound, a method of reacting a diisocyanate compound with these hydroxyl groups is mentioned Be Examples of the diisocyanate compound include hexamethylene diisocyanate, tetramethylxylene diisocyanate, naphthalene-1,5-diisocyanate, tolidene diisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate, isophorone diisocyanate, allyl cyan diisocyanate, norbornane diisocyanate and the like. Two or more of these may be used.

不飽和二重結合を有する化合物(B)は、フェノール性水酸基を有することが好ましい。不飽和二重結合を有する化合物(B)の酸価は、現像液への溶解性の観点から、30mgKOH/g以上が好ましい。一方、不飽和二重結合を有する化合物(B)の酸価は、未露光部の過度の溶解を抑制する観点から、250mgKOH/g以下が好ましい。なお、不飽和二重結合を有する化合物(B)の酸価は、JIS K 0070(1992)に準じて測定することができる。   The compound (B) having an unsaturated double bond preferably has a phenolic hydroxyl group. The acid value of the compound (B) having an unsaturated double bond is preferably 30 mg KOH / g or more from the viewpoint of solubility in a developer. On the other hand, the acid value of the compound (B) having an unsaturated double bond is preferably 250 mg KOH / g or less from the viewpoint of suppressing excessive dissolution of the unexposed area. The acid value of the compound (B) having an unsaturated double bond can be measured in accordance with JIS K 0070 (1992).

不飽和二重結合を有する化合物(B)の酸価は、例えば、アクリル系重合体の場合、構成成分中の不飽和酸の割合により、所望の範囲に調整することができる。エポキシカルボレート化合物の場合、多塩基酸無水物を反応させることにより、所望の範囲に調整することができる。多塩基酸無水物としては、例えば、無水コハク酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水イタコン酸、3−メチルテトラヒドロ無水フタル酸、4−メチル−ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水マレイン酸などが挙げられる。   For example, in the case of an acrylic polymer, the acid value of the compound (B) having an unsaturated double bond can be adjusted to a desired range by the ratio of the unsaturated acid in the component. In the case of the epoxy carboxylate compound, it can adjust to a desired range by making polybasic acid anhydride react. Examples of polybasic acid anhydrides include succinic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, itaconic anhydride, 3-methyltetrahydrophthalic anhydride, 4-methyl-hexahydrophthalic anhydride, anhydride Trimellitic acid, maleic anhydride and the like can be mentioned.

また、上記のアクリル系重合体やエポキシカルボキシレート化合物が有するカルボキシル基と、グリシジル(メタ)アクリレート等の不飽和二重結合を有する化合物とを反応させることにより、側鎖に反応性の不飽和二重結合を導入することができ、反応させる不飽和二重結合を有する化合物の割合により、反応性の不飽和二重結合の量を所望の範囲に調整することができる。   Further, by reacting the carboxyl group of the above-mentioned acrylic polymer and epoxy carboxylate compound with a compound having an unsaturated double bond such as glycidyl (meth) acrylate, the unsaturated di-reactivity reactive with the side chain The amount of reactive unsaturated double bonds can be adjusted to the desired range by the ratio of compounds which can introduce heavy bonds and react with unsaturated double bonds.

(光重合開始剤(C))
光重合開始剤(C)としては、例えば、ベンゾフェノン、O−ベンゾイル安息香酸メチル、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ジクロロベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルケトン、フルオレノン等のベンゾフェノン誘導体;p−t−ブチルジクロロアセトフェノン、4−アジドベンザルアセトフェノン、2,2’−ジエトキシアセトフェノン等のアセトフェノン誘導体;チオキサントン、2−メチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン等のチオキサントン誘導体;ベンジル、ベンジルジメチルケタール、ベンジル−β−メトキシエチルアセタール等のベンジル誘導体;ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル等のベンゾイン誘導体;1,2−オクタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)−2−(O−ベンゾイルオキシム)]、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、1−フェニル−1,2−ブタンジオン−2−(O−メトキシカルボニル)オキシム、1−フェニル−プロパンジオン−2−(O−エトキシカルボニル)オキシム、1−フェニル−プロパンジオン−2−(O−ベンゾイル)オキシム、1,3−ジフェニル−プロパントリオン−2−(O−エトキシカルボニル)オキシム、1−フェニル−3−エトキシ−プロパントリオン−2−(O−ベンゾイル)オキシム等のオキシム系化合物;2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン等のα−ヒドロキシケトン系化合物;2−メチル−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−ジメチルアミノ−2−(4−メチルベンジル)−1−(4−モルフォリン−4−イル−フェニル)ブタン−1−オン等のα−アミノアルキルフェノン系化合物;2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキサイド等のフォスフィンオキサイド系化合物;ナフタレンスルホニルクロライド、キノリンスルホニルクロライド等の芳香族スルホニルクロリド系化合物;アントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、2−アミルアントラキノン、β−クロルアントラキノン等のアントラキノン化合物;アントロン、ベンズアントロン、ジベンゾスベロン、メチレンアントロン等のアントロン化合物;2,6−ビス(p−アジドベンジリデン)シクロヘキサノン、6−ビス(p−アジドベンジリデン)−4−メチルシクロヘキサノン、2,6−ビス(p−アジドベンジリデン)シクロヘキサノン、6−ビス(p−アジドベンジリデン)−4−メチルシクロヘキサノン、N−フェニルチオアクリドン、4,4’−アゾビスイソブチロニトリル、ジフェニルジスルフィド、ベンズチアゾールジスルフィド、トリフェニルホスフィン、カンファーキノン、四臭化炭素、トリブロモフェニルスルホン、過酸化ベンゾイル等が挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。これらの中でも、光感度の高いオキシム系化合物が好ましい。
(Photopolymerization initiator (C))
As the photopolymerization initiator (C), for example, benzophenone, methyl O-benzoylbenzoate, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4′-dichloromethane Benzophenone, 4-benzoyl-4'-methyl diphenyl ketone, benzophenone derivatives such as fluorenone; p-t-butyl dichloroacetophenone, 4-azidobenzalacetophenone, acetophenone derivatives such as 2,2'-diethoxyacetophenone; thioxanthone, 2 Thioxanthone derivatives such as methylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, diethylthioxanthone; benzyl derivatives such as benzyl, benzyldimethyl ketal, benzyl-β-methoxyethyl acetal; Ben Benzoin derivatives such as zoin, benzoin methyl ether, benzoin butyl ether; 1,2-octanedione-1- [4- (phenylthio) -2- (O-benzoyloxime)], ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-Methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime), 1-phenyl-1,2-butanedione-2- (O-methoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl-propane Dione-2- (O-ethoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl-propanedione-2- (O-benzoyl) oxime, 1,3-diphenyl-propanetrione-2- (O-ethoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl Oxime compounds such as 3-ethoxy-propanetrione-2- (O-benzoyl) oxime 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one, etc. Α-hydroxy ketone compounds of the formula: 2-methyl- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butane- Α-aminoalkylphenone compounds such as 1-one, 2-dimethylamino-2- (4-methylbenzyl) -1- (4-morpholin-4-yl-phenyl) butan-1-one; 2,4 Phosphine oxide such as 6, 6-trimethyl benzoyl diphenyl phosphine oxide, bis (2, 4, 6 trimethyl benzoyl) phenyl phosphine oxide, etc. Compounds; aromatic sulfonyl chloride compounds such as naphthalene sulfonyl chloride and quinoline sulfonyl chloride; anthraquinone compounds such as anthraquinone, 2-t-butyl anthraquinone, 2-amyl anthraquinone, .beta. Anthrone compounds such as verone and methylene anthrone; 2,6-bis (p-azidobenzylidene) cyclohexanone, 6-bis (p-azidobenzylidene) -4-methylcyclohexanone, 2,6-bis (p-azidobenzylidene) cyclohexanone, 6-bis (p-azidobenzylidene) -4-methylcyclohexanone, N-phenylthioacridone, 4,4'-azobisisobutyronitrile, diphenyl disulfide, benzthiazo Disulfide, triphenylphosphine, camphorquinone, carbon tetrabromide, tribromophenylsulfone, benzoyl peroxide and the like. Two or more of these may be contained. Among these, oxime compounds having high photosensitivity are preferable.

本発明の導電ペースト中における光重合開始剤(C)の含有量は、露光部を十分に硬化させる観点から、不飽和二重結合を有する化合物(B)100重量部に対して0.05重量部以上が好ましく、1.0重量部以上がより好ましい。一方、光重合開始剤(C)の含有量は、高感度化による配線太りを抑制する観点から、30重量部以下が好ましく、10重量部以下がより好ましい。   The content of the photopolymerization initiator (C) in the conductive paste of the present invention is 0.05 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the compound (B) having an unsaturated double bond, from the viewpoint of sufficiently curing the exposed part It is preferably at least part, and more preferably at least 1.0 part by weight. On the other hand, the content of the photopolymerization initiator (C) is preferably 30 parts by weight or less, and more preferably 10 parts by weight or less, from the viewpoint of suppressing wire thickening due to high sensitivity.

C.I.ソルベントブラック3(D)としては、例えば、オイルブラック803、オイルブラックBS、オイルブラックNO5、オイルブラックHBB、オイルブラック860(以上、オリエント化学工業(株)製)、NeptunブラックX60(BASF社製)、ファットブラックHB01(ヘキスト社製)、オイルカラーブラック141(中央合成化学(株)製)などが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。   C. I. As the solvent black 3 (D), for example, oil black 803, oil black BS, oil black NO5, oil black HBB, oil black 860 (above, made by Orient Chemical Industry Co., Ltd.), Neptun black X60 (made by BASF Corporation) And Fat Black HB01 (manufactured by Hoechst), Oil Color Black 141 (manufactured by Chuo Synthetic Chemical Co., Ltd.), and the like. Two or more of these may be contained.

本発明の導電ペースト中におけるC.I.ソルベントブラック3(D)の含有量は、黒色化により、より視認されにくくする観点から、導電性粒子(A)100重量部に対して0.5重量部以上が好ましい。一方、C.I.ソルベントブラック3(D)の含有量は、導電ペーストの塗布膜上部における過剰な光吸収を抑制し、微細パターン加工性および導電性をより向上させる観点から、導電性粒子(A)100重量部に対して15重量部以下が好ましく、5重量部以下がより好ましい。   In the conductive paste of the present invention, C.I. I. The content of the solvent black 3 (D) is preferably 0.5 parts by weight or more with respect to 100 parts by weight of the conductive particles (A) from the viewpoint of making it harder to be recognized visually by blackening. Meanwhile, C.I. I. The content of the solvent black 3 (D) is 100 parts by weight of the conductive particles (A) from the viewpoint of suppressing excessive light absorption in the upper part of the coating film of the conductive paste and further improving the fine pattern processability and the conductivity. On the other hand, 15 parts by weight or less is preferable, and 5 parts by weight or less is more preferable.

本発明の導電ペーストは、さらに熱硬化性樹脂を含有することが好ましい。熱硬化性樹脂を含有することにより、基板への密着性が向上するため、より微細な配線パターンを形成することができる。熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、シリコン樹脂、ポリウレタンなどが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。これらの中でも、基板密着性がより高いことから、エポキシ樹脂が好ましい。エポキシ樹脂としては、例えば、エチレングリコール変性エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、臭素化エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルエーテル型エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂などが挙げられる。エポキシ樹脂のエポキシ当量は、密着性向上によりパターン加工性をより向上させる観点から、500g/当量以下が好ましい。一方、エポキシ樹脂のエポキシ当量は、熱硬化による未露光部溶解性低下を抑制する観点から、150g/当量以上が好ましい。ここで、エポキシ当量とは、1当量のエポキシ基を含むエポキシ樹脂の質量をいい、分子構造から求めた分子量を、その構造中に含まれるエポキシ基の数で除算することにより求めることができる。分子構造は、ゲル浸透クロマトグラフィー(GPC)分析、赤外分光(IR)分析、プロトン核磁気共鳴分光(H−NMR)分析、熱分解ガスクロマトグラフィー/質量(GC/MS)分析、マトリックス支援レーザー脱離イオン化/飛行時間型質量分析(MALDI/TOFMS)、ガスクロマトグラフィー(GC)分析、CHN元素分析など分析方法から、構造に応じた分析方法を選択して分析することにより特定することができる。なお、エポキシ樹脂を2種以上含有する場合、前記範囲のエポキシ当量を有するエポキシ樹脂を1種以上含有することが好ましい。 The conductive paste of the present invention preferably further contains a thermosetting resin. By containing the thermosetting resin, the adhesion to the substrate is improved, so that a finer wiring pattern can be formed. As a thermosetting resin, an epoxy resin, a phenol resin, a urea resin, a melamine resin, unsaturated polyester resin, a silicone resin, a polyurethane etc. are mentioned, for example. Two or more of these may be contained. Among these, epoxy resins are preferable because they have higher adhesion to substrates. As an epoxy resin, for example, ethylene glycol modified epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, brominated epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, novolac type epoxy resin, alicyclic epoxy resin, glycidyl amine type epoxy resin, glycidyl ether type Epoxy resin, heterocyclic epoxy resin and the like can be mentioned. The epoxy equivalent of the epoxy resin is preferably 500 g / equivalent or less from the viewpoint of further improving pattern processability by adhesion improvement. On the other hand, the epoxy equivalent of the epoxy resin is preferably 150 g / equivalent or more from the viewpoint of suppressing the decrease in solubility in the unexposed area due to heat curing. Here, an epoxy equivalent means the mass of the epoxy resin containing an epoxy group of 1 equivalent, and it can obtain | require it by dividing the molecular weight calculated | required from molecular structure by the number of the epoxy groups contained in the structure. Molecular structure: gel permeation chromatography (GPC) analysis, infrared spectroscopy (IR) analysis, proton nuclear magnetic resonance spectroscopy ( 1 H-NMR) analysis, pyrolysis gas chromatography / mass (GC / MS) analysis, matrix assisted Identification by selecting and analyzing an analysis method according to the structure from analysis methods such as laser desorption ionization / time-of-flight mass spectrometry (MALDI / TOFMS), gas chromatography (GC) analysis, CHN elemental analysis, etc. it can. In addition, when 2 or more types of epoxy resins are contained, it is preferable to contain 1 or more types of epoxy resin which has an epoxy equivalent of the said range.

本発明の導電ペースト中における熱硬化性樹脂の含有量は、密着性向上により微細パターン加工性をより向上させる観点から、不飽和二重結合を有する化合物(B)100重量部に対して1重量部以上が好ましく、30重量部以上がより好ましい。一方、熱硬化性樹脂の含有量は、熱硬化による未露光部溶解性低下を抑制する観点から、100重量部以下が好ましく、80重量部以下がより好ましい。   The content of the thermosetting resin in the conductive paste of the present invention is 1 weight with respect to 100 parts by weight of the compound (B) having an unsaturated double bond, from the viewpoint of further improving the fine pattern processability by adhesion improvement. It is preferably at least part, and more preferably at least 30 parts by weight. On the other hand, the content of the thermosetting resin is preferably 100 parts by weight or less, and more preferably 80 parts by weight or less, from the viewpoint of suppressing the decrease in solubility in the unexposed area due to thermosetting.

本発明の導電ペーストは、さらに増感剤を含有することができる。増感剤としては、例えば、2,4−ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、2,3−ビス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロペンタノン、2,6−ビス(4−ジメチルアミノベンザル)シクロヘキサノン、2,6−ビス(4−ジメチルアミノベンザル)−4−メチルシクロヘキサノン、ミヒラーケトン、4,4−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ビス(ジメチルアミノ)カルコン、4,4−ビス(ジエチルアミノ)カルコン、p−ジメチルアミノシンナミリデンインダノン、p−ジメチルアミノベンジリデンインダノン、2−(p−ジメチルアミノフェニルビニレン)イソナフトチアゾール、1,3−ビス(4−ジメチルアミノフェニルビニレン)イソナフトチアゾール、1,3−ビス(4−ジメチルアミノベンザル)アセトン、1,3−カルボニルビス(4−ジエチルアミノベンザル)アセトン、3,3−カルボニルビス(7−ジエチルアミノクマリン)、N−フェニル−N−エチルエタノールアミン、N−フェニルエタノールアミン、N−トリルジエタノールアミン、ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、ジエチルアミノ安息香酸イソアミル、3−フェニル−5−ベンゾイルチオテトラゾール、1−フェニル−5−エトキシカルボニルチオテトラゾールなどが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。   The conductive paste of the present invention can further contain a sensitizer. Examples of sensitizers include 2,4-diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,3-bis (4-diethylaminobenzal) cyclopentanone, 2,6-bis (4-dimethylaminobenzal) cyclohexanone, 2 , 6-Bis (4-dimethylaminobenzal) -4-methylcyclohexanone, Michler's ketone, 4,4-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4-bis (dimethylamino) chalcone, 4,4-bis (diethylamino) chalcone P-Dimethylaminocinnamylidene indanone p-dimethylaminobenzylidene indanone 2- (p-dimethylaminophenylvinylene) isonaphthothiazole 1,3-bis (4-dimethylaminophenylvinylene) isonaphthothiazole 1,3-bis (4-dimethyl) Minobenzal) acetone, 1,3-carbonylbis (4-diethylaminobenzal) acetone, 3,3-carbonylbis (7-diethylaminocoumarin), N-phenyl-N-ethylethanolamine, N-phenylethanolamine, N- Examples include tolyl diethanolamine, isoamyl dimethylaminobenzoate, isoamyl diethylaminobenzoate, 3-phenyl-5-benzoylthiotetrazole, 1-phenyl-5-ethoxycarbonylthiotetrazole and the like. Two or more of these may be contained.

本発明の導電ペースト中における増感剤の含有量は、光感度を向上させる観点から、不飽和二重結合を有する化合物(B)100重量部に対して0.05重量部以上が好ましい。一方、増感剤の含有量は、高感度化による配線太りを抑制する観点から、不飽和二重結合を有する化合物(B)100重量部に対して10重量部以下が好ましい。   The content of the sensitizer in the conductive paste of the present invention is preferably 0.05 parts by weight or more with respect to 100 parts by weight of the compound (B) having an unsaturated double bond, from the viewpoint of improving the photosensitivity. On the other hand, the content of the sensitizer is preferably 10 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the compound (B) having an unsaturated double bond, from the viewpoint of suppressing wiring thickening due to high sensitivity.

本発明の導電ペーストは、さらに溶剤を含有することができる。溶剤としては、例えば、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N−メチル−2−ピロリドン、ジメチルイミダゾリジノン、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトン、乳酸エチル、1−メトキシ−2−プロパノール、1−エトキシ−2−プロパノール、エチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジアセトンアルコール、テトラヒドロフルフリルアルコール、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(以下、「DMEA」)、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコール、2,2,4,−トリメチル−1,3−ペンタンジオールモノイソブチレートなどが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。溶剤の沸点は150℃以上が好ましい。沸点が150℃以上であると、溶剤の揮発が抑制され、導電ペーストの増粘を抑制することができる。   The conductive paste of the present invention can further contain a solvent. As the solvent, for example, N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylformamide, N-methyl-2-pyrrolidone, dimethylimidazolidinone, dimethylsulfoxide, γ-butyrolactone, ethyl lactate, 1-methoxy-2-propanol 1-ethoxy-2-propanol, ethylene glycol mono-n-propyl ether, diacetone alcohol, tetrahydrofurfuryl alcohol, propylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether acetate , “DMEA”), diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol, 2,2,4-trimethyl-1,3-propane Such as Tan monoisobutyrate and the like. Two or more of these may be contained. The boiling point of the solvent is preferably 150 ° C. or more. When the boiling point is 150 ° C. or more, volatilization of the solvent is suppressed, and thickening of the conductive paste can be suppressed.

本発明の導電ペーストは、その所望の特性を損なわない範囲で、不飽和二重結合を有しない非感光性ポリマー、可塑剤、レベリング剤、界面活性剤、シランカップリング剤、消泡剤、顔料等の添加剤を含有することができる。   The conductive paste of the present invention is a non-photosensitive polymer having no unsaturated double bond, a plasticizer, a leveling agent, a surfactant, a silane coupling agent, an antifoaming agent, and a pigment as long as the desired properties are not impaired. Etc. can be contained.

非感光性ポリマーとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド前駆体、既閉環ポリイミドなどが挙げられる。   Examples of the non-photosensitive polymer include polyethylene terephthalate, a polyimide precursor, and a closed ring polyimide.

可塑剤としては、例えば、ジブチルフタレート、ジオクチルフタレート、ポリエチレングリコール、グリセリンなどが挙げられる。   Examples of the plasticizer include dibutyl phthalate, dioctyl phthalate, polyethylene glycol, glycerin and the like.

レベリング剤としては、例えば、特殊ビニル系重合物、特殊アクリル系重合物などが挙げられる。   Examples of the leveling agent include special vinyl polymers and special acrylic polymers.

シランカップリング剤としては、例えば、メチルトリメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、ヘキサメチルジシラザン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシランなどが挙げられる。   As a silane coupling agent, for example, methyltrimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, phenyltriethoxysilane, hexamethyldisilazane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, vinyltrilyl. Methoxysilane etc. are mentioned.

本発明の導電ペーストは、導電性粒子(A)、不飽和二重結合を有する化合物(B)、光重合開始剤(C)C.I.ソルベントブラック3(D)および必要に応じて溶剤や添加剤を混合することにより得ることができる。混合装置としては、例えば、三本ローラーミル、ボールミル、遊星式ボールミル等の分散機や混練機などが挙げられる。   The conductive paste of the present invention comprises conductive particles (A), a compound (B) having an unsaturated double bond, a photopolymerization initiator (C) C.I. I. It can be obtained by mixing Solvent Black 3 (D) and, if necessary, solvents and additives. As a mixing apparatus, dispersers, such as a 3-roller mill, a ball mill, a planetary ball mill, a kneader, etc. are mentioned, for example.

本発明の導電パターン形成基板は、前述の導電ペーストの硬化物からなる導電パターンを有する。基板上に導電パターンを有することが好ましい。   The conductive pattern-formed substrate of the present invention has a conductive pattern made of the cured product of the above-mentioned conductive paste. It is preferable to have a conductive pattern on the substrate.

基板としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)などのポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、アラミドフィルム、エポキシ樹脂基板、ポリエーテルイミド樹脂基板、ポリエーテルケトン樹脂基板、ポリサルフォン系樹脂基板、ガラス基板、シリコンウエハー、アルミナ基板、窒化アルミニウム基板、炭化ケイ素基板、加飾層形成基板、絶縁層形成基板などが挙げられる。   As the substrate, for example, polyester film such as polyethylene terephthalate (PET), polyimide film, aramid film, epoxy resin substrate, polyetherimide resin substrate, polyetherketone resin substrate, polysulfone resin substrate, glass substrate, silicon wafer, alumina Examples include a substrate, an aluminum nitride substrate, a silicon carbide substrate, a decorative layer forming substrate, and an insulating layer forming substrate.

導電パターンの厚さは、より微細な導電パターン配線を形成する観点から、5μm以下が好ましく、3μm以下がより好ましく、2μm以下がさらに好ましい。一方、導電性をより向上させる観点から、0.1μm以上が好ましく、0.2μm以上がより好ましく、0.3μm以上がさらに好ましい。なお、導電パターンの厚さは、“サーフコム”(登録商標)1400((株)東京精密製)などの触針式段差計を用いて測定することができる。より具体的には、導電パターンから無作為に選択した3つの位置の厚さを、触針式段差計(測長:1mm、走査速度:0.3mm/秒)を用いてそれぞれ測定し、それらの平均値を算出することにより求めることができる。   The thickness of the conductive pattern is preferably 5 μm or less, more preferably 3 μm or less, and still more preferably 2 μm or less from the viewpoint of forming a finer conductive pattern wiring. On the other hand, from the viewpoint of further improving the conductivity, 0.1 μm or more is preferable, 0.2 μm or more is more preferable, and 0.3 μm or more is more preferable. The thickness of the conductive pattern can be measured using a stylus-type profilometer such as "Surfcom" (registered trademark) 1400 (manufactured by Tokyo Seimitsu Co., Ltd.). More specifically, the thicknesses of three positions randomly selected from the conductive pattern are measured using a stylus type step gauge (length measurement: 1 mm, scanning speed: 0.3 mm / sec), respectively. It can obtain | require by calculating the average value of.

導電パターンの波長550nmにおける反射率は、30%以下が好ましい。可視光線の反射率を小さくすることにより、導電パターンの光反射をより抑制し、導電パターンをより視認されにくくすることができる。本発明においては、可視光線の反射率の指標として波長550nmにおける反射率に着目した。波長550nmにおける反射率を30%以下とすることにより、導電パターンをより視認されにくくすることができる。なお、反射率は、0.1mm角以上の導電パターンについて、反射率計(VSR−400:日本電色工業(株)製)を用いて測定することができる。導電パターンの波長550nmにおける反射率は、例えば、導電ペースト中におけるC.I.ソルベントブラック3(D)の含有量を前述の好ましい範囲にすることなどにより、30%以下にすることができる。   The reflectance of the conductive pattern at a wavelength of 550 nm is preferably 30% or less. By reducing the reflectance of visible light, light reflection of the conductive pattern can be further suppressed, and the conductive pattern can be made less visible. In the present invention, attention is focused on the reflectance at a wavelength of 550 nm as an index of the reflectance of visible light. By setting the reflectance at a wavelength of 550 nm to 30% or less, the conductive pattern can be made less visible. In addition, a reflectance can be measured using a reflectometer (VSR-400: Nippon Denshoku Kogyo Co., Ltd. product) about a 0.1 mm square or more conductive pattern. The reflectance of the conductive pattern at a wavelength of 550 nm is, for example, C.I. I. The content of the solvent black 3 (D) can be reduced to 30% or less by setting the content in the above-described preferable range.

導電パターンの体積抵抗率は100μΩ・cm未満が好ましい。体積抵抗率を100μΩ・cm未満とすることにより、導電性をより向上させ、タッチパネルに用いた場合のタッチ感度を向上させることができる。なお、導電パターンの体積抵抗率は、直線上の導電パターンについて、BKプレシジョン社製2407Aなどの抵抗測定用テスターを用いて抵抗値を測定し、測定した導電パターンの膜厚(μm)、線幅(μm)、パターン長さ(μm)を測定し、下記式(1)から算出することができる。
体積抵抗率(μΩ・cm)=抵抗値(Ω)×膜厚(μm)×線幅(μm)×100/パターン長さ(μm)・・・(1)。
The volume resistivity of the conductive pattern is preferably less than 100 μΩ · cm. By setting the volume resistivity to less than 100 μΩ · cm, the conductivity can be further improved, and the touch sensitivity when used for a touch panel can be improved. The volume resistivity of the conductive pattern is the thickness (μm) and line width of the conductive pattern measured by using a resistance measuring tester such as 2407A manufactured by BK Precision Co., for the conductive pattern on a straight line. (Μm) The pattern length (μm) can be measured and calculated from the following equation (1).
Volume resistivity (μΩ · cm) = resistance value (Ω) × film thickness (μm) × line width (μm) × 100 / pattern length (μm) (1).

導電パターンの体積抵抗率は、例えば、導電ペースト中における導電性粒子(A)の含有量を前述の好ましい範囲にすること、導電パターン形成基板の製造方法における加熱温度を後述する好ましい範囲にすることなどにより、100μΩ・cm未満にすることができる。   The volume resistivity of the conductive pattern is, for example, setting the content of the conductive particles (A) in the conductive paste to the above-mentioned preferable range, and setting the heating temperature in the method for producing a conductive pattern-formed substrate to the preferable range described later. And can be less than 100 μΩ · cm.

導電パターンの線幅は、導電性をより向上させる観点から、1μm以上が好ましく、1.5μm以上がより好ましく、2μm以上がさらに好ましい。一方、導電パターンの線幅は、より視認されにくくする観点から、10μm以下が好ましく、7μm以下が好ましく、6μm以下がさらに好ましい。   The line width of the conductive pattern is preferably 1 μm or more, more preferably 1.5 μm or more, and still more preferably 2 μm or more, from the viewpoint of further improving the conductivity. On the other hand, the line width of the conductive pattern is preferably 10 μm or less, more preferably 7 μm or less, and still more preferably 6 μm or less, from the viewpoint of making it harder to visually recognize.

次に、本発明の導電パターン形成基板の製造方法について説明する。前述の導電ペーストを基板上に塗布し、露光し、現像した後に、100〜250℃の温度で加熱することが好ましい。   Next, the method for producing a conductive pattern-formed substrate of the present invention will be described. It is preferable to heat at a temperature of 100 to 250 ° C. after the above-mentioned conductive paste is applied onto a substrate, exposed and developed.

導電ペーストの塗布方法としては、例えば、スピナーを用いた回転塗布、スプレー塗布、ロールコーティング、スクリーン印刷、オフセット印刷、グラビア印刷、活版印刷、フレキソ印刷、ブレードコーター、ダイコーター、カレンダーコーター、メニスカスコーターまたはバーコーターを用いた塗布などが挙げられる。これらの中でも、導電ペーストの塗布膜の表面平坦性に優れ、スクリーン版の選択により膜厚調整が容易であることから、スクリーン印刷が好ましい。   The conductive paste may be applied by, for example, spin coating using a spinner, spray coating, roll coating, screen printing, offset printing, gravure printing, letterpress printing, flexo printing, blade coater, die coater, calendar coater, meniscus coater or Coating with a bar coater may, for example, be mentioned. Among these, screen printing is preferable because the surface flatness of the coating film of the conductive paste is excellent, and the film thickness adjustment is easy by the selection of the screen plate.

導電ペーストが溶剤を含有する場合には、塗布膜を乾燥して溶剤を揮発除去することが好ましい。乾燥方法としては、例えば、オーブン、電磁波紫外線ランプ、赤外線ヒーター、ハロゲンヒーター等による加熱乾燥や、真空乾燥などが挙げられる。乾燥温度は50〜130℃が好ましく、乾燥時間は1分間〜数時間が好ましい。   When the conductive paste contains a solvent, it is preferable to dry the coating film to volatilize and remove the solvent. Examples of the drying method include heating and drying with an oven, an electromagnetic wave ultraviolet lamp, an infrared heater, a halogen heater, and the like, and vacuum drying. The drying temperature is preferably 50 to 130 ° C., and the drying time is preferably 1 minute to several hours.

導電ペーストの塗布膜または乾燥膜に、任意のパターン形成用マスクを介して、フォトリソグラフィー法により露光することが好ましい。露光光は、導電ペースト組成物が含有する光重合開始剤(C)の吸収波長と合致する紫外領域、すなわち、200nm〜450nmの波長域に発光を有することが好ましい。そのような露光光を得るための光源としては、例えば、水銀ランプ、ハロゲンランプ、キセノンランプ、LEDランプ、半導体レーザー、KrF、ArFエキシマレーザーなどが挙げられる。これらの中でも、水銀ランプのi線(波長365nm)が好ましい。露光量は、露光部の現像液への溶解性の観点から、波長365nm換算で50mJ/cm以上が好ましく、200mJ/cm以上がより好ましい。 It is preferable to expose the coating film or the dried film of the conductive paste by a photolithography method through an arbitrary mask for pattern formation. It is preferable that exposure light has light emission in the ultraviolet region that matches the absorption wavelength of the photopolymerization initiator (C) contained in the conductive paste composition, that is, in the wavelength region of 200 nm to 450 nm. As a light source for obtaining such exposure light, a mercury lamp, a halogen lamp, a xenon lamp, an LED lamp, a semiconductor laser, a KrF, an ArF excimer laser etc. are mentioned, for example. Among these, the i-line (wavelength 365 nm) of a mercury lamp is preferable. The exposure dose is preferably 50 mJ / cm 2 or more, more preferably 200 mJ / cm 2 or more, in terms of wavelength 365 nm, from the viewpoint of solubility of the exposed portion in the developer.

露光後、現像液を用いて現像することにより、未露光部を溶解除去して、所望のパターンを得る。アルカリ現像を行う場合の現像液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニア水等の無機アルカリ類;エチルアミン、n−プロピルアミン等の1級アミン類;ジエチルアミン、ジ−n−プロピルアミン等の2級アミン類;トリエチルアミン、メチルジエチルアミン等の3級アミン類;テトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)等のテトラアルキルアンモニウムヒドロキシド類;コリン等の4級アンモニウム塩;トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミン、ジメチルアミノエタノール、ジエチルアミノエタノール等のアルコールアミン類;ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ[5,4,0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ[4,3,0]−5−ノナン、モルホリン等の環状アミン類等の有機アルカリ類などのアルカリ性物質を水に溶解したアルカリ水溶液が挙げられる。これらにエタノール、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、N−メチル−2−ピロリドン等の水溶性有機溶剤や界面活性剤などを1種以上添加してもよい。   After exposure, development is carried out using a developer to dissolve and remove the unexposed area to obtain a desired pattern. As a developing solution in the case of performing alkali development, inorganic alkalis such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium silicate, sodium metasilicate, ammonia water, etc .; 1 such as ethylamine, n-propylamine Secondary amines; Secondary amines such as diethylamine and di-n-propylamine; Tertiary amines such as triethylamine and methyldiethylamine; Tetraalkyl ammonium hydroxides such as tetramethyl ammonium hydroxide (TMAH); Choline etc. Quaternary ammonium salts; alcohol amines such as triethanolamine, diethanolamine, monoethanolamine, dimethylaminoethanol, diethylaminoethanol, etc .; pyrrole, piperidine, 1,8-diazabicyclo [5,4,0] -7-cobalt Decene, 1,5-diazabicyclo [4,3,0] -5-nonane, and alkali aqueous solutions the alkaline material was dissolved in water such as organic alkalis such cyclic amines such as morpholine and the like. One or more kinds of water-soluble organic solvents such as ethanol, γ-butyrolactone, dimethylformamide, N-methyl-2-pyrrolidone and surfactants may be added to these.

現像方法として、例えば、導電ペーストの塗布膜を形成した基板を静置、回転または搬送させながら現像液を前記導電ペーストの塗布膜の表面にスプレーする方法、導電ペーストの塗布膜を現像液中に浸漬する方法、導電ペーストの塗布膜を現像液中に浸漬させながら超音波をかける方法などが挙げられる。   As a developing method, for example, a method of spraying a developing solution on the surface of the coating film of the conductive paste while allowing the substrate on which the coating film of the conductive paste is formed to stand, rotate or transport, a coating film of the conductive paste in the developing solution The method of immersing, the method of applying an ultrasonic wave, immersing the coating film of a conductive paste in a developing solution, etc. may be mentioned.

現像後、リンス液によるリンス処理を施してもよい。リンス液としては、例えば、水;エタノール、イソプロピルアルコール等のアルコール類の水溶液;乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のエステル類の水溶液などが挙げられる。   After development, rinse treatment with a rinse solution may be performed. Examples of the rinse solution include water; aqueous solutions of alcohols such as ethanol and isopropyl alcohol; and aqueous solutions of esters such as ethyl lactate and propylene glycol monomethyl ether acetate.

得られたパターンを加熱することにより、導電パターンを得ることができる。加熱雰囲気、温度および時間は、導電ペーストの組成や、塗布膜の厚さに応じて適宜設定することができる。本発明においては、空気中で加熱することが好ましい。加熱温度は、硬化を十分に進め、導電性をより向上させる観点から、100℃以上が好ましく、120℃以上がより好ましい。一方、基板の耐熱性の観点から、加熱温度は、200℃以下が好ましく、150℃以下がより好ましい。加熱装置としては、塗布膜の加熱乾燥において例示した装置が挙げられる。   A conductive pattern can be obtained by heating the obtained pattern. The heating atmosphere, temperature, and time can be appropriately set according to the composition of the conductive paste and the thickness of the coating film. In the present invention, heating in air is preferred. The heating temperature is preferably 100 ° C. or more, and more preferably 120 ° C. or more, from the viewpoint of sufficiently curing and further improving the conductivity. On the other hand, from the viewpoint of the heat resistance of the substrate, the heating temperature is preferably 200 ° C. or less, more preferably 150 ° C. or less. As a heating apparatus, the apparatus illustrated in the heat-drying of a coating film is mentioned.

本発明の導電パターン形成基板は、導電パターンが視認されにくいことが必要な用途に好適に用いることができる。例えば、タッチパネル用部材、電磁シールド用部材、透明LEDライト用部材などが挙げられる。中でも、微細化および導電パターンを視認されにくくすることがより高く要求されるタッチパネル用部材として好適に用いることができる。   The conductive pattern-formed substrate of the present invention can be suitably used in applications where it is necessary that the conductive pattern is not easily visible. For example, members for touch panels, members for electromagnetic shielding, members for transparent LED lights, etc. may be mentioned. Above all, it can be suitably used as a member for a touch panel which is required to be more highly miniaturized and to make it difficult to visually recognize a conductive pattern.

以下、実施例を挙げて、本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれによって限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail by way of examples, but the present invention is not limited thereto.

各実施例における評価方法は、次のとおりである。   The evaluation method in each example is as follows.

<微細パターン加工性>
PETフィルム上に、各実施例および比較例により得られた導電ペーストを、乾燥後の膜厚が2μmになるように塗布し、100℃の乾燥オーブン内で10分間乾燥した。メッシュ形状の開口部を有するフォトマスクを介して、露光装置(PEM−6M;ユニオン光学(株)製)を用いて、露光量500mJ/cm(波長365nm換算)で露光した。なお、メッシュ形状のピッチは300μmとし、メッシュ部のマスク開口幅は、1.5、2.0、3.0、4.0、5.0、6.0、7.0μmの7種類とした。端子間の距離は20mm、幅は2mmとし、パッド部は4mmの正方形とした。露光後、0.1重量%のNaCO水溶液を用いて、20秒間スプレー現像し、超純水によりリンス処理を行った。その後、140℃の乾燥内で120分間加熱し、線幅の異なる7種類の導電パターンをそれぞれ得た。図1に、微細パターン加工性評価用導電パターンの概略図を示す。メッシュ部の両端にパッド部1を有し、端子間距離2は20mm、パッド部幅3は2mmであった。得られた導電パターンを光学顕微鏡で観察し、パターン剥がれの有無を観察した。パターン剥がれが観察されない最小のマスク開口幅から、以下の評価基準に従って微細パターン加工性を評価した。1以上を合格とした。
5:マスク開口幅1.5μm以上でパターン剥がれ無し
4:マスク開口幅2.0μm以上でパターン剥がれ無し
3:マスク開口幅3.0μm以上でパターン剥がれ無し
2:マスク開口幅4.0μm以上でパターン剥がれ無し
1:マスク開口幅5.0μm以上でパターン剥がれ無し
0:マスク開口幅6.0μm以上でパターン剥がれ有り。
<Fine pattern processability>
The conductive paste obtained in each Example and Comparative Example was applied onto a PET film so that the film thickness after drying was 2 μm, and dried for 10 minutes in a drying oven at 100 ° C. It exposed by the exposure amount 500 mJ / cm < 2 > (wavelength 365 nm conversion) using exposure apparatus (PEM-6M; Union Optical Co., Ltd. product) through the photomask which has a mesh-shaped opening part. In addition, the pitch of the mesh shape was 300 μm, and the mask opening width of the mesh portion was seven types of 1.5, 2.0, 3.0, 4.0, 5.0, 6.0, and 7.0 μm. . The distance between the terminals was 20 mm, the width was 2 mm, and the pad portion was a square of 4 mm 2 . After exposure, spray development was performed for 20 seconds using a 0.1 wt% aqueous Na 2 CO 3 solution, and rinsing was performed with ultrapure water. Thereafter, heating was performed for 120 minutes in drying at 140 ° C., and seven types of conductive patterns having different line widths were obtained. FIG. 1 shows a schematic view of a conductive pattern for fine pattern processability evaluation. The pad portion 1 was provided at both ends of the mesh portion, the distance 2 between terminals was 20 mm, and the pad portion width 3 was 2 mm. The obtained conductive pattern was observed with an optical microscope, and the presence or absence of pattern peeling was observed. From the smallest mask opening width at which pattern peeling is not observed, the fine pattern processability was evaluated according to the following evaluation criteria. Pass 1 or more.
5: Mask opening width 1.5 μm or more and no pattern peeling 4: Mask opening width 2.0 μm or more and no pattern peeling 3: Mask opening width 3.0 μm or more and no pattern peeling 2: Mask opening width 4.0 μm or more No peeling 1: No peeling of pattern at mask opening width of 5.0 μm or more 0: There is peeling of pattern at mask opening width of 6.0 μm or more.

<導電性評価>
前記微細パターン加工性の評価方法により得られた導電パターンのうち、パターン剥がれが観察されない最小のマスク開口幅の導電パターンについて、抵抗測定用テスター(2407A;BKプレシジョン社製)を用いて端子間の抵抗値を測定した。また、同じ導電パターンについて、表面粗さ形状測定機(“サーフコム”(登録商標)1400D;(株)東京精密製)を用いて厚さを測定した。また、光学顕微鏡を用いて、同じ導電パターンを倍率1000倍で拡大観察して線幅を測定した。下記式(2)に従って、体積抵抗率(μΩ・cm)を算出し、以下の評価基準に従って導電性を評価した。1以上を合格とした。ただし、全てのパターンが剥がれた比較例3については評価できなかった。
体積抵抗率(μΩ・cm)={抵抗値(Ω)×膜厚(μm)×線幅(μm)×パッド部幅(μm)}/{端子間距離(μm)/ピッチ(μm)}×100 ・・・(2)
5:50μΩ・cm未満
4:50μΩ・cm以上60μΩ・cm未満
3:60μΩ・cm以上70μΩ・cm未満
2:70μΩ・cm以上80μΩ・cm未満
1:80μΩ・cm以上100μΩ・cm未満
0:100μΩ・cm以上。
<Conductive evaluation>
Among the conductive patterns obtained by the evaluation method of fine pattern machinability, the conductive pattern of the minimum mask opening width in which pattern peeling is not observed is measured using a resistance measuring tester (2407A; made by BK Precision Co., Ltd.) The resistance value was measured. In addition, the thickness of the same conductive pattern was measured using a surface roughness shape measuring machine ("Surfcom" (registered trademark) 1400D; manufactured by Tokyo Seimitsu Co., Ltd.). Further, using the optical microscope, the same conductive pattern was magnified and observed at a magnification of 1000 and the line width was measured. The volume resistivity (μΩ · cm) was calculated according to the following equation (2), and the conductivity was evaluated according to the following evaluation criteria. Pass 1 or more. However, Comparative Example 3 in which all the patterns were peeled off could not be evaluated.
Volume resistivity (μΩ · cm) = {resistance value (Ω) × film thickness (μm) × line width (μm) × pad portion width (μm)} / {terminal distance (μm) / pitch (μm)} × 100 ... (2)
5: 50 μΩ · cm or less 4: 50 μΩ · cm or more 60 μΩ · cm or less 3: 60 μΩ · cm or more 70 μΩ · cm or less 2: 70 μΩ · cm or more 80 μΩ · cm or less 1: 80 μΩ · cm or more 100 μΩ · cm or less 0: 100 μΩ ·· cm or more.

<視認性(視認されにくさ)(目視)>
前記微細パターン加工性の評価方法により得られた導電パターン形成基板を、黒色フィルム上に設置し、投光機を用いて光を投射し、30cm離れた位置から10人がそれぞれ目視し、メッシュ状の電極部分が視認可能か否か、以下の評価基準に従って評価した。2以上を合格とした。ただし、全てのパターンが剥がれた比較例3については評価できなかった。
5:10人が視認不可
4:8人以上10人未満が視認不可
3:6人以上8人未満が視認不可
2:4人以上6人未満が視認不可
1:2人以上4人未満が視認不可
0:2人未満が視認不可。
<Visibility (visual difficulty) (visual)
The conductive pattern-formed substrate obtained by the evaluation method of fine pattern processability is placed on a black film, light is projected using a light projector, and 10 people visually observe from positions 30 cm apart, respectively, in a mesh shape It was evaluated according to the following evaluation criteria whether or not the electrode part of was visible. Pass 2 or more. However, Comparative Example 3 in which all the patterns were peeled off could not be evaluated.
5: 10 people are not visible 4: 8 or more and less than 10 are not visible 3: 6 or more and less than 8 are not visible 2: 4 or more and 6 or less are not visible 1: 2 or more and less than 4 are visible Impossible 0: Less than 2 people can not see.

<視認性(視認されにくさ)(反射率)>
前記微細パターン加工性の評価方法により得られた導電パターン形成基板のパッド部について、反射率計(VSR400:日本電色工業(株)製)を用いて、波長550nmにおける反射率を測定した。以下の評価基準に従って評価した。3以上を合格とした。
5:20%未満
4:20%超25%以下
3:25%超30%以下
2:30%超35%以下
1:35%超40%以下
0:40%超。
<Visibility (visual difficulty) (reflectance)>
The reflectance at a wavelength of 550 nm was measured using a reflectometer (VSR400: manufactured by Nippon Denshoku Kogyo Co., Ltd.) for the pad portion of the conductive pattern formed substrate obtained by the method of evaluating fine pattern processability. It evaluated according to the following evaluation criteria. Passed 3 or more.
5: less than 20% 4: 20% more than 25% less than 3: 25% more than 30% less than 2: 30% more than 35% less than 1: 35% more than 40% less than 0: 40%.

各実施例で用いた材料は、次のとおりである。
[導電性粒子(A)]
A−1:一次粒子径0.3μmの銀粒子(20℃における電気抵抗率3μΩ・cm以下)
A−2:一次粒子径0.8μmの銀粒子(20℃における電気抵抗率3μΩ・cm以下)
なお、導電性粒子の一次粒子径は、導電性粒子を、電子顕微鏡を用いて倍率25000倍で観察し、無作為に選択した100個の導電性粒子の一次粒子について、それぞれ長径と短径を測定してその平均値を一次粒子径とし、その数平均値から算出した。
The materials used in each example are as follows.
[Conductive particle (A)]
A-1: Silver particles having a primary particle diameter of 0.3 μm (electrical resistivity at 20 ° C. of 3 μΩ · cm or less)
A-2: Silver particles having a primary particle diameter of 0.8 μm (electrical resistivity at 20 ° C. of 3 μΩ · cm or less)
The primary particle diameter of the conductive particles was obtained by observing the conductive particles at a magnification of 25000 using an electron microscope, and measuring the major and minor diameters of the primary particles of 100 conductive particles randomly selected. It measured and made the average value primary particle diameter, and it computed from the number average value.

[不飽和二重結合を有する化合物(B)]
(合成例1)カルボキシル基含有アクリル系共重合体(B−1)
窒素雰囲気の反応容器中に、150gのジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(以下、「DMEA」)を仕込み、オイルバスを用いて80℃まで昇温した。これに、20gのエチルアクリレート(以下、「EA」)、40gのメタクリル酸2−エチルヘキシル(以下、「2−EHMA」)、20gのスチレン(以下、「St」)、15gのアクリル酸(以下、「AA」)、0.8gの2,2−アゾビスイソブチロニトリル及び10gのDMEAからなる混合物を、1時間かけて滴下した。滴下終了後、さらに80℃で6時間撹拌して重合反応を行った。その後、1gのハイドロキノンモノメチルエーテルを添加して、重合反応を停止した。引き続き、5gのグリシジルメタクリレート(以下、「GMA」)、1gのトリエチルベンゼンアンモニウムクロライド及び10gのDMEAからなる混合物を、0.5時間かけて滴下した。滴下終了後、さらに80℃で2時間撹拌して付加反応を行った。得られた反応溶液をメタノールで精製することにより未反応不純物を除去し、さらに24時間真空乾燥して、共重合比率(質量基準):EA/2−EHMA/St/GMA/AA=20/40/20/5/15のカルボキシル基含有アクリル系共重合体を得た。得られた共重合体の酸価を測定したところ、103mgKOH/gであった。なお、酸価はJIS K 0070(1992)に準じて測定した。
[Compound having unsaturated double bond (B)]
Synthesis Example 1 Carboxyl Group-Containing Acrylic Copolymer (B-1)
In a nitrogen atmosphere reaction vessel, 150 g of diethylene glycol monoethyl ether acetate (hereinafter, “DMEA”) was charged, and the temperature was raised to 80 ° C. using an oil bath. In this, 20 g of ethyl acrylate (hereinafter, "EA"), 40 g of 2-ethylhexyl methacrylate (hereinafter, "2-EHMA"), 20 g of styrene (hereinafter, "St"), 15 g of acrylic acid (hereinafter, A mixture consisting of "AA"), 0.8 g of 2,2-azobisisobutyronitrile and 10 g of DMEA was added dropwise over 1 hour. After completion of the dropwise addition, the mixture was further stirred at 80 ° C. for 6 hours for polymerization reaction. Thereafter, 1 g of hydroquinone monomethyl ether was added to terminate the polymerization reaction. Subsequently, a mixture consisting of 5 g of glycidyl methacrylate (hereinafter "GMA"), 1 g of triethylbenzene ammonium chloride and 10 g of DMEA was dropped over 0.5 hours. After completion of the dropwise addition, the mixture was further stirred at 80 ° C. for 2 hours to carry out an addition reaction. Unreacted impurities are removed by purifying the resulting reaction solution with methanol, and vacuum drying is further performed for 24 hours to obtain a copolymerization ratio (by mass): EA / 2-EHMA / St / GMA / AA = 20/40. A carboxyl group-containing acrylic copolymer of / 20/5/15 was obtained. It was 103 mgKOH / g when the acid value of the obtained copolymer was measured. The acid value was measured in accordance with JIS K 0070 (1992).

[光重合開始剤(C)]
C−1:“IRGACURE”(登録商標)369(チバジャパン(株)製、α−アミノアルキルフェノン系化合物)
C−2“IRGACURE”(登録商標)OXE02(チバジャパン(株)製、オキシム系化合物)
[C.I.ソルベントブラック3(D)]
D−1:オイルブラック(登録商標)HBB(オリエント化学工業(株)製)
D−2:オイルブラック(登録商標)860(オリエント化学工業(株)製)
D−3:Neptunブラック(登録商標)X60(BASF社製)
[エポキシ樹脂]
E−1:“JER”(登録商標)828(三菱化学(株)製、エポキシ当量188)
E−2:“アデカレジン”(登録商標)EPR−4030((株)ADEKA製、エポキシ当量380)
E’−3:“JER”(登録商標)1002(三菱化学(株)製、エポキシ当量650)。
[Photoinitiator (C)]
C-1: "IRGACURE" (registered trademark) 369 (manufactured by Ciba Japan Co., Ltd., α-aminoalkylphenone compound)
C-2 "IRGACURE" (registered trademark) OXE 02 (Ciba Japan KK, oxime compound)
[C. I. Solvent Black 3 (D)]
D-1: Oil Black (registered trademark) HBB (manufactured by Orient Chemical Industry Co., Ltd.)
D-2: Oil Black (registered trademark) 860 (manufactured by Orient Chemical Industry Co., Ltd.)
D-3: Neptun Black (registered trademark) X60 (manufactured by BASF)
[Epoxy resin]
E-1: “JER” (registered trademark) 828 (Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent 188)
E-2: “ADECA RESIN” (registered trademark) EPR-4030 (manufactured by ADEKA, epoxy equivalent: 380)
E'-3: "JER" (registered trademark) 1002 (manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd., epoxy equivalent 650).

[黒色材料]
CB:カーボンブラック#240(三菱化学(株)製、平均粒子径45nm)
NH805:C.I.ソルベントブラック5 NUBIAN BLACK(登録商標)NH−805(オリエント化学工業(株)製)
[実施例1]
100mLクリーンボトルに、10.0gの不飽和二重結合を有する化合物(B−1)、0.50gの光重合開始剤(C−2)、0.24gのC.I.ソルベントブラック3(D−1)および5.0gのDMEAを入れ、自転−公転真空ミキサー“あわとり錬太郎”(登録商標)ARE−310((株)シンキー製)を用いて混合して、15.74gの樹脂溶液(固形分68.2質量%)を得た。
[Black material]
CB: carbon black # 240 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, average particle size 45 nm)
NH 805: C.I. I. Solvent Black 5 NUBIAN BLACK (registered trademark) NH-805 (manufactured by Orient Chemical Industry Co., Ltd.)
Example 1
In a 100 mL clean bottle, 10.0 g of a compound (B-1) having unsaturated double bonds, 0.50 g of a photopolymerization initiator (C-2), 0.24 g of C.I. I. Add Solvent Black 3 (D-1) and 5.0 g of DMEA, mix them using a rotation-revolution vacuum mixer “Awatori Fuyutaro” (registered trademark) ARE-310 (manufactured by Shinky Co., Ltd.), 15 .74 g of a resin solution (solid content 68.2% by mass) was obtained.

得られた15.74gの樹脂溶液と40.4gの導電性粒子(A−1)を混ぜ合わせ、三本ローラーミル(EXAKT M−50;EXAKT社製)を用いて混練し、55.78gの導電ペーストを得た。表1に導電ペーストの組成を示す。   The resulting 15.74 g of resin solution and 40.4 g of conductive particles (A-1) were mixed and kneaded using a three-roller mill (EXAKT M-50; made by EXAKT) to give 55.78 g of A conductive paste was obtained. Table 1 shows the composition of the conductive paste.

得られた導電ペーストを用いて、前述の方法により、微細パターン加工性、導電性、視認性(視認されにくさ)(目視)および視認性(視認されにくさ)(反射率)をそれぞれ評価した。微細パターン加工性は「5」、導電性は「4」と良好であった。視認性(視認されにくさ)(目視)、視認性(視認されにくさ)(反射率)はいずれも「2」であったが、問題なく使用できる範囲であった。評価結果を表2に示す。   The fine pattern processability, conductivity, visibility (visual difficulty) (visual difficulty) and visibility (visual difficulty) (reflectance) were evaluated by the methods described above using the obtained conductive paste. . The fine pattern processability was as good as "5" and the conductivity as "4". Although the visibility (inconspicuousness) (visual observation) and the visibility (inconspicuousness) (reflectance) were all “2”, it was a usable range without any problem. The evaluation results are shown in Table 2.

[実施例2〜14]
表1に示す組成の導電ペーストを実施例1と同じ方法で作製し、実施例1と同様にして評価を行った。評価結果を表2に示す。
[Examples 2 to 14]
The conductive paste of the composition shown in Table 1 was produced by the same method as in Example 1 and evaluated in the same manner as in Example 1. The evaluation results are shown in Table 2.

[比較例1〜5]
表1に示す組成の導電ペーストを、実施例1と同じ方法で製造し、実施例1と同様にして評価を行った。評価結果を表2に示す。
Comparative Examples 1 to 5
The electrically conductive paste of the composition shown in Table 1 was manufactured by the same method as Example 1, and it carried out similarly to Example 1, and evaluated. The evaluation results are shown in Table 2.

[比較例6]
表1に示す組成の感光性導電ペーストを、実施例1と同じ方法で製造し、各評価用の導電パターンを形成した。
Comparative Example 6
The photosensitive electrically conductive paste of the composition shown in Table 1 was manufactured by the same method as Example 1, and the electrically conductive pattern for each evaluation was formed.

水50gに36質量%塩酸40gを加えて塩酸の水溶液を調製した。次いで、この塩酸水溶液90gに酸化テルル3gを加えた。酸化テルルが塩酸水溶液に完全に溶解したことを目視にて確認した後、この塩酸水溶液に酢酸5gを加え、さらに水を加えて全量を100gとして、黒色化溶液を調製した。得られた黒色化溶液に、前記導電パターンを形成した基板を10秒間浸漬させ黒色化し、導電パターン形成基板を形成した。実施例1と同様にして評価を行った。評価結果を表2に示す。   An aqueous solution of hydrochloric acid was prepared by adding 40 g of 36% by mass hydrochloric acid to 50 g of water. Next, 3 g of tellurium oxide was added to 90 g of this aqueous hydrochloric acid solution. After visually confirming that tellurium oxide was completely dissolved in the aqueous solution of hydrochloric acid, 5 g of acetic acid was added to the aqueous solution of hydrochloric acid, and water was further added to make the total amount 100 g to prepare a blackening solution. The substrate having the conductive pattern formed thereon was immersed in the obtained blackening solution for 10 seconds to be blackened, thereby forming a conductive pattern-formed substrate. Evaluation was performed in the same manner as in Example 1. The evaluation results are shown in Table 2.

Figure 2019114497
Figure 2019114497

Figure 2019114497
Figure 2019114497

表2に示されるように、実施例1〜14の導電ペーストにより得られる導電パターンは、いずれも微細パターン加工性、導電性は「1」以上、視認性(視認されにくさ)(目視)、視認性(視認されにくさ)(反射率)は「2」以上で問題なく使用できる範囲であった。一方、比較例1〜6の導電ペーストにより得られる導電パターンは、微細パターン加工性、導電性、視認性(視認されにくさ)(目視)または視認性(視認されにくさ)(反射率)のいずれかが不十分であった。   As shown in Table 2, the conductive patterns obtained by the conductive pastes of Examples 1 to 14 are all fine pattern processability, the conductivity is “1” or more, visibility (poor visibility) (visual), Visibility (visual difficulty) (reflectance) was a range that can be used without problems at "2" or more. On the other hand, the conductive pattern obtained by the conductive paste of Comparative Examples 1 to 6 has fine pattern processability, conductivity, visibility (visibility) (visually) or visibility (visibility) (reflectance) Either was insufficient.

本発明の導電ペーストは、微細化および配線電極を視認されにくくすることがより高く要求されるタッチパネル用部材として好適に用いることができる。   The conductive paste of the present invention can be suitably used as a member for a touch panel which is required to be highly miniaturized and to make it hard to visually recognize wiring electrodes.

1 パッド部
2 端子間距離
3 パッド部幅
1 pad 2 distance between terminals 3 pad width

Claims (8)

導電性粒子(A)、不飽和二重結合を有する化合物(B)、光重合開始剤(C)およびC.I.ソルベントブラック3(D)を含有し、前記C.I.ソルベントブラック3(D)の含有量が前記導電性粒子(A)100重量部に対して0.5〜15重量部である導電ペースト。 Conductive particles (A), compounds having unsaturated double bonds (B), photopolymerization initiators (C) and C.I. I. Solvent black 3 (D); I. The electrically conductive paste whose content of solvent black 3 (D) is 0.5-15 weight parts with respect to 100 weight parts of said conductive particles (A). さらにエポキシ当量が150〜500g/当量のエポキシ樹脂(E)を含有する請求項1記載の導電ペースト。 The conductive paste according to claim 1, further comprising an epoxy resin (E) having an epoxy equivalent of 150 to 500 g / equivalent. 前記光重合開始剤(C)が、オキシム系化合物を含有する請求項1または2記載の導電ペースト。 The electrically conductive paste of Claim 1 or 2 in which the said photoinitiator (C) contains an oxime type compound. 前記導電性粒子(A)の一次粒子径が0.1〜0.4μmである請求項1〜3のいずれか一項記載の導電ペースト。 The conductive particle according to any one of claims 1 to 3, wherein the primary particle diameter of the conductive particles (A) is 0.1 to 0.4 μm. 請求項1〜4のいずれか一項記載の導電ペーストを基板上に塗布し、露光し、現像した後に100〜250℃の温度で加熱して導電パターンを得る導電パターン形成基板の製造方法。 A method for producing a conductive pattern-formed substrate, wherein the conductive paste according to any one of claims 1 to 4 is applied onto a substrate, exposed and developed, and then heated at a temperature of 100 to 250 ° C to obtain a conductive pattern. 前記導電パターンの厚さが2μm以下である、請求項5記載の導電パターン形成基板の製造方法。 The manufacturing method of the conductive pattern formation board | substrate of Claim 5 whose thickness of the said conductive pattern is 2 micrometers or less. 基板上に、請求項1〜4のいずれか一項記載の導電ペーストの硬化物からなる導電パターンを有する導電パターン形成基板。 The conductive pattern formation board | substrate which has the conductive pattern which consists of hardened | cured material of the conductive paste in any one of Claims 1-4 on a board | substrate. 前記導電パターンの波長550nmにおける反射率が30%以下、体積抵抗率が100μΩ・cm未満である、請求項7記載の導電パターン形成基板。 The conductive pattern forming substrate according to claim 7, wherein a reflectance of the conductive pattern at a wavelength of 550 nm is 30% or less and a volume resistivity is less than 100 μΩ · cm.
JP2017248898A 2017-12-26 2017-12-26 Method for manufacturing conductive paste and conductive pattern forming substrate Active JP6962179B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017248898A JP6962179B2 (en) 2017-12-26 2017-12-26 Method for manufacturing conductive paste and conductive pattern forming substrate

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017248898A JP6962179B2 (en) 2017-12-26 2017-12-26 Method for manufacturing conductive paste and conductive pattern forming substrate

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2019114497A true JP2019114497A (en) 2019-07-11
JP6962179B2 JP6962179B2 (en) 2021-11-05

Family

ID=67222756

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017248898A Active JP6962179B2 (en) 2017-12-26 2017-12-26 Method for manufacturing conductive paste and conductive pattern forming substrate

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6962179B2 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
JP6962179B2 (en) 2021-11-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5967079B2 (en) Conductive paste and conductive pattern manufacturing method
JP5278632B2 (en) Photosensitive conductive paste and method for producing conductive pattern
WO2011114846A1 (en) Photosensitive conductive paste and method for forming conductive pattern
WO2014208445A1 (en) Electroconductive paste, method for manufacturing an electroconductive pattern, and touch panel
TWI809000B (en) Photosensitive conductive paste, film for forming conductive pattern, pressure sensor, and method of manufacturing substrate with wiring
TW201419313A (en) Photosensitive conductive paste, laminate substrate, method for producing conductive pattern and electrostatic capacitance touch panel
CN113412688A (en) Method for manufacturing conductive pattern
JP5764931B2 (en) Photosensitive paste for forming organic-inorganic composite conductive pattern and method for producing organic-inorganic composite conductive pattern
KR102208100B1 (en) Conductive paste, touch panel, and method for producing conductive pattern
TW201517058A (en) Photosensitive light-shielding paste, method of producing laminated pattern for touch sensor, touch sensor and touch panel
JP5673890B1 (en) Conductive paste and conductive pattern manufacturing method
US10198139B2 (en) Method of producing touch sensor member, and touch sensor member
JP6962179B2 (en) Method for manufacturing conductive paste and conductive pattern forming substrate
JP5403187B1 (en) Photosensitive conductive paste and method for producing conductive pattern
JP5978683B2 (en) Manufacturing method of substrate with conductive pattern
WO2014069436A1 (en) Photosensitive conductive paste and method for producing conductive pattern
JP6717439B1 (en) Laminated material
TW201800850A (en) Photosensitive conductive paste and method for manufacturing substrate provided with conductive pattern
JP6729378B2 (en) Conductive paste, touch sensor member and conductive pattern manufacturing method

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20200915

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20210610

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210706

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210831

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20210914

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20210927

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 6962179

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151