JP2019056481A - 締結構造、締結構造を備えたプラズマ処理装置、及び締結構造用ナット - Google Patents
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Abstract
Description
特に、プラズマ処理装置の内部には、プラズマ処理のためにフッ素系ガスや塩素系ガスなどのハロゲン系ガスを含む処理ガスが供給される。プラズマ処理装置の内部に設けられた締結構造は、処理ガスに曝露されるため、より腐食し易いという問題がある。また、反応生成物によって汚染され易いという問題もある。
なお、離脱阻止手段がつば部である場合、第1部材に設けられたつば部と第2部材とがボルトとナットとの間で締結されることになる。このため、つば部の厚みが過度に薄いと締結強度が低くなり、締結の際や締結後につば部が破損するおそれもある。このため、つば部の厚みは一定以上に厚くするのが好ましい。
なお、ナットとボルトとの螺合が完了した後には、第1部材と第2部材とは締結している状態であるため、第1領域が第2領域よりも下方に位置したとしても何ら問題は生じない。
「前記ナット収納部の連接方向と直交し且つ前記ナット収納部の底面と平行な方向(以下、この方向を適宜「幅方向」と称する)を基準として、前記ナットの外縁形状が非線対称である」とは、幅方向に延びる如何なる直線を基準にしたとしても、ナットの外縁形状が線対称にならない(線対称の基準となる直線が存在しない)ことを意味する。
すなわち、本発明に係る第2手段は、第1部材と第2部材とを締結する締結構造であって、ボルトと、前記ボルトに螺合可能なナットと、前記第1部材に設けられ、前記ナットを収納可能な溝状のナット収納部と、前記第2部材に設けられ、前記ボルトが挿通可能な貫通部と、を備え、前記ナット収納部は、前記ナット収納部の底面に平行な方向から前記ナットが挿入可能で且つ前記ナット収納部の底面と直交する方向への前記ナットの離脱を阻止する離脱阻止手段を有し、前記ナットが前記ナット収納部に挿入され収納された状態において、前記貫通部に挿通された前記ボルトが前記ナットに螺合可能であることを特徴とする締結構造である。
上記好ましい形態のように、離脱阻止手段がつば部であれば、切削によってナット収納部を第1部材に形成する際、部分的に切削しない箇所を設けるだけで容易に形成可能である。このため、ナット収納部ひいては締結構造を既存の第1部材を用いて容易に形成することができる。
上記好ましい形態では、ボルトの回転に伴ってナットが回転しようとしても、ナットの外周面がナット収納部の内周面に当接することで回転が阻止されるため、ナット収納部におけるナットの供回りを容易に防ぐことができる。このため、ボルトをナットに容易に螺合させることができる。
ナットとボルトとを螺合する際、ナット収納部におけるナットの挿入方向上流側がナットの挿入方向下流側よりも下方に位置すると、ナット収納部に収納されたナットが、自重によりナット収納部から抜け出るおそれがある。これに対し、上記好ましい形態によれば、ナットの挿入方向上流側がナットの挿入方向下流側よりも上方に位置するので、ナット収納部に収納されたナットがナット収納部から抜け出し難く、ボルトとナットとを的確に素早く螺合させることができる。
上記好ましい形態によれば、幅方向(ナットの挿入方向と直交し且つナット収納部の底面と平行な方向)を基準としてナットの外縁形状が非線対称であり、なお且つ、ナット収納部は、ナットが本来の向きで挿入される場合に限って収納可能な形状の内周面を有するため、ナットを挿入する際にナットの向きを間違えることがなく、本来の向きでナットを収納することができる。この結果、より迅速にボルトとナットとを螺合させることができる。
上記好ましい形態によれば、ボルトをナットに螺合させる際、ナットの挿入方向の端部がナット収納部の挿入方向の端面に当接した状態になる。このため、ボルトに螺合するナットの挿入方向の位置を正確に位置決めすることができ、容易にボルトとナットとを螺合させることができる。
本発明に係る第1手段の締結構造に用いられる締結構造用ナットは、前記ナットが前記ナット収納部に収納された状態において、前記第1領域から前記第2領域へ延びる前記ナット収納部の連接方向と直交し且つ前記ナット収納部の底面と平行な方向を基準として、前記ナットの外縁形状が非線対称である。
本発明に係る第1手段の締結構造に用いられる締結構造用ナットによれば、幅方向を基準としてナットの外縁形状が非線対称であるため、ナットを第1領域に挿入する際にナットの向きを間違えることがなく、予定されている本来の向きでナットを収納することができる。この結果、より迅速にボルトとナットとを螺合させることができる。
本発明に係る第2手段の締結構造に用いられる締結構造用ナットは、前記ナットが前記ナット収納部に収納された状態において、前記ナットの挿入方向と直交し且つ前記ナット収納部の底面と平行な方向を基準として、前記ナットの外縁形状が非線対称である。
本発明に係る第2手段の締結構造に用いられる締結構造用ナットによれば、幅方向を基準としてナットの外縁形状が非線対称であるため、ナットをナット収納部に挿入する際にナットの向きを間違えることがなく、予定されている本来の向きでナットを収納することができる。この結果、より迅速にボルトとナットとを螺合させることができる。
また、図1において第1実施形態に係る締結構造を備えたプラズマ処理装置全体を、図2乃至図18においてプラズマ処理装置を構成する各部材を部分的に描写しているが、本発明の締結構造と無関係な部分については適宜描写を省略又は簡略化して描写している点に留意されたい。
図1は、本発明の第1実施形態に係る締結構造を備えたプラズマ処理装置を表す概要図である。
図1に示すプラズマ処理装置10は、平行平板型(容量結合型)のプラズマ処理装置10である。平行平板型のプラズマ処理装置10は、チャンバ11と、チャンバ11の上端開口部を覆うように設けられた上部電極12と、上部電極12の上方に設けられたガス供給管13と、上部電極12の下方に設けられたシャワーヘッド14と、チャンバ11の内部に設けられた下部電極15と、載置台16と、を備える。また、プラズマ処理装置10は、上部電極12とチャンバ11との間に介在する絶縁部17と、高周波電源18、19とを備える。下部電極15上には、プラズマ処理の対象となるシリコンウエハなどの被処理体Sが載置される。
上部電極12は、チャンバの上端開口部を閉塞するように設けられた、高周波電力の印加対象となる部材であり、一般的に、アルミニウムや単結晶シリコンなどから構成されている。
図2に示すように、本実施形態では、上部電極12の下面は円形であり、その中央部に貫通孔(ガス流路12a)が1つ設けられている。ガス供給源からガス供給管13を介して供給された処理ガスは、このガス流路12aを介して上部電極12の下方に締結されたシャワーヘッド14に供給される。本実施形態では、上部電極12の下面にナット収納部2が設けられている。
シャワーヘッド14は、上部電極12を介してガス供給源から供給された処理ガスをチャンバ内部に均一に拡散して吐出する部材である。シャワーヘッド14は、例えば、図3(a)に示すように、多数の貫通孔(ガス吐出孔14a、図3(a)では黒点として描写している)が略均一に設けられた円形の部材である。ガス供給源から供給された処理ガスは、このガス吐出孔14aを介してチャンバ内部に吐出される。
シャワーヘッド14には、上面から下面にかけて貫通する貫通部としての貫通孔(ボルト孔14b)が設けられている。本実施形態では、貫通部としてボルト孔14が設けられているが、本発明はこれに限るものではなく、シャワーヘッド14の周縁から内側に向けて形成された切欠き等であってもよい。
なお、本実施形態では、上部電極12の下面にナット収納部2を設けているため、実際にプラズマ処理装置10を使用する際、ナット収納部2は下方を向いている(図1参照)。しかし、本発明の締結構造20は、ナット収納部2がどの方向を向いていても使用可能である。図5、図6(c)及び図9では、説明の便宜上、ナット収納部2の開口部24が紙面の上方を向くようにナット収納部2を描写している。
ナット収納部2は、ナット4を収納可能であると共にその内部でナット4がスライド移動可能な溝状の凹部である。
図2に示すように、本実施形態では、ナット収納部2は、上部電極12の下面周縁に沿って複数(図2では、12個)並設されている。なお、ナット収納部2の数は第1部材(上部電極12)と第2部材(シャワーヘッド14)とを十分な強度で締結できれば特に限定されず、シャワーヘッド14の重量や形状に合わせて適宜変更することが可能である。隣り合うナット収納部2の間隔についても同様である。
図3(a)に示すように、本実施形態では、ボルト孔14bの数はナット収納部4と同数(12個)とされている。また、図3(a)に示すように、ボルト孔14bは周縁に沿って等間隔に配置されている。これに応じて、図2に示すように、ナット収納部2の第2領域22も周縁に沿って等間隔に配置されている。
図5(a)は、図4(a)のC−C線断面図であり、図5(b)は、図4(a)のD−D線断面図である。
図2、図4乃至図5に示すように、ナット収納部2は、第1領域21と第2領域22とに大別される。第1領域21は、ナット収納部2の底面26と直交する方向(以下、「入出方向」と称する)からナット4を挿入可能な領域である。なお、以下、必要に応じて、入出方向のうち、ナット収納部2の底面26に向かう方向を「入方向」と称し、ナット収納部2の底面26から離れる方向を「出方向」と称して区別する。第1領域21は、入方向からナット4を挿入可能な領域である。
図5に示すように、本実施形態では、第1領域21と第2領域22とは連続した1つの平面を底面26として共有している。このため、第1領域21に挿入したナット4を、その底面26に沿ってスライド移動させることで、容易に第2領域22へナット4を収納することができる。同様に、第2領域22から第1領域21へナット4をスライド移動させることも可能である。
なお、ナット4のスライド移動は、例えば、素手又は適当な治具(例えば、六角レンチなど)を用いて、第1領域21から第2領域22へナット4を押し込むことで実現可能である。ナット収納部2の深さ(内周面25の高さ)は特に限定されず、ナット4の形状やボルト3の雄ねじ部32の長さに合わせて適宜設定することが可能である。
図4(b)に示すように、例えば、本実施形態では、外縁が平面視正六角形状のナット4(所謂、六角ナット)を用いている。また、本実施形態では、ナット収納部2の内周面25は、互いに平行に延びる2つの内側面25aと、第1領域21において2つの内側面25aを繋ぐ第1端面25bと、第2領域22において2つの内側面25aを繋ぐ第2端面25cと、から構成されている。なお、本実施形態では、第1端面25b及び第2端面25cは円弧面とされているが、この端面の形状は特に限定されず、平面であってもよい。また、本実施形態では、2つの内側面25aは平行な平面とされているが、これに限定されず、例えば、互いの離隔距離(後述の長さL1に相当)が一定となるように同心状に配置された緩やかな円弧面にすることも可能である。
本実施形態では、2つの内側面25a間の長さL1(以下、「側面幅L1」と称する)は、ナット4の二面幅L2よりも僅かに長くなっている。第1開口部には、第2領域22のように離脱阻止手段23が設けられていない。このため、図6(a)に示すように、第1開口部から第1領域21へナット4を挿入すると、ナット4の外周面を構成する6つの平面のうち対向する2つの平面が、ナット収納部2の2つの内側面25aに僅かな空隙Gを隔てて隣接する。即ち、ナット4は第1領域21に完全には嵌合しない。このため、第1領域21に収納されたナット4を図6(a)の白矢印で示す方向へスライド移動させて、図6(b)に示すように第2領域22に収納できる。また、第1領域21に収納したナット4を再び出方向へ移動させる(即ち、第1領域21に収納したナット4を第1開口部から抜き取る)こともできる。
なお、離隔距離L3の長さは特に限定されないが、通常、ナット4の二面幅L2の0.5倍〜0.9倍であり、好ましくは0.5倍〜0.8倍である。
第2領域22に収納されたナット4とボルト3とを螺合させる際、すなわち、ボルト3の雄ねじ部32をナット4の孔部41に設けられた雌ねじ部に螺合させる際、ナット4が固定されていなければ、ボルト3に回転に伴ってナット4も回転(供回り)する。素手や治具によってナット4を固定しつつボルト3を螺合させることも可能であるが、非常に煩雑であり、ボルト3とナット4との螺合に長時間を要することになる。この点、第2領域22に収納されたナット4の回転が阻止されれば、素手や治具を用いることなくナット4の供回りを防ぐことができ、容易に素早くボルト3とナット4とを螺合させることができる。
ニッケル合金は、ニッケルを主成分として20質量〜90質量%含み且つその他の元素を1種又は複数種含む金属である。ニッケル合金に含まれるその他の元素としては、例えば、コバルト、クロム、モリブデン、タングステン、鉄、ケイ素、マンガン、炭素、ニオブなどを例示できる。特に、耐腐食性が高いことから、例えば、ハステロイ(登録商標)やインコネル(登録商標)を用いることが好ましい。
図7は、上部電極12にシャワーヘッド14を締結する手順を説明するプラズマ処理装置10の概要図である。
第1部材である上部電極12にシャワーヘッド14を締結する場合、通常、プラズマ処理装置10に上部電極12を取り付けたままシャワーヘッド14が上部電極12の下面に締結される。
本実施形態のプラズマ処理装置10は、前述のように、被処理体Sを収納したチャンバ11の上部開口部が上部電極12によって閉塞された構造を有している。具体的には、図1及び図7に示すように、チャンバ11は、上壁11a及び側壁11bを具備する。上部電極12は、絶縁部17を介して上壁11aに取り付けられている。上壁11aと側壁11bとは、ヒンジ5により連結されている。このため、プラズマ処理装置10を構成する各部材をメンテナンスする際には、図7の白矢印A1に示すように、ヒンジ5を支点として側壁11bに対して上壁11a、絶縁部17及び上部電極12を上方に約90°回転させることにより、チャンバ11を開口状態にすることが可能である。
図8に示すように、第1領域21が第2領域22よりも上方に位置する場合、第1領域21から第2領域22へ延びるナット収納部2の連接方向(以下、単に「連接方向」と称する)と水平面との成す内角αは特に限定されないが、摩擦角の観点から、好ましくは20°〜90°であり、より好ましくは30°〜90°であり、さらに好ましくは45°〜90°である。
内角αが上記の範囲内にあれば、第1領域21に挿入したナット4が自重により自然に第2領域22にスライド移動し易く、素手や治具を用いてナット4に触らずともナット4を第2領域22に移動させ易くなる。
前述のように、本実施形態では、シャワーヘッド14にボルト3が挿通されるボルト孔14bが設けられている(図3(b))。ボルト孔14bは、ボルト3の雄ねじ部32のねじ径よりも大きく且つボルト3の頭部31の外径よりも小さな内径を有する。したがい、シャワーヘッド14の下面側から上面側にかけてボルト3をボルト孔14bに挿通し、ナット4の雌ねじ部(孔部41)に螺合させることができる。
上述のように、ナット4に対しボルト3を螺合させることで、最終的に、図9に示すように、シャワーヘッド14が上部電極12に密接した状態で、上部電極12とシャワーヘッド14との締結が完了する。
なお、特に図示しないが、シャワーヘッド14のボルト孔14bとボルト3の頭部31との間に、ワッシャーを挟み込んでもよい。
図10(a)は、第2実施形態の第2領域22を表す上部電極12の部分拡大断面図であり、図10(b)は、第2領域22にナット4を収納した状態を表す上部電極12の部分拡大断面図である。
第2実施形態は、第1実施形態と比べて、ナット収納部2の第2領域における内側面25aの形状を変更しており且つ離脱阻止手段23としてつば部以外の手段を採用している点が異なる。
図11は、第3実施形態のナット4がナット収納部2の第1領域21に収納された状態を表す拡大平面図である。
第3実施形態では、第1実施形態と比べて、ナット4の形状を変更している。
第1実施形態では、ナット4として六角ナットを用いているが、本発明で用いることができるナット4の形状は特に限定されず、種々の形状のナット4を用いることができる。本実施形態では、図11に示すように、ナット4の外縁形状が、ナット収納部2の連接方向についての寸法の方が、ナット収納部2の幅方向(ナット収納部2の連接方向と直交し且つナット収納部2の底面26と平行な方向)についての寸法よりも大きな長円形状とされている。しかし、これに限定されず、楕円形状や長方形など、直交する方向の寸法が異なる他の外縁形状を有するナット4を用いることも可能である。
図12(a)は、第4実施形態のナット4がナット収納部2の第1領域21に収納された状態を表すナット収納部2の拡大平面図であり、図12(b)は、同ナット4がナット収納部2の第2領域22に収納された状態を表すナット収納部2の拡大平面図である。図13は、ボルト3と第4実施形態のナット4とを螺合させ、上部電極12とシャワーヘッド14とを締結した状態を示す部分拡大断面図である。
第4実施形態でも、第1実施形態と比べて、ナット4の形状を変更している。
本実施形態では、図12(a)に示すように、ナット4がナット収納部2に収納された状態において、ナット収納部2の幅方向を基準として、ナット4の外縁形状が非線対称である。すなわち、幅方向に延びる如何なる直線を基準にしたとしても、ナット4の外縁形状が線対称にならない(線対称の基準となる直線が存在しない)。図12(a)では、ナット4の外縁形状は、第2領域22側の外縁44が円弧面の平面視D字状とされているが、ナット4の外縁形状は幅方向を基準として非線対称であれば特に限定されず、その他の形状を採用することも可能である。
図14(a)に示すように、第1実施形態で用いたような六角ナットは、通常、外縁形状を構成する正六角形の図心(対角線の交点)がナット4の孔部41の中心に位置する(即ち、外縁形状の図心と孔部の中心とが一致する)。しかし、市販の六角ナットは、対角線寸法が保証されていないので、ナット4の孔部41の位置が変位している場合がある。例えば、図14(b)に示すように正六角形の図心よりも僅かにずれた位置に孔部41の中心が位置している場合がある。しかし、このような場合、孔部41が正六角形の図心から変位していることは一見して判別し難いため、ナット4をナット収納部2に収納する際、その予定されている向きを誤ることにより、第2領域22にナット4がスライド移動した際、ボルト3に螺合する適切な位置にナット4の孔部41が位置しない場合がある。このような問題は、六角ナットに限定されるものではなく、外縁形状が幅方向を基準として線対称であるナット全てに共通するものである。
図15(a)は、第5実施形態のナットの拡大平面図であり、図15(b)は、図15(a)のH−H線断面図である。図16(a)は、第5実施形態のナットを第2領域に収納した状態を表すナット収納部の拡大平面図であり、図16(b)は、図16(a)のH−H線断面図である。
第5実施形態でも、第1実施形態と比べて、ナット4の形状を変更している。
また、本実施形態では、ナット4の出方向端部45が第1部材である上部電極2の下面と同一平面上に位置するため、ボルト3とナット4とを螺合させた際、第2部材であるシャワーヘッド14が第1部材だけでなくナット4の出方向端部45にも当接する。このため、第1部材と第2部材とをより強固に締結することができる。
図17は、図1に示すプラズマ処理装置10で用いられる上部電極12の他の例(上部電極12に設けられたナット収納部の他の例)を示す下面図である。
図18(a)は、図17のJ−J線拡大断面図である。図18(b)は、図17のK−K線拡大断面図である。図18の上側が上部電極12の下面側に、図18の下側が上部電極12の上面側に相当する。
第6実施形態は、第1実施形態と比べて、上部電極12及びナット収納部を変更している。
図17を参照すれば分かるように、ナット収納部2Aには、上部電極12の外側から内側に向けてナット4が挿入される。ナット収納部2Bには、上部電極12の内側から外側に向けてナット4が挿入される。前述のように、ナット収納部2Bの底面26は、円環面12cと面一になっているため、ナット収納部2Bにナット4を挿入する際には、ナット4を円環面12に沿わせて内側から外側に移動させればよい。
ナット4の挿入方向上流側がナット4の挿入方向下流側よりも上方に位置するので、ナット収納部2A、2Bに収納されたナット4がナット収納部2A、2Bから抜け出し難く、ボルト3とナット4とを的確に素早く螺合させることができる。
また、本実施形態のナット収納部2A、2Bについても、第3実施形態のナット4と同様に、挿入方向についての寸法の方がナット収納部2A、2Bの幅方向(ナット4の挿入方向と直交し且つナット収納部2A、2Bの底面26と平行な方向)についての寸法よりも大きな長円形状等のナット4を用いることが可能である。
また、本実施形態のナット収納部2A、2Bについても、第4実施形態のナット4と同様に、ナット4がナット収納部2A、2Bに収納された状態において、ナット収納部2A、2Bの幅方向を基準として、外縁形状が非線対称であるナット4(平面視D字状のナット等)を用いることが可能である。
また、本実施形態のナット収納部2A、2Bについても、第5実施形態のナット4と同様に、表面に段差が設けられたナット4を用いることが可能である。
さらに、図17に示す例では、第1実施形態と同じナット収納部2も設けているが、全てを本実施形態のナット収納部2A、2Bにすることも可能である。
12…上部電極、14…シャワーヘッド、15…下部電極
2…ナット収納部、21…第1領域、22…第2領域、23…離脱阻止手段、24…開口部、25…内周面、25a…内側面、25b…第1端面、25c…第2端面、26…底面
3…ボルト、31…頭部、32…雄ねじ部
4…ナット、41…孔部、42…周縁部、43…外周面
Claims (11)
- 第1部材と第2部材とを締結する締結構造であって、
ボルトと、
前記ボルトに螺合可能なナットと、
前記第1部材に設けられ、前記ナットを収納可能な溝状のナット収納部と、
前記第2部材に設けられ、前記ボルトが挿通可能な貫通部と、を備え、
前記ナット収納部は、前記ナット収納部の底面と直交する方向から前記ナットが挿入可能な第1領域と、前記第1領域と連接しており且つ前記ナット収納部の底面と直交する方向への前記ナットの離脱を阻止する離脱阻止手段を有する第2領域と、を有しており、
前記第1領域に挿入した前記ナットの少なくとも一部が前記第2領域にスライド移動可能であり、且つ、前記ナットが前記第2領域に移動した状態において、前記貫通部に挿通された前記ボルトが前記ナットに螺合可能であることを特徴とする締結構造。 - 前記離脱阻止手段が、前記第2領域の内周面から内側に延設されたつば部であり、
前記第2領域に収納された前記ナットの周縁部が前記つば部に当接することにより前記ナットの離脱が阻止される、請求項1に記載の締結構造。 - 前記ナットの外周面が前記第1領域又は前記第2領域の内周面に当接することにより前記ナットの前記第2領域における回転が阻止される、請求項1又は2に記載の締結構造。
- 少なくとも前記ナットと前記ボルトとが螺合する際、前記第1領域が前記第2領域よりも上方に位置する、請求項1乃至3の何れか一項に記載の締結構造。
- 前記ナットは、前記ナット収納部に収納された状態において、前記第1領域から前記第2領域へ延びる前記ナット収納部の連接方向と直交し且つ前記ナット収納部の底面と平行な方向を基準として、前記ナットの外縁形状が非線対称であり、
前記ナット収納部は、前記ナットが前記連接方向に対して予定されている本来の向きで挿入される場合に限って前記ナットを収納可能な形状の内周面を有する、請求項1乃至4の何れか一項に記載の締結構造。 - 前記ナットが前記第2領域に移動し、前記ナットの前記連接方向の端部が前記第2領域の前記連接方向の端面に当接した状態において、前記貫通部に挿通された前記ボルトが前記ナットに螺合可能である、請求項5に記載の締結構造。
- 前記ナットは、外縁形状が平面視D字状であり、
前記ナット収納部は、平面視D字状の内周面を有する、請求項5又は6に記載の締結構造。 - 第1部材と第2部材とを締結する締結構造であって、
ボルトと、
前記ボルトに螺合可能なナットと、
前記第1部材に設けられ、前記ナットを収納可能な溝状のナット収納部と、
前記第2部材に設けられ、前記ボルトが挿通可能な貫通部と、を備え、
前記ナット収納部は、前記ナット収納部の底面に平行な方向から前記ナットが挿入可能で且つ前記ナット収納部の底面と直交する方向への前記ナットの離脱を阻止する離脱阻止手段を有し、
前記ナットが前記ナット収納部に挿入され収納された状態において、前記貫通部に挿通された前記ボルトが前記ナットに螺合可能であることを特徴とする締結構造。 - 請求項1乃至8の何れか一項に記載の締結構造と、
前記締結構造によって締結される前記第1部材及び前記第2部材と、
を備えるプラズマ処理装置。 - 請求項1乃至7の何れか一項に記載の締結構造に用いられるナットであって、
前記ナットが前記ナット収納部に収納された状態において、前記第1領域から前記第2領域へ延びる前記ナット収納部の連接方向と直交し且つ前記ナット収納部の底面と平行な方向を基準として、前記ナットの外縁形状が非線対称である、締結構造用ナット。 - 請求項8に記載の締結構造に用いられるナットであって、
前記ナットが前記ナット収納部に収納された状態において、前記ナットの挿入方向と直交し且つ前記ナット収納部の底面と平行な方向を基準として、前記ナットの外縁形状が非線対称である、締結構造用ナット。
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