JP2019036016A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 絶縁表面を有する基板と、
   前記絶縁表面に配置された複数の画素が配列する画素部と、
   前記絶縁表面上で前記画素部の外側の領域に配置される第１端子と、前記第１端子より内側の領域に配置された第２端子と、を含む端子部と、
   前記画素部と前記端子部との間に配置される第１配線を含む配線部と、
   前記画素部に重ねて配置されたセンシング部と、
   前記画素部及び前記配線部を覆う封止部と、を含み、
   前記封止部は、
   第１無機絶縁層、有機絶縁層、及び第２無機絶縁層を前記基板側からこの順で含み、
   前記有機絶縁層は前記画素部と重なる領域に配置され、前記第１無機絶縁層及び前記第２無機絶縁層は前記画素部及び前記配線部と重なる領域に配置され、
   前記基板と前記第１無機絶縁層との間に層間絶縁膜を含み、
   前記センシング部は、
   前記第１無機絶縁層より上層側であって、前記第２無機絶縁層より下層側に配置された第１検出電極と、
   前記第２無機絶縁層の上層側に配置された第２検出電極と、を含み、
   前記配線部は、
   前記第１配線が、前記第２無機絶縁層に設けられた開口部で、前記第１検出電極と電気的に接続され、かつ、前記第２無機絶縁層の外側領域に延伸して、前記第２端子と電気的に接続され、
   前記層間絶縁膜は、前記第１端子と前記第２端子との間に、前記層間絶縁膜を貫通する開口領域を有することを特徴とする表示装置。
2. 前記第１検出電極は、前記第１無機絶縁層と前記有機絶縁層との間に配置される、請求項１に記載の表示装置。
3. 前記第１検出電極は、前記有機絶縁層と前記第２無機絶縁層との間に配置される、請求項１に記載の表示装置。
4. 前記層間絶縁膜は、前記第２端子と前記開口部との間に、前記層間絶縁膜を貫通する開口領域をさらに有する、請求項１から請求項３のいずれか一つに記載の表示装置。
5. 前記基板と前記第１無機絶縁層との間に層間絶縁膜を含み、
   前記層間絶縁膜は、前記開口部と前記画素部との間に、前記層間絶縁膜を貫通する開口領域をさらに有する、請求項１から請求項３のいずれか一つに記載の表示装置。
6. 前記第１検出電極及び前記第２検出電極は、いずれも、チタン層、アルミニウム層及びチタン層を含む積層構造を有するメッシュ配線で形成されることを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
7. 前記第１検出電極は、チタン層、アルミニウム層及びチタン層を含む積層構造を有するメッシュ配線で形成され、前記第２検出電極は、透明電極からなるダイヤモンド電極であることを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
8. 前記第１検出電極は、透明電極からなるダイヤモンド電極であり、前記第２検出電極は、チタン層、アルミニウム層及びチタン層を含む積層構造を有するメッシュ配線で形成されることを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
9. 絶縁表面を有する基板上に複数の画素を配列した画素部を形成し、
   前記絶縁表面上で前記画素部の外側の領域に第１端子を含む端子部を形成し、
   前記絶縁表面上で前記画素部と前記端子部の間に第２端子を形成し、
   前記画素部を覆う第１無機絶縁層を形成し、
   前記第１無機絶縁層上に、第１方向に延びる第１検出電極層を形成し、
   前記第１検出電極層を覆う有機絶縁層を形成し、
   前記有機絶縁層を覆う第２無機絶縁層を形成し、
   前記基板と前記第１無機絶縁層との間に層間絶縁膜を形成し、
   前記第２端子上の前記第１無機絶縁層と前記第２無機絶縁層とを除去するとともに、前記第２絶縁層に前記第１検出電極層を露出する開口部を形成し、
   前記第１端子と前記第２端子との間に、前記層間絶縁膜を貫通する開口領域を形成し、
   前記第２無機絶縁層上に、前記第１方向と交差する方向に延びる第２検出電極層を形成するとともに、前記第２端子に接続し、前記第２無機絶縁層に設けられた開口部で、前記第１検出電極に接続する第１配線を形成することを特徴とする表示装置の製造方法。