JP2018532038A - ガルバニック金属堆積のための水平方向のガルバニックめっき加工ラインのガルバニックめっき装置およびその使用 - Google Patents
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- H05K3/241—Reinforcing the conductive pattern characterised by the electroplating method; means therefor, e.g. baths or apparatus
Abstract
Description
2 第1のガルバニックめっきモジュール
3 めっきクランプ
4 第1のガルバニックめっきモジュールの第1の側
5 第1のガルバニックめっきモジュールのカバーリングプレート
6 第1のガルバニックめっきモジュールのカバーリングプレートの開口
7、7’ 基板案内要素
8 処理される基板
9 第3のガルバニックめっきモジュール
10 第1のガルバニックめっきモジュールの入口側
11 第1のガルバニックめっきモジュールの出口側
12、12’ 基板案内要素の面取り
13’ 基板案内要素7’内の開口
Claims (15)
- ガルバニック金属、特に銅の堆積のための水平方向のガルバニックめっき加工ラインのガルバニックめっき装置(1)であって、
前記ガルバニックめっき装置(1)は、処理される基板(8)の搬送レベルの下に配置される少なくとも1つの第1のガルバニックめっきモジュール(2)と、前記ガルバニックめっき装置(1)の第1の側(4)に配置される少なくとも1つのめっきクランプ(3)と、を備え、
前記第1のガルバニックめっきモジュール(2)は、少なくとも1つの電解液ノズルおよび少なくとも1つの陽極要素を、前記第1のガルバニックめっきモジュール(2)内に備え、
前記第1のガルバニックめっきモジュール(2)は、前記陽極要素および前記電解液ノズルの上に配置される、複数の開口(6)を有する少なくとも1つのカバーリングプレート(5)をさらに備え、
前記ガルバニックめっき装置(1)は、前記第1のガルバニックめっきモジュール(2)の前記カバーリングプレート(5)の表面上に配置される少なくとも1つの基板案内要素(7,7’)をさらに備え、
前記基板案内要素(7、7’)は、前記第1のガルバニックめっきモジュール(2)の前記カバーリングプレート(5)の前記表面に関連する、
ガルバニックめっき装置(1)。 - 前記ガルバニックめっき装置(1)は、処理される基板(8)の前記搬送レベルの上に配置される少なくとも1つの第2のガルバニックめっきモジュールをさらに備え、
前記第2のガルバニックめっきモジュールは、少なくとも1つの電解液ノズルおよび少なくとも1つの陽極要素を、前記第2のガルバニックめっきモジュール内に備え、
前記第2のガルバニックめっきモジュールは、前記陽極要素および前記電解液ノズルの下に配置される、複数の開口を有する少なくとも1つのカバーリングプレートをさらに備え、
前記ガルバニックめっき装置(1)は、前記第2のガルバニックめっきモジュールの前記カバーリングプレートの表面上に配置される少なくとも1つの基板案内要素をさらに備え、
前記基板案内要素は、前記第2のガルバニックめっきモジュールの前記カバーリングプレートの前記表面に関連する、
請求項1に記載のガルバニックめっき装置(1)。 - 前記第1のガルバニックめっきモジュール(2)および/または前記第2のガルバニックめっきモジュールの前記基板案内要素(7、7’)は、対応する前記ガルバニックめっきモジュールのそれぞれの前記カバーリングプレート(5)の前記表面に、少なくとも部分的に永久に固定される、
請求項1または2に記載のガルバニックめっき装置(1)。 - 前記第1のガルバニックめっきモジュール(2)および/または前記第2のガルバニックめっきモジュールの前記基板案内要素(7、7’)は、対応する前記ガルバニックめっきモジュールのそれぞれの前記カバーリングプレート(5)の前記表面に着脱可能に接続される、
請求項1または2に記載のガルバニックめっき装置(1)。 - 前記第1のガルバニックめっきモジュール(2)および/または前記第2のガルバニックめっきモジュールの各基板案内要素(7、7’)は、それらの底側に少なくとも2つのプラグをさらに備え、
前記少なくとも2つのプラグは、対応する前記ガルバニックめっきモジュールのそれぞれの前記カバーリングプレート(5)のそれぞれの凹部またはホール内に適合する、
請求項1から4のいずれかに記載のガルバニックめっき装置(1)。 - 前記第1のガルバニックめっきモジュール(2)および/または前記第2のガルバニックめっきモジュールの前記カバーリングプレート(5)は、基板案内要素(7、7’)ごとにそれぞれの凹部をさらに備え、
前記それぞれの凹部内に、前記基板案内要素(7、7’)は、特別に適合され、形状結合方法で挿入可能である、
請求項1から5のいずれかに記載のガルバニックめっき装置(1)。 - 前記第1のガルバニックめっきモジュール(2)および/または前記第2のガルバニックめっきモジュールの前記凹部によって、蟻継ぎの輪郭を有する基板案内要素(7、7’)の挿入が可能になる、
請求項6に記載のガルバニックめっき装置(1)。 - 前記第1のガルバニックめっきモジュール(2)および/または前記第2のガルバニックめっきモジュールの前記カバーリングプレート(5)およびそれらのそれぞれの基板案内要素(7、7’)は、非金属材料から作られ、好ましくはポリマー材料から作られ、より好ましくはPTFE、PEおよびPPから作られる、
請求項1から7のいずれかに記載のガルバニックめっき装置(1)。 - 前記ガルバニックめっき装置(1)の前記第1のガルバニックめっきモジュール(2)および/または前記第2のガルバニックめっきモジュールは、複数の線形の基板案内要素(7、7’)を備え、
前記基板案内要素(7、7’)は、それぞれの前記ガルバニックめっきモジュール内で処理される前記基板(8)の搬送方向に互いに平行に伸びる、
請求項1から8のいずれかに記載のガルバニックめっき装置(1)。 - 前記ガルバニックめっき装置(1)の前記第1のガルバニックめっきモジュール(2)および/または前記第2のガルバニックめっきモジュールは、複数の線形の基板案内要素(7、7’)を備え、
前記基板案内要素(7、7’)は、処理される前記基板(8)の搬送方向に対して正の角で、互いに平行に伸び、
好ましくは、前記正の角は、両方のガルバニックめっきモジュールに対して同一である、
請求項1から9のいずれかに記載のガルバニックめっき装置(1)。 - 前記ガルバニックめっき装置(1)は、処理される基板(8)の搬送レベルの下に、前記第1のガルバニックめっきモジュール(2)に隣接して配置される少なくとも1つの第3のガルバニックめっきモジュール(9)をさらに備え、
前記第1のガルバニックめっきモジュール(2)および前記第3のガルバニックめっきモジュール(9)の両方は、複数の線形の基板案内要素(7、7’)を備え、
前記基板案内要素(7、7’)は、それぞれの前記ガルバニックめっきモジュール(2、9)内で処理される前記基板(8)の搬送方向に対して正の角で、互いに平行に伸び、
前記第1のガルバニックめっきモジュール(2)における前記正の角は、前記第3のガルバニックめっきモジュール(9)における前記正の角と異なる、
請求項1から10のいずれかに記載のガルバニックめっき装置(1)。 - 前記ガルバニックめっき装置(1)は、処理される基板(8)の搬送レベルの下に、前記第1のガルバニックめっきモジュール(2)に隣接して配置される少なくとも1つの第3のガルバニックめっきモジュール(9)をさらに備え、
処理される基板(8)の搬送レベルの上に互いに隣接して配置される少なくとも1つの第2のガルバニックめっきモジュールおよび第4のガルバニックめっきモジュールをさらに備え、
前記第1のガルバニックめっきモジュール(2)、前記第2のガルバニックめっきモジュール、前記第3のガルバニックめっきモジュール(9)および前記第4のガルバニックめっきモジュールは、各々、複数の線形の基板案内要素(7、7’)を備え、
前記基板案内要素(7、7’)は、それぞれの前記ガルバニックめっきモジュール内で処理される前記基板(8)の搬送方向に対して正の角で、互いに平行に伸び、
好ましくは、前記第1のガルバニックめっきモジュール(2)および前記第2のガルバニックめっきモジュールにおける前記正の角は、前記第3のガルバニックめっきモジュール(9)および前記第4のガルバニックめっきモジュールにおける前記正の角と異なる、
請求項1から11のいずれかに記載のガルバニックめっき装置(1)。 - 処理される前記基板(8)の前記搬送レベルの下および/または上のガルバニックめっきモジュールの各基板案内要素(7、7’)は、前記ガルバニックめっき装置(1)の搬送方向に面取り(12、12’)を有する、
請求項1から12のいずれかに記載のガルバニックめっき装置(1)。 - 前記ガルバニックめっき装置(1)は、少なくとも1つのめっきクランプ(3)を利用することを除いて、前記ガルバニックめっき装置(1)によって、搬送方向に処理される前記基板(8)を搬送するためのいかなる追加の搬送要素、例えば車輪軸またはローラも有さない、
請求項1から13のいずれかに記載のガルバニックめっき装置(1)。 - ガルバニック金属、好ましくは銅を、印刷回路箔、フレキシブル印刷回路基板および組み込みチップ基板に堆積するための、請求項1から14のいずれかに記載のガルバニックめっき装置(1)の使用。
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