JP2018165346A - Polyimide film - Google Patents

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圭 池田
孔一 澤崎
Koichi Sawazaki
孔一 澤崎
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a polyimide film that can be used for e.g. a flexible printed circuit board.SOLUTION: The polyimide film has a dielectric loss tangent of 0.007 or less, a water absorption of 0.8% or less, and a linear expansion coefficient at 50-200°C of 30 ppm/°C or less.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、ポリイミドフィルム等に関する。   The present invention relates to a polyimide film and the like.

電機製品において、小型や薄型化が進み、フレキシブルプリント基板(FPC)が必要とされてきた。近年は、これらに加えて無線インターネットや通信機器の高速化が進み、高周波数で動作することが多くなり、高い伝送速度を実現できる回路基板が求められている。
具体的な例としては、スマートフォンやタブレット端末のアンテナ部分に用いられる物が挙げられ、これらは小型薄型化が進んでいる為に出来るだけ薄いことも要求特性としてあげられる。
In electrical products, miniaturization and thinning have progressed, and a flexible printed circuit board (FPC) has been required. In recent years, in addition to these, the speed of wireless Internet and communication equipment has increased, and the frequency of operation has increased, and a circuit board capable of realizing a high transmission rate has been demanded.
As a specific example, a thing used for the antenna part of a smart phone or a tablet terminal is mentioned, and since these are progressing in miniaturization and thinning, it is raised as a required characteristic.

半導体素子の伝送速度は、主として信号を運ぶ金属ワイヤ間での遅延の発生によって制限されることが知られている。信号伝送の遅延を低減するために、誘電率の低い絶縁層をワイヤ間に配置し、それによりワイヤ間の容量結合を小さくすることにより、動作速度を高め、雑音障害を低減できる。
絶縁層は電流の流れを遮断でき、かつ、誘電率が低いと伝送速度が向上し、誘電正接が低いと伝送損失が低減できる。つまり、高周波数回路基板は、熱膨張率(CTE、線膨張係数)が低く、さらに誘電率(Dk)、誘電正接(Tanδ)が安定して低くなければならない。また、製造工程においてロール トゥ ロールで搬送される為、高強度、高弾性であることが求められる。また、回路基板の形成時の半田工程では高い耐熱性が求められる。
It is known that the transmission speed of a semiconductor element is limited mainly by the occurrence of a delay between metal wires carrying signals. In order to reduce the signal transmission delay, an insulating layer having a low dielectric constant is disposed between the wires, thereby reducing the capacitive coupling between the wires, thereby increasing the operation speed and reducing the noise disturbance.
The insulating layer can block the flow of current, and when the dielectric constant is low, the transmission speed is improved. When the dielectric loss tangent is low, the transmission loss can be reduced. That is, the high-frequency circuit board must have a low coefficient of thermal expansion (CTE, linear expansion coefficient), and a dielectric constant (Dk) and dielectric loss tangent (Tanδ) that are stable and low. Moreover, since it is conveyed by the roll to roll in a manufacturing process, it is calculated | required that it is high intensity | strength and high elasticity. Also, high heat resistance is required in the soldering process when forming the circuit board.

このような絶縁層として、フッ素樹脂フィルムとポリイミドフィルムの積層フィルムを使用することが検討されてきた。
例えば、特許文献1には、ポリイミドフィルムの両面又は片面にフッ素系樹脂を積層した積層フィルムが記載されている。
The use of a laminated film of a fluororesin film and a polyimide film has been studied as such an insulating layer.
For example, Patent Document 1 describes a laminated film in which a fluorine resin is laminated on both sides or one side of a polyimide film.

また、特許文献2には、両表面に放電処理が施された、ビフェニルテトラカルボン酸から誘導された主酸骨格を有する芳香族ポリイミドフィルムの両面又は片面に、両表面に放電処理が施されたフッ素樹脂フィルムが積層された積層フィルムが記載されている。   Moreover, in patent document 2, both surfaces were discharged on both surfaces or one surface of an aromatic polyimide film having a main acid skeleton derived from biphenyltetracarboxylic acid, which was discharged on both surfaces. A laminated film in which a fluororesin film is laminated is described.

特開平8−276547号公報JP-A-8-276547 特公平5−59828号公報Japanese Patent Publication No. 5-59828

本発明の目的は、新規なポリイミドフィルムを提供することにある。   An object of the present invention is to provide a novel polyimide film.

前記のように、FPCなどの絶縁層には、フッ素樹脂フィルムとポリイミドフィルムとの積層フィルムなどが使用されている。このように2つの樹脂フィルムを組み合わせているのは、各種物性のバランスを考慮したものと考えられる。例えば、ポリイミドフィルムでは通信速度が十分でない場合がある一方で、フッ素樹脂フィルムでは強度や寸法安定性において十分でない場合があるが、これらを組み合わせることで両樹脂のこのような欠点を低減できることが想定される。   As described above, a laminated film of a fluororesin film and a polyimide film is used for an insulating layer such as FPC. The combination of the two resin films as described above is considered in consideration of the balance of various physical properties. For example, while communication speed may not be sufficient for polyimide film, strength and dimensional stability may not be sufficient for fluororesin film, but it is assumed that these defects can be reduced by combining these. Is done.

しかし、本発明者らの検討によれば、このような積層フィルムにおいても、依然として、寸法精度が十分でない場合やスルーホール形成の選択が狭くなる(例えば、COレーザーを使用できないなど)場合があるなど、改善すべき点があることがわかった。 However, according to the study by the present inventors, even in such a laminated film, there are still cases where dimensional accuracy is not sufficient or selection of through-hole formation is narrow (for example, a CO 2 laser cannot be used). I found that there are some points to be improved.

そこで、本発明者らは、異なる樹脂を積層するのではなく、ポリイミドの単層フィルムにより、FPC用などに使用しうるフィルムを形成できないか検討した。しかしながら、ポリイミドの単層フィルムでは、十分な低誘電特性や低吸水性能が得られなかったり、寸法精度が十分でない場合があるなど、これらの性能を十分に満足できるポリイミドの単層フィルムの探索は、困難を極めた。   Therefore, the present inventors have examined whether a film that can be used for FPC or the like can be formed by using a single layer film of polyimide instead of laminating different resins. However, in the case of polyimide single-layer film, sufficient low dielectric properties and low water absorption performance may not be obtained, and there are cases where dimensional accuracy is not sufficient, etc. Extremely difficult.

このような中、本発明者らは、鋭意研究を重ねた結果、ポリイミドの原料やフィルムの前駆体であるゲルフィルムの態様を選択するなどにより、ポリイミドの単層フィルムであっても、上記のような特性を充足しうることを見出し、さらなる検討を重ねて本発明を完成した。   Under such circumstances, the present inventors have conducted extensive research, and as a result, by selecting the aspect of the gel film that is the raw material of polyimide or the precursor of the film, even if it is a single-layer film of polyimide, the above-mentioned The inventors have found that such characteristics can be satisfied, and have further studied to complete the present invention.

すなわち、本発明は、以下のポリイミドフィルム等に関する。
[1]
誘電正接が0.007以下、吸水率が0.8%以下、50〜200℃における線膨張係数が30ppm/℃以下であるポリイミドフィルム。
[2]
比誘電率が3.3以下である[1]に記載のポリイミドフィルム。
[3]
ポリイミドフィルムを構成するポリイミドの重合成分である、ジアミン成分(A)及びテトラカルボン酸成分(B)から選択された少なくとも1種の成分が、フッ素を含有する[1]〜[2]のいずれかに記載のポリイミドフィルム。
[4]
ジアミン成分(A)がフッ素含有ジアミン成分(A1)を60モル%以上含む[3]記載のポリイミドフィルム。
[5]
ジアミン成分(A)が2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジンを65モル%以上含む[3]又は[4]記載のポリイミドフィルム。
[6]
ジアミン成分(A)が、フッ素含有ジアミン成分(A1)及びフッ素非含有ジアミン成分(A2)を含む[3]〜[5]のいずれかに記載のポリイミドフィルム。
[7]
テトラカルボン酸成分(B)が3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を60モル%以上含む[3]〜[6]のいずれかに記載のポリイミドフィルム。
[8]
銅張り積層体の基材フィルム、及び/又はカバーレイに用いる[1]〜[7]のいずれかに記載のポリイミドフィルム。
[9]
化学閉環法により自己支持性のゲルフィルムを得、このゲルフィルムを用いて[1]〜[8]のいずれかに記載のポリイミドフィルムを製造する方法。
[10]
[1]〜[8]のいずれかに記載のポリイミドフィルムを用いた金属積層体。
[11]
ポリイミドフィルムを基材フィルムとする銅張り積層体である[10]記載の金属積層体。
[12]
ポリイミドフィルムが金属層を保護するカバーレイを構成している[10]又は[11]記載の金属積層体。
That is, this invention relates to the following polyimide films etc.
[1]
A polyimide film having a dielectric loss tangent of 0.007 or less, a water absorption of 0.8% or less, and a linear expansion coefficient at 50 to 200 ° C. of 30 ppm / ° C. or less.
[2]
The polyimide film as described in [1] whose relative dielectric constant is 3.3 or less.
[3]
Any one of [1] to [2], wherein at least one component selected from the diamine component (A) and the tetracarboxylic acid component (B), which is a polymerization component of polyimide constituting the polyimide film, contains fluorine. The polyimide film described in 1.
[4]
The polyimide film according to [3], wherein the diamine component (A) contains 60 mol% or more of the fluorine-containing diamine component (A1).
[5]
The polyimide film according to [3] or [4], wherein the diamine component (A) contains 65 mol% or more of 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine.
[6]
The polyimide film according to any one of [3] to [5], wherein the diamine component (A) includes a fluorine-containing diamine component (A1) and a fluorine-free diamine component (A2).
[7]
The polyimide film according to any one of [3] to [6], wherein the tetracarboxylic acid component (B) contains 60 mol% or more of 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride.
[8]
The polyimide film according to any one of [1] to [7], which is used for a base film of a copper-clad laminate and / or a coverlay.
[9]
A method for producing a polyimide film according to any one of [1] to [8], wherein a self-supporting gel film is obtained by a chemical ring closure method, and the gel film is used.
[10]
The metal laminated body using the polyimide film in any one of [1]-[8].
[11]
The metal laminate according to [10], which is a copper-clad laminate using a polyimide film as a base film.
[12]
The metal laminate according to [10] or [11], wherein the polyimide film constitutes a coverlay that protects the metal layer.

本発明では、新規なポリイミドフィルムを提供できる。
このようなポリイミドフィルムは、低誘電率や低吸水性(ひいては水蒸気やガスの低透過性)などの特性を有している。そのため、例えば、FPC用のフィルム(基材フィルム、カバーレイなど)などとして好適に使用でき、特に、高周波対応基板用に好適に使用することができる。
また、本発明のポリイミドフィルムは、CTE(線膨張係数)において比較的低い場合が多い。そのためか、金属層に積層する場合でも寸法安定性が高く、FPC用途などにおいて好適である。
低誘電率や低吸水性と、高い寸法精度とを両立させることは容易ではなく、これらの両立、しかも、単層のポリイミドフィルムにおいて両立できることは意外であり、本発明の有用性は極めて高いものである。
さらに、本発明のポリイミドフィルムは、樹脂フィルムの積層が必要でないため、容易に薄膜化にも容易に対応しうる。
In the present invention, a novel polyimide film can be provided.
Such a polyimide film has characteristics such as low dielectric constant and low water absorption (and consequently low water vapor and gas permeability). Therefore, for example, it can be suitably used as an FPC film (base film, coverlay, etc.), and can be suitably used particularly for high-frequency compatible substrates.
Moreover, the polyimide film of the present invention often has a relatively low CTE (linear expansion coefficient). For this reason, even when laminated on a metal layer, the dimensional stability is high, which is suitable for FPC applications.
It is not easy to achieve both low dielectric constant and low water absorption, and high dimensional accuracy, and it is surprising that both can be achieved in a single layer polyimide film, and the usefulness of the present invention is extremely high. It is.
Furthermore, since the polyimide film of the present invention does not require lamination of a resin film, it can easily cope with thinning.

[ポリイミドフィルム]
本発明のポリイミドフィルムは、誘電特性や吸水率において特定の範囲を充足する。なお、本発明のポリイミドフィルムは、このような特定範囲の誘電特性及び特定範囲の吸水率のうち、少なくとも一方を充足すればよく、いずれか一方を充足してもよく、両方を充足してもよい。
[Polyimide film]
The polyimide film of the present invention satisfies a specific range in dielectric properties and water absorption. In addition, the polyimide film of this invention should just satisfy at least one among the dielectric characteristics of such a specific range, and the water absorption rate of a specific range, and may satisfy either one or both. Good.

本発明のポリイミドフィルムの誘電正接は、0.015以下(例えば、0.012以下)程度の範囲から選択でき、例えば、0.01以下(例えば、0.0095以下)、好ましくは0.009以下(例えば、0.0085以下)、さらに好ましくは0.008以下(例えば、0.0075以下)、特に0.007以下(例えば、0.0065以下)、特に好ましくは0.006以下(例えば、0.0058以下)であってもよく、0.0055以下、0.0050以下などであってもよい。
誘電正接の下限値は、特に限定されないが、例えば、0.001、0.0015、0.002、0.0025、0.0030、0.0035などであってもよい。
The dielectric loss tangent of the polyimide film of the present invention can be selected from a range of about 0.015 or less (for example, 0.012 or less), for example, 0.01 or less (for example, 0.0095 or less), preferably 0.009 or less. (For example, 0.0085 or less), more preferably 0.008 or less (for example, 0.0075 or less), particularly 0.007 or less (for example, 0.0065 or less), particularly preferably 0.006 or less (for example, 0 .0058 or less), 0.0055 or less, 0.0050 or less, or the like.
The lower limit value of the dielectric loss tangent is not particularly limited, and may be, for example, 0.001, 0.0015, 0.002, 0.0025, 0.0030, 0.0035, and the like.

ポリイミドフィルムの比誘電率は、3.5以下(例えば、3.4以下)程度の範囲から選択でき、例えば、3.4未満(例えば、3.37以下)、好ましくは3.35以下(例えば、3.32以下)、さらに好ましくは3.3以下(例えば、3.25以下)であってもよく、3.2以下(例えば、3.15以下)、3.1以下(例えば、3.05以下)、3.0以下(例えば、2.95以下)などであってもよい。
比誘電率の下限値は、特に限定されないが、例えば、2.0、2.1、2.2、2.3,2.4、2.5、2.6などであってもよい。
The relative dielectric constant of the polyimide film can be selected from a range of about 3.5 or less (for example, 3.4 or less), for example, less than 3.4 (for example, 3.37 or less), preferably 3.35 or less (for example, 3.32 or less), more preferably 3.3 or less (eg 3.25 or less), 3.2 or less (eg 3.15 or less), 3.1 or less (eg 3.15 or less). 05 or less), 3.0 or less (for example, 2.95 or less), or the like.
The lower limit value of the relative dielectric constant is not particularly limited, but may be, for example, 2.0, 2.1, 2.2, 2.3, 2.4, 2.5, 2.6, or the like.

なお、誘電正接及び誘電率の測定方法は、特に限定されず、従来公知の方法に従ってよい。誘電正接及び誘電率の測定周波数は、例えば、2.54GHz、5.8GHz等であってもよい。   In addition, the measuring method of a dielectric loss tangent and a dielectric constant is not specifically limited, You may follow a conventionally well-known method. The measurement frequency of dielectric loss tangent and dielectric constant may be, for example, 2.54 GHz, 5.8 GHz, or the like.

特定範囲の誘電特性を充足するポリイミドフィルムは、誘電特性のうち、誘電正接及び比誘電率の少なくともいずれかにおいて上記範囲を充足してもよい。好ましくは、少なくとも誘電正接において上記範囲を充足してもよく、より好ましくは誘電正接及び比誘電率の双方において上記範囲を充足してもよい。   The polyimide film satisfying a specific range of dielectric characteristics may satisfy the above range in at least one of dielectric loss tangent and relative dielectric constant among the dielectric characteristics. Preferably, the above range may be satisfied at least in the dielectric loss tangent, and more preferably, the above range may be satisfied in both the dielectric loss tangent and the relative dielectric constant.

ポリイミドフィルムの吸水率は、2%以下(例えば、1.5%以下)程度の範囲から選択でき、例えば、1.2%以下(例えば、1.1%以下)、好ましくは1.0%以下(例えば、0.95%以下)、さらに好ましくは0.9%以下(例えば、0.85%以下)、特に0.8%以下(例えば、0.75%以下)、特に好ましくは0.7%以下(例えば、0.65%以下)であってもよく、0.6%以下(例えば、0.55%以下)、0.5%以下(例えば、0.45%以下)、0.4%以下(例えば、0.35%以下)などであってもよい。
吸水率の下限値は、特に限定されず、例えば、0.01%、0.02%、0.03%、0.04%、0.05%、0.06%、0.07%、0.08%、0.09%、0.10%などであってもよい。
The water absorption of the polyimide film can be selected from a range of about 2% or less (for example, 1.5% or less), for example, 1.2% or less (for example, 1.1% or less), preferably 1.0% or less. (For example, 0.95% or less), more preferably 0.9% or less (for example, 0.85% or less), particularly 0.8% or less (for example, 0.75% or less), particularly preferably 0.7 % Or less (for example, 0.65% or less), 0.6% or less (for example, 0.55% or less), 0.5% or less (for example, 0.45% or less), 0.4 % Or less (for example, 0.35% or less).
The lower limit of the water absorption rate is not particularly limited. For example, 0.01%, 0.02%, 0.03%, 0.04%, 0.05%, 0.06%, 0.07%, 0 0.08%, 0.09%, 0.10%, etc. may be sufficient.

なお、吸水率の測定方法は、特に限定されず、例えば、JIS K 7209等に従ってよいし、また、吸水率は、後述する実施例に記載の方法で測定してもよい。   In addition, the measuring method of a water absorption rate is not specifically limited, For example, you may follow JISK7209 etc., and you may measure a water absorption rate by the method as described in the Example mentioned later.

ポリイミドフィルムは、特定の線膨張係数を有していてもよい。
ポリイミドフィルムの線膨張係数(線膨張係数の絶対値)は、40ppm/℃以下(例えば、37ppm/℃以下)程度の範囲から選択でき、例えば、35ppm/℃以下(例えば、33ppm/℃以下)、好ましくは32ppm/℃以下(例えば、31ppm/℃以下)、さらに好ましくは30ppm/℃以下(例えば、28ppm/℃以下)、特に25ppm/℃以下(例えば、22ppm/℃以下)、特に好ましくは20ppm/℃以下(例えば、19ppm/℃以下)であってもよく、18ppm/℃以下などであってもよい。
なお、線膨張係数(又はその絶対値)の下限値は、特に限定されず、用途等に応じて選択でき、0ppm/℃、2ppm/℃、3ppm/℃、5ppm/℃、8ppm/℃、10ppm/℃などであってもよい。
特に、後述のように金属積層体を構成する場合、例えば、ポリイミドフィルムの線膨張係数は、後述の金属層又は金属層を構成する金属の線膨張係数と近づけてもよく、同じ又は小さくしてもよい。例えば、金属層又は金属層を構成する金属が銅である場合、ポリイミドフィルムの線膨張係数は、0〜25ppm/℃、5〜22ppm/℃、8〜20ppm/℃、10〜18ppm/℃などであってもよい。
なお、線膨張係数は、特定の温度範囲(例えば、50〜200℃)における線膨張係数であってもよい。
The polyimide film may have a specific linear expansion coefficient.
The linear expansion coefficient (absolute value of the linear expansion coefficient) of the polyimide film can be selected from a range of about 40 ppm / ° C. or less (eg, 37 ppm / ° C. or less), for example, 35 ppm / ° C. or less (eg, 33 ppm / ° C. or less), Preferably it is 32 ppm / ° C. or less (eg, 31 ppm / ° C. or less), more preferably 30 ppm / ° C. or less (eg, 28 ppm / ° C. or less), particularly 25 ppm / ° C. or less (eg, 22 ppm / ° C. or less), particularly preferably 20 ppm / It may be not higher than ° C (for example, not higher than 19 ppm / ° C), and may be not higher than 18 ppm / ° C.
In addition, the lower limit value of the linear expansion coefficient (or its absolute value) is not particularly limited and can be selected according to the use and the like, 0 ppm / ° C., 2 ppm / ° C., 3 ppm / ° C., 5 ppm / ° C., 8 ppm / ° C., 10 ppm It may be / ° C.
In particular, when configuring a metal laminate as described later, for example, the linear expansion coefficient of the polyimide film may be close to the linear expansion coefficient of the metal layer or metal constituting the metal layer described later, and the same or smaller. Also good. For example, when the metal constituting the metal layer or the metal layer is copper, the linear expansion coefficient of the polyimide film is 0 to 25 ppm / ° C, 5 to 22 ppm / ° C, 8 to 20 ppm / ° C, 10 to 18 ppm / ° C, and the like. There may be.
The linear expansion coefficient may be a linear expansion coefficient in a specific temperature range (for example, 50 to 200 ° C.).

線膨張係数の測定方法は、特に限定されず、例えば、後述する実施例に記載の方法で測定してもよい。   The measuring method of a linear expansion coefficient is not specifically limited, For example, you may measure by the method as described in the Example mentioned later.

ポリイミドフィルム(又はポリイミドフィルムを構成するポリイミド)のガラス転移温度は、特に限定されないが、例えば、150℃以上(例えば、180〜450℃)、好ましくは200℃以上(例えば、230〜400℃)、さらに好ましくは250℃以上(例えば、260〜380℃)であってもよい。
ポリイミドフィルムの厚みは、特に限定されず、用途などに応じて適宜選択できる。例えば、ポリイミドフィルムの厚みは、1〜200μm(例えば、2〜150μm)、好ましくは3〜100μm(例えば、4〜90μm)、さらに好ましくは5〜80μm(例えば、7〜60μm)であってもよく、50μm以下、40μm以下、30μm以下などとすることもできる。
本発明のポリイミドフィルムは、フッ素樹脂フィルムと積層しなくても所望の性能を充足しうるので、薄型化にも容易に対応できる。
The glass transition temperature of the polyimide film (or polyimide constituting the polyimide film) is not particularly limited, but is, for example, 150 ° C. or higher (for example, 180 to 450 ° C.), preferably 200 ° C. or higher (for example, 230 to 400 ° C.), More preferably, it may be 250 ° C. or higher (eg, 260 to 380 ° C.).
The thickness of the polyimide film is not particularly limited, and can be appropriately selected according to the use. For example, the polyimide film may have a thickness of 1 to 200 μm (for example, 2 to 150 μm), preferably 3 to 100 μm (for example, 4 to 90 μm), and more preferably 5 to 80 μm (for example, 7 to 60 μm). , 50 μm or less, 40 μm or less, 30 μm or less, and the like.
Since the polyimide film of the present invention can satisfy the desired performance without being laminated with the fluororesin film, it can easily cope with thinning.

なお、ポリイミドフィルムは、複数のポリイミドフィルムの積層体であってもよく、通常、単一のポリイミドフィルムであってもよい。   In addition, the laminated body of a some polyimide film may be sufficient as a polyimide film, and a single polyimide film may be sufficient normally.

[ポリイミド及びポリイミドフィルムの製造方法]
ポリイミドフィルム(又はポリイミドフィルムを構成するポリイミド、又はポリアミック酸)は、ジアミン成分とテトラカルボン酸成分とを重合成分とする。なお、重合成分は、ジアミン成分とテトラカルボン酸成分を主成分とする限り、他の重合成分を含んでいてもよい。
[Production method of polyimide and polyimide film]
The polyimide film (or polyimide constituting the polyimide film or polyamic acid) has a diamine component and a tetracarboxylic acid component as polymerization components. The polymerization component may contain other polymerization components as long as the diamine component and the tetracarboxylic acid component are the main components.

具体的には、ポリイミド(又はポリイミドフィルム)を製造するに際して、まず、ジアミン成分(ジアミン成分(A))とテトラカルボン酸成分(テトラカルボン酸成分(B))とを有機溶媒中で重合させることにより、ポリアミック酸(ポリイミド前駆体)溶液を得る。   Specifically, when producing a polyimide (or polyimide film), first, a diamine component (diamine component (A)) and a tetracarboxylic acid component (tetracarboxylic acid component (B)) are polymerized in an organic solvent. Thus, a polyamic acid (polyimide precursor) solution is obtained.

なお、ポリアミック酸は環化反応に供されるが、本発明では後述のように化学閉環法により環化するのが好ましい。そのため、ポリアミック酸(ジアミン成分(A)及びテトラカルボン酸成分(B))は、化学閉環法を適用可能(化学閉環可能)な成分(又は化学閉環法により効率よく環化できる成分)であるのが好ましい。   The polyamic acid is subjected to a cyclization reaction. In the present invention, it is preferable to cyclize by a chemical ring closure method as described later. Therefore, the polyamic acid (diamine component (A) and tetracarboxylic acid component (B)) is a component (or a component that can be efficiently cyclized by the chemical cyclization method) that can be applied with a chemical cyclization method (or a chemical cyclization method). Is preferred.

ジアミン成分(A)は、通常、少なくとも芳香族ジアミン成分を含む。また、テトラカルボン酸成分(B)は、通常、芳香族テトラカルボン酸成分を含む。   The diamine component (A) usually contains at least an aromatic diamine component. The tetracarboxylic acid component (B) usually contains an aromatic tetracarboxylic acid component.

ポリイミドは、通常、フッ素を含有してもよい。このようなフッ素含有ポリイミド(ポリイミドフィルム)において、フッ素を含有させる方法は特に限定されないが、通常、重合成分として、フッ素含有重合成分を少なくとも使用してもよい。   The polyimide may usually contain fluorine. In such a fluorine-containing polyimide (polyimide film), the method for containing fluorine is not particularly limited, but usually, at least a fluorine-containing polymerization component may be used as the polymerization component.

具体的には、ジアミン成分(A)及びテトラカルボン酸成分(B)から選択された少なくとも1種の成分(特に少なくともジアミン成分(A))が、フッ素を含有してもよい。
なお、フッ素を含有する態様としては特に限定されず、例えば、ジアミン成分やテトラカルボン酸成分を構成する水素原子をフッ素原子に置換する態様などであってもよい。例えば、ジアミン成分やテトラカルボン酸成分として、フッ素原子が置換した骨格{例えば、フルオロアルカン骨格[例えば、トリフルオロメタン骨格(又はトリフルオロメチル基)などのパーフルオロアルカン骨格(又はパーフルオロアルキル基)など]、フルオロアレーン骨格(例えば、フルオロベンゼン骨格など)などの炭化水素骨格}を有する成分を使用してもよい。
Specifically, at least one component selected from the diamine component (A) and the tetracarboxylic acid component (B) (particularly at least the diamine component (A)) may contain fluorine.
In addition, it does not specifically limit as an aspect containing a fluorine, For example, the aspect etc. which substitute the hydrogen atom which comprises a diamine component and a tetracarboxylic-acid component by a fluorine atom, etc. may be sufficient. For example, as a diamine component or a tetracarboxylic acid component, a skeleton substituted with a fluorine atom {for example, a fluoroalkane skeleton [for example, a perfluoroalkane skeleton (or a perfluoroalkyl group) such as a trifluoromethane skeleton (or trifluoromethyl group)] ], A component having a hydrocarbon skeleton such as a fluoroarene skeleton (e.g., a fluorobenzene skeleton) may be used.

具体的なジアミン成分(A)としては、例えば、フッ素非含有ジアミン成分(A2)と、フッ素含有ジアミン成分(A1)に大別できる。   Specific examples of the diamine component (A) can be broadly classified into a fluorine-free diamine component (A2) and a fluorine-containing diamine component (A1).

フッ素非含有ジアミン成分(A2)としては、例えば、ジアミノアレーン(例えば、パラフェニレンジアミン、メタフェニレンジアミン、1,5−ジアミノナフタレンなど)、ジアミノビアリール[又はビス(アミノアリール)、例えば、ベンジジン、3,3’−ジメトキシベンジジン]、ジ(アミノアルキル)アレーン(例えば、パラキシリレンジアミンなど)、ジ(アミノアリール)エーテル(例えば、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテルなど)、ジ(アミノアリール)アルカン(例えば、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン)、ジ(アミノアリール)スルホン(例えば、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン)、ジ(アミノアリール)アレーン[例えば、1,4−ビス(3−メチル−5−アミノフェニル)ベンゼンなど]、ジ(アミノアリールオキシ)アレーン[例えば、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン]、ジ[(アミノアリールオキシ)アリール]アルカン{例えば、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパンなど}、これらのアミド形成性誘導体などのフッ素非含有芳香族ジアミン成分が挙げられる。   Examples of the fluorine-free diamine component (A2) include diaminoarene (for example, paraphenylenediamine, metaphenylenediamine, 1,5-diaminonaphthalene, etc.), diaminobiaryl [or bis (aminoaryl), for example, benzidine, 3 , 3′-dimethoxybenzidine], di (aminoalkyl) arene (eg, paraxylylenediamine), di (aminoaryl) ether (eg, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, etc.) Di (aminoaryl) alkanes (eg, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3′-dimethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane), di (aminoaryl) sulfones (eg, 4,4′-diaminodiphenyl) Sulfone), di (ami) Aryl) arene [eg, 1,4-bis (3-methyl-5-aminophenyl) benzene, etc.], di (aminoaryloxy) arene [eg, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1, 4-bis (4-aminophenoxy) benzene], di [(aminoaryloxy) aryl] alkane {eg, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, etc.}, their amide-forming properties Non-fluorine-containing aromatic diamine components such as derivatives are exemplified.

フッ素非含有ジアミン成分(A2)は、単独で又は2種以上組み合わせて使用してもよい。   You may use a fluorine-free diamine component (A2) individually or in combination of 2 or more types.

これらの中でも、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼンなどが好ましい。そのため、ジアミン成分(A2)は、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、及び1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼンから選択された少なくとも1種を含有してもよい。   Among these, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene and the like are preferable. . Therefore, the diamine component (A2) contains 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, and 1,4-bis (4-amino). It may contain at least one selected from phenoxy) benzene.

フッ素含有ジアミン成分(A1)としては、上記フッ素非含有ジアミン成分(A2)を構成する水素(原子)がフッ素(原子)に置換した化合物、例えば、フッ素含有ジアミノビアリール{又はフッ素含有ビス(アミノアリール)、例えば、フルオロアルキルベンジジン[例えば、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン、3,3’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジンなどのフルオロC1−10アルキルベンジジン、好ましくはパーフルオロC1−4アルキルベンジジンなど]など}、フッ素含有ジ(アミノアリール)アルカン{例えば、ジ(アミノフェニル)フルオロアルカン[例えば、2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパンなどのジ(アミノフェニル)フルオロC1−10アルカン、好ましくはジ(アミノフェニル)パーフルオロC1−4アルカン]など}、これらのアミド形成性誘導体などのフッ素含有芳香族ジアミン成分が挙げられる。 As the fluorine-containing diamine component (A1), a compound in which hydrogen (atom) constituting the fluorine-free diamine component (A2) is substituted with fluorine (atom), for example, fluorine-containing diaminobiaryl {or fluorine-containing bis (aminoaryl) ), for example, fluoroalkyl benzidine [e.g., 2,2'-bis (trifluoromethyl) benzidine, 3,3'-bis (fluoroalkyl C 1-10 alkyl benzidine, such as trifluoromethyl) benzidine, preferably perfluoro C 1-4 alkylbenzidine etc.], fluorine-containing di (aminoaryl) alkane {eg di (aminophenyl) fluoroalkane [eg di (amino such as 2,2-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane] phenyl) fluoro C 1-10 alkanes, preferably Etc. (aminophenyl) perfluoro C 1-4 alkanes]}, the fluorine-containing aromatic diamine component such as these amide-forming derivatives.

これらのうち、フルオロアルキルベンジジン[特に、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン]が好ましい。   Of these, fluoroalkylbenzidine [particularly 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine] is preferable.

フッ素含有ジアミン成分(A1)は、単独で又は2種以上組み合わせて使用してもよい。   You may use a fluorine-containing diamine component (A1) individually or in combination of 2 or more types.

ジアミン成分(A)は、単独で又は2種以上組み合わせて使用してもよい。   You may use a diamine component (A) individually or in combination of 2 or more types.

特に、ジアミン成分(A)は、少なくともフッ素含有ジアミン成分(A1)を含んでいてもよい。   In particular, the diamine component (A) may contain at least a fluorine-containing diamine component (A1).

ジアミン成分(A)がフッ素含有ジアミン成分(A1)を含む場合、フッ素含有ジアミン成分(A1)の割合は、例えば、ジアミン成分(A)の20モル%以上(例えば、25〜100モル%)、好ましくは30モル%以上(例えば、40モル%以上)、さらに好ましくは50モル%以上(例えば、55モル%以上)、特に60モル%以上(例えば、65モル%以上)であってもよく、70モル%以上(例えば、75モル%以上)、80モル%以上(例えば、85モル%以上)、90モル%以上(例えば、95モル%以上)などとすることもできる。   When the diamine component (A) includes the fluorine-containing diamine component (A1), the proportion of the fluorine-containing diamine component (A1) is, for example, 20 mol% or more (for example, 25 to 100 mol%) of the diamine component (A), Preferably, it may be 30 mol% or more (for example, 40 mol% or more), more preferably 50 mol% or more (for example, 55 mol% or more), particularly 60 mol% or more (for example, 65 mol% or more), It can also be 70 mol% or more (for example, 75 mol% or more), 80 mol% or more (for example, 85 mol% or more), 90 mol% or more (for example, 95 mol% or more), and the like.

また、フッ素含有ジアミン成分(A1)とフッ素非含有ジアミン成分(A2)とを好適に組み合わせてもよい。   Moreover, you may combine suitably a fluorine-containing diamine component (A1) and a fluorine-free diamine component (A2).

このような場合、フッ素含有ジアミン成分(A1)とフッ素非含有ジアミン成分(A2)との割合は、例えば、フッ素含有ジアミン成分(A1)/フッ素非含有ジアミン成分(A2)(モル比)=99.9/0.1〜1/99(例えば、99.5/0.5〜5/95)、好ましくは99/1〜10/90(例えば、98/2〜20/80)、さらに好ましくは97/3〜30/70(例えば、96/4〜35/65)、特に95/5〜40/60(例えば、93/7〜45/50)、特に好ましくは92/8〜50/50(例えば、90/10〜55/45)程度であってもよく、通常99/1〜60/40(例えば、95/5〜65/35)であってもよい。   In such a case, the ratio of the fluorine-containing diamine component (A1) and the fluorine-free diamine component (A2) is, for example, fluorine-containing diamine component (A1) / fluorine-free diamine component (A2) (molar ratio) = 99. 0.9 / 0.1 / 1/99 (for example, 99.5 / 0.5 to 5/95), preferably 99/1 to 10/90 (for example, 98/2 to 20/80), more preferably 97 / 3-30 / 70 (e.g. 96 / 4-35 / 65), especially 95 / 5-40 / 60 (e.g. 93 / 7-45 / 50), particularly preferably 92 / 8-50 / 50 ( For example, it may be about 90/10 to 55/45), and usually 99/1 to 60/40 (for example, 95/5 to 65/35).

具体的なテトラカルボン酸成分(B)としては、例えば、フッ素非含有テトラカルボン酸成分(B2)と、フッ素含有テトラカルボン酸成分(B1)とに大別できる。   Specific tetracarboxylic acid components (B) can be broadly classified into, for example, fluorine-free tetracarboxylic acid components (B2) and fluorine-containing tetracarboxylic acid components (B1).

フッ素非含有テトラカルボン酸成分(B2)としては、フッ素非含有テトラカルボン酸及びそのアミド形成性誘導体、例えば、アレーンテトラカルボン酸成分[例えば、ピロメリット酸、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸、ピリジン−2,3,5,6−テトラカルボン酸、これらの酸無水物(ピロメリット酸無水物など)など]、ビス(ジカルボキシアリール)エーテル成分(例えば、4,4’−オキシジフタル酸、4,4’−オキシジフタル酸無水物など)、ビアリールテトラカルボン酸成分[例えば、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸、2,3’,3,4’−ビフェニルテトラカルボン酸、これらの酸無水物(3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物など)など]、ジアリールケトンテトラカルボン酸成分(例えば、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸及びその無水物など)、ビス[(ジカルボキシフェノキシ)フェニル]アルカン成分{例えば、5,5’−[1−メチル−1,1−エタンジイルビス(1,4−フェニレン)ビスオキシ]ビス(イソベンゾフラン−1,3−ジオン)など}などが挙げられる。   Examples of the non-fluorine-containing tetracarboxylic acid component (B2) include non-fluorine-containing tetracarboxylic acid and amide-forming derivatives thereof, such as arenetetracarboxylic acid components [for example, pyromellitic acid, 2,3,6,7-naphthalenetetra Carboxylic acid, pyridine-2,3,5,6-tetracarboxylic acid, acid anhydrides thereof (such as pyromellitic acid anhydride)], bis (dicarboxyaryl) ether component (for example, 4,4′-oxydiphthalate) Acid, 4,4′-oxydiphthalic anhydride, etc.), biaryltetracarboxylic acid component [for example, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid, 2,3 ′, 3,4′-biphenyltetracarboxylic acid Acid, these acid anhydrides (such as 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride)], diarylketone Lacarboxylic acid component (for example, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic acid and its anhydride), bis [(dicarboxyphenoxy) phenyl] alkane component {for example, 5,5 ′-[1-methyl -1,1-ethanediylbis (1,4-phenylene) bisoxy] bis (isobenzofuran-1,3-dione) and the like}.

フッ素非含有テトラカルボン酸成分(B2)は、単独で又は2種以上組み合わせて使用してもよい。   The fluorine-free tetracarboxylic acid component (B2) may be used alone or in combination of two or more.

フッ素含有テトラカルボン酸成分(B1)としては、フッ素非含有テトラカルボン酸成分を構成する水素(原子)がフッ素(原子)に置換した化合物、例えば、フッ素含有ビス(ジカルボキシアリール)アルカン{例えば、ビス(ジカルボキシフェニル)フルオロアルカン[例えば、4,4’−(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物などのビス(ジカルボキシフェニル)フルオロC1−10アルカン、好ましくはビス(ジカルボキシフェニル)パーフルオロC1−4アルカン]など}などが挙げられる。 As the fluorine-containing tetracarboxylic acid component (B1), a compound in which hydrogen (atom) constituting the fluorine-free tetracarboxylic acid component is substituted with fluorine (atom), for example, a fluorine-containing bis (dicarboxyaryl) alkane {for example, Bis (dicarboxyphenyl) fluoroalkanes [for example, bis (dicarboxyphenyl) fluoroC 1-10 alkanes such as 4,4 ′-(hexafluoroisopropylidene) diphthalic anhydride, preferably bis (dicarboxyphenyl) per Fluoro C 1-4 alkane] and the like}.

フッ素含有テトラカルボン酸成分(B1)は、単独で又は2種以上組み合わせて使用してもよい。   You may use a fluorine-containing tetracarboxylic-acid component (B1) individually or in combination of 2 or more types.

テトラカルボン酸成分(B)は、単独で又は2種以上組み合わせて使用してもよい。   The tetracarboxylic acid component (B) may be used alone or in combination of two or more.

これらのうち、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸成分(無水物など)を好適に使用してもよい。そのため、テトラカルボン酸成分(B)は、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸成分を少なくとも含んでいてもよい。
3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸成分を使用することで、後述の化学閉環法を適用しやすく、さらには、所望の特性(誘電特性、吸水率、CTEなど)を実現させやすい。
Among these, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid components (such as anhydrides) may be preferably used. Therefore, the tetracarboxylic acid component (B) may contain at least a 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid component.
By using 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid component, it is easy to apply the chemical ring closure method described later, and furthermore, the desired properties (dielectric properties, water absorption, CTE, etc.) are realized. Cheap.

テトラカルボン酸成分(B)が3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸成分を含む場合、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸成分の割合は、例えば、テトラカルボン酸成分(B)の20モル%以上(例えば、25〜100モル%)、好ましくは30モル%以上(例えば、40モル%以上)、さらに好ましくは50モル%以上(例えば、55モル%以上)、特に60モル%以上(例えば、65モル%以上)であってもよく、70モル%以上(例えば、75モル%以上)、80モル%以上(例えば、85モル%以上)、90モル%以上(例えば、95モル%以上)などとすることもできる。   When the tetracarboxylic acid component (B) includes a 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid component, the ratio of the 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid component is, for example, tetracarboxylic 20 mol% or more (for example, 25 to 100 mol%) of the acid component (B), preferably 30 mol% or more (for example, 40 mol% or more), more preferably 50 mol% or more (for example, 55 mol% or more) In particular, it may be 60 mol% or more (for example, 65 mol% or more), 70 mol% or more (for example, 75 mol% or more), 80 mol% or more (for example, 85 mol% or more), 90 mol% or more. (For example, 95 mol% or more).

また、テトラカルボン酸成分(B)は、フッ素含有テトラカルボン酸成分(B1)を好適に含んでいてもよく、このような場合、フッ素含有テトラカルボン酸成分(B1)とフッ素非含有テトラカルボン酸成分(B2)とを組み合わせることもできる。   Moreover, the tetracarboxylic acid component (B) may suitably contain a fluorine-containing tetracarboxylic acid component (B1). In such a case, the fluorine-containing tetracarboxylic acid component (B1) and the fluorine-free tetracarboxylic acid The component (B2) can also be combined.

テトラカルボン酸成分(B)がフッ素含有テトラカルボン酸成分(B1)を含む場合、フッ素含有テトラカルボン酸成分(B1)の割合は、例えば、テトラカルボン酸成分(B)の1モル%以上(例えば、1〜100モル%)、好ましくは2モル%以上(例えば、3〜80モル%)、さらに好ましくは5モル%以上(例えば、6〜50モル%)、特に10モル%以上(例えば、10〜40モル%以上)であってもよく、通常1〜50モル%(他例えば、3〜40モル%、5〜35モル%)であってもよい。   When the tetracarboxylic acid component (B) includes the fluorine-containing tetracarboxylic acid component (B1), the ratio of the fluorine-containing tetracarboxylic acid component (B1) is, for example, 1 mol% or more of the tetracarboxylic acid component (B) (for example, 1 to 100 mol%), preferably 2 mol% or more (eg 3 to 80 mol%), more preferably 5 mol% or more (eg 6 to 50 mol%), particularly 10 mol% or more (eg 10 ˜40 mol% or more), and usually 1 to 50 mol% (other examples are 3 to 40 mol%, 5 to 35 mol%).

ポリアミック酸溶液の形成に使用される有機溶媒の具体例としては、例えば、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシド等のスルホキシド系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミド等のホルムアミド系溶媒、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド等のアセトアミド系溶媒、N−メチル−2−ピロリドン、N−ビニル−2−ピロリドン等のピロリドン系溶媒、フェノール、o−,m−,又はp−クレゾール、キシレノール、ハロゲン化フェノール、カテコール等のフェノール系溶媒又はヘキサメチルホスホルアミド、γ−ブチロラクトン等の非プロトン性極性溶媒を挙げることができ、これらを単独又は2種以上を使用した混合物として用いるのが望ましいが、さらにはキシレン、トルエン等の芳香族炭化水素の使用も可能である。   Specific examples of the organic solvent used for forming the polyamic acid solution include sulfoxide solvents such as dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide, formamide solvents such as N, N-dimethylformamide and N, N-diethylformamide, N , N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide and other acetamide solvents, N-methyl-2-pyrrolidone, N-vinyl-2-pyrrolidone and other pyrrolidone solvents, phenol, o-, m-, or p- Examples thereof include phenolic solvents such as cresol, xylenol, halogenated phenol, and catechol, and aprotic polar solvents such as hexamethylphosphoramide and γ-butyrolactone, and these are used alone or as a mixture using two or more thereof. It is desirable that xylene, The use of aromatic hydrocarbons such as toluene are also possible.

重合方法は、公知のいずれの方法で行ってもよく、例えば
(1)先にジアミン成分全量を溶媒中に入れ、その後、テトラカルボン酸成分をジアミン成分全量と当量(等モル)になるように加えて重合する方法。
(2)先にテトラカルボン酸成分全量を溶媒中に入れ、その後、ジアミン成分をテトラカルボン酸成分と当量になるように加えて重合する方法。
(3)一方のジアミン成分(a1)を溶媒中に入れた後、反応成分に対して一方のテトラカルボン酸成分(b1)が95〜105モル%となる比率で反応に必要な時間混合した後、もう一方のジアミン成分(a2)を添加し、続いて、もう一方のテトラカルボン酸成分(b2)を全ジアミン成分と全テトラカルボン酸成分とがほぼ当量になるように添加して重合する方法。
(4)一方のテトラカルボン酸成分(b1)を溶媒中に入れた後、反応成分に対して一方のジアミン成分(a1)が95〜105モル%となる比率で反応に必要な時間混合した後、もう一方のテトラカルボン酸成分(b2)を添加し、続いてもう一方のジアミン成分(a2)を全ジアミン成分と全テトラカルボン酸成分とがほぼ当量になるように添加して重合する方法。
(5)溶媒中で一方のジアミン成分とテトラカルボン酸成分をどちらかが過剰になるよう反応させてポリアミック酸溶液(A)を調整し、別の溶媒中でもう一方のジアミン成分とテトラカルボン酸成分をどちらかが過剰になるよう反応させてポリアミック酸溶液(B)を調整する。こうして得られた各ポリアミック酸溶液(A)と(B)を混合し、重合を完結する方法。重合方法はこれらに限定されることはなく、その他公知の方法を用いてもよい。
重合方法はこれらに限定されることはなく、その他公知の方法を用いてもよい。
The polymerization method may be carried out by any known method. For example, (1) the total amount of the diamine component is first put in the solvent, and then the tetracarboxylic acid component is equivalent to the total amount of the diamine component (equal mole). In addition, a polymerization method.
(2) A method in which the total amount of the tetracarboxylic acid component is first put in a solvent, and then the diamine component is added so as to be equivalent to the tetracarboxylic acid component for polymerization.
(3) After mixing one diamine component (a1) in a solvent, after mixing for a time required for the reaction at a ratio of 95 to 105 mol% of one tetracarboxylic acid component (b1) with respect to the reaction component The other diamine component (a2) is added, and then the other tetracarboxylic acid component (b2) is added and polymerized so that the total diamine component and the total tetracarboxylic acid component are approximately equivalent. .
(4) After one tetracarboxylic acid component (b1) is put in a solvent, after mixing for a time required for the reaction at a ratio of 95 to 105 mol% of one diamine component (a1) with respect to the reaction component The other tetracarboxylic acid component (b2) is added, and then the other diamine component (a2) is added and polymerized so that the total diamine component and the total tetracarboxylic acid component are approximately equivalent.
(5) A polyamic acid solution (A) is prepared by reacting one diamine component and a tetracarboxylic acid component in a solvent so that either one becomes excessive, and the other diamine component and the tetracarboxylic acid in another solvent. The polyamic acid solution (B) is prepared by reacting either component in excess. A method in which the polyamic acid solutions (A) and (B) thus obtained are mixed to complete the polymerization. The polymerization method is not limited to these, and other known methods may be used.
The polymerization method is not limited to these, and other known methods may be used.

ポリアミック酸溶液は、通常、5〜40重量%程度の固形分を含有し、好ましくは10〜30重量%程度の固形分を含有してもよい。また、ポリアミック酸溶液の粘度は、ブルックフィールド粘度計による測定値で通常10〜2000Pa・s程度であってもよく、安定した送液のために、好ましくは100〜1000Pa・s程度であってもよい。また、有機溶媒溶液中のポリアミック酸は部分的にイミド化されていてもよい。   The polyamic acid solution usually contains a solid content of about 5 to 40% by weight, and preferably may contain a solid content of about 10 to 30% by weight. The viscosity of the polyamic acid solution may be usually about 10 to 2000 Pa · s as measured with a Brookfield viscometer, and preferably about 100 to 1000 Pa · s for stable liquid feeding. Good. Moreover, the polyamic acid in the organic solvent solution may be partially imidized.

次に、ポリイミドフィルムの製造方法について説明する。ポリイミドフィルムの製膜(製造)は、例えば、ポリアミック酸溶液を環化反応させてゲルフィルムを得る(ポリアミック酸又はポリアミック酸溶液をゲルフィルムに転化する)工程(1)、得られたゲルフィルムを乾燥(及び脱溶媒)処理し、熱処理する工程(2)を経て得ることができる。なお、乾燥及び熱処理により、乾燥及びイミド化が進行する。   Next, the manufacturing method of a polyimide film is demonstrated. The film formation (production) of the polyimide film is, for example, a step (1) of obtaining a gel film by cyclizing a polyamic acid solution (converting the polyamic acid or the polyamic acid solution into a gel film), and the obtained gel film. It can be obtained through a step (2) of drying (and solvent removal) and heat treatment. Note that drying and imidization proceed by drying and heat treatment.

工程(1)において、ポリアミック酸溶液を環化反応させる方法は、特に限定されないが、具体的には、(i)ポリアミック酸溶液をフィルム状にキャストし、熱的に脱水環化させてゲルフィルムを得る方法(熱閉環法)、又は(ii)ポリアミック酸溶液に触媒(環化触媒)及び脱水剤(転化剤)を混合し化学的に脱環化させてゲルフィルムを作製し、加熱により、ゲルフィルムを得る方法(化学閉環法)等が挙げられ、特に後者の方法(化学閉環法)が好ましい。   In the step (1), the method for cyclizing the polyamic acid solution is not particularly limited. Specifically, (i) the gel film is obtained by casting the polyamic acid solution into a film and thermally dehydrating it. Or (ii) mixing a catalyst (cyclization catalyst) and a dehydrating agent (converting agent) in a polyamic acid solution and chemically decyclizing to produce a gel film, Examples thereof include a method for obtaining a gel film (chemical ring closure method), and the latter method (chemical ring closure method) is particularly preferable.

化学閉環法(さらには、前記のような特定のジアミン成分及び/又はテトラカルボン酸成分を選択しつつ、化学閉環法を選択すること)によれば、意外にも、本発明のポリイミドフィルムに要求される物性・特性(誘電特性、吸水率、CTEなど)を効率よく得やすいようである。また、量産性の観点からも、化学閉環法は好適である。   According to the chemical ring closure method (and selecting the chemical ring closure method while selecting the specific diamine component and / or tetracarboxylic acid component as described above), the polyimide film of the present invention is surprisingly required. It seems that it is easy to efficiently obtain physical properties and characteristics (dielectric characteristics, water absorption, CTE, etc.). The chemical ring closure method is also suitable from the viewpoint of mass productivity.

なお、上記ポリアミック酸溶液は、ゲル化遅延剤等を含有してもよい。ゲル化遅延剤としては、特に限定されず、アセチルアセトン等を使用することができる。   The polyamic acid solution may contain a gelation retarder and the like. It does not specifically limit as a gel retarder, Acetyl acetone etc. can be used.

環化触媒としては、アミン類、例えば、脂肪族第3級アミン(トリメチルアミン、トリエチレンジアミンなど)、芳香族第3級アミン(ジメチルアニリンなど)、複素環第3級アミン(例えば、イソキノリン、ピリジン、β−ピコリンなど)などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよく、2種以上を混合して用いてもよい。これらのうち、β−ピコリンなどの複素環式第3級アミンが好ましい。   Cyclization catalysts include amines such as aliphatic tertiary amines (trimethylamine, triethylenediamine, etc.), aromatic tertiary amines (dimethylaniline, etc.), heterocyclic tertiary amines (eg, isoquinoline, pyridine, β-picoline and the like). These may be used individually by 1 type, and 2 or more types may be mixed and used for them. Of these, heterocyclic tertiary amines such as β-picoline are preferred.

脱水剤としては、酸無水物、例えば、脂肪族カルボン酸無水物(例えば、無水酢酸、無水プロピオン酸、無水酪酸など)、芳香族カルボン酸無水物(例えば、無水安息香酸など)などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよく、2種以上を混合して用いてもよい。これらの中でも、無水酢酸及び/又は無水安息香酸が好ましく、特に無水酢酸が好ましい。   Examples of the dehydrating agent include acid anhydrides such as aliphatic carboxylic acid anhydrides (eg, acetic anhydride, propionic anhydride, butyric anhydride), aromatic carboxylic acid anhydrides (eg, benzoic anhydride, etc.), and the like. . These may be used individually by 1 type, and 2 or more types may be mixed and used for them. Among these, acetic anhydride and / or benzoic anhydride are preferable, and acetic anhydride is particularly preferable.

環化触媒及び脱水剤の使用量は、特に限定されないが、それぞれ、ポリアミック酸(又はポリアミド酸)のアミド基(又はカルボキシル基)1モルに対して、例えば、1モル以上(例えば、1.5〜10モル)程度であってもよい。   Although the usage-amount of a cyclization catalyst and a dehydrating agent is not specifically limited, For example, 1 mol or more (for example, 1.5 mol) with respect to 1 mol of amide groups (or carboxyl groups) of polyamic acid (or polyamic acid), respectively. About 10 mol).

ゲルフィルムは、通常、ポリアミック酸溶液(特に環化触媒及び転化剤を混合したポリアミック酸溶液)を、支持体上に流延(塗布)して部分的に乾燥及び硬化(イミド化)させることで得ることができる。   The gel film is usually obtained by casting (coating) a polyamic acid solution (particularly, a polyamic acid solution in which a cyclization catalyst and a conversion agent are mixed) onto a support, and partially drying and curing (imidizing). Can be obtained.

より具体的には、ポリアミック酸溶液を、スリット付き口金から支持体上に流延してフィルム状に成型し、支持体からの受熱、熱風又は電気ヒーター等の熱源からの受熱により、加熱して閉環反応させ、遊離した有機溶媒等の揮発分を乾燥させることによりゲルフィルムとした後、支持体から剥離することにより得てもよい。   More specifically, the polyamic acid solution is cast on a support from a base with a slit and formed into a film, and is heated by receiving heat from the support, heat from a heat source such as hot air or an electric heater. The gel film may be obtained by ring-closing reaction and drying a volatile component such as a free organic solvent, and then peeled off from the support.

ここで、ゲルフィルムは剥離するために自己支持性を備える必要があるが、通常、化学閉環法で得られたゲルフィルムと、熱閉環法で得られたゲルフィルムとでは、その態様が大きく異なる。すなわち、化学閉環法では、触媒によりゲル化(転化)できるため、溶媒を多く含む自己支持性のゲルフィルム(柔軟又はウェットなゲルフィルム)が得られる一方、熱閉環法では、ゲル化の(自己支持性を持たせる)ために多大な熱処理が必要となり、結果として比較的硬い(残存溶媒の少ない)ゲルフィルムが得られる。   Here, the gel film needs to have a self-supporting property in order to peel off, but usually the gel film obtained by the chemical cyclization method and the gel film obtained by the thermal cyclization method have greatly different modes. . That is, in the chemical ring closure method, gelation (conversion) can be performed by a catalyst, so that a self-supporting gel film (soft or wet gel film) containing a large amount of solvent can be obtained. A large amount of heat treatment is required to give supportability, and as a result, a gel film that is relatively hard (low residual solvent) is obtained.

本発明では、意外にも、化学閉環法を経たゲルフィルムを用いることで、所望の特性(低誘電正接、低誘電率、低吸水性、低CTEなど)を有するポリイミドフィルムを効率よく形成できる。   Surprisingly, in the present invention, a polyimide film having desired characteristics (low dielectric loss tangent, low dielectric constant, low water absorption, low CTE, etc.) can be efficiently formed by using a gel film that has undergone a chemical ring closure method.

支持体としては、特に限定されないが、金属(例えばステンレス)製の回転ドラム、エンドレスベルト等が例として挙げられる。支持体の温度は、特に限定されず、例えば、30〜200℃、好ましくは40〜150℃、さらに好ましくは50〜120℃であってもよい。   Although it does not specifically limit as a support body, A metal (for example, stainless steel) rotating drum, an endless belt, etc. are mentioned as an example. The temperature of a support body is not specifically limited, For example, 30-200 degreeC, Preferably it is 40-150 degreeC, More preferably, it may be 50-120 degreeC.

なお、支持体の温度は、(i)液体又は気体の熱媒体、(ii)電気ヒーター等の輻射熱等により制御できる。   The temperature of the support can be controlled by (i) a liquid or gas heat medium, (ii) radiant heat from an electric heater or the like.

工程(2)では、ゲルフィルムを乾燥(脱溶媒)後、熱処理する。通常、工程(2)は、ゲルフィルムの幅方向両端を把持しつつ加熱炉(テンター加熱炉など)を通過させて、乾燥し、その後、熱処理を行う工程を含んでいてもよい。   In step (2), the gel film is dried (desolvent) and then heat-treated. Usually, the step (2) may include a step of passing through a heating furnace (such as a tenter heating furnace) while drying both ends in the width direction of the gel film, drying, and then performing a heat treatment.

具体的には、支持体から剥離されたゲルフィルムは、特に限定されないが、通常、回転ロールにより走行速度を規制しながら搬送方向に延伸されてもよい。搬送方向への延伸は、所定の温度(例えば、140℃以下の温度)で実施されてもよい。その延伸倍率(MDX)は、通常1.05〜1.9倍であり、好ましくは1.1〜1.6倍であり、さらに好ましくは1.1〜1.5倍(例えば、1.15〜1.4倍)である。   Specifically, the gel film peeled off from the support is not particularly limited, but usually may be stretched in the transport direction while regulating the running speed with a rotating roll. The stretching in the transport direction may be performed at a predetermined temperature (for example, a temperature of 140 ° C. or lower). The draw ratio (MDX) is usually 1.05 to 1.9 times, preferably 1.1 to 1.6 times, more preferably 1.1 to 1.5 times (for example, 1.15). ~ 1.4 times).

乾燥において、乾燥温度は、例えば、210℃以上(例えば、213〜500℃)、好ましくは215℃以上(例えば、218〜400℃)、さらに好ましくは220℃以上(例えば、220〜300℃)で行ってもよい。   In the drying, the drying temperature is, for example, 210 ° C. or higher (for example, 213 to 500 ° C.), preferably 215 ° C. or higher (for example, 218 to 400 ° C.), more preferably 220 ° C. or higher (for example, 220 to 300 ° C.). You may go.

また、乾燥は、フィルム幅方向における乾燥ムラ(バラツキ)を抑えつつ行ってもよい。例えば、フィルム幅方向の乾燥温度ムラは、例えば、25℃未満(例えば、0〜24℃)、好ましくは22℃以下(例えば、1〜21℃)、さらに好ましくは20℃以下(例えば、2〜19℃)、特に18℃以下(例えば、3〜18℃)であってもよい。   Moreover, you may perform drying, suppressing the drying nonuniformity (variation) in a film width direction. For example, the drying temperature unevenness in the film width direction is, for example, less than 25 ° C. (for example, 0 to 24 ° C.), preferably 22 ° C. or less (for example, 1 to 21 ° C.), more preferably 20 ° C. or less (for example, 2 to 2 ° C.). 19 ° C.), particularly 18 ° C. or lower (eg, 3 to 18 ° C.)

なお、乾燥温度ムラは、例えば、フィルム幅方向に沿って所定の間隔(例えば、200mm)で複数点をとり、測定した乾燥温度の最大値と最小値との差(幅)を乾燥温度ムラとして測定できる。   In addition, the drying temperature unevenness takes, for example, a plurality of points at a predetermined interval (for example, 200 mm) along the film width direction, and the difference (width) between the maximum value and the minimum value of the measured drying temperature is defined as the drying temperature unevenness. It can be measured.

ゲルフィルム(特に、搬送方向に延伸されたゲルフィルム)は、乾燥後、熱処理される。熱処理温度は、特に限定されず、例えば、200℃以上(例えば、250〜600℃)、好ましくは300℃以上、さらに好ましくは350℃以上であってもよい。   A gel film (in particular, a gel film stretched in the transport direction) is heat-treated after drying. The heat treatment temperature is not particularly limited, and may be, for example, 200 ° C. or higher (for example, 250 to 600 ° C.), preferably 300 ° C. or higher, more preferably 350 ° C. or higher.

また、乾燥後、さらに、幅方向へ延伸されてもよい。幅方向への延伸は、熱処理と共に行ってもよい。   Moreover, after drying, it may be further stretched in the width direction. The stretching in the width direction may be performed together with the heat treatment.

幅方向への延伸において、延伸倍率(TDX)は、例えば、1.05〜1.9倍であり、好ましくは1.1〜1.6倍であり、さらに好ましくは1.1〜1.5倍(例えば、1.15〜1.4倍)であってもよい。   In stretching in the width direction, the draw ratio (TDX) is, for example, 1.05 to 1.9 times, preferably 1.1 to 1.6 times, and more preferably 1.1 to 1.5 times. Double (for example, 1.15 to 1.4 times) may be sufficient.

なお、このような延伸により、誘電正接、比誘電率、CTE、吸水率などをより小さくしやすい(又は調整しやすい)場合がある。   In addition, by such stretching, the dielectric loss tangent, the relative dielectric constant, the CTE, the water absorption rate and the like may be easily reduced (or easily adjusted) in some cases.

このようにしてポリイミドフィルムが得られる。得られたポリイミドフィルムに対しては、さらにアニール処理や、易接着処理(例えば、コロナ処理、プラズマ処理のような電気処理又はブラスト処理)を行ってもよい。   In this way, a polyimide film is obtained. The obtained polyimide film may be further subjected to annealing treatment or easy adhesion treatment (for example, electrical treatment such as corona treatment or plasma treatment or blast treatment).

[金属積層体]
本発明のポリイミドフィルムは、金属層(金属箔)と積層して金属積層体を形成するために好適に使用できる。
[Metal laminate]
The polyimide film of the present invention can be suitably used for laminating with a metal layer (metal foil) to form a metal laminate.

特に、本発明のポリイミドフィルムは、回路基板用、特に、フレキシブルプリント基板(FPC)用のフィルム(特に、絶縁性フィルム、カバーレイフィルム)などとして好適である。   In particular, the polyimide film of the present invention is suitable as a film for a circuit board, particularly a flexible printed circuit board (FPC) (particularly, an insulating film or a coverlay film).

そのため、本発明には、前記ポリイミドフィルムを備えた(用いた)金属積層体を包含する。このような金属積層体は、特に、フレキシブルプリント基板(フレキシブル基板)を構成してもよい。このような金属積層体(又は基板)において、ポリイミドフィルムは、金属層に積層されていればよく、金属積層体における基材フィルムを構成してもよく、カバーレイ(フィルム)を構成してもよく、これらの双方を構成してもよい。
例えば、基材フィルムと、この基材フィルム上に積層(形成)された金属層(配線又はパターンが形成された金属層)と、この金属層上に積層(形成)されたフィルム(金属層を保護するためのフィルム、カバーレイフィルム)とを備えた金属積層体において、基材フィルム及びカバーレイの少なくとも一方を前記ポリイミドフィルムで構成してもよい。
特に、本発明のポリイミドフィルムは、少なくとも基材フィルム(金属層を形成するための基材フィルム)として好適に使用してもよい。
Therefore, the present invention includes a metal laminate including (used) the polyimide film. Such a metal laminate may particularly constitute a flexible printed circuit board (flexible board). In such a metal laminate (or substrate), the polyimide film may be laminated on the metal layer, may constitute a base film in the metal laminate, or may constitute a cover lay (film). Both of these may be configured.
For example, a base film, a metal layer (metal layer on which a wiring or a pattern is formed) laminated (formed) on the base film, and a film (metal layer) laminated (formed) on the metal layer In a metal laminate including a protective film and a cover lay film, at least one of the base film and the cover lay may be formed of the polyimide film.
In particular, the polyimide film of the present invention may be suitably used as at least a base film (base film for forming a metal layer).

金属層(金属箔)を構成する金属の種類は特に限定はないが、例えば、銅(銅単体、銅合金など)、ステンレス鋼及びその合金、ニッケル(ニッケル単体、ニッケル合金など)、アルミニウム(アルミニウム、アルミニウム合金など)などが挙げられる。   The type of metal constituting the metal layer (metal foil) is not particularly limited. For example, copper (copper alone, copper alloy, etc.), stainless steel and its alloys, nickel (nickel alone, nickel alloy, etc.), aluminum (aluminum) , Aluminum alloy, etc.).

好ましくは銅である。このような金属層とポリイミドフィルムとを積層することで、銅張積層体が得られる。また、これらの金属表面に防錆層や耐熱層(例えば、クロム、亜鉛等のメッキ処理)、シランカップリング剤等を形成したものも利用できる。好ましくは銅及び/又は、ニッケル、亜鉛、鉄、クロム、コバルト、モリブテン、タングステン、バナジウム、ベリリウム、チタン、スズ、マンガン、アルミニウム、燐、珪素等のうち、少なくとも1種以上の成分と銅を含む銅合金であり、これらは回路加工上好まれて使用される。特に望ましい金属層としては圧延又は電解メッキ法によって形成された銅などが挙げられる。   Copper is preferred. A copper-clad laminate is obtained by laminating such a metal layer and a polyimide film. Moreover, what formed the antirust layer, the heat-resistant layer (for example, plating processing of chromium, zinc, etc.), a silane coupling agent, etc. on these metal surfaces can also be utilized. Preferably, copper and / or nickel, zinc, iron, chromium, cobalt, molybdenum, tungsten, vanadium, beryllium, titanium, tin, manganese, aluminum, phosphorus, silicon, etc. and at least one component and copper are included. These are copper alloys, which are preferred for use in circuit processing. Particularly preferable metal layers include copper formed by rolling or electrolytic plating.

金属層の厚みは特に限定されないが、例えば、1〜150μm(例えば、3〜50μm)程度であってもよい。   Although the thickness of a metal layer is not specifically limited, For example, about 1-150 micrometers (for example, 3-50 micrometers) may be sufficient.

金属積層体は、ポリイミドフィルム及び金属層を備えている限り、その積層の形態は特に限定されず、ポリイミドフィルムの使用目的(基材フィルムであるか、カバーレイであるかなど)などにもよるが、例えば、ポリイミドフィルムと金属層とが直接的に積層されていてもよく、接着層(接着剤層)を介してポリイミドフィルムと金属箔とが積層され(貼り合わせられ)てもよい。   As long as the metal laminate includes a polyimide film and a metal layer, the form of the laminate is not particularly limited, and depends on the purpose of use of the polyimide film (whether it is a substrate film or a coverlay). However, for example, a polyimide film and a metal layer may be directly laminated, or a polyimide film and a metal foil may be laminated (bonded) via an adhesive layer (adhesive layer).

接着層を構成する接着成分は、特に限定されず、例えば、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂のいずれであってもよい。   The adhesive component which comprises an adhesive layer is not specifically limited, For example, any of a thermosetting resin and a thermoplastic resin may be sufficient.

金属積層体は、金属層をエッチングして所望のパターン配線を形成すれば、各種の小型化、高密度化された部品を実装したフレキシブル配線板に用いることができる。もちろん、本発明の用途はこれに限定されるものではなく、金属層を含む積層体であれば、種々の用途に利用できることはいうまでもない。   The metal laminate can be used for a flexible wiring board on which various miniaturized and densified components are mounted if a desired pattern wiring is formed by etching the metal layer. Of course, the application of the present invention is not limited to this, and it is needless to say that a laminated body including a metal layer can be used for various applications.

以下、実施例及び比較例を挙げて、本発明を更に詳しく説明するが、本発明は、これら
の例に限定されるものではない。
EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example are given and this invention is demonstrated in more detail, this invention is not limited to these examples.

実施例及び比較例で作製したポリイミドフィルムについて、以下の特性を測定した。   About the polyimide film produced by the Example and the comparative example, the following characteristics were measured.

[誘電特性の評価]
誘電特性はアジレント・テクノロジー株式会社/株式会社関東電子応用開発製の摂動法誘電率測定装置CP521(5.8GHz用)を同軸ケーブルでネットワークアナライザ8722A/C/Dに接続して測定した。Mitutoyo製ライトマチック(Series318)厚み計を使用して、フィルム全面から任意に15箇所を選び、この15箇所について厚みを測定し、その平均を算出し、厚みとした。
[Evaluation of dielectric properties]
Dielectric characteristics were measured by connecting a perturbation method dielectric constant measuring device CP521 (for 5.8 GHz) manufactured by Agilent Technology Co., Ltd./Kanto Electronics Co., Ltd. to a network analyzer 8722A / C / D with a coaxial cable. Using a Mitutoyo lightmatic (Series 318) thickness gauge, 15 locations were arbitrarily selected from the entire surface of the film, the thicknesses were measured at these 15 locations, and the average was calculated to obtain the thickness.

[吸水率]
蒸留水中に1日間静置し、乾燥時重量に対しての増加重量%で評価した。具体的には6cm径の円形にフィルムを切り取り、200℃1時間熱処理した後の重量(W0)を乾燥時の重量として測定し、蒸留水中に1日間静置し吸水させたフィルムの重量(W1)を測定し、下記計算式により吸水率を求めた。
吸水率(%)=(W1−W0)/W0×100
[Water absorption rate]
It left still in distilled water for 1 day, and evaluated by the weight% increase with respect to the weight at the time of drying. Specifically, the film was cut into a 6 cm diameter circle, and the weight (W0) after heat treatment at 200 ° C. for 1 hour was measured as the weight at the time of drying. The weight of the film (W1) ) Was measured, and the water absorption was determined by the following formula.
Water absorption (%) = (W1-W0) / W0 × 100

[CTE(線膨張係数)の評価]
島津製作所製TMA−50熱機械分析装置を使用し、測定温度範囲:50〜200℃、昇温速度:10℃/分の条件で測定した。荷重を0.25Nとし、まず35℃から10℃/分で昇温して230℃まで温度を上げた。230℃にて5分間保持し、その後10℃/分で降温して35℃まで温度を下げ、35℃で30分間保持し、しかる後に10℃/分で昇温して230℃まで温度を上げた。2度目の35℃から230℃までの昇温の時のデータを読み、50〜200℃の部分の平均から線膨張係数を算出した。
[Evaluation of CTE (Linear Expansion Coefficient)]
A TMA-50 thermomechanical analyzer manufactured by Shimadzu Corporation was used, and measurement was performed under the conditions of measurement temperature range: 50 to 200 ° C., temperature increase rate: 10 ° C./min. The load was 0.25 N, and the temperature was first raised from 35 ° C. at 10 ° C./min to 230 ° C. Hold at 230 ° C. for 5 minutes, then lower the temperature at 10 ° C./min to lower the temperature to 35 ° C., hold at 35 ° C. for 30 minutes, then raise the temperature at 10 ° C./min to raise the temperature to 230 ° C. It was. Data at the time of the second temperature increase from 35 ° C. to 230 ° C. was read, and the linear expansion coefficient was calculated from the average of the portion of 50 to 200 ° C.

[ゲル化テスト]
触媒/脱水剤混合溶液(50/50、v/v)に、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム上にポリマーをキャストしたフィルムを浸漬し、2分後にPETフィルムから剥離し、自己支持性のフィルムに転化され、針のついた金枠にピンニングすることが出来るポリマーを「○」(化学閉環可能)とした。一方、自己支持性が低くピンニングできないポリマーを「×」(化学閉環不可、化学閉環不適)とした。
[Gelification test]
A polymer-cast film on a polyethylene terephthalate (PET) film is immersed in a catalyst / dehydrating agent mixed solution (50/50, v / v), peeled off from the PET film after 2 minutes, and converted into a self-supporting film The polymer that can be pinned to a metal frame with a needle was designated as “◯” (chemically cyclable). On the other hand, a polymer having low self-supporting ability and cannot be pinned was designated as “x” (chemical ring closure impossible, chemical ring closure inappropriate).

[ガラス転移温度]
日立ハイテクサイエンス製動的粘弾性測定装置DMS6000を使用し、測定温度範囲:25〜400℃、昇温速度:2℃/分、周波数:5Hz、窒素雰囲気下で測定した。得られたTanδのピークトップの温度をガラス転移温度とした。
[Glass-transition temperature]
Using a dynamic viscoelasticity measuring device DMS6000 manufactured by Hitachi High-Tech Science, measurement temperature range: 25-400 ° C., temperature rising rate: 2 ° C./min, frequency: 5 Hz, measured under nitrogen atmosphere. The temperature at the peak top of the obtained Tan δ was defined as the glass transition temperature.

[実施例1]
DCスターラーを備えた500mlセパラブルフラスコ中に2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン36.0g、N,N−ジメチルアセトアミド231.0gを入れ窒素雰囲気下、ウォーターバスを用いて40℃で攪拌した。30分撹拌後、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物33.0gを数回に分けて投入し、1時間攪拌してポリアミック酸を得た。
冷却した上記ポリアミック酸溶液100gにβ−ピコリン18gと無水酢酸20g、N,N−ジメチルアセトアミド10gを添加し、アプリケーターを用いてガラス板状に流延し、自己支持性のゲルフィルムを得た。ゲルフィルムを10cm角針付きの金枠にピンニングし、200℃30分、300℃20分、320℃5分の条件で熱処理を行うことにより、厚さ25μmのポリイミドフィルム(無延伸フィルム)を得た。
[Example 1]
In a 500 ml separable flask equipped with a DC stirrer, 36.0 g of 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine and 231.0 g of N, N-dimethylacetamide were placed at 40 ° C. using a water bath in a nitrogen atmosphere. Stir. After stirring for 30 minutes, 33.0 g of 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride was added in several portions and stirred for 1 hour to obtain a polyamic acid.
To 100 g of the cooled polyamic acid solution, 18 g of β-picoline, 20 g of acetic anhydride, and 10 g of N, N-dimethylacetamide were added and cast into a glass plate using an applicator to obtain a self-supporting gel film. A gel film is pinned to a metal frame with a 10 cm square needle and heat treated under conditions of 200 ° C. for 30 minutes, 300 ° C. for 20 minutes, and 320 ° C. for 5 minutes to obtain a polyimide film (unstretched film) with a thickness of 25 μm. It was.

[実施例2]
DCスターラーを備えた500mlセパラブルフラスコ中に2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン33.5g、N,N−ジメチルアセトアミド231.0gを入れ窒素雰囲気下、ウォーターバスを用いて40℃で攪拌した。30分撹拌後、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物21.5gを数回に分けて投入し、1時間攪拌した。その後、4,4’−(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物13.9gを数回に分けて投入し、1時間攪拌してポリアミック酸を得た。
得られたポリアミック酸を実施例1記載の方法で製膜し、厚さ25μmのポリイミドフィルムを得た。
[Example 2]
In a 500 ml separable flask equipped with a DC stirrer, 33.5 g of 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine and 231.0 g of N, N-dimethylacetamide were placed at 40 ° C. using a water bath in a nitrogen atmosphere. Stir. After stirring for 30 minutes, 21.5 g of 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride was added in several portions and stirred for 1 hour. Thereafter, 13.9 g of 4,4 ′-(hexafluoroisopropylidene) diphthalic anhydride was added in several portions and stirred for 1 hour to obtain a polyamic acid.
The obtained polyamic acid was formed into a film by the method described in Example 1 to obtain a polyimide film having a thickness of 25 μm.

[実施例3]
2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物の添加量をそれぞれ37.3g、24.0gとして、4,4’−(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物をピロメリット酸無水物7.6gに変更した以外は実施例2と同じ方法によって、厚さ25μmのポリイミドフィルムを得た。
[Example 3]
The amounts of 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine and 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride added were 37.3 g and 24.0 g, respectively, and 4,4 ′-( A polyimide film having a thickness of 25 μm was obtained by the same method as in Example 2 except that hexafluoroisopropylidene) diphthalic anhydride was changed to 7.6 g of pyromellitic anhydride.

[実施例4]
2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物の添加量をそれぞれ35.7g、22.9gとして、4,4’−(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物を4,4’−オキシジフタル酸無水物10.4gに変更した以外は実施例2と同じ方法によって、厚さ25μmのポリイミドフィルムを得た。
[Example 4]
The amounts of 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine and 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride added were 35.7 g and 22.9 g, respectively, and 4,4 ′-( A polyimide film having a thickness of 25 μm was obtained in the same manner as in Example 2 except that hexafluoroisopropylidene) diphthalic anhydride was changed to 10.4 g of 4,4′-oxydiphthalic anhydride.

[実施例5]
2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物の添加量をそれぞれ32.4g、20.8gとして、4、4’−(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物を5,5’−[1−メチル−1,1−エタンジイルビス(1,4−フェニレン)ビスオキシ]ビス(イソベンゾフラン−1,3−ジオン)15.8gに変更した以外は実施例2と同じ方法によって、厚さ25μmのポリイミドフィルムを得た。
[Example 5]
The amount of 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine and 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride added was 32.4 g and 20.8 g, respectively. Hexafluoroisopropylidene) diphthalic anhydride was changed to 15.8 g of 5,5 ′-[1-methyl-1,1-ethanediylbis (1,4-phenylene) bisoxy] bis (isobenzofuran-1,3-dione) A polyimide film with a thickness of 25 μm was obtained by the same method as in Example 2 except that.

[実施例6]
DCスターラーを備えた500mlセパラブルフラスコ中に2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン24.1g、N,N−ジメチルアセトアミド231.0gを入れ窒素雰囲気下、ウォーターバスを用いて40℃で攪拌した。30分撹拌後、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物22.1gを数回に分けて投入し、1時間撹拌した。その後、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン13.2gを投入し30分撹拌した。そこに3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物9.5gを数回に分けて投入し、1時間攪拌してポリアミック酸を得た。
得られたポリアミック酸を実施例1記載の方法で製膜し、厚さ25μmのポリイミドフィルムを得た。
[Example 6]
In a 500 ml separable flask equipped with a DC stirrer, 24.1 g of 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine and 231.0 g of N, N-dimethylacetamide were placed at 40 ° C. using a water bath in a nitrogen atmosphere. Stir. After stirring for 30 minutes, 22.1 g of 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride was added in several portions and stirred for 1 hour. Thereafter, 13.2 g of 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane was added and stirred for 30 minutes. Thereto, 9.5 g of 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride was added in several portions and stirred for 1 hour to obtain a polyamic acid.
The obtained polyamic acid was formed into a film by the method described in Example 1 to obtain a polyimide film having a thickness of 25 μm.

[実施例7]
2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物の添加量をそれぞれ25.5g、23.5gとして、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパンを1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン10.0gに変更し、その後3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物10.1gを投入としたこと以外は実施例6と同じ方法によって、厚さ25μmのポリイミドフィルムを得た。
[Example 7]
2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine and 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride were added in amounts of 25.5 g and 23.5 g, respectively. 4- (4-Aminophenoxy) phenyl] propane was changed to 10.0 g of 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, and then 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride 10 A polyimide film having a thickness of 25 μm was obtained in the same manner as in Example 6 except that 0.1 g was added.

[実施例8]
2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物の添加量をそれぞれ25.5g、23.5gとして、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパンを1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン10.0gに変更し、その後3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物10.1gを投入としたこと以外は実施例6と同じ方法によって、厚さ25μmのポリイミドフィルムを得た。
[Example 8]
2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine and 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride were added in amounts of 25.5 g and 23.5 g, respectively. 4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane is changed to 10.0 g of 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, and then 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride 10 A polyimide film having a thickness of 25 μm was obtained in the same manner as in Example 6 except that 0.1 g was added.

[実施例9]
2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物の添加量をそれぞれ26.7g、24.6gとして、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパンを5,5’−[1−メチル−1,1−エタンジイルビス(1,4−フェニレン)ビスオキシ]ビス(イソベンゾフラン−1,3−ジオン)7.2gに変更し、その後3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物10.5gを投入としたこと以外は実施例6と同じ方法によって、厚さ25μmのポリイミドフィルムを得た。
[Example 9]
2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine and 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride were added in amounts of 26.7 g and 24.6 g, respectively. 7.2 g of 5,5 ′-[1-methyl-1,1-ethanediylbis (1,4-phenylene) bisoxy] bis (isobenzofuran-1,3-dione) 4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane Then, a polyimide film having a thickness of 25 μm was obtained in the same manner as in Example 6 except that 10.5 g of 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride was added.

[実施例10]
DCスターラーを備えた500mlセパラブルフラスコ中に2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン26.7g、N,N−ジメチルアセトアミド231.0gを入れ窒素雰囲気下、ウォーターバスを用いて40℃で攪拌した。30分撹拌後、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物24.5gを数回に分けて投入し、1時間撹拌した。その後、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン8.6gを投入し30分撹拌した。そこに4,4’−(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物9.3gを数回に分けて投入し、1時間攪拌してポリアミック酸を得た。
得られたポリアミック酸を実施例1記載の方法で製膜し、厚さ25μmのポリイミドフィルムを得た。
[Example 10]
In a 500 ml separable flask equipped with a DC stirrer, 26.7 g of 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine and 231.0 g of N, N-dimethylacetamide were placed at 40 ° C. using a water bath in a nitrogen atmosphere. Stir. After stirring for 30 minutes, 24.5 g of 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride was added in several portions and stirred for 1 hour. Thereafter, 8.6 g of 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane was added and stirred for 30 minutes. Thereto, 9.3 g of 4,4 ′-(hexafluoroisopropylidene) diphthalic anhydride was added in several portions and stirred for 1 hour to obtain a polyamic acid.
The obtained polyamic acid was formed into a film by the method described in Example 1 to obtain a polyimide film having a thickness of 25 μm.

[実施例11]
DCスターラーを備えた500mlセパラブルフラスコ中に2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン22.5g、N,N−ジメチルアセトアミド231.0gを入れ窒素雰囲気下、ウォーターバスを用いて40℃で攪拌した。30分撹拌後、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物20.7gを数回に分けて投入し、1時間撹拌した。その後、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン12.4gを投入し30分撹拌した。そこに4,4’−(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物13.4gを数回に分けて投入し、1時間攪拌してポリアミック酸を得た。
得られたポリアミック酸を実施例1記載の方法で製膜し、厚さ25μmのポリイミドフィルムを得た。
[Example 11]
In a 500 ml separable flask equipped with a DC stirrer, 22.5 g of 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine and 231.0 g of N, N-dimethylacetamide were placed at 40 ° C. using a water bath in a nitrogen atmosphere. Stir. After stirring for 30 minutes, 20.7 g of 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride was added in several portions and stirred for 1 hour. Thereafter, 12.4 g of 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane was added and stirred for 30 minutes. Thereto, 13.4 g of 4,4 ′-(hexafluoroisopropylidene) diphthalic anhydride was added in several portions and stirred for 1 hour to obtain a polyamic acid.
The obtained polyamic acid was formed into a film by the method described in Example 1 to obtain a polyimide film having a thickness of 25 μm.

[実施例12]
DCスターラーを備えた500mlセパラブルフラスコ中に2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン26.1g、N,N−ジメチルアセトアミド231.0gを入れ窒素雰囲気下、ウォーターバスを用いて40℃で攪拌した。30分撹拌後、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物24.0gを数回に分けて投入し、1時間撹拌した。その後、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン8.4gを投入し30分撹拌した。そこに5,5’−[1−メチル−1,1−エタンジイルビス(1,4−フェニレン)ビスオキシ]ビス(イソベンゾフラン−1,3−ジオン)10.6gを数回に分けて投入し、1時間攪拌してポリアミック酸を得た。
得られたポリアミック酸を実施例1記載の方法で製膜し、厚さ25μmのポリイミドフィルムを得た。
[Example 12]
In a 500 ml separable flask equipped with a DC stirrer, 26.1 g of 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine and 231.0 g of N, N-dimethylacetamide were placed at 40 ° C. using a water bath in a nitrogen atmosphere. Stir. After stirring for 30 minutes, 24.0 g of 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride was added in several portions and stirred for 1 hour. Thereafter, 8.4 g of 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane was added and stirred for 30 minutes. To this, 10.5 g of 5,5 ′-[1-methyl-1,1-ethanediylbis (1,4-phenylene) bisoxy] bis (isobenzofuran-1,3-dione) was added in several portions. The mixture was stirred for a time to obtain a polyamic acid.
The obtained polyamic acid was formed into a film by the method described in Example 1 to obtain a polyimide film having a thickness of 25 μm.

[実施例13]
DCスターラーを備えた500mlセパラブルフラスコ中に2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン21.8g、N,N−ジメチルアセトアミド231.0gを入れ窒素雰囲気下、ウォーターバスを用いて40℃で攪拌した。30分撹拌後、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物20.0gを数回に分けて投入し、1時間撹拌した。その後、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン12.0gを投入し30分撹拌した。そこに5,5’−[1−メチル−1,1−エタンジイルビス(1,4−フェニレン)ビスオキシ]ビス(イソベンゾフラン−1,3−ジオン)15.2gを数回に分けて投入し、1時間攪拌してポリアミック酸を得た。
得られたポリアミック酸を実施例1記載の方法で製膜し、厚さ25μmのポリイミドフィルムを得た。
[Example 13]
In a 500 ml separable flask equipped with a DC stirrer, 21.8 g of 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine and 231.0 g of N, N-dimethylacetamide were placed at 40 ° C. using a water bath in a nitrogen atmosphere. Stir. After stirring for 30 minutes, 20.0 g of 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride was added in several portions and stirred for 1 hour. Thereafter, 12.0 g of 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane was added and stirred for 30 minutes. Thereto, 15.2 g of 5,5 ′-[1-methyl-1,1-ethanediylbis (1,4-phenylene) bisoxy] bis (isobenzofuran-1,3-dione) was added in several portions. The mixture was stirred for a time to obtain a polyamic acid.
The obtained polyamic acid was formed into a film by the method described in Example 1 to obtain a polyimide film having a thickness of 25 μm.

[実施例14]
実施例1で得られたポリアミック酸溶液を、アプリケーターを用いてガラス板状に流延し、90℃10分の条件で熱処理を行い熱閉環法により自己支持性のゲルフィルムを得た。ゲルフィルムを10cm角針付きの金枠にピンニングし、200℃30分、300℃20分、320℃5分の条件で熱処理を行うことにより、厚さ25μmのポリイミドフィルムを得た。
[Example 14]
The polyamic acid solution obtained in Example 1 was cast into a glass plate using an applicator, heat-treated at 90 ° C. for 10 minutes, and a self-supporting gel film was obtained by a thermal ring closure method. The gel film was pinned on a metal frame with a 10 cm square needle, and heat-treated under conditions of 200 ° C. for 30 minutes, 300 ° C. for 20 minutes, and 320 ° C. for 5 minutes to obtain a polyimide film with a thickness of 25 μm.

[実施例15]
DCスターラーを備えた500mlセパラブルフラスコ中に2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン15.0g、N,N−ジメチルアセトアミド231.0gを入れ窒素雰囲気下、ウォーターバスを用いて40℃で攪拌した。30分撹拌後、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物13.8gを数回に分けて投入し、1時間撹拌した。その後、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン19.3gを投入し30分撹拌した。そこに4,4’−(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物20.9gを数回に分けて投入し、1時間攪拌してポリアミック酸を得た。
得られたポリアミック酸を実施例1記載の方法で製膜し、厚さ25μmのポリイミドフィルムを得た。
[Example 15]
In a 500 ml separable flask equipped with a DC stirrer, 15.0 g of 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine and 231.0 g of N, N-dimethylacetamide were placed at 40 ° C. using a water bath in a nitrogen atmosphere. Stir. After stirring for 30 minutes, 13.8 g of 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride was added in several portions and stirred for 1 hour. Thereafter, 19.3 g of 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane was added and stirred for 30 minutes. Thereto, 20.9 g of 4,4 ′-(hexafluoroisopropylidene) diphthalic anhydride was added in several portions and stirred for 1 hour to obtain a polyamic acid.
The obtained polyamic acid was formed into a film by the method described in Example 1 to obtain a polyimide film having a thickness of 25 μm.

[実施例16]
DCスターラーを備えた500mlセパラブルフラスコ中に2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン14.3g、N,N−ジメチルアセトアミド231.0gを入れ窒素雰囲気下、ウォーターバスを用いて40℃で攪拌した。30分撹拌後、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物13.1gを数回に分けて投入し、1時間撹拌した。その後、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン18.3gを投入し30分撹拌した。そこに5,5’−[1−メチル−1,1−エタンジイルビス(1,4−フェニレン)ビスオキシ]ビス(イソベンゾフラン−1,3−ジオン)23.2gを数回に分けて投入し、1時間攪拌してポリアミック酸を得た。
得られたポリアミック酸を実施例1記載の方法で製膜し、厚さ25μmのポリイミドフィルムを得た。
[Example 16]
In a 500 ml separable flask equipped with a DC stirrer, 14.2 g of 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine and 231.0 g of N, N-dimethylacetamide were placed at 40 ° C. using a water bath in a nitrogen atmosphere. Stir. After stirring for 30 minutes, 13.3 g of 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride was added in several portions and stirred for 1 hour. Thereafter, 18.3 g of 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane was added and stirred for 30 minutes. Thereto, 23.2 g of 5,5 ′-[1-methyl-1,1-ethanediylbis (1,4-phenylene) bisoxy] bis (isobenzofuran-1,3-dione) was added in several portions. The mixture was stirred for a time to obtain a polyamic acid.
The obtained polyamic acid was formed into a film by the method described in Example 1 to obtain a polyimide film having a thickness of 25 μm.

[参考例1]
DCスターラーを備えた500mlセパラブルフラスコ中に2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン28.9g、N,N−ジメチルアセトアミド231.0gを入れ窒素雰囲気下、ウォーターバスを用いて40℃で攪拌した。30分撹拌後、4、4’−(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物40.1gを数回に分けて投入し、1時間攪拌してポリアミック酸を得た。
上記ポリアミック酸溶液を、プリケーターを用いてガラス板状に流延し、90℃10分の条件で熱処理を行い熱閉環法により自己支持性のゲルフィルムを得た。ゲルフィルムを10cm角針付きの金枠にピンニングし、200℃30分、300℃20分、320℃5分の条件で熱処理を行うことにより、厚さ25μmのポリイミドフィルムを得た。
なお、上記ポリアミック酸は、後述の表に記載のゲル化テストにも記載のように、ゲルフィルムの作成に化学閉環法は適さないものであった。
[Reference Example 1]
In a 500 ml separable flask equipped with a DC stirrer, 28.9 g of 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine and 231.0 g of N, N-dimethylacetamide were placed at 40 ° C. using a water bath in a nitrogen atmosphere. Stir. After stirring for 30 minutes, 40.1 g of 4,4 ′-(hexafluoroisopropylidene) diphthalic anhydride was added in several portions and stirred for 1 hour to obtain a polyamic acid.
The polyamic acid solution was cast into a glass plate using a replicator, heat-treated at 90 ° C. for 10 minutes, and a self-supporting gel film was obtained by a thermal ring closure method. The gel film was pinned on a metal frame with a 10 cm square needle, and heat-treated under conditions of 200 ° C. for 30 minutes, 300 ° C. for 20 minutes, and 320 ° C. for 5 minutes to obtain a polyimide film with a thickness of 25 μm.
In addition, as described in the gelation test described in the table below, the above polyamic acid was not suitable for the chemical ring closure method for producing a gel film.

[参考例2]
DCスターラーを備えた500mlセパラブルフラスコ中に2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン41.0g、N,N−ジメチルアセトアミド231.0gを入れ窒素雰囲気下、ウォーターバスを用いて40℃で攪拌した。30分撹拌後、ピロメリット酸無水物28.0gを数回に分けて投入し、1時間攪拌してポリアミック酸を得た。
得られたポリアミック酸を実施例1記載の方法で製膜し、厚さ25μmのポリイミドフィルムを得た。
[Reference Example 2]
A 500 ml separable flask equipped with a DC stirrer was charged with 41.0 g of 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine and 231.0 g of N, N-dimethylacetamide at 40 ° C. using a water bath in a nitrogen atmosphere. Stir. After stirring for 30 minutes, 28.0 g of pyromellitic anhydride was added in several portions and stirred for 1 hour to obtain a polyamic acid.
The obtained polyamic acid was formed into a film by the method described in Example 1 to obtain a polyimide film having a thickness of 25 μm.

[参考例3]
DCスターラーを備えた500mlセパラブルフラスコ中に2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン35.0g、N,N−ジメチルアセトアミド231.0gを入れ窒素雰囲気下、ウォーターバスを用いて40℃で攪拌した。30分撹拌後、4,4’−オキシジフタル酸無水物34.0gを数回に分けて投入し、1時間攪拌してポリアミック酸を得た。
得られたポリアミック酸を参考例1記載の方法で製膜し、厚さ25μmのポリイミドフィルムを得た。
なお、上記ポリアミック酸は、後述の表に記載のゲル化テストにも記載のように、ゲルフィルムの作成に化学閉環法は適さないものであった。
[Reference Example 3]
In a 500 ml separable flask equipped with a DC stirrer, 35.0 g of 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine and 231.0 g of N, N-dimethylacetamide were placed at 40 ° C. using a water bath in a nitrogen atmosphere. Stir. After stirring for 30 minutes, 34.0 g of 4,4′-oxydiphthalic anhydride was added in several portions and stirred for 1 hour to obtain a polyamic acid.
The obtained polyamic acid was formed into a film by the method described in Reference Example 1 to obtain a polyimide film having a thickness of 25 μm.
In addition, as described in the gelation test described in the table below, the above polyamic acid was not suitable for the chemical ring closure method for producing a gel film.

[参考例4]
DCスターラーを備えた500mlセパラブルフラスコ中に2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン26.3g、N,N−ジメチルアセトアミド231.0gを入れ窒素雰囲気下、ウォーターバスを用いて40℃で攪拌した。30分撹拌後、5,5’−[1−メチル−1,1−エタンジイルビス(1,4−フェニレン)ビスオキシ]ビス(イソベンゾフラン−1,3−ジオン)42.7gを数回に分けて投入し、1時間攪拌してポリアミック酸を得た。
得られたポリアミック酸を実施例1記載の方法で製膜し、厚さ25μmのポリイミドフィルムを得た。
なお、上記ポリアミック酸は、後述の表に記載のゲル化テストにも記載のように、ゲルフィルムの作成に化学閉環法は適さないものであった。
[Reference Example 4]
In a 500 ml separable flask equipped with a DC stirrer, 26.3 g of 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine and 231.0 g of N, N-dimethylacetamide were placed at 40 ° C. using a water bath in a nitrogen atmosphere. Stir. After stirring for 30 minutes, 42.7 g of 5,5 ′-[1-methyl-1,1-ethanediylbis (1,4-phenylene) bisoxy] bis (isobenzofuran-1,3-dione) was added in several portions. And stirred for 1 hour to obtain a polyamic acid.
The obtained polyamic acid was formed into a film by the method described in Example 1 to obtain a polyimide film having a thickness of 25 μm.
In addition, as described in the gelation test described in the table below, the above polyamic acid was not suitable for the chemical ring closure method for producing a gel film.

上記で得られたポリイミドフィルムの各種特性を、ポリイミドの組成などとともに下記表に示す。   Various characteristics of the polyimide film obtained above are shown in the following table together with the polyimide composition and the like.

なお、表において、各種記号の意味は下記の通りである。   In the table, the meanings of various symbols are as follows.

TFMB:2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン
BAPP:2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン
1,3−APB:1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン
1,4−APB:1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン
ODA:4,4’−オキシジアニリン
BPDA:3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
6FDA:4,4’−(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物
PMDA:ピロメリット酸無水物
ODPA:4,4’−オキシジフタル酸無水物
BPADA:5,5’−[1−メチル−1,1−エタンジイルビス(1,4−フェニレン)ビスオキシ]ビス(イソベンゾフラン−1,3−ジオン)
CTE:線膨張係数
Tg:ガラス転移温度
TFMB: 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine BAPP: 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane 1,3-APB: 1,3-bis (4-aminophenoxy) Benzene 1,4-APB: 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene ODA: 4,4′-oxydianiline BPDA: 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride 6FDA: 4,4 ′-(hexafluoroisopropylidene) diphthalic anhydride PMDA: pyromellitic anhydride ODPA: 4,4′-oxydiphthalic anhydride BPADA: 5,5 ′-[1-methyl-1,1-ethanediylbis (1,4-Phenylene) bisoxy] bis (isobenzofuran-1,3-dione)
CTE: linear expansion coefficient Tg: glass transition temperature

本発明では、フレキシブルプリント基板用などに好適に使用できるポリイミドフィルムを提供できる。   In this invention, the polyimide film which can be used conveniently for flexible printed circuit boards etc. can be provided.

Claims (12)

誘電正接が0.007以下、吸水率が0.8%以下、50〜200℃における線膨張係数が30ppm/℃以下であるポリイミドフィルム。   A polyimide film having a dielectric loss tangent of 0.007 or less, a water absorption of 0.8% or less, and a linear expansion coefficient at 50 to 200 ° C. of 30 ppm / ° C. or less. 比誘電率が3.3以下である請求項1に記載のポリイミドフィルム。   The polyimide film according to claim 1, which has a relative dielectric constant of 3.3 or less. ポリイミドフィルムを構成するポリイミドの重合成分である、ジアミン成分(A)及びテトラカルボン酸成分(B)から選択された少なくとも1種の成分が、フッ素を含有する請求項1〜2のいずれかに記載のポリイミドフィルム。   The at least 1 sort (s) selected from the diamine component (A) and the tetracarboxylic-acid component (B) which are the polymerization components of the polyimide which comprises a polyimide film contains a fluorine in any one of Claims 1-2. Polyimide film. ジアミン成分(A)がフッ素含有ジアミン成分(A1)を60モル%以上含む請求項3記載のポリイミドフィルム。   The polyimide film of Claim 3 in which a diamine component (A) contains 60 mol% or more of fluorine-containing diamine components (A1). ジアミン成分(A)が2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジンを65モル%以上含む請求項3又は4記載のポリイミドフィルム。   The polyimide film according to claim 3 or 4, wherein the diamine component (A) contains 65 mol% or more of 2,2'-bis (trifluoromethyl) benzidine. ジアミン成分(A)が、フッ素含有ジアミン成分(A1)及びフッ素非含有ジアミン成分(A2)を含む請求項3〜5のいずれかに記載のポリイミドフィルム。   The polyimide film according to any one of claims 3 to 5, wherein the diamine component (A) includes a fluorine-containing diamine component (A1) and a fluorine-free diamine component (A2). テトラカルボン酸成分(B)が3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を60モル%以上含む請求項3〜6のいずれかに記載のポリイミドフィルム。   The polyimide film according to any one of claims 3 to 6, wherein the tetracarboxylic acid component (B) contains 60 mol% or more of 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride. 銅張り積層体の基材フィルム、及び/又はカバーレイに用いる請求項1〜7のいずれかに記載のポリイミドフィルム。   The polyimide film according to any one of claims 1 to 7, which is used for a substrate film of a copper-clad laminate and / or a coverlay. 化学閉環法により自己支持性のゲルフィルムを得、このゲルフィルムを用いて請求項1〜8のいずれかに記載のポリイミドフィルムを製造する方法。   A method for producing a polyimide film according to any one of claims 1 to 8, wherein a self-supporting gel film is obtained by a chemical ring closure method, and the gel film is used. 請求項1〜8のいずれかに記載のポリイミドフィルムを用いた金属積層体。   The metal laminated body using the polyimide film in any one of Claims 1-8. ポリイミドフィルムを基材フィルムとする銅張り積層体である請求項10記載の金属積層体。   The metal laminate according to claim 10, which is a copper-clad laminate using a polyimide film as a base film. ポリイミドフィルムが金属層を保護するカバーレイを構成している請求項10又は11記載の金属積層体。   The metal laminate according to claim 10 or 11, wherein the polyimide film constitutes a coverlay for protecting the metal layer.
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