JP2018138824A - 貯蔵容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】筒形の胴部2の一端に天板3を有し、他端に底板5を有する貯蔵容器1であって、少なくとも貯蔵容器内面がチタンで形成されており、天板3と底板5がそれぞれ胴部2と突き合わせ裏波溶接されている。この貯蔵容器内面の表面粗さ(Ra)は0.14μm以下である。
【選択図】図1B
Description
少なくとも貯蔵容器内面となる表面がチタンで形成された、筒形の胴部、外周部に立ち上がり部を有する天板、及び外周部に立ち上がり部を有する底板の、該貯蔵容器内面となる表面を研磨する研磨工程、
天板に、少なくとも内面がチタン製のパイプを挿し、該パイプと天板を溶接する工程、
胴部と底板、及び胴部と天板を、それぞれ突き合わせ裏波溶接する工程
を有する貯蔵容器の製造方法を提供する。
まず、筒形の胴部2、外周部に立ち上がり部4を有する天板3、及び外周部に立ち上がり部6を有する底板5を純チタン材、好ましくは第2種チタン材から形成する機械加工を行う。この場合、天板3及び底板5には切削加工によって立ち上がり部4、6や角隅部3a、5aの丸みを形成することが好ましい。なお、胴部2、天板3及び底板5を絞り加工や鋳造等で成形することもできるが、コストを抑える点から切削加工が好ましい。また、純チタン材で形成された鏡板を使用してもよい。
1 実施例の貯蔵容器
2 胴部
3 天板
3a 天板の角隅部
4 立ち上がり部
5 底板
5a 底板の角隅部
6 立ち上がり部
7 パイプ(ガス流入口)
8 パイプ(ガス流出口)
10、10b 溶接部
11 ビード
12 間隙
13 裏波部
14 間隙
20 オゾン発生器
21 オゾンガス濃度計
t2、t4、t5 板厚
Claims (10)
- 筒形の胴部の一端に天板を有し、他端に底板を有するオゾンガス貯蔵用の貯蔵容器であって、少なくとも貯蔵容器内面がチタンで形成されており、天板と底板がそれぞれ胴部と突き合わせ裏波溶接されており、胴部、天板及び底板の貯蔵容器内面の表面粗さ(Ra)が0.14μm以下である貯蔵容器。
- 天板と底板がそれぞれ外周部に立ち上がり部を有し、立ち上がり部と胴部とが突き合わせ裏波溶接されている請求項1記載の貯蔵容器。
- 立ち上がり部の内面が丸み付けされている請求項2記載の貯蔵容器。
- 貯蔵容器に通した窒素ガス1CF中に粒径0.1μm以上のパーティクルが検出されない請求項1〜3のいずれかに記載の貯蔵容器。
- 貯蔵物の流入口又は流出口として、少なくとも内面がチタン製のパイプが天板に溶接されており、その溶接部の貯蔵容器内側にビードを有する請求項1〜4のいずれかに記載の貯蔵容器。
- 筒形の胴部の一端に天板を有し、他端に底板を有するオゾンガス貯蔵用の貯蔵容器の製造方法であって、
少なくとも貯蔵容器内面となる表面がチタンで形成された、筒形の胴部、外周部に立ち上がり部を有する天板、及び外周部に立ち上がり部を有する底板の、該貯蔵容器内面となる表面を化学研磨又は電解研磨し、表面粗さ(Ra)を0.14μm以下とする研磨工程、
胴部と底板、及び胴部と天板を、それぞれ突き合わせ裏波溶接する工程
を有する貯蔵容器の製造方法。 - 天板に、少なくとも内面がチタン製のパイプを挿し、該パイプと天板を、貯蔵容器内側にビードが形成されるように溶接する工程を有する請求項6記載の貯蔵容器の製造方法。
- 研磨工程において、化学研磨又は電解研磨に先立ち、バフ研磨を行う請求項6又は7記載の貯蔵容器の製造方法。
- 研磨工程に先立ち、筒型の胴部、外周部に立ち上がり部を有する天板、及び外周部に立ち上がり部を有する底板を、チタン材の切削により形成する機械加工工程を有する請求項6〜8のいずれかに記載の貯蔵容器の製造方法。
- 機械加工工程において、貯蔵容器内面となる、天板の角隅部及び底板の角隅部を丸み付けする請求項9記載の貯蔵容器の製造方法。
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Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5110465U (ja) * | 1974-07-12 | 1976-01-26 | ||
JPS6319499A (ja) * | 1986-07-08 | 1988-01-27 | Showa Denko Kk | 高純度ガス維持容器 |
JPH0228377U (ja) * | 1988-08-17 | 1990-02-23 | ||
JPH0885548A (ja) * | 1994-09-20 | 1996-04-02 | Iwatani Internatl Corp | オゾンガス貯蔵容器 |
JPH093655A (ja) * | 1995-06-22 | 1997-01-07 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 耐食性に優れたステンレス鋼部材の製造方法 |
JP2002282673A (ja) * | 2001-03-26 | 2002-10-02 | Yamaguchi Technology Licensing Organization Ltd | チタン合金製真空容器及び真空部品 |
JP2007182927A (ja) * | 2006-01-06 | 2007-07-19 | Adeka Corp | バルブ付流体用容器 |
JP2015094015A (ja) * | 2013-11-13 | 2015-05-18 | 日本精工株式会社 | マルテンサイト系ステンレス鋼を用いた機構部品の製造方法および回転装置 |
JP2016084831A (ja) * | 2014-10-23 | 2016-05-19 | 昭和電工株式会社 | 高圧ガス容器及びその製造方法 |
JP2016519741A (ja) * | 2013-03-15 | 2016-07-07 | ハダル, インコーポレイテッド | 圧力容器を製造するためのシステムおよび方法 |
-
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5110465U (ja) * | 1974-07-12 | 1976-01-26 | ||
JPS6319499A (ja) * | 1986-07-08 | 1988-01-27 | Showa Denko Kk | 高純度ガス維持容器 |
JPH0228377U (ja) * | 1988-08-17 | 1990-02-23 | ||
JPH0885548A (ja) * | 1994-09-20 | 1996-04-02 | Iwatani Internatl Corp | オゾンガス貯蔵容器 |
JPH093655A (ja) * | 1995-06-22 | 1997-01-07 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 耐食性に優れたステンレス鋼部材の製造方法 |
JP2002282673A (ja) * | 2001-03-26 | 2002-10-02 | Yamaguchi Technology Licensing Organization Ltd | チタン合金製真空容器及び真空部品 |
JP2007182927A (ja) * | 2006-01-06 | 2007-07-19 | Adeka Corp | バルブ付流体用容器 |
JP2016519741A (ja) * | 2013-03-15 | 2016-07-07 | ハダル, インコーポレイテッド | 圧力容器を製造するためのシステムおよび方法 |
JP2015094015A (ja) * | 2013-11-13 | 2015-05-18 | 日本精工株式会社 | マルテンサイト系ステンレス鋼を用いた機構部品の製造方法および回転装置 |
JP2016084831A (ja) * | 2014-10-23 | 2016-05-19 | 昭和電工株式会社 | 高圧ガス容器及びその製造方法 |
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